Оптико-электронный метод избыточных измерений давления: особенности реализации
Предложена конструкция информативно-избыточного волоконно-оптического датчика давления, который обеспечивает автоматическую коррекцию составляющих систематической погрешности результата измерений....
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Дата: | 2008 |
| Автори: | , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2008
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52407 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Оптико-электронный метод избыточных измерений давления: особенности реализации / В.Т. Кондратов, В.В. Редько // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 2. — С. 34-38. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1860171917786349568 |
|---|---|
| author | Кондратов, В.Т. Редько, В.В. |
| author_facet | Кондратов, В.Т. Редько, В.В. |
| citation_txt | Оптико-электронный метод избыточных измерений давления: особенности реализации / В.Т. Кондратов, В.В. Редько // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 2. — С. 34-38. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Предложена конструкция информативно-избыточного волоконно-оптического датчика давления, который обеспечивает автоматическую коррекцию составляющих систематической погрешности результата измерений.
|
| first_indexed | 2025-12-07T17:58:42Z |
| format | Article |
| fulltext |
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2008, ¹ 2
34
ÑÅÍÑÎÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÀ
Äàòà ïîñòóïëåíèÿ â ðåäàêöèþ
27.11 2007 ã.
Îïïîíåíò ä. ò. í. Â. Â. ÄÀÍÈËÎÂ
(ÄîíÍÓ, ã. Äîíåöê)
Ä. ò. í. Â. Ò. ÊÎÍÄÐÀÒÎÂ, Â. Â. ÐÅÄÜÊÎ
Óêðàèíà, ã. Êèåâ, Èíñòèòóò êèáåðíåòèêè èì. Â. Ì. Ãëóøêîâà,
Êèåâñêèé íàö. óí-ò òåõíîëîãèé è äèçàéíà
E-mail: blist2002@mail.ru
Ïðåäëîæåíà êîíñòðóêöèÿ èíôîðìàòèâ-
íî-èçáûòî÷íîãî âîëîêîííî-îïòè÷åñêîãî
äàò÷èêà äàâëåíèÿ, êîòîðûé îáåñïå÷èâà-
åò àâòîìàòè÷åñêóþ êîððåêöèþ ñîñòàâ-
ëÿþùèõ ñèñòåìàòè÷åñêîé ïîãðåøíîñòè
ðåçóëüòàòà èçìåðåíèé.
Ïðè ïðîåêòèðîâàíèè ñèñòåì êîíòðîëÿ è óïðàâ-
ëåíèÿ òåõíîëîãè÷åñêèìè ïðîöåññàìè ìåòàëëóðãè-
÷åñêèõ, ãàçîâûõ è íåôòåïåðåðàáàòûâàþùèõ ïðåä-
ïðèÿòèé íà ïåðâûé ïëàí âûñòóïàåò ïðîáëåìà âûñî-
êîòî÷íîãî èçìåðåíèÿ äàâëåíèÿ æèäêîñòåé è ãàçîâ. Â
ýòîé ñâÿçè àêòóàëüíîé çàäà÷åé ÿâëÿåòñÿ ðàçðàáîòêà
îïòèêî-ýëåêòðîííûõ ìåòîäîâ èçáûòî÷íûõ èçìåðåíèé
(ÌÈÈ) è èíôîðìàòèâíî-èçáûòî÷íûõ âîëîêîííî-îï-
òè÷åñêèõ äàò÷èêîâ äàâëåíèÿ (ÂÎÄÄ).
Èçâåñòíî [1], ÷òî ÌÈÈ îáåñïå÷èâàþò àâòîìàòè-
÷åñêóþ êîððåêöèþ öåëîãî ðÿäà ñîñòàâëÿþùèõ ñèñòå-
ìàòè÷åñêîé ïîãðåøíîñòè ðåçóëüòàòà èçìåðåíèé. Íà-
ïðèìåð, â ðàáîòàõ [2, 3] ïîêàçàíà âîçìîæíîñòü àâòî-
ìàòè÷åñêîé êîððåêöèè ñîñòàâëÿþùèõ ñèñòåìàòè÷åñ-
êîé ïîãðåøíîñòè ðåçóëüòàòà èçìåðåíèé, îáóñëîâëåí-
íûõ òàêèìè ôàêòîðàìè êàê:
� íåëèíåéíîñòü ôóíê-
öèè ïðåîáðàçîâàíèÿ ÂÎÄÄ;
� íåëèíåéíîñòü ôóíê-
öèè ïðåîáðàçîâàíèÿ ïðèåì-
íèêà îïòè÷åñêîãî èçëó÷åíèÿ
(ÏÎÈ);
� òåìïåðàòóðíàÿ è äîë-
ãîâðåìåííàÿ íåñòàáèëü-
íîñòü õàðàêòåðèñòèê èñòî÷-
íèêà îïòè÷åñêîãî èçëó÷åíèÿ
(ÈÎÈ) è ÏÎÈ;
� òåõíîëîãè÷åñêèé ðàç-
áðîñ ïàðàìåòðîâ ÈÎÈ è ÏÎÈ.
Îäíàêî äî íàñòîÿùåãî
âðåìåíè íå áûëà ðåøåíà çà-
äà÷à àâòîìàòè÷åñêîé êîððåê-
öèè ñîñòàâëÿþùèõ ñèñòåìà-
òè÷åñêîé ïîãðåøíîñòè èç-
ìåðåíèÿ, îáóñëîâëåííûõ èç-
ìåíåíèåì ãåîìåòðè÷åñêèõ è
ôèçè÷åñêèõ ïàðàìåòðîâ
÷óâñòâèòåëüíîãî ýëåìåíòà
ÂÎÄÄ (íàïðèìåð, ìåìáðà-
íû). Ðåøåíèþ äàííîé íàó÷-
ÎÏÒÈÊÎ-ÝËÅÊÒÐÎÍÍÛÉ ÌÅÒÎÄ
ÈÇÁÛÒÎ×ÍÛÕ ÈÇÌÅÐÅÍÈÉ ÄÀÂËÅÍÈß:
ÎÑÎÁÅÍÍÎÑÒÈ ÐÅÀËÈÇÀÖÈÈ
íî-òåõíè÷åñêîé çàäà÷è ïîñâÿùåíà íàñòîÿùàÿ ðàáî-
òà. Öåëüþ ðàáîòû ÿâëÿåòñÿ ðàçðàáîòêà:
� îïòèêî-ýëåêòðîííîãî ìåòîäà èçáûòî÷íûõ èç-
ìåðåíèé äàâëåíèÿ, îáåñïå÷èâàþùåãî àâòîìàòè÷åñ-
êóþ êîððåêöèþ ñîñòàâëÿþùèõ ñèñòåìàòè÷åñêîé ïî-
ãðåøíîñòè ðåçóëüòàòà èçìåðåíèé;
� òåõíè÷åñêîãî ðåøåíèÿ öèôðîâîãî èçìåðèòåëÿ
äàâëåíèÿ, ðåàëèçóþùåãî îïòèêî-ýëåêòðîííûé ìåòîä
èçáûòî÷íûõ èçìåðåíèé;
� êîíñòðóêöèè èíôîðìàòèâíî-èçáûòî÷íîãî
ÂÎÄÄ ñ óëó÷øåííûìè ìåòðîëîãè÷åñêèìè õàðàêòå-
ðèñòèêàìè.
Êîíñòðóêòèâíûå îñîáåííîñòè
èíôîðìàòèâíî-èçáûòî÷íîãî ÂÎÄÄ
è åãî ôóíêöèÿ ïðåîáðàçîâàíèÿ
 îïèñûâàåìîì íèæå öèôðîâîì èçìåðèòåëå äàâ-
ëåíèÿ èñïîëüçóåòñÿ ìîäèôèöèðîâàííûé ðåôëåêñî-
ìåòðè÷åñêèé ÂÎÄÄ [4] ñ òðåìÿ îïòè÷åñêèìè êàíà-
ëàìè, êîíñòðóêöèÿ êîòîðîãî ïðèâåäåíà íà ðèñ. 1.
Îñîáåííîñòüþ ïðåäëîæåííîé êîíñòðóêöèè ÿâëÿåò-
ñÿ òî, ÷òî îíà îáåñïå÷èâàåò ïîëó÷åíèå èíôîðìàòèâ-
íîé èçáûòî÷íîñòè � äîïîëíèòåëüíîé èíôîðìàöèè
1 3 5 7 9 11 13 15 17
2 4 6 8 10 12 14 16
Ðèñ. 1. Êîíñòðóêöèÿ èíôîðìàòèâíî-èçáûòî÷íîãî ÂÎÄÄ:
1, 2 � øòóöåðà; 3 � êàðêàñ; 4�6 � ìåìáðàíû; 7 � ïðîêëàäêà; 8 � ôóíêöèîíàëüíûé äåðæà-
òåëü; 9 � êîðïóñ; 10�12 � ïîäâîäÿùå-îòâîäÿùèå âîëîêîííûå ñâåòîâîäû; 13 � ãåðìåòèê; 14 �
âîëîêîííî-îïòè÷åñêèé êàáåëü; 15 � íàêîíå÷íèê ñ òåõíîëîãè÷åñêèìè îòâåðñòèÿìè; 16 �
ôèêñàòîð; 17 � ðàçúåìíûé ñâåòîâîäíûé ñîåäèíèòåëü òèïà «ðîçåòêà»
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2008, ¹ 2
35
ÑÅÍÑÎÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÀ
î ïàðàìåòðàõ êàê ñàìîãî ÂÎÄÄ, òàê è äðóãèõ ýëå-
ìåíòîâ èçìåðèòåëüíîãî êàíàëà èçìåðèòåëÿ äàâëåíèÿ.
Ê èõ ÷èñëó îòíîñÿòñÿ:
1) ðàññòîÿíèå d0 ìåæäó öåíòðîì îòðàæàþùåé
ïîâåðõíîñòè ìåìáðàíû è òîðöîì ïîäâîäÿùå-îòâî-
äÿùåãî âîëîêîííîãî ñâåòîâîäà (ÏÎÂÑ) ïðè îòñóò-
ñòâèè ïðîãèáà ìåìáðàíû;
2) êîýôôèöèåíò ïðåîáðàçîâàíèÿ äàâëåíèÿ â ïðî-
ãèá ìåìáðàíû;
3) ìîùíîñòü ïîòîêà îïòè÷åñêîãî èçëó÷åíèÿ, ôîð-
ìèðóåìîãî èñòî÷íèêîì;
4) íåèíôîðìàòèâíûå ïîòåðè ìîùíîñòè ïîòîêà
îïòè÷åñêîãî èçëó÷åíèÿ ïðè åãî ïåðåäà÷å îò èñòî÷-
íèêà íà ÂÎÄÄ è îò ÂÎÄÄ íà ïðèåìíèê;
6) òîêîâàÿ ÷óâñòâèòåëüíîñòü è òåìíîâîé òîê ïðè-
åìíèêà îïòè÷åñêîãî èçëó÷åíèÿ.
Ïîëó÷åíèå èíôîðìàòèâíîé èçáûòî÷íîñòè îáåñ-
ïå÷èâàåòñÿ çà ñ÷åò ââåäåíèÿ â èíôîðìàòèâíî-èçáû-
òî÷íûé ÂÎÄÄ òðåõ îïòè÷åñêèõ êàíàëîâ. Ýòî ïîçâî-
ëÿåò ñôîðìèðîâàòü òðè ïîòîêà îïòè÷åñêîãî èçëó÷å-
íèÿ, ìîùíîñòè êîòîðûõ ìîäóëèðóþòñÿ ðàçíûìè ïî
çíà÷åíèþ äàâëåíèÿìè.
Ïåðâûé ïîòîê îïòè÷åñêîãî èçëó÷åíèÿ ïî ÏÎÂÑ
12 ïîäàåòñÿ íà öåíòðàëüíóþ ÷àñòü êàðêàñà 3, êîòî-
ðàÿ îòïîëèðîâàíà äî çåðêàëüíîé ÷èñòîòû. Òàêèì
îáðàçîì, ìîùíîñòü ýòîãî ïîòîêà ìîäóëèðóåòñÿ äàâ-
ëåíèåì p0, êîòîðîå ïî çíà÷åíèþ ðàâíî äàâëåíèþ â
ïîëîñòè, çàêëþ÷åííîé ìåæäó êàðêàñîì è ôóíêöèî-
íàëüíûì äåðæàòåëåì 8.
Âòîðîé ïîòîê îïòè÷åñêîãî èçëó÷åíèÿ ïî ÏÎÂÑ
11 ïîäàåòñÿ íà çåðêàëüíóþ ïîâåðõíîñòü ìåìáðàíû
5. Åãî ìîùíîñòü ìîäóëèðóåòñÿ äàâëåíèåì px, çíà÷å-
íèå êîòîðîãî íåèçâåñòíî.
Òðåòèé ïîòîê îïòè÷åñêîãî èçëó÷åíèÿ ïî ÏÎÂÑ
10 ïîäàåòñÿ íà çåðêàëüíóþ ïîâåðõíîñòü ìåìáðàíû
6. Ïîñêîëüêó äàâëåíèå â ïîëîñòè ìåæäó ìåìáðàíà-
ìè 4 è 6 óñòàíàâëèâàåòñÿ ðàâíûì äàâëåíèþ p0, ìîù-
íîñòü òðåòüåãî ïîòîêà îïòè÷åñêîãî èçëó÷åíèÿ ìî-
äóëèðóåòñÿ äàâëåíèåì pΣ, ðàâíûì ñóììå äàâëåíèé
px è p0.
Ñëåäóåò îòìåòèòü, ÷òî â áîëüøèíñòâå ðåôëåêñî-
ìåòðè÷åñêèõ ÂÎÄÄ äëÿ ïîäâîäà è îòâîäà ïîòîêà îï-
òè÷åñêîãî èçëó÷åíèÿ èñïîëüçóþòñÿ ðàçíûå âîëîêîí-
íûå ñâåòîâîäû (ÂÑ) [5]. Ýòî ïðèâîäèò ê âîçíèêíî-
âåíèþ äîïîëíèòåëüíûõ îïòè÷åñêèõ ïîòåðü, îáóñëîâ-
ëåííûõ ïîïàäàíèåì ÷àñòè îòðàæåííîãî ïîòîêà îï-
òè÷åñêîãî èçëó÷åíèÿ â ïðîñòðàíñòâî ìåæäó ñåðäöå-
âèíàìè ïðèåìíûõ ÂÑ. Íàïðèìåð, óñòàíîâëåíî, ÷òî
ïðè èñïîëüçîâàíèè â ÂÎÄÄ âîëîêîííî-îïòè÷åñêîãî
æãóòà, ñîñòîÿùåãî èç îäíîãî ïîäâîäÿùåãî è øåñòè
îòâîäÿùèõ ÂÑ (ðàäèóñ ñåðäöåâèíû 100 ìêì, ðàäèóñ
îáîëî÷êè 250 ìêì, àïåðòóðíûé óãîë 12°), è ïîëíîé
çàñâåòêå òîðöîâ îòâîäÿùèõ ÂÑ äîïîëíèòåëüíûå îï-
òè÷åñêèå ïîòåðè ìîãóò ñîñòàâèòü äî 70% îò ìîùíî-
ñòè îòðàæåííîãî ïîòîêà îïòè÷åñêîãî èçëó÷åíèÿ.
 ïðåäëàãàåìîé êîíñòðóêöèè ÂÎÄÄ ýòè äîïîë-
íèòåëüíûå îïòè÷åñêèå ïîòåðè ñóùåñòâåííî óìåíü-
øåíû çà ñ÷åò èñïîëüçîâàíèÿ îäíèõ è òåõ æå ÏÎÂÑ
êàê äëÿ ïîäâîäà, òàê è äëÿ îòâîäà ïîòîêà îïòè÷åñêî-
ãî èçëó÷åíèÿ.
Âàæíåéøåé ìåòðîëîãè÷åñêîé õàðàêòåðèñòèêîé
ëþáîãî ÂÎÄÄ ÿâëÿåòñÿ ôóíêöèÿ ïðåîáðàçîâàíèÿ,
âèä êîòîðîé â çíà÷èòåëüíîé ñòåïåíè îïðåäåëÿåòñÿ
îñîáåííîñòÿìè êîíñòðóêòèâíîãî èñïîëíåíèÿ îïòè-
÷åñêîãî êàíàëà.  ðàáîòå [2] ïîêàçàíî, ÷òî ôóíêöèÿ
ïðåîáðàçîâàíèÿ ÂÎÄÄ ñ îïòè÷åñêèì êàíàëîì, âûïîë-
íåííûì â âèäå ÏÎÂÑ, èìååò ëèíåéíûé ó÷àñòîê, êî-
òîðûé îïèñûâàåòñÿ ñëåäóþùèì óðàâíåíèåì âåëè÷èí:
ñ
ì 0
2 ñ
ñ 0 äï 0
0
2 ñ
tg
Ô Ô
( ) tg
Ô ,
i NA
x NA
r d
k r
r d S p p
k r
− Θ
= =
− − − Θ =
Ôóíêöèÿ ïðåîáðàçîâàíèÿ ÂÎÄÄ ñîõðàíÿåò ëèíåé-
íûé õàðàêòåð äî òåõ ïîð, ïîêà âûïîëíÿåòñÿ ñëåäóþ-
ùåå óñëîâèå [2]:
0,5{rc}/tg{ΘNA}<{di}<{rc}/tg{ΘNA}.
Èñõîäÿ èç äàííîãî óñëîâèÿ óñòàíîâëåíî, ÷òî äëÿ
ÂÎÄÄ, â êîòîðîì èñïîëüçóþòñÿ ÏÎÂÑ ñ ðàäèóñîì
ñåðäöåâèíû 100 ìêì è àïåðòóðíûì óãëîì 12°, îïòè-
ìàëüíîå çíà÷åíèå íà÷àëüíîãî ðàññòîÿíèÿ d0 ðàâíî
470 ìêì. Ïðè ýòîì ìàêñèìàëüíûé ïðîãèá öåíòðîâ
ìåìáðàí íå äîëæåí ïðåâûøàòü 235 ìêì.
Ðàáîòà öèôðîâîãî èçìåðèòåëÿ äàâëåíèÿ
Ôóíêöèîíàëüíàÿ ñõåìà öèôðîâîãî èçìåðèòåëÿ
äàâëåíèÿ, ðåàëèçóþùåãî ìåòîä èçáûòî÷íûõ èçìåðå-
íèé äàâëåíèÿ è òåìïåðàòóðû, ïðèâåäåíà íà ðèñ. 2.
Îñîáåííîñòüþ óñòðîéñòâà ÿâëÿåòñÿ íàëè÷èå äâóõ èç-
ìåðèòåëüíûõ êàíàëîâ. Îäèí èç íèõ èñïîëüçóåòñÿ äëÿ
èçìåðåíèÿ äàâëåíèÿ, à äðóãîé � äëÿ èçìåðåíèÿ òåì-
ïåðàòóðû ñðåäû, îêðóæàþùåé ïðèåìíèê îïòè÷åñêî-
ãî èçëó÷åíèÿ.
Êîðîòêî îñòàíîâèìñÿ íà íåêîòîðûõ äîïóùåíèÿõ,
ïðèíÿòûõ ïðè ðåàëèçàöèè ìåòîäà èçáûòî÷íûõ èçìå-
ðåíèé â èçìåðèòåëå äàâëåíèÿ. Äëÿ ïðåîáðàçîâàíèÿ
ìîùíîñòåé ìîäóëèðîâàííûõ ïîòîêîâ îïòè÷åñêîãî
èçëó÷åíèÿ â íàïðÿæåíèÿ èñïîëüçóåòñÿ ïðèåìíèê èç-
ëó÷åíèÿ 6, îñíîâîé êîòîðîãî ÿâëÿåòñÿ ïîëóïðîâîä-
íèêîâûé ôîòîäèîä. Ôóíêöèÿ ïðåîáðàçîâàíèÿ äàííî-
ãî ôîòîäèîäà îïèñûâàåòñÿ èçâåñòíûì óðàâíåíèåì [4]
ì 1ln ,x I
Ô
s
kT S
U Ô k
q I
= +
ãäå Ô0 �
rc, ΘNA �
di �
d0 �
k2 =
Säï �
{Rì}, {hì} �
µì �
{Eì} �
ïîòîê îïòè÷åñêîãî èçëó÷åíèÿ, èñïóñêàåìûé èç òîð-
öà ÏÎÂÑ â íàïðàâëåíèè çåðêàëüíîé ïîâåðõíîñòè;
ðàäèóñ è àïåðòóðíûé óãîë ñåðäöåâèíû ÏÎÂÑ;
òåêóùåå ðàññòîÿíèå ìåæäó öåíòðîì îòðàæàþùåé
ïîâåðõíîñòè ìåìáðàíû è òîðöîì ÏÎÂÑ;
íà÷àëüíîå ðàññòîÿíèå;
2;
êîýôôèöèåíò ïðåîáðàçîâàíèÿ äàâëåíèÿ â ïðîãèá
ìåìáðàíû, {Säï}=[3{Rì}4(1�µ2
ì)]/(16{Eì}{hì}3);
çíà÷åíèÿ ðàäèóñà è òîëùèíû ìåìáðàíû;
êîýôôèöèåíò Ïóàññîíà ìàòåðèàëà ìåìáðàíû;
çíà÷åíèå ìîäóëÿ Þíãà ìàòåðèàëà ìåìáðàíû.
ãäå k �
Òõ �
q �
SI, Is �
k1 =
ïîñòîÿííàÿ Áîëüöìàíà (k=1,38·10�23 Äæ/Ê);
àáñîëþòíàÿ òåìïåðàòóðà ñðåäû, â êîòîðîé íàõîäèòñÿ
ôîòîäèîä;
çàðÿä ýëåêòðîíà (q=1,60·10�19 Êë);
òîêîâàÿ ÷óâñòâèòåëüíîñòü è òåìíîâîé òîê ôîòîäèîäà;
1.
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2008, ¹ 2
36
ÑÅÍÑÎÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÀ
Åñëè ìîùíîñòü ïîòîêà îïòè÷åñêîãî èçëó÷åíèÿ Ôì
óñòàíàâëèâàåòñÿ òàêîé, ÷òî âûïîëíÿåòñÿ íåðàâåíñòâî
{SI}{Ôì}/{Is}>>1, òî ôóíêöèÿ ïðåîáðàçîâàíèÿ ôîòî-
äèîäà ìîæåò áûòü ïðåäñòàâëåíà â ñëåäóþùåì âèäå:
ìln .x I
Ô
s
kT S
U Ô
q I
=
Äëÿ èçìåðåíèÿ àáñîëþòíîé òåìïåðàòóðû Tx ñðå-
äû, â êîòîðîé íàõîäèòñÿ ïðèåìíèê èçëó÷åíèÿ 6, â
èçìåðèòåëü äàâëåíèÿ äîïîëíèòåëüíî ââåäåí ïîëó-
ïðîâîäíèêîâûé äàò÷èê òåìïåðàòóðû 7 (òåðìîäèîä).
Åãî ôóíêöèÿ ïðåîáðàçîâàíèÿ îïèñûâàåòñÿ èçâåñò-
íûì óðàâíåíèåì âåëè÷èí [6, ñ. 12]
ê
1
0
ln exp ,x T
T
x
kT I qU
U k
q I kT
= +
Ïðè óñëîâèè ÷òî {IT}exp[{q}{Uê}/({k}{Tx})]>>{I0}
ôóíêöèÿ ïðåîáðàçîâàíèÿ òåðìîäèîäà ìîæåò áûòü
îïèñàíà ñëåäóþùèì óðàâíåíèåì âåëè÷èí:
0
ê ln .x
T
T
kT I
U U
q I
= −
Ñóùíîñòü ðàáîòû öèôðîâîãî èçìåðèòåëÿ äàâëå-
íèÿ ñîñòîèò â ñëåäóþùåì. Ïîñëå âêëþ÷åíèÿ ïèòà-
íèÿ ïðîãðàììà ðàáîòû èçìåðèòåëÿ çàãðóæàåòñÿ èç
ÏÏÇÓ 14 ÷åðåç ìóëüòèïðîöåññîð 11 â ÎÇÓ 13.  ñî-
îòâåòñòâèè ñ äàííîé ïðîãðàììîé âñå ôóíêöèîíàëü-
íûå áëîêè èçìåðèòåëÿ äàâëåíèÿ óñòàíàâëèâàþòñÿ â
èñõîäíîå ïîëîæåíèå. Âõîäíûå ðåãèñòðû ÷èñåë ÆÊ-
äèñïëåÿ 12 è ïðåîáðàçîâàòåëÿ «êîä � òîê» 10 îáíó-
ëÿþòñÿ. Â ðåçóëüòàòå ÆÊ-äèñïëåé îòîáðàæàåò íóëè.
Èñòî÷íèê èçëó÷åíèÿ 5 âêëþ÷àåòñÿ ñðàçó æå ïîñ-
ëå âêëþ÷åíèÿ ïèòàíèÿ óñòðîéñòâà. Íà åãî âûõîäå
ôîðìèðóåòñÿ ïîòîê îïòè÷åñêîãî èçëó÷åíèÿ Ô0, êî-
òîðûé ââîäèòñÿ â òîðöû òðåõ âîëîêîííûõ ñâåòîâî-
äîâ è òàêèì îáðàçîì ðàçäåëÿåòñÿ íà òðè ðàâíûå ïî
ìîùíîñòè ïîòîêà îïòè÷åñêîãî èçëó÷åíèÿ Ô01, Ô02 è
Ô03 ({Ô01}={Ô02}={Ô03}). Äàííûå ïîòîêè ïî ÂÑ, ÷å-
ðåç ñâåòîâîäíûé ðàçâåòâèòåëü 3 è âîëîêîííî-îïòè-
÷åñêèé êàáåëü 2 ïîñòóïàþò íà âõîä ÂÎÄÄ 1.
Ìîùíîñòü ïîòîêà îïòè÷åñêîãî èçëó÷åíèÿ Ô01 ìî-
äóëèðóåòñÿ äàâëåíèåì p0, ðàâíûì äàâëåíèþ â ïåð-
âîé ïîëîñòè ÂÎÄÄ 1. Äëÿ ýòîãî ïîòîê îïòè÷åñêîãî
èçëó÷åíèÿ Ô01 (ñì. ðèñ. 1) ïî ñâåòîâîäó 12 íàïðàâ-
ëÿåòñÿ íà íåïîäâèæíóþ ÷àñòü êàðêàñà 3. Îòðàæàÿñü
îò íåå, ÷àñòü ïîòîêà îïòè÷åñêîãî èçëó÷åíèÿ âîçâðà-
ùàåòñÿ â ïîäâîäÿùå-îòâîäÿùèé ñâåòîâîä 12. Â ðå-
çóëüòàòå íà âûõîäå ïîñëåäíåãî îáðàçóåòñÿ ïåðâûé
ìîäóëèðîâàííûé ïî ìîùíîñòè ïîòîê îïòè÷åñêîãî èç-
ëó÷åíèÿ Ôì1:
ì1 01 ñ 0 2 ñÔ Ô ( tg ) / .NAr d k r= − Θ (1)
Ìîùíîñòü ïîòîêà îïòè÷åñêîãî èçëó÷åíèÿ Ô02 ìî-
äóëèðóåòñÿ íåèçâåñòíûì ïî çíà÷åíèþ äàâëåíèåì ðõ.
Ýòî îñóùåñòâëÿåòñÿ ïóòåì ïîäà÷è ïîòîêà îïòè÷åñ-
êîãî èçëó÷åíèÿ Ô02 ïî ñâåòîâîäó 11 (ñì. ðèñ. 1) íà
çåðêàëüíóþ ïîâåðõíîñòü ìåìáðàíû 5. ×àñòü îòðà-
æåííîãî îò íåå ïîòîêà îïòè÷åñêîãî èçëó÷åíèÿ âîç-
âðàùàåòñÿ â ñâåòîâîä 11. Â ðåçóëüòàòå íà âûõîäå ïîñ-
ëåäíåãî îáðàçóåòñÿ âòîðîé ìîäóëèðîâàííûé ïî ìîù-
íîñòè ïîòîê îïòè÷åñêîãî èçëó÷åíèÿ Ôì2:
ñ 0 äï 0
ì2 02
2 ñ
( ) tg
Ô Ô .
x NAr d S p p
k r
− − − Θ = (2)
ãäå UT �
IT �
I0 �
Uê �
ïàäåíèå íàïðÿæåíèÿ íà p�n-ïåðåõîäå;
òîê ÷åðåç p�n-ïåðåõîä;
òîê íàñûùåíèÿ ïðè Tx→∞;
êîíòàêòíàÿ ðàçíîñòü ïîòåíöèàëîâ íà ãðàíèöå ðàçäåëà
îáëàñòåé ñ ïðîâîäèìîñòÿìè n- è p-òèïà.
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
Ô
Ðèñ. 2. Ôóíêöèîíàëüíàÿ ñõåìà öèôðîâîãî èçìåðèòåëÿ äàâëåíèÿ:
1 � èíôîðìàòèâíî-èçáûòî÷íûé ÂÎÄÄ; 2 � âîëîêîííî-îïòè÷åñêèé êàáåëü; 3 � ñâåòîâîäíûé ðàçâåòâèòåëü; 4 � ñâåòîâîäíûé êîì-
ìóòàòîð; 5 � èñòî÷íèê îïòè÷åñêîãî èçëó÷åíèÿ; 6 � ïðèåìíèê èçëó÷åíèÿ; 7 � ïîëóïðîâîäíèêîâûé äàò÷èê òåìïåðàòóðû; 8, 9 �
ïðåîáðàçîâàòåëè «íàïðÿæåíèå � êîä»; 10 � ïðåîáðàçîâàòåëü «êîä � òîê»; 11 � ìóëüòèïðîöåññîð; 12 � æèäêîêðèñòàëëè÷åñêèé
äèñïëåé; 13 � îïåðàòèâíîå çàïîìèíàþùåå óñòðîéñòâî (ÎÇÓ); 14 � ïåðåïðîãðàììèðóåìîå ïîñòîÿííîå çàïîìèíàþùåå óñòðîéñòâî
(ÏÏÇÓ); SPI � ïîñëåäîâàòåëüíûé ïåðèôåðèéíûé èíòåðôåéñ; PPI0, PPI1 � ïàðàëëåëüíûå ïåðèôåðèéíûå èíòåðôåéñû; A � øèíà
àäðåñà; D � øèíà äàííûõ; EBI � èíòåðôåéñ âíåøíåé øèíû; PF � ïðîãðàììèðóåìûå ôëàãè
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2008, ¹ 2
37
ÑÅÍÑÎÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÀ
Îäíîâðåìåííî ñ ìîäóëÿöèåé ìîùíîñòåé ïîòîêîâ
îïòè÷åñêîãî èçëó÷åíèÿ Ô01 è Ô02 ìîäóëèðóåòñÿ ìîù-
íîñòü ïîòîêà îïòè÷åñêîãî èçëó÷åíèÿ Ô03 äàâëåíèåì
ðΣ, çíà÷åíèå êîòîðîãî ðàâíî ñóììå çíà÷åíèé äàâëå-
íèé ð0 è ðõ. Äëÿ ýòîãî ïîòîê îïòè÷åñêîãî èçëó÷åíèÿ
Ô03 ïî ñâåòîâîäó 10 (ñì. ðèñ. 1) íàïðàâëÿåòñÿ íà çåð-
êàëüíóþ ïîâåðõíîñòü ìåìáðàíû 6. Ïîñëå îòðàæåíèÿ
îò íåå ÷àñòü ïîòîêà îïòè÷åñêîãî èçëó÷åíèÿ âîçâðà-
ùàåòñÿ â ñâåòîâîä 10. Â ðåçóëüòàòå íà åãî âûõîäå îá-
ðàçóåòñÿ òðåòèé ìîäóëèðîâàííûé ïî ìîùíîñòè ïî-
òîê îïòè÷åñêîãî èçëó÷åíèÿ Ôì3:
ñ 0 äï
ì3 03
2 ñ
( )tg
Ô Ô .
x NAr d S p
k r
− − Θ
= (3)
Ïîëó÷åííûå íà âûõîäå ÂÎÄÄ 1 (ðèñ. 2) ïîòîêè
îïòè÷åñêîãî èçëó÷åíèÿ Ôì1 (1), Ôì2 (2) è Ôì3 (3) ÷å-
ðåç ñâåòîâîäíûé êîììóòàòîð 4, óïðàâëÿåìûé ìóëü-
òèïðîöåññîðîì 11, ïîî÷åðåäíî ïîäàþòñÿ íà âõîä ïðè-
åìíèêà èçëó÷åíèÿ 6.  ðåçóëüòàòå íà âûõîäå ïîñëå-
äíåãî â ñîîòâåòñòâóþùèå ìîìåíòû âðåìåíè ïîÿâëÿ-
þòñÿ ñëåäóþùèå íàïðÿæåíèÿ:
Ô1 ì1ln Ô ;x I
s
kT S
U
q I
=
(4)
Ô2 ì2ln Ô ;x I
s
kT S
U
q I
=
(5)
Ô3 ì3ln Ô .x I
s
kT S
U
q I
=
(6)
Íàïðÿæåíèÿ UÔ1 (4), UÔ2 (5) è UÔ3 (6) ïîî÷åðåä-
íî ïîäàþòñÿ íà âõîä ïðåîáðàçîâàòåëÿ «íàïðÿæåíèå
� êîä» (ÏÍÊ) 8 è ñ åãî ïîìîùüþ ïðåîáðàçóþòñÿ â
êîäû ÷èñåë
1 ÏÍÊ Ô1{ }{ };N S U= (7)
2 ÏÍÊ Ô2{ }{ };N S U= (8)
3 ÏÍÊ Ô3{ }{ },N S U= (9)
ãäå {SÏÍÊ} � çíà÷åíèå êîýôôèöèåíòà ïðåîáðàçîâà-
íèÿ ÏÍÊ 8.
Ïî êîìàíäå ñ ìóëüòèïðîöåññîðà 11 êîäû ÷èñåë
N1 (7), N2 (8) è N3 (9) ïî øèíå äàííûõ ïîñòóïàþò â
ÎÇÓ 13 è çàïîìèíàþòñÿ â íåì.
Äàëåå â ñîîòâåòñòâèè ñ ïðîãðàììîé, çàãðóæåííîé
â ÎÇÓ 13, ïî êîìàíäå ñ ìóëüòèïðîöåññîðà 11 âî âõîä-
íîé ðåãèñòð ÷èñëà ïðåîáðàçîâàòåëÿ «êîä � òîê»
(ÏÊÒ) 10 ïîäàåòñÿ êîä ÷èñëà NI1.  ðåçóëüòàòå ÷åðåç
p�n-ïåðåõîä òåðìîäèîäà 7 ïîòå÷åò òîê IT1. Çíà÷åíèå
ýòîãî òîêà âûáèðàåòñÿ íà íà÷àëüíîì ó÷àñòêå âîëüò-
àìïåðíîé õàðàêòåðèñòèêè òåðìîäèîäà, ÷òî ïîçâîëÿ-
åò èñêëþ÷èòü äîïîëíèòåëüíûé íàãðåâ p�n-ïåðåõîäà
îòíîñèòåëüíî òåìïåðàòóðû îêðóæàþùåé ñðåäû Tx.
Òåðìî÷óâñòâèòåëüíîå ñîïðîòèâëåíèå p�n-ïåðåõî-
äà ïðåîáðàçóåòñÿ â íàïðÿæåíèå
0
1 ê
1
ln ,x
T
T
kT I
U U
q I
= −
êîòîðîå ñ ïîìîùüþ ÏÍÊ 9 ïðåîáðàçóåòñÿ â êîä ÷èñëà
4 ÏÍÊ 1{ }{ }.TN S U= (10)
Ïî êîìàíäå ñ ìóëüòèïðîöåññîðà 11 êîä ÷èñëà N4
(10) ïî øèíå äàííûõ ïåðåäàåòñÿ â ÎÇÓ 13, ãäå è çà-
ïîìèíàåòñÿ.
Çàòåì â ñîîòâåòñòâèè ñ ïðîãðàììîé, çàãðóæåí-
íîé â ÎÇÓ 13, ïî êîìàíäå ñ ìóëüòèïðîöåññîðà 11
âî âõîäíîé ðåãèñòð ÷èñëà ÏÊÒ 10 ïîäàåòñÿ êîä ÷èñ-
ëà NI2.  ðåçóëüòàòå ÷åðåç p�n-ïåðåõîä òåðìîäèîäà
7 ïîòå÷åò òîê IT2. Åãî çíà÷åíèå óñòàíàâëèâàåòñÿ íà
5�10% áîëüøå, ÷åì çíà÷åíèå òîêà IT1, ò. å.
{IT2}=(0,05�0,1){IT1}, ÷òî ïðàêòè÷åñêè íå èçìåíÿåò
òåïëîâîãî ñîñòîÿíèÿ p�n-ïåðåõîäà.
Òåðìî÷óâñòâèòåëüíîå ñîïðîòèâëåíèå p�n-ïåðåõî-
äà ïðåîáðàçóåòñÿ â íàïðÿæåíèå
0
2 ê
2
ln ,x
T
T
kT I
U U
q I
= −
êîòîðîå çàòåì ñ ïîìîùüþ ÏÍÊ 9 ïðåîáðàçóåòñÿ â
êîä ÷èñëà
5 ÏÍÊ 2{ }{ }.TN S U= (11)
Ïî êîìàíäå ñ ìóëüòèïðîöåññîðà 11 êîä ÷èñëà N5
(11) ÷åðåç øèíó äàííûõ ïîñòóïàåò â ÎÇÓ 13 è çàïî-
ìèíàåòñÿ â íåì.
Äàëåå ïîëó÷åííûå ðåçóëüòàòû ïðîìåæóòî÷íûõ
èçìåðåíèé (7)�(11) îáðàáàòûâàþòñÿ â ìóëüòèïðî-
öåññîðå 11 â ñîîòâåòñòâèè ñî ñëåäóþùèì óðàâíåíè-
åì ÷èñëîâûõ çíà÷åíèé:
3 2 1 2
5 4 5 4
3 2
5 4
2 2
1 1
0
2
1
{ } { }
{ } { }
{ } .
{ }
1
{ }
N N N N
N N N N
T T
T T
px N N
N N
T
T
I I
I I
N p
I
I
− −
− −
−
−
−
=
−
(12)
Ïîëó÷åííûé ðåçóëüòàò èçìåðåíèÿ äàâëåíèÿ îòî-
áðàæàåòñÿ íà ÆÊ-äèñïëåå 12.
Àíàëèç óðàâíåíèÿ ÷èñëîâûõ çíà÷åíèé (12) ïîêà-
çàë, ÷òî îáðàáîòêà ðåçóëüòàòîâ ïðîìåæóòî÷íûõ èç-
ìåðåíèé (7)�(11) óêàçàííûì îáðàçîì èñêëþ÷àåò
âëèÿíèå íà ðåçóëüòàò èçìåðåíèÿ äàâëåíèÿ ñëåäóþ-
ùèõ ñîñòàâëÿþùèõ ñèñòåìàòè÷åñêîé ïîãðåøíîñòè:
� ïîãðåøíîñòè îò íåëèíåéíîñòè ôóíêöèè ïðå-
îáðàçîâàíèÿ ÂÎÄÄ;
� ïîãðåøíîñòè îò íåëèíåéíîñòè ôóíêöèè ïðå-
îáðàçîâàíèÿ ïðèåìíèêà îïòè÷åñêîãî èçëó÷åíèÿ;
� ïîãðåøíîñòè îò èçìåíåíèé ãåîìåòðè÷åñêèõ
ïàðàìåòðîâ êîíñòðóêòèâíûõ ýëåìåíòîâ ÂÎÄÄ (ðà-
äèóñà è òîëùèíû ìåìáðàí, òîëùèíû ïðîêëàäêè),
îáóñëîâëåííûõ èçìåíåíèåì ïàðàìåòðîâ îêðóæàþ-
ùåé ñðåäû è âîçäåéñòâèåì ìåõàíè÷åñêèõ ôàêòîðîâ;
� ïîãðåøíîñòè îò èçìåíåíèÿ ôèçè÷åñêèõ ïàðà-
ìåòðîâ ÷óâñòâèòåëüíûõ ýëåìåíòîâ ÂÎÄÄ (â ÷àñòíî-
ñòè, îò òåìïåðàòóðíîé íåñòàáèëüíîñòè ìîäóëÿ Þíãà
ìàòåðèàëà ìåìáðàí);
� ïîãðåøíîñòè îò íåñòàáèëüíîñòè àìïåð-âàò-
òíîé õàðàêòåðèñòèêè èñòî÷íèêà îïòè÷åñêîãî èçëó-
÷åíèÿ;
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2008, ¹ 2
38
ÑÅÍÑÎÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÀ
� ïîãðåøíîñòè îò íåñòàáèëüíîñòè âàòò-âîëüòíîé
õàðàêòåðèñòèêè ïðèåìíèêà îïòè÷åñêîãî èçëó÷åíèÿ;
� ïîãðåøíîñòè îò èçìåíåíèÿ ñâåòîïðîïóñêàíèÿ
âîëîêîííî-îïòè÷åñêîãî êàáåëÿ ïðè åãî ñëó÷àéíûõ èç-
ãèáàõ.
Ñëåäóåò îòìåòèòü, ÷òî èñêëþ÷åíèå ñîñòàâëÿþùèõ
ñèñòåìàòè÷åñêîé ïîãðåøíîñòè èçìåðåíèÿ äàâëåíèÿ,
îáóñëîâëåííûõ âîçäåéñòâèåì òåìïåðàòóðû íà ïðè-
åìíèê èçëó÷åíèÿ, äîñòèãàåòñÿ áëàãîäàðÿ ðåàëèçàöèè
ìåòîäà èçáûòî÷íûõ èçìåðåíèé òåìïåðàòóðû. Îòìå-
òèì, ÷òî íà ðåçóëüòàò èçìåðåíèÿ òåìïåðàòóðû è, ñëå-
äîâàòåëüíî, íà ðåçóëüòàò èçìåðåíèÿ äàâëåíèÿ íå âëè-
ÿþò ïîãðåøíîñòü îò íåëèíåéíîñòè ôóíêöèè ïðåîá-
ðàçîâàíèÿ òåðìîäèîäà è ïîãðåøíîñòü îò íåñòàáèëü-
íîñòè åãî âîëüò-àìïåðíîé õàðàêòåðèñòèêè.
Âûâîäû
Ðåøåíà çàäà÷à àâòîìàòè÷åñêîé êîððåêöèè öåëî-
ãî ðÿäà ñîñòàâëÿþùèõ ñèñòåìàòè÷åñêîé ïîãðåøíî-
ñòè èçìåðåíèÿ äàâëåíèÿ, â òîì ÷èñëå ñîñòàâëÿþùèõ,
îáóñëîâëåííûõ èçìåíåíèåì ãåîìåòðè÷åñêèõ è ôè-
çè÷åñêèõ ïàðàìåòðîâ ÷óâñòâèòåëüíîãî ýëåìåíòà âî-
ëîêîííî-îïòè÷åñêîãî äàò÷èêà äàâëåíèÿ.
Óñòàíîâëåíî, ÷òî äëÿ ïîëó÷åíèÿ òî÷íîãî çíà÷å-
íèÿ äàâëåíèÿ òðåáóåòñÿ âûïîëíèòü âûñîêîòî÷íîå
èçìåðåíèå òåìïåðàòóðû îêðóæàþùåé ñðåäû, â êîòî-
ðîé íàõîäèòñÿ ïðèåìíèê îïòè÷åñêîãî èçëó÷åíèÿ. Äëÿ
ýòîãî â öèôðîâîé èçìåðèòåëü äàâëåíèÿ äîïîëíèòåëü-
íî ââåäåí êàíàë èçìåðåíèÿ òåìïåðàòóðû (èçìåðåíèå
âûïîëíÿåòñÿ â ñîîòâåòñòâèè ñ ìåòîäîì èçáûòî÷íûõ
èçìåðåíèé òåìïåðàòóðû) è ââåäåíà òåìïåðàòóðíàÿ
ïîïðàâêà â óðàâíåíèå èçáûòî÷íûõ èçìåðåíèé äàâ-
ëåíèÿ.
Îñîáåííîñòüþ öèôðîâîãî èçìåðèòåëÿ äàâëåíèÿ,
ðåàëèçóþùåãî ìåòîä èçáûòî÷íûõ èçìåðåíèé, ÿâëÿ-
åòñÿ èñïîëüçîâàíèå èíôîðìàòèâíî-èçáûòî÷íîãî äàò-
÷èêà äàâëåíèÿ ñ òðåìÿ îïòè÷åñêèìè êàíàëàìè, âû-
ïîëíåííûìè â âèäå ïîäâîäÿùå-îòâîäÿùèõ âîëîêîí-
íûõ ñâåòîâîäîâ. Òàêîé âîëîêîííî-îïòè÷åñêèé äàò-
÷èê äàâëåíèÿ îáåñïå÷èâàåò ïîëó÷åíèå èíôîðìàòèâ-
íîé èçáûòî÷íîñòè � äîïîëíèòåëüíîé èíôîðìàöèè
î ïàðàìåòðàõ êàê ñàìîãî äàò÷èêà, òàê è äðóãèõ ýëå-
ìåíòîâ êàíàëà èçìåðåíèÿ äàâëåíèÿ.
 öåëîì âñå ýòî ïîçâîëÿåò ïîëó÷èòü ðåçóëüòàò
èçìåðåíèÿ äàâëåíèÿ ñ ïîãðåøíîñòüþ íå õóæå 0,1%
â äèàïàçîíå èçìåðÿåìûõ äàâëåíèé 0�10,0 ÌÏà.
ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ
1. Êîíäðàòîâ Â. Ò. Òåîðèÿ èçáûòî÷íûõ èçìåðåíèé // Âèì³ðþ-
âàëüíà òà îá÷èñëþâàëüíà òåõí³êà â òåõíîëîã³÷íèõ ïðîöåñàõ.�
2005.� ¹ 1.� Ñ. 7�24.
2. Êîíäðàòîâ Â. Ò., Ðåäüêî Â. Â. Öèôðîâèé âèì³ðþâà÷ àáñî-
ëþòíîãî òèñêó ç³ ñòðóêòóðíî-íàäëèøêîâèì âîëîêîííî-îïòè÷íèì
ñåíñîðîì // Òàì æå.� Ñ. 25�33.
3. Êîíäðàòîâ Â. Ò., Ðåäüêî Â. Â. Èíôîðìàòèâíî-èçáûòî÷íûé
âîëîêîííî-îïòè÷åñêèé ñåíñîð äàâëåíèÿ // Òð. IX Ìåæäóíàð. íàó÷.-
òåõí. êîíô. «Ôóíäàìåíòàëüíûå è ïðèêëàäíûå ïðîáëåìû ïðèáî-
ðîñòðîåíèÿ, èíôîðìàòèêè è ýêîíîìèêè». Êí. «Ïðèáîðîñòðîå-
íèå».� Ñî÷è.� 2006.� Ñ. 91�104.
4. Êîíäðàòîâ Â. Ò., Ðåäüêî Â. Â. Öèôðîâîé èçìåðèòåëü äàâëå-
íèÿ íà áàçå èíôîðìàòèâíî-èçáûòî÷íîãî âîëîêîííî-îïòè÷åñêîãî
äàò÷èêà // Òð. Ìåæäóíàð. íàó÷.-òåõí. êîíô. «Ïðîáëåìû àâòîìà-
òèçàöèè è óïðàâëåíèÿ â òåõíè÷åñêèõ ñèñòåìàõ».� Ïåíçà.�
2007.� Ñ. 90�96.
5. Áàäååâà Å. À., Ãîðèø À. Â., Êîòîâ À. Í. è äð. Òåîðåòè÷å-
ñêèå îñíîâû ïðîåêòèðîâàíèÿ àìïëèòóäíûõ âîëîêîííî-îïòè÷å-
ñêèõ äàò÷èêîâ äàâëåíèÿ ñ îòêðûòûì îïòè÷åñêèì êàíàëîì.� Ì.:
ÌÃÓË, 2004.
6. Àáèäîâ Ì. À. Ñòàòè÷åñêèå õàðàêòåðèñòèêè äèîäíûõ ñòðóê-
òóð.� Ì.: Ðàäèî è ñâÿçü, 1989.
ÂÛÑÒÀÂÊÈ. ÊÎÍÔÅÐÅÍÖÈÈ
Íàó÷íûå íàïðàâëåíèÿ êîíôåðåíöèè:
³ Ôèçè÷åñêèå, õèìè÷åñêèå è äðóãèå ÿâëåíèÿ, íà îñíîâå êî-
òîðûõ ìîãóò áûòü ñîçäàíû ñåíñîðû.
³ Ïðîåêòèðîâàíèå è ìàòåìàòè÷åñêîå ìîäåëèðîâàíèå ñåí-
ñîðîâ.
³ Ñåíñîðû ôèçè÷åñêèõ âåëè÷èí.
³ Õèìè÷åñêèå ñåíñîðû.
³ Áèîñåíñîðû.
³ Ðàäèàöèîííûå, îïòè÷åñêèå è îïòîýëåêòðîííûå ñåíñîðû.
³ Àêóñòîýëåêòðîííûå ñåíñîðû.
³ Íàíîñåíñîðû (ôèçèêà, ìàòåðèàëû, òåõíîëîãèÿ).
³ Ñåíñîðû è èíôîðìàöèîííûå ñèñòåìû.
³ Ìàòåðèàëû äëÿ ñåíñîðîâ.
³ Òåõíîëîãè÷åñêèå ïðîáëåìû ñåíñîðèêè.
³ Ìèêðîñèñòåìíûå òåõíîëîãèè (MST).
³ Äåãðàäàöèÿ, ìåòðîëîãèÿ è àòòåñòàöèÿ ñåíñîðîâ.
3-ÿ Ìåæäóíàðîäíàÿ íàó÷íî-òåõíè÷åñêàÿ êîíôåðåíöèÿ
«ÑÅÍÑÎÐÍÀß ÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÀ
È ÌÈÊÐÎÑÈÑÒÅÌÍÛÅ ÒÅÕÍÎËÎÃÈÈ»
(ñ âûñòàâêîé ðàçðàáîòîê
è ïðîìûøëåííûõ îáðàçöîâ ñåíñîðîâ)
Óêðàèíà, Îäåññà, 2�7 èþíÿ 2008 ã.
Ìåñòî ïðîâåäåíèÿ:
Îäåññêèé íàöèîíàëüíûé óíèâåðñèòåò
èìåíè È. È. Ìå÷íèêîâà.
ã. Îäåññà, óë. Äâîðÿíñêàÿ, 2
Ðåêâèçèòû äëÿ ñâÿçè:
Òåë./Ôàêñ: 38 (048)-723-34-61,
Òåë.: 38 (048)-726-63-56
E-mail: semst-3@onu.edu.ua,
ndl_lepikh@onu.edu.ua
Ëåïèõ ßðîñëàâ Èëüè÷
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52407 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T17:58:42Z |
| publishDate | 2008 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Кондратов, В.Т. Редько, В.В. 2013-12-31T18:11:32Z 2013-12-31T18:11:32Z 2008 Оптико-электронный метод избыточных измерений давления: особенности реализации / В.Т. Кондратов, В.В. Редько // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 2. — С. 34-38. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52407 Предложена конструкция информативно-избыточного волоконно-оптического датчика давления, который обеспечивает автоматическую коррекцию составляющих систематической погрешности результата измерений. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Сенсоэлектроника Оптико-электронный метод избыточных измерений давления: особенности реализации Оптико-електронний метод надлишкових вимірювань тиску: особливості реалізації Optic-electronic method of redundant measurements of pressure: features of realization Article published earlier |
| spellingShingle | Оптико-электронный метод избыточных измерений давления: особенности реализации Кондратов, В.Т. Редько, В.В. Сенсоэлектроника |
| title | Оптико-электронный метод избыточных измерений давления: особенности реализации |
| title_alt | Оптико-електронний метод надлишкових вимірювань тиску: особливості реалізації Optic-electronic method of redundant measurements of pressure: features of realization |
| title_full | Оптико-электронный метод избыточных измерений давления: особенности реализации |
| title_fullStr | Оптико-электронный метод избыточных измерений давления: особенности реализации |
| title_full_unstemmed | Оптико-электронный метод избыточных измерений давления: особенности реализации |
| title_short | Оптико-электронный метод избыточных измерений давления: особенности реализации |
| title_sort | оптико-электронный метод избыточных измерений давления: особенности реализации |
| topic | Сенсоэлектроника |
| topic_facet | Сенсоэлектроника |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52407 |
| work_keys_str_mv | AT kondratovvt optikoélektronnyimetodizbytočnyhizmereniidavleniâosobennostirealizacii AT redʹkovv optikoélektronnyimetodizbytočnyhizmereniidavleniâosobennostirealizacii AT kondratovvt optikoelektronniimetodnadliškovihvimírûvanʹtiskuosoblivostírealízacíí AT redʹkovv optikoelektronniimetodnadliškovihvimírûvanʹtiskuosoblivostírealízacíí AT kondratovvt opticelectronicmethodofredundantmeasurementsofpressurefeaturesofrealization AT redʹkovv opticelectronicmethodofredundantmeasurementsofpressurefeaturesofrealization |