Влияние легирующих добавок на теплостойкость и теплопередачу никелевых покрытий корпусов ИС
Проведен комплекс исследований для выбора оптимальной легирующей добавки к никелевому гальваническому сплаву для повышения теплостойкости, теплопередачи, свариваемости корпусов интегральных схем....
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2008 |
| Main Authors: | , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2008
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52412 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Влияние легирующих добавок на теплостойкость и теплопередачу никелевых покрытий корпусов ИС / С.П. Новосядлый, Р.М. Иванюк // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 2. — С. 56-59. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1860146322078695424 |
|---|---|
| author | Новосядлый, С.П. Иванюк, Р.М. |
| author_facet | Новосядлый, С.П. Иванюк, Р.М. |
| citation_txt | Влияние легирующих добавок на теплостойкость и теплопередачу никелевых покрытий корпусов ИС / С.П. Новосядлый, Р.М. Иванюк // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 2. — С. 56-59. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Проведен комплекс исследований для выбора оптимальной легирующей добавки к никелевому гальваническому сплаву для повышения теплостойкости, теплопередачи, свариваемости корпусов интегральных схем.
|
| first_indexed | 2025-12-07T17:49:59Z |
| format | Article |
| fulltext |
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2008, ¹ 2
56
ÒÅÕÍÎËÎÃÈ×ÅÑÊÈÅ ÏÐÎÖÅÑÑÛ È ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈÅ
Ïðîâåäåí êîìïëåêñ èññëåäîâàíèé äëÿ âû-
áîðà îïòèìàëüíîé ëåãèðóþùåé äîáàâêè ê
íèêåëåâîìó ãàëüâàíè÷åñêîìó ñïëàâó äëÿ ïî-
âûøåíèÿ òåïëîñòîéêîñòè, òåïëîïåðåäà-
÷è, ñâàðèâàåìîñòè êîðïóñîâ èíòåãðàëü-
íûõ ñõåì.
Íèêåëåâûå ïëåíêè â ïîñëåäíåå âðåìÿ øèðîêî
ïðèìåíÿþòñÿ â êà÷åñòâå òåõíîëîãè÷åñêîãî ïîêðûòèÿ
êîðïóñîâ èíòåãðàëüíûõ ñõåì. Ñ îäíîé ñòîðîíû, ýòî
ñâÿçàíî ñ äåôèöèòíîñòüþ äðàãîöåííûõ ìåòàëëîâ, êî-
òîðûå èñïîëüçîâàëèñü äëÿ ïîëíîãî èëè ëîêàëüíîãî
ïîêðûòèÿ êîðïóñîâ. Ñ äðóãîé ñòîðîíû, ïðîâîäèòñÿ
ïîèñê ïóòåé ïîâûøåíèÿ òåïëîñòîéêîñòè è òåïëîïðî-
âîäíîñòè òàêèõ êîðïóñîâ â óñëîâèÿõ èõ àâòîìàòè-
÷åñêîãî ìîíòàæà è ñâàðêè âíóòðåííèõ ïðîâîäíèêîâ
ÈÑ. Îäíàêî ñóùåñòâåííûì íåäîñòàòêîì ïëåíîê èç
÷èñòîãî íèêåëÿ ÿâëÿåòñÿ íå òîëüêî íèçêàÿ èõ òåïëî-
ñòîéêîñòü, íî è íåñòàáèëüíîñòü êîíòàêòíîãî ñîïðî-
òèâëåíèÿ ïðè óëüòðàçâóêîâîé ñâàðêå àëþìèíèåâûõ
ïðîâîäíèêîâ ñ êîíòàêòíûìè ïëîùàäêàìè êîðïóñîâ,
ñíèæåíèå òåïëîïåðåäà÷è â òàêèõ êîðïóñàõ. Ýòî ñâÿ-
çàíî ñ òåì, ÷òî óæå ïðè òåìïåðàòóðå 250�300°Ñ â
âîçäóøíîé ñðåäå íàáëþäàåòñÿ èíòåíñèâíûé ðîñò
ïëåíêè îêèñè íèêåëÿ, ÷òî íå ïîçâîëÿåò èñïîëüçîâàòü
òàêèå êîðïóñà äëÿ àâòîìàòè÷åñêîãî ìîíòàæà è óëüò-
ðàçâóêîâîé ñâàðêè âíóòðåííèõ âûâîäîâ [1, 2].
Äëÿ ïîâûøåíèÿ òåìïåðàòóðíîé ñòîéêîñòè íèêå-
ëåâûõ ïîêðûòèé ðåêîìåíäóåòñÿ ëåãèðîâàòü íèêåëü
òóãîïëàâêèìè ìåòàëëàìè, íàïðèìåð Co, W, Mo, Re.
Ñ ïîìîùüþ ñîâðåìåííûõ ñðåäñòâ ìèêðîàíàëèçà óñ-
òàíîâëåíû çàêîíîìåðíîñòè èçìåíåíèÿ çåðíèñòîñòè,
ìèêðîòâåðäîñòè, òåïëîïðîâîäíîñòè, ïîðèñòîñòè è
ñòðóêòóðû ïîêðûòèé Ni�Â, Ni�Ð, Ni�Re, âûÿâëåíû
îñíîâíûå ôèçèêî-õèìè÷åñêèå ïðîöåññû, ïðîòåêàþ-
ùèå â èõ ñòðóêòóðå.
Îäíàêî ñóùåñòâóþùèå ýëåêòðîëèòû äëÿ ãàëüâà-
íè÷åñêîãî íàíåñåíèÿ òàêèõ ïîêðûòèé èìåþò î÷åíü
ñëîæíóþ ðåöåïòóðó è òåõíîëîãèþ íàíåñåíèÿ, à ïî-
ëó÷åííûå ïëåíêè õàðàêòåðèçèðóþòñÿ âûñîêèìè
âíóòðåííèìè íàïðÿæåíèÿìè è ìèêðîòâåðäîñòüþ,
õðóïêîñòüþ, íèçêîé òåìïåðàòóðîé òåïëîïåðåäà÷è,
÷òî ñóùåñòâåííî ïîâûøàåò èõ òåïëîâîå ñîïðîòèâ-
ëåíèå [2, 3].
Äëÿ óâåëè÷åíèÿ ðàçðûâíûõ óñèëèé óëüòðàçâóêî-
âûõ ñîåäèíåíèé íà êîíòàêòíûõ ïëîùàäêàõ êðèñòàë-
ëîâ è ïîâûøåíèÿ êîððîçèîííîé ñòîéêîñòè òàêèõ
ñîåäèíåíèé øèðîêî èñïîëüçóþòñÿ àëþìèíèåâûå
ñïëàâû, ëåãèðîâàííûå ðåäêîçåìåëüíèìè ìåòàëëàìè
[4]. Ïîýòîìó â ìèêðîýëåêòðîíèêå äëÿ ñâàðêè íà÷àëè
èñïîëüçîâàòü ìèêðîïðîâîä èç àëþìèíèÿ, ëåãèðîâàí-
íîãî êðåìíèåì (ÀÊ09 ÏÌ-35). Ýòî òàêæå òðåáóåò äî-
ïîëíèòåëüíûõ èññëåäîâàíèé âëèÿíèÿ ëåãèðóþùèõ
äîáàâîê íà ðàçðûâíûå óñèëèÿ óëüòðàçâóêîâûõ ñîåäè-
íåíèé àëþìèíèåâîãî ìèêðîïðîâîäà ñ ÈÑ.
Ëåãèðîâàíèå íèêåëÿ áîðîì òàêæå âëèÿåò íà òåì-
ïåðàòóðíóþ ñòàáèëüíîñòü ñïëàâà, à ìèêðîòâåðäîñòü,
õðóïêîñòü è òåïëîïåðåäà÷ó ìîæíî èçìåíèòü òåõíî-
ëîãè÷åñêè ïóòåì òåìïåðàòóðíîãî îòæèãà [4]. Èçó÷å-
íèþ ñâîéñòâ ãàëüâàíè÷åñêîãî íèêåëåâîãî ñïëàâà ñ
ðàçíûìè ëåãèðóþùèìè êîìïîíåíòàìè ïîñâÿùåíû
ìíîãèå èññëåäîâàíèÿ, îäíàêî äîñòèæåíèå âûñîêîé
âîñïðîèçâîäèìîñòè è ÷èñòîòû ãàëüâàíè÷åñêîãî ïî-
êðûòèÿ îñòàåòñÿ ïðîáëåìàòè÷íûì. Òàêèì îáðàçîì,
íåò ïîëíîé ÿñíîñòè â âîïðîñàõ èñïîëüçîâàíèÿ ëåãè-
ðîâàííîãî íèêåëÿ äëÿ ïîêðûòèÿ êîðïóñîâ ÈÑ â òåõ-
íîëîãèè àâòîìàòèçèðîâàííîãî ìîíòàæà.
Öåëü äàííîé ðàáîòû � ïðîâåñòè êîìïëåêñ èññëå-
äîâàíèé äëÿ âûáîðà îïòèìàëüíîé ëåãèðóþùåé äî-
áàâêè ê íèêåëåâîìó ãàëüâàíè÷åñêîìó ñïëàâó äëÿ ïî-
âûøåíèÿ òåïëîñòîéêîñòè, òåïëîïåðåäà÷è, ñâàðèâàå-
ìîñòè êîðïóñîâ èíòåãðàëüíûõ ñõåì.
7. Ëàíèí Â. Ë., ×åðíûøåâè÷ È. Í. Óïðàâëåíèå àìïëèòóäîé
êîëåáàíèé ìàãíèòîñòðèêöèîííûõ ïðåîáðàçîâàòåëåé // Ïðèáîðû
è ñèñòåìû óïðàâëåíèÿ.� 1996.� ¹ 10.� Ñ. 37�38.
8. Ëàíèí Â. Ë., ×åðíûøåâè÷ È. Í., Áîíäàðèê Â. Ì. Êîíòðîëü
àìïëèòóäû âèáðàöèé â óëüòðàçâóêîâîì òåõíîëîãè÷åñêîì îñíàùå-
íèè // Òàì æå.� 1998.� ¹ 10.� Ñ. 61�63.
9. Ëàíèí Â. Ë., Õìûëü À. À. Âèáðîìåòð // Ïðèáîðû è òåõíè-
êà óïðàâëåíèÿ.� 1993.� ¹ 4.� Ñ. 244�245.
10. Ëàíèí Â. Ë. Áåñôëþñîâàÿ óëüòðàçâóêîâàÿ ïàéêà â ýëåêò-
ðîíèêå // Òåõíîëîãèè â ýëåêòðîííîé ïðîìûøëåííîñòè.� 2007.�
¹ 4.� Ñ. 23�27.
11. Lystrup F. Measurement of the ultrasonics effect in an ultra-
sonic solder bath // Welding J.� 1976.� Vol. 55, N 10.� P. 309�313.
12. Lanin V. L. Ultrasonic soldering in electronics // Ultrasonics
Sonochemistry.� 2001.� N 8.� P. 379�385.
13. Êóíäàñ Ñ. Ï., Ëàíèí Â. Ë., Äîñòàíêî À. Ï., Òÿâëîâñêèé Ì. Ä.
Óëüòðàçâóêîâûå ïðîöåññû â ïðîèçâîäñòâå èçäåëèé ýëåêòðîííîé
òåõíèêè. Ò. 2. / Ïîä îáù. ðåä. À. Ï. Äîñòàíêî.� Ìèíñê: Áåñòï-
ðèíò, 2003.� Ñ. 126�146.
14. Òîìàëü Â. Ñ., Ëàíèí Â. Ë. Óëüòðàçâóêîâàÿ î÷èñòêà ìèêðî-
ðåëüåôíûõ ïîâåðõíîñòåé îïòîýëåêòðîííûõ èçäåëèé // Ôîòîíèêà.
(Ïðèëîæ. ê æ-ëó «Ýëåêòðîíèêà: Íàóêà, Òåõíîëîãèÿ, Áèçíåñ».)�
2007.� ¹ 4.� Ñ. 35�40.
Äàòà ïîñòóïëåíèÿ â ðåäàêöèþ
07.12 2007 ã.
Îïïîíåíò À. Ô. ÊÅÐÅÍÖÅÂ
(Çàâîä «Òðàíçèñòîð», ã. Ìèíñê)
Ä. ò. í. Ñ. Ï. ÍÎÂÎÑßÄËÛÉ, Ð. Ì. ÈÂÀÍÞÊ
Óêðàèíà, ã. Èâàíî-Ôðàíêîâñê, Ïðèêàðïàòñêèé íàöèîíàëüíûé
óíèâåðñèòåò èì. Âàñèëèÿ Ñòåôàíèêà
E-mail: stepanivanyuk@rambler.ru
ÂËÈßÍÈÅ ËÅÃÈÐÓÞÙÈÕ ÄÎÁÀÂÎÊ
ÍÀ ÒÅÏËÎÑÒÎÉÊÎÑÒÜ È ÒÅÏËÎÏÅÐÅÄÀ×Ó
ÍÈÊÅËÅÂÛÕ ÏÎÊÐÛÒÈÉ ÊÎÐÏÓÑÎÂ ÈÑ
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2008, ¹ 2
57
ÒÅÕÍÎËÎÃÈ×ÅÑÊÈÅ ÏÐÎÖÅÑÑÛ È ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈÅ
Èññëåäîâàëîñü ãàëüâàíè÷åñêîå ïîêðûòèå Ni�Â,
ò. ê. îíî èìååò ìåíüøèå âíóòðåííèå íàïðÿæåíèÿ,
áîëåå âûñîêóþ êîððîçèîííóþ ñòîéêîñòü è ìèêðî-
òâåðäîñòü, ÷åì ïîêðûòèå, ïîëó÷åííîå õèìè÷åñêèì
ñïîñîáîì.
Ïðè èçãîòîâëåíèè ìåòàëëîñòåêëÿííûõ è ìåòàë-
ëîêåðàìè÷åñêèõ êîðïóñîâ èíòåãðàëüíûõ ñõåì íà îñ-
íîâó êîðïóñà íàíîñèòñÿ ãàëüâàíè÷åñêîå ïîêðûòèå,
÷òî îáåñïå÷èâàåò çàùèòó êîðïóñà îò êîððîçèè. Äëÿ
ýòîãî îáû÷íî èñïîëüçóåòñÿ êîìáèíèðîâàííîå ãàëü-
âàíè÷åñêîå ïîêðûòèå íèêåëåì (6�9 ìêì) è çîëîòîì
(3�4 ìêì). Ïðè ëîêàëüíîì çîëî÷åíèè èëè ïîñàäêå
êðèñòàëëîâ ÈÑ íà êëåé ñ ïîñëåäóþùåé óëüòðàçâó-
êîâîé ñâàðêîé èìåííî ïîêðûòèå Ni�B â ðîëè ôèíèø-
íîãî ïîêðûòèÿ ïðåäñòàâëÿåò áîëüøîé èíòåðåñ áëà-
ãîäàðÿ ïîâûøåííîé ñòîéêîñòè ê îêèñëåíèþ [5]. Äëÿ
êîðïóñîâ ñ íåáîëüøèì ÷èñëîì âûâîäîâ (<24) îïòè-
ìàëåí ãàëüâàíè÷åñêèé ñïîñîá íàíåñåíèÿ ïîêðûòèÿ,
ò. ê. â ýòîì ñëó÷àå ìîæíî èñïîëüçîâàòü áàðàáàííóþ
òåõíîëîãèþ, ÷òî îáåñïå÷èâàåò è êà÷åñòâî, è ýêîíî-
ìè÷åñêóþ ýôôåêòèâíîñòü. Èññëåäîâàëîñü ïîâûøå-
íèå òåïëîñòîéêîñòè êîðïóñîâ, ñíèæåíèå òåïëîâîãî
ñîïðîòèâëåíèÿ, ïîâûøåíèå ðàçðûâíûõ óñèëèé óëü-
òðàçâóêîâûõ ñîåäèíåíèé è êà÷åñòâà ãåðìåòèçàöèè
ìèêðîñõåì íà êîðïóñàõ òèïà 301.12.1, 041.14.3,
201.14.1.
Ïðîöåññ òåðìè÷åñêîãî îêèñëåíèÿ Ni ñ ïðèìåñÿìè
áîðà äîëæåí ïðîòåêàòü ìåäëåííåå, ÷åì ïðîöåññ òåð-
ìè÷åñêîãî îêèñëåíèÿ ÷èñòîãî Ni. Ïðè îêèñëåíèè áîðà
âûäåëÿåòñÿ 302, à ïðè îêèñëåíèè Ni � 58 êêàë/ìîëü
[5]. Ìîæíî ñ÷èòàòü, ÷òî íå áóäåò ïðîèñõîäèòü îêèñ-
ëåíèÿ ïîâåðõíîñòíûõ àòîìîâ Ni, êîãäà íà åãî ïîâåðõ-
íîñòè íàõîäèòñÿ áîð, ò. å. áîð èãðàåò ðîëü çàìåäëè-
òåëÿ ïðîöåññà îêèñëåíèÿ íèêåëÿ.
Äëÿ íàíåñåíèÿ ïîêðûòèÿ Ni� èñïîëüçîâàëè ýëåê-
òðîëèò ñëåäóþùåãî ñîñòàâà: NiSO47H2O (160�200 ã/ë),
NiCl26H2O (25�35 ã/ë), íàòðèé ëèìîííî-êèñëûé
òðåõçàìåùåííûé (210�220 ã/ë), (NH4)2SO4 (15�
25 ã/ë), äèêàðáàóíäåêàáîðàò êàëèÿ ÊÑ2Â9Í12, ðÍ=7�
7,5. Âðåìÿ ïðîöåññà ãàëüâàíè÷åñêîãî íèêåëèðîâàíèÿ
äëÿ ïîëó÷åíèÿ ïîêðûòèÿ òîëùèíîé 0,3�2,4 ìêì ïðè
ïëîòíîñòè òîêà 0,25 À/äì2 ñîñòàâëÿëî 15�30 ìèí.
Ïðèãîòîâëåííûé ýëåêòðîëèò î÷èùàëñÿ àêòèâèðîâàí-
íûì óãëåì íà ïðîòÿæåíèè 24 ÷. Äëÿ ãàëüâàíè÷åñêî-
ãî ïðîöåññà èñïîëüçîâàëèñü àíîäû ñ íèêåëåâûì ñëî-
åì ÍÏÀ-1 è ÍÏÀ-2.
Êîððåêòèðîâàíèå ðàñòâîðà ïðîâîäèëîñü ïåðèîäè-
÷åñêè ïî ðåçóëüòàòàì ïðîõîæäåíèÿ ýëåêòðè÷åñêîãî
òîêà ÷åðåç ýëåêòðîëèò áîðíîé äîáàâêîé èç êîíöåí-
òðàòà, ñîäåðæàùåãî 8�10 ã/ë ÊC2Â9Í12. Êîíöåíòðà-
öèÿ áîðà â ïîêðûòèè îïðåäåëÿëàñü õèìè÷åñêèì ñïî-
ñîáîì ìåòîäîì ïîòåíöèîìåòðè÷åêîãî òèòðîâàíèÿ è
ìåòîäîì ïîñëîéíîãî îæå-ñïåêòðàëüíîãî àíàëèçà è
ñîñòàâëÿëà 0,7�1,2%.
Äëÿ îïðåäåëåíèÿ òåïëîñòîéêîñòè ïîêðûòèÿ ïðî-
âîäèëè òåìïåðàòóðíîå ñòàðåíèå êîðïóñîâ è ñõåì â
âîçäóøíîé ñðåäå â äèàïàçîíå òåìïåðàòóðû 300�
500°Ñ â òå÷åíèå 15�60 ìèí. Ñâàðêó àëþìèíèåâûõ
ïðîâîäíèêîâ ìàðêè ÀÊ09ÏÌ-35 îñóùåñòâëÿëè íà
óëüòðàçâóêîâîé óñòàíîâêå òèïà ÓÇÑÌ-2,5. Ðåæèì
ñâàðêè ïîäáèðàëñÿ îïûòíûì ïóòåì, èñõîäÿ èç óñëî-
âèé ïîëó÷åíèÿ ìàêñèìàëüíûõ ðàçðûâíûõ óñèëèé äëÿ
äàííîãî ìèêðîïðîâîäà è êîíòàêòíûõ ïëîùàäîê,
ñôîðìèðîâàííûõ ìàãíåòðîííûì ðàñïûëåíèåì àëþ-
ìèíèåâîãî ñïëàâà ÀÊÃî-1-1: àìïëèòóäà êîëåáàíèé
èíñòðóìåíòà 0,8�1,4 ìêì, äàâëåíèå èíñòðóìåíòà íà
ìèêðîïðîâîä 0,3�0,5 Í, âðåìÿ ñâàðêè 0,03�0,05 ñ,
ðàçðûâíîå óñèëèå 0,12�0,15 Í.
Êîíòðîëü ïðî÷íîñòè ñâàðíûõ ñîåäèíåíèé ïðîâî-
äèëè íà óñòàíîâêå òèïà 12 ÌÏ-0,05/100-1 ìåòîäîì
íàòÿæåíèÿ âûâîäà ïîä óãëîì 45° ê ïëîñêîñòÿì ñâàð-
íîãî ñîåäèíåíèÿ. Èññëåäîâàëèñü ïî 100 øòóê êàæ-
äîãî òèïà ðàññìàòðèâàåìûõ êîðïóñîâ ñ ìèêðîñõåìà-
ìè, èçãîòîâëåííûìè ñîãëàñíî îôîðìëåííîìó òåõíî-
ëîãè÷åñêîìó ïðîöåññó. Ïðîâîäèëîñü òàêæå èññëåäî-
âàíèå âëèÿíèÿ êîíöåíòðàöèè áîðà â íèêåëåâîì ïî-
êðûòèè êîðïóñîâ íà âåëè÷èíó òåïëîâîãî ñîïðîòèâ-
ëåíèÿ è ñòðóêòóðó ïîêðûòèÿ. Ýòîò âîïðîñ îñîáåííî
àêòóàëåí ïðè ïåðåõîäå ê ñóáìèêðîííîé òåõíîëîãèè,
êîãäà òåïëîâîå ñîïðîòèâëåíèå èãðàåò âàæíóþ ðîëü
â îáåñïå÷åíèè òåðìîëîêàëüíîé ñòàáèëüíîñòè ýëåêò-
ðè÷åñêèõ ïàðàìåòðîâ áîëüøèõ èíòåãðàëüíûõ ñõåì.
Îöåíêà ñâàðíûõ ñîåäèíåíèé ïðîâîäèëàñü ïî ñðåä-
íèì çíà÷åíèÿì ðàçðûâíîãî óñèëèÿ, ïî ðåçóëüòàòàì
êîíòðîëÿ ãåðìåòè÷íîñòè è âåëè÷èíå êîýôôèöèåíòà
âàðèàöèè Êv, êîòîðûé õàðàêòåðèçèðóåò âîñïðîèçâî-
äèìîñòü êà÷åñòâà óëüòðàçâóêîâîé ñâàðêè âíóòðåííèõ
àëþìèíèåâûõ ïðîâîäíèêîâ è ãåðìåòè÷íîñòè è îïðå-
äåëÿåòñÿ ïî ôîðìóëå:
ñð
ñð
,vÊ
P
σ
=
Ïàðàëëåëüíî ñ îöåíêîé ñâàðêè íà ãåðìåòè÷íîñòü
òàêæå èññëåäîâàëèñü èçìåíåíèÿ ñòðóêòóðû è ôàçû
ïîêðûòèÿ (Ni3C, Ni2B, NiB), åãî ìåõàíè÷åñêèõ
ñâîéñòâ â ñîñòàâå ïîâåðõíîñòíîãî ñëîÿ ïîñëå òåð-
ìîîáðàáîòêè êîðïóñîâ è ñõåì â ðàçëè÷íûõ ñðåäàõ:
íåéòðàëüíîé (Ar, N2), îêèñëèòåëüíîé (ñóõîé è âëàæ-
íûé O2) è õëîðíîé (çàâîäíåííûé õëîðèñòûé âîäî-
ðîä). Èçìåíåíèå ñòðóêòóðû îöåíèâàëîñü ïî âåëè÷è-
íå çåðíà, æåñòêîñòü è ôàçà íèêåëåâîãî ïîêðûòèÿ
îöåíèâàëèñü ñ ïîìîùüþ ýëåêòðîííîãî ðàñòðîâîãî
ìèêðîñêîïà òèïà ÝÌ-100ÑÕ. Ïîâåðõíîñòíûé ñëîé
ïîêðûòèÿ èññëåäîâàëñÿ ìàññ-ñïåêòðîìåòðè÷åñêèì
ìåòîäîì âòîðè÷íûõ òîíîâ è îæå-ñïåêòðîñêîïèè. Êîð-
ðîçèîííàÿ ñòîéêîñòü ïîêðûòèÿ îöåíèâàëàñü ïðè âîç-
äåéñòâèè õëîðèäñîäåðæàùåé àòìîñôåðû (ìîðñêîãî
òóìàíà).
Ïîêðûòèå Ni�B íàíîñèëè â áàðàáàíàõ äâóõ ðàç-
ìåðîâ ñ öåíòðàëüíûì îñåâûì òîêîîòâîäîì: 1) äëè-
íîé 73 ìì, äèàìåòðîì 59 ìì (ñ çàãðóçêîé 8�10 êîð-
ïóñîâ) ñ îáùåé ïëîùàäüþ ïîêðûòèÿ 6,5�7,0 ñì2;
2) äëèíîé 175 ìì, äèàìåòðîì 150 ìì (ñ çàãðóçêîé
150�300 êîðïóñîâ). Ñòåïåíü ïåðôîðàöèè â îáîèõ
áàðàáàíàõ ñîñòàâëÿëà 25�30%, à ÷àñòîòà âðàùåíèÿ
áàðàáàíà 6�10 îá./ìèí.
Àíàëèç ñòðóêòóðû ïîâåðõíîñòè è ñâîéñòâ ãàëü-
âàíè÷åñêîãî ïîêðûòèÿ Ni�B ñ ïîìîùüþ ðàñòðîâîé
ãäå Pñð �
σñð �
ñðåäíåå àðèôìåòè÷åñêîå çíà÷åíèå ïðî÷íîñòè èëè íà-
òåêàíèå;
ñðåäíåå êâàäðàòè÷åñêîå îòêëîíåíèå ýòèõ çíà÷åíèé.
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2008, ¹ 2
58
ÒÅÕÍÎËÎÃÈ×ÅÑÊÈÅ ÏÐÎÖÅÑÑÛ È ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈÅ
ìèêðîñêîïèè ïîêàçàë, ÷òî çàìåòíûå èçìåíåíèÿ â
ïîêðûòèè ïðîèñõîäÿò òîëüêî ïîñëå òåðìîîáðàáîòêè
è ñâàðêè âíóòðåííèõ àëþìèíèåâûõ âûâîäîâ è êîð-
ïóñà ïðè òåìïåðàòóðå 450°Ñ â âîçäóõå è êèñëîðîäå
íà ïðîòÿæåíèè 30 ìèí. Òåðìîñòîéêîñòü êîðïóñîâ
îïðåäåëÿåòñÿ òîëùèíîé ïîêðûòèÿ è ñîñòàâëÿåò
470°Ñ äëÿ òîëùèíû 1,2�1,5 ìêì, ÷òî óêàçûâàåò íà
ïàññèâèðóþùåå äåéñòâèå áîðà â îêèñëèòåëüíûõ ïðî-
öåññàõ. Íàáëþäàåòñÿ íåáîëüøîå ñíèæåíèå ïîðèñòî-
ñòè ïîêðûòèÿ è óâåëè÷åíèå çåðíèñòîñòè ïëåíêè îò
2�5 äî 10�25 ìêì óæå ïðè òåìïåðàòóðå 500°Ñ. Ýòî
óêàçûâàåò íà äèôôóçèþ àòîìîâ áîðà ê ïîâåðõíîñòè
íèêåëåâîãî ïîêðûòèÿ. Òàêîé ìåõàíèçì â çíà÷èòåëü-
íîé ñòåïåíè ïîäòâåðæäàåòñÿ ðåçóëüòàòîì ñïåêòðàëü-
íîãî àíàëèçà. Ñîäåðæàíèå áîðà â ïîêðûòèè óâåëè-
÷èâàåòñÿ ê ïîâåðõíîñòè ñ îáðàçîâàíèåì òåïëîïðî-
âîäíîé ñòîéêîé ôàçû Ni2B. Òåïëîïðîâîäíîñòü ïî-
êðûòèÿ óâåëè÷èâàåòñÿ ñ 0,85 äî 1,35�1,54 Âò/(ì·°Ñ)
(ðèñ. 1), à ïåðåõîäíîå ýëåêòðè÷åñêîå ñîïðîòèâëåíèå
ïîêðûòèÿ ñòàíîâèòñÿ ñòàáèëüíûì è íå ïðåâûøàåò
(3�5)·10�3 Îì (ðèñ. 2). Ýòî óêàçûâàåò íà òî, ÷òî äàí-
íîå ïîêðûòèå óìåíüøàåò òåïëîâîå ñîïðîòèâëåíèå
êîðïóñà èç-çà ïîâûøåíèÿ òåïëîïðîâîäíîñòè.
Ìèêðîòâåðäîñòü ïîêðûòèÿ çàìåòíî ñíèæàåòñÿ (îò
480�500 äî 380�420 Í/ìì2) ïðè óâåëè÷åíèè êàê
òîëùèíû ïîêðûòèÿ (äî 1,5 ìì), òàê è òåìïåðàòóðû
òåðìîîáðàáîòêè (>470°Ñ) (ðèñ. 3). Ýòî ïîëîæèòåëü-
íî âëèÿåò íà êà÷åñòâî óëüòðàçâóêîâîé ñâàðêè âíóò-
ðåííèõ àëþìèíèåâûõ âûâîäîâ (àìïëèòóäà óëüòðà-
çâóêîâûõ êîëåáàíèé è òîê ñâàðêè óìåíüøàåòñÿ) è íà
ãåðìåòè÷íîñòü êîðïóñîâ, êîòîðàÿ íå ïðåâûøàåò
7,5·10�19 ë·ìêì ðò. ñò./ñ.
Êà÷åñòâåííîå ïîêðûòèå Ni�B ôàçû Ni2B ôîðìè-
ðóåòñÿ ñ ïîìîùüþ ýëåêòðîëèòà ïðè ãàëüâàíè÷åñêîì
îñàæäåíèè â áàðàáàíå. Àíàëèç ïîâåðõíîñòíîãî ñëîÿ
ïîêðûòèÿ òîëùèíîé 300 Å ìåòîäîì îæå-ñïåêòðîñêî-
ïèè ïîêàçàë (ðèñ. 4), ÷òî ïðè òåðìîîáðàáîòêå, íà÷è-
íàÿ ñ 420°Ñ, ïðîèñõîäèò äèôôóçèÿ áîðà ê ïîâåðõíî-
ñòè è îáîãàùåíèå åå áîðîì. Ïðîöåññ óñêîðÿåòñÿ ïðè
òåìïåðàòóðå 450�520°Ñ. Ñîäåðæàíèå áîðà â ïîâåðõ-
íîñòíîì ñëîå òàêæå óâåëè÷èâàåòñÿ ïðè ðîñòå âðå-
ìåíè òåðìîîáðàáîòêè. Ýòî óêàçûâàåò íà òî, ÷òî áîð
âûñòóïàåò â ðîëè áàðüåðíîãî ýëåìåíòà, ò. ê. ïðè ýòîì
òåïëî- è ýëåêòðîïðîâîäíîñòü óâåëè÷èâàþòñÿ, ÷òî çà-
ìåòíî ñòàáèëèçèðóåò òåïëîâîå è ïåðåõîäíîå ýëåêò-
ðè÷åñêîå ñîïðîòèâëåíèå. Åñëè íà òàêîå ïîêðûòèå
ëîêàëüíî, ïîä ìîíòàæ êðèñòàëëà, íàíåñòè çîëîòîå
ïîêðûòèå, òî òåïëîâîå ñîïðîòèâëåíèå êîðïóñîâ
301.12.1, 041.14.3 ìîæåò äîñòè÷ü âåëè÷èíû 175�
190°Ñ/Âò. Åñëè ïðîâîäèòü îáðàáîòêó â òå÷åíèå ÷àñà
ïðè Ò=425°Ñ, òî â ïîâåðõíîñòíîì ñëîå ïîêðûòèÿ Ni�B
íà÷èíàåò óâåëè÷èâàòüñÿ êîíöåíòðàöèÿ êèñëîðîäà, íî
ïðîöåññ èäåò ìåäëåííî, à ñîäåðæàíèå êèñëîðîäà íå
ïðåâûøàåò 3�5%. Îêèñëåíèå óñêîðÿåòñÿ ïðè äîñ-
òèæåíèè òåìïåðàòóðû Ò=500°Ñ è îáðàáîòêå íà ïðî-
òÿæåíèè 45�60 ìèí.
Áàðüåðíûå ñâîéñòâà áîðíîé ïðèìåñè â íèêåëå-
âîì ïîêðûòèè êîðïóñîâ èíòåãðàëüíûõ ñõåì ïîäòâåð-
æäàåò òàêæå òîò ôàêò, ÷òî ïðî÷íîñòü ñâàðíûõ ñîåäè-
íåíèé ïîêðûòèÿ Ni�B çàâèñèò îò óñëîâèé òåðìîîá-
ðàáîòêè. Âåëè÷èíà ðàçðûâíûõ óñèëèé óëüòðàçâóêî-
âûõ ñîåäèíåíèé áåç òåðìîîáðàáîòêè ðàâíà 0,11�
0,15 Í. Â óñëîâèÿõ òåðìîîáðàáîòêè ïðè Ò=475°Ñ
ïðîèñõîäèò íåêîòîðîå ñíèæåíèå âåëè÷èíû ðàçðûâ-
íûõ óñèëèé, à ïðè Ò=500°Ñ èõ âåëè÷èíà óìåíüøàåò-
ñÿ íà 25�40% è ñîñòàâëÿåò 0,6�0,9 Í (ðèñ. 5). Ñëå-
äóåò òàêæå îòìåòèòü, ÷òî ïî êîððîçèîííîé ñòîéêî-
ñòè äàííîå ïîêðûòèå íå óñòóïàåò öèòðàòíîìó çîëî÷å-
íèþ òîëùèíîé 1�1,5 ìêì. Êðîìå òîãî, áîðíàÿ ïðè-
χ, Âò/(ì°Ñ)
1,4
1,2
1,0
0 0,5 1 1,5 2 2,5 Â, %
Ni2B Ni3B
NiB
Ðèñ. 1. Çàâèñèìîñòü òåïëîïðîâîäíîñòè ïîêðûòèÿ Ni�B îò
êîíöåíòðàöèè áîðà Â äëÿ ðàçíîãî ôàçîâîãî ñîñòàâà
ρ, Îì
10�2
10�3
0 0,5 1 1,5 2 2,5 Â, %
Ni2B Ni3B
NiB
Ðèñ. 2. Çàâèñèìîñòü ïåðåõîäíîãî ñîïðîòèâëåíèÿ ïîêðûòèÿ
Ni�B îò êîíöåíòðàöèè áîðà äëÿ ðàçíîãî ôàçîâîãî ñîñòàâà
Â, %
2,0
1,0
400°Ñ
475°Ñ
425°Ñ
375°Ñ
0 15 30 45 60 75 t, ìèí
Ðèñ. 4. Çàâèñèìîñòü êîíöåíòðàöèè áîðà íà ïîâåðõíîñòè
ïîêðûòèÿ Ni�B îò âðåìåíè òåðìîîáðàáîòêè ïðè ðàçëè÷-
íûõ çíà÷åíèÿõ òåìïåðàòóðû
Í, Í/ìì2
400
200
0 15 30 45 60 75 t, ìèí
350°Ñ 450°Ñ 500°Ñ
Ðèñ. 3. Çàâèñèìîñòü ìèêðîòâåðäîñòè ïîêðûòèÿ Ni�B îò
âðåìåíè òåðìîîáðàáîòêè ïðè ðàçëè÷íûõ çíà÷åíèÿõ òåì-
ïåðàòóðû
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2008, ¹ 2
59
ÒÅÕÍÎËÎÃÈ×ÅÑÊÈÅ ÏÐÎÖÅÑÑÛ È ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈÅ
ìåñü ïîëîæèòåëüíî âëèÿåò íà âûðàâíèâàíèå êîýô-
ôèöèåíòà òåðìè÷åñêîãî ëèíåéíîãî ðàñøèðåíèÿ, êî-
òîðûé ïðèáëèæàåòñÿ ê âåëè÷èíå ÊÒËÐ êðåìíèÿ
(2,6�2,9·10�6 °Ñ�1).
Ðåçóëüòàòû èññëåäîâàíèé è âûâîäû
1. Îïòèìàëüíàÿ êîíöåíòðàöèÿ áîðà â ïîêðûòèè
íèêåëü�áîð ñîñòàâëÿåò 0,9�1,4% äëÿ äàííîãî ñîñòà-
âà ýëåêòðîëèòà è ïîëîæèòåëüíî âëèÿåò íà òåïëî- è
ýëåêòðîïðîâîäíîñòü, àäãåçèþ, ìåõàíè÷åñêóþ ïðî÷-
íîñòü ñâàðíûõ ñîåäèíåíèé âíóòðåííèõ àëþìèíèå-
âûõ âûâîäîâ, ãåðìåòè÷íîñòü è êîððîçèîííóþ ñòîé-
êîñòü êîðïóñîâ èíòåãðàëüíûõ ñõåì.
2. Ïîêðûòèå Ni�B ñ âûñîêîé ñòàáèëüíîñòüþ ôè-
çèêî-õèìè÷åñêèõ ïàðàìåòðîâ ïîëó÷àåòñÿ â ïðîöåñ-
ñå ãàëüâàíè÷åñêîãî öèòðàòíîãî íèêåëèðîâàíèÿ, â
êîòîðîì áîðîñîäåðæàùàÿ äîáàâêà ââîäèòñÿ â ýëåêò-
ðîëèò â âèäå äèêàðáàóíäåêàáîðàòà êàëèÿ ÊÑ2Â9Í12.
3. Áîðíàÿ ïðèñàäêà â íèêåëåâîì ïîêðûòèè óâå-
ëè÷èâàåò åãî òåïëîïðîâîäíîñòü â 1,5�2 ðàçà, ÷òî ñó-
ùåñòâåííî ñíèæàåò òåïëîâîå ñîïðîòèâëåíèå êîðïó-
ñîâ èíòåãðàëüíûõ ñõåì, íàïðèìåð äëÿ êîðïóñîâ
301.12.1 � ñ 200 äî 175�190°Ñ/Âò.
4. Ëåãèðîâàíèå áîðîì íèêåëåâîãî ïîêðûòèÿ òðà-
âåðñ êîðïóñîâ èíòåãðàëüíûõ ñõåì ïîâûøàåò ðàçðûâ-
íûå óñèëèÿ óëüòðàçâóêîâûõ ñîåäèíåíèé êîðïóñîâ è
àëþìèíèåâûõ (ëåãèðîâàííûõ êðåìíèåì è ãîëüìèåì)
ïðîâîäîâ íà 12�20% è îáåñïå÷èâàåò âûñîêóþ êîð-
ðîçèîííóþ ñòîéêîñòü êîðïóñîâ èíòåãðàëüíûõ ñõåì.
5. Ïîêðûòèå Ni�B ìîæíî øèðîêî èñïîëüçîâàòü äëÿ
ìîíòàæà êðèñòàëëîâ íà òåïëîýëåêòðîïðîâîäíûé êëåé
íà îñíîâå ïîëèêðåìíèÿ è ñèëèöèäà. Äîïîëíèòåëüíîå
ëîêàëüíîå çîëî÷åíèå ïîçâîëÿåò âûïîëíÿòü ìîíòàæ
êðèñòàëëîâ ÷åðåç ýâòåêòè÷åñêèé ïîäñëîé Si�Au.
ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ
1. Åðóñàëèì÷óê È. Ã., Êîìàðîâà Ã. Ã., Áàðàíîâà Â. Ñ. Ýëåêòðî-
õèìè÷åñêèå ïîêðûòèÿ íèêåëåì ñ ìàëûì ñîäåðæàíèåì áîðà äëÿ
êîðïóñîâ ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïðèáîðîâ // Ýëåêòðîííàÿ òåõíèêà.
Ñåð 2. Ïîëóïðîâîäíèêîâûå ïðèáîðû.� 1986.� Âûï. 6 (185).�
Ñ. 72�74.
2. Besenyei E., Zsoldos B. Structure and electrical properties of
amorphous Ni-P thin films // Vacuum.� 1983.� Vol. 33, N 1/2.�
P. 35�41.
3. Baudrand D. W. Use of electroless nickel to reduce gold require-
ments // Plating and surface finishing.� 1981.� Vol. 68, N 12.�
P. 57�60.
4. Òåõíîëîãèÿ ÑÁÈÑ. ×. 2 / Ïîä. ðåä. Ñ. Çè.� Ì.: Ìèð, 1986.
5. Íîâîñÿäëèé Ñ. Ï. Ô³çèêî-òåõíîëîã³÷í³ îñíîâè ñóáì³êðîí-
íî¿ òåõíîëî㳿 ²Ñ. ²âàíî-Ôðàíê³âñüê: C³ìèê, 2003.
Ð, Í
12
8
4
0 15 30 45 60 75 t, ìèí
400°Ñ
475°Ñ
425°Ñ
375°Ñ
Ðèñ. 5. Çàâèñèìîñòü ïðî÷íîñòè óëüòðàçâóêîâûõ ñîåäèíå-
íèé àëþìèíèåâîãî ìèêðîïðîâîäà ÀÊ09ÏÌ-35 íà ïîêðû-
òèè Ni�B îò âðåìåíè òåðìîîáðàáîòêè ïðè ðàçëè÷íûõ
çíà÷åíèÿõ òåìïåðàòóðû
Àñèììåòðèÿ ýëåêòðè÷åñêèõ ïðîöåññîâ â èìïóëüñíûõ ïðåîáðàçîâàòåëÿõ ïîñòîÿííîãî íàïðÿæåíèÿ
ìîäóëüíîé ñòðóêòóðû ñ ãðàíè÷íûì ðåæèìîì ôóíêöèîíèðîâàíèÿ. (Óêðàèíà, ã. Îäåññà)
Îñîáåííîñòè ôîðìèðîâàíèÿ áûñòðîâîññòàíàâëèâàþùèõñÿ êðåìíèåâûõ äèîäîâ. (Óêðàèíà,
ã. Çàïîðîæüå)
Ðàñ÷åò òðàíñïîðòíûõ ñâîéñòâ äåòåêòîðîâ ãàììà-èçëó÷åíèÿ íà îñíîâå ïîëóèçîëèðóþùèõ
ïîëóïðîâîäíèêîâ. (Óêðàèíà, ã. Õàðüêîâ)
Ñèììåòðè÷íûé äâóõêîîðäèíàòíûé ôîòîäèîä. (Óêðàèíà, ã. ×åðíîâöû)
Àëìàçíûå ìíîãîýëåìåíòíûå ôîòîïðèåìíûå óñòðîéñòâà ÓÔ-äèàïàçîíà. (Ðîññèÿ, ã. Ìîñêâà,
ã. Ôðÿçèíî)
Îïòè÷åñêèå ñåíñîðû ãàçîâ íà îñíîâå ïîëóïðîâîäíèêîâûõ èñòî÷íèêîâ ÈÊ-èçëó÷åíèÿ. (Óêðàèíà,
ã. Ìóêà÷åâî)
Îïòèêî-ýëåêòðîííîå óñòðîéñòâî â ñèñòåìå êîíòðîëÿ ãàáàðèòîâ ïîãðóçêè æåëåçíîäîðîæíîãî
ïîäâèæíîãî ñîñòàâà. (Ðåñïóáëèêà Áåëàðóñü, ã. Ìèíñê)
Âûñîêî÷óâñòâèòåëüíûé ìåòîä âûÿâëåíèÿ �ãîðÿ÷èõ òî÷åê� â êðèñòàëëàõ èçäåëèé ìèêðîýëåêòðîíèêè.
(Óêðàèíà, ã. Êèåâ)
Ìíîãîêàíàëüíûé èçìåðèòåëü äåôîðìàöèè äëÿ èññëåäîâàíèÿ êîíñòðóêöèîííûõ ìàòåðèàëîâ.
(Óêðàèíà, ã. Ëüâîâ)
Âòîðè÷íûé ýòàëîí ÿðêîñòè íà áàçå ãàëîãåííîé ëàìïû ñ ðàññåèâàòåëåì.
(Óêðàèíà, ã. Êèåâ)
Ýëåêòðîííàÿ ñèñòåìà ðåãèñòðàöèè ïàðàìåòðîâ ìåõàíè÷åñêèõ êîëåáà-
íèé. (Óêðàèíà, ã. Êèåâ)
Òåðìîýëåêòðè÷åñêèå ìèêðîãåíåðàòîðû, ñîâðåìåííîå ñîñòîÿíèå è
ïåðñïåêòèâû. (Óêðàèíà, ã. ×åðíîâöû)
â
ï
îð
òô
åë
å
ðå
äà
ê
ö
è
è
â
ï
îð
òô
åë
å
ðå
äà
ê
ö
è
è
â
ï
îð
òô
åë
å
ðå
äà
ê
ö
è
è
Ø
Ø
Ø
Ø
Ø
Ø
Ø
Ø
â ïîðòôåëå ðåäàêöèè â ïîðòôåëå ðåäàêöèè â ïîðòôåëå ðåäàêöèè â ïîðòôåëå ðåäàêöèè
â ïîðòôåëå ðåäàêöèè â ïîðòôåëå ðåäàêöèè â ïîðòôåëå ðåäàêöèè â ïîðòôåëå ðåäàêöèè
Ø
Ø
Ø
â
ï
îð
òô
åë
å
ðå
äà
ê
ö
è
è
â
ï
îð
òô
åë
å
ðå
äà
ê
ö
è
è
â
ï
îð
òô
åë
å
ðå
äà
ê
ö
è
è
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52412 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T17:49:59Z |
| publishDate | 2008 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Новосядлый, С.П. Иванюк, Р.М. 2013-12-31T18:28:44Z 2013-12-31T18:28:44Z 2008 Влияние легирующих добавок на теплостойкость и теплопередачу никелевых покрытий корпусов ИС / С.П. Новосядлый, Р.М. Иванюк // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 2. — С. 56-59. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52412 Проведен комплекс исследований для выбора оптимальной легирующей добавки к никелевому гальваническому сплаву для повышения теплостойкости, теплопередачи, свариваемости корпусов интегральных схем. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Технологические процессы и оборудование Влияние легирующих добавок на теплостойкость и теплопередачу никелевых покрытий корпусов ИС Вплив легуючих добавок на теплостійкість та теплопередачу нікелевих покриттів корпусів ІС Influence of the doping additives on heat stability and heat transfer of nickel coverings of cases IC Article published earlier |
| spellingShingle | Влияние легирующих добавок на теплостойкость и теплопередачу никелевых покрытий корпусов ИС Новосядлый, С.П. Иванюк, Р.М. Технологические процессы и оборудование |
| title | Влияние легирующих добавок на теплостойкость и теплопередачу никелевых покрытий корпусов ИС |
| title_alt | Вплив легуючих добавок на теплостійкість та теплопередачу нікелевих покриттів корпусів ІС Influence of the doping additives on heat stability and heat transfer of nickel coverings of cases IC |
| title_full | Влияние легирующих добавок на теплостойкость и теплопередачу никелевых покрытий корпусов ИС |
| title_fullStr | Влияние легирующих добавок на теплостойкость и теплопередачу никелевых покрытий корпусов ИС |
| title_full_unstemmed | Влияние легирующих добавок на теплостойкость и теплопередачу никелевых покрытий корпусов ИС |
| title_short | Влияние легирующих добавок на теплостойкость и теплопередачу никелевых покрытий корпусов ИС |
| title_sort | влияние легирующих добавок на теплостойкость и теплопередачу никелевых покрытий корпусов ис |
| topic | Технологические процессы и оборудование |
| topic_facet | Технологические процессы и оборудование |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52412 |
| work_keys_str_mv | AT novosâdlyisp vliânielegiruûŝihdobavoknateplostoikostʹiteploperedačunikelevyhpokrytiikorpusovis AT ivanûkrm vliânielegiruûŝihdobavoknateplostoikostʹiteploperedačunikelevyhpokrytiikorpusovis AT novosâdlyisp vplivleguûčihdobavoknateplostíikístʹtateploperedačuníkelevihpokrittívkorpusívís AT ivanûkrm vplivleguûčihdobavoknateplostíikístʹtateploperedačuníkelevihpokrittívkorpusívís AT novosâdlyisp influenceofthedopingadditivesonheatstabilityandheattransferofnickelcoveringsofcasesic AT ivanûkrm influenceofthedopingadditivesonheatstabilityandheattransferofnickelcoveringsofcasesic |