Алмазные многоэлементные фотоприемные устройства УФ-диапазона
Показана возможность создания матричных фотоприемных устройств на алмазе. На примере линейчатых фотоприемных устройств разработаны принципы и технология построения....
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2008 |
| Main Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2008
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52418 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Алмазные многоэлементные фотоприемные устройства УФ-диапазона / А.А. Алтухов, А.Ю. Митягин, А.М. Клочкова, Г.А. Орлова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 3. — С. 3-6. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52418 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Алтухов, А.А. Митягин, А.Ю. Клочкова, А.М. Орлова, Г.А. 2014-01-01T17:01:15Z 2014-01-01T17:01:15Z 2008 Алмазные многоэлементные фотоприемные устройства УФ-диапазона / А.А. Алтухов, А.Ю. Митягин, А.М. Клочкова, Г.А. Орлова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 3. — С. 3-6. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52418 Показана возможность создания матричных фотоприемных устройств на алмазе. На примере линейчатых фотоприемных устройств разработаны принципы и технология построения. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Новые компоненты для электронной аппаратуры Алмазные многоэлементные фотоприемные устройства УФ-диапазона Алмазні багатоелементні фотоприймальні пристроїУФ-діапазону Diamond-made matrix photosensitive elements of ultra-violet range Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Алмазные многоэлементные фотоприемные устройства УФ-диапазона |
| spellingShingle |
Алмазные многоэлементные фотоприемные устройства УФ-диапазона Алтухов, А.А. Митягин, А.Ю. Клочкова, А.М. Орлова, Г.А. Новые компоненты для электронной аппаратуры |
| title_short |
Алмазные многоэлементные фотоприемные устройства УФ-диапазона |
| title_full |
Алмазные многоэлементные фотоприемные устройства УФ-диапазона |
| title_fullStr |
Алмазные многоэлементные фотоприемные устройства УФ-диапазона |
| title_full_unstemmed |
Алмазные многоэлементные фотоприемные устройства УФ-диапазона |
| title_sort |
алмазные многоэлементные фотоприемные устройства уф-диапазона |
| author |
Алтухов, А.А. Митягин, А.Ю. Клочкова, А.М. Орлова, Г.А. |
| author_facet |
Алтухов, А.А. Митягин, А.Ю. Клочкова, А.М. Орлова, Г.А. |
| topic |
Новые компоненты для электронной аппаратуры |
| topic_facet |
Новые компоненты для электронной аппаратуры |
| publishDate |
2008 |
| language |
Russian |
| container_title |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Алмазні багатоелементні фотоприймальні пристроїУФ-діапазону Diamond-made matrix photosensitive elements of ultra-violet range |
| description |
Показана возможность создания матричных фотоприемных устройств на алмазе. На примере линейчатых фотоприемных устройств разработаны принципы и технология построения.
|
| issn |
2225-5818 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52418 |
| citation_txt |
Алмазные многоэлементные фотоприемные устройства УФ-диапазона / А.А. Алтухов, А.Ю. Митягин, А.М. Клочкова, Г.А. Орлова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 3. — С. 3-6. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT altuhovaa almaznyemnogoélementnyefotopriemnyeustroistvaufdiapazona AT mitâginaû almaznyemnogoélementnyefotopriemnyeustroistvaufdiapazona AT kločkovaam almaznyemnogoélementnyefotopriemnyeustroistvaufdiapazona AT orlovaga almaznyemnogoélementnyefotopriemnyeustroistvaufdiapazona AT altuhovaa almazníbagatoelementnífotopriimalʹnípristroíufdíapazonu AT mitâginaû almazníbagatoelementnífotopriimalʹnípristroíufdíapazonu AT kločkovaam almazníbagatoelementnífotopriimalʹnípristroíufdíapazonu AT orlovaga almazníbagatoelementnífotopriimalʹnípristroíufdíapazonu AT altuhovaa diamondmadematrixphotosensitiveelementsofultravioletrange AT mitâginaû diamondmadematrixphotosensitiveelementsofultravioletrange AT kločkovaam diamondmadematrixphotosensitiveelementsofultravioletrange AT orlovaga diamondmadematrixphotosensitiveelementsofultravioletrange |
| first_indexed |
2025-11-26T01:10:19Z |
| last_indexed |
2025-11-26T01:10:19Z |
| _version_ |
1850601617954439168 |
| fulltext |
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2008, ¹ 3
3
ÍÎÂÛÅ ÊÎÌÏÎÍÅÍÒÛ ÄËß ÝËÅÊÒÐÎÍÍÎÉ ÀÏÏÀÐÀÒÓÐÛ
Äàòà ïîñòóïëåíèÿ â ðåäàêöèþ
28.03 2008 ã.
Îïïîíåíò ê. ò. í. Â. Â. ÐÞÕÒÈÍ
(ÖÊÁ «Ðèòì», ã. ×åðíîâöû)
Ê. ò. í. À. À. ÀËÒÓÕÎÂ, ä. ô.-ì. í. À. Þ. ÌÈÒßÃÈÍ,
À. Ì. ÊËÎ×ÊÎÂÀ, ê. ô.-ì. í. Ã. À. ÎÐËÎÂÀ
Ðîññèÿ, ã. Ìîñêâà, ÎÎÎ «ÓðàëÀëìàçÈíâåñò»,
ã. Ôðÿçèíî, Èíñòèòóò ðàäèîòåõíèêè è ýëåêòðîíèêè ÐÀÍ
E-mail: info@ural-almaz.ru, alexandr-mityagin@yandex.ru
Ïîêàçàíà âîçìîæíîñòü ñîçäàíèÿ ìàò-
ðè÷íûõ ôîòîïðèåìíûõ óñòðîéñòâ íà àë-
ìàçå. Íà ïðèìåðå ëèíåé÷àòûõ ôîòîïðè-
åìíûõ óñòðîéñòâ ðàçðàáîòàíû ïðèíöè-
ïû è òåõíîëîãèÿ ïîñòðîåíèÿ.
Ìíîãîýëåìåíòíûå ôîòîïðèåìíèêè � ýòî òâåð-
äîòåëüíûå ïðåîáðàçîâàòåëè èçîáðàæåíèÿ äëÿ ñèñòåì
òåõíè÷åñêîãî çðåíèÿ (òåïëîâèçîðû, îïòè÷åñêèå ëî-
êàòîðû, ñèñòåìû êîñìè÷åñêîé ðàçâåäêè è öåëåóêà-
çàíèÿ). Óëüòðàôèîëåòîâûé (ÓÔ) äèàïàçîí èçëó÷åíèÿ
äàâíî èíòåðåñóåò ó÷åíûõ è ðàçðàáîò÷èêîâ àïïàðà-
òóðû. Îïòîýëåêòðîííûå âàêóóìíûå ïðèáîðû òðàäè-
öèîííî èñïîëüçîâàëèñü äëÿ îáíàðóæåíèÿ îïòè÷å-
ñêîãî èçëó÷åíèÿ, ïîýòîìó èìåííî òàêèå èçäåëèÿ áûëè
ïåðâûìè ïðèìåíåíû äëÿ äåòåêòèðîâàíèÿ â ÓÔ-äèà-
ïàçîíå. Ê íàñòîÿùåìó âðåìåíè âåäóùèì ìèðîâûì
ïðîèçâîäèòåëÿì óæå óäàëîñü ðàçðàáîòàòü îáðàçöû
ÓÔ ìíîãîýëåìåíòíûõ ôîòîïðèåìíûõ óñòðîéñòâ
(ÌÔÓ), ïðåäñòàâëÿþùèõ ñîáîé ôîòîýëåêòðîííûå
óìíîæèòåëè [1�3] ýëåêòðîííî-îïòè÷åñêèõ ïðåîáðà-
çîâàòåëåé [4], ìèêðîêàíàëüíûå ôîòîêàòîäíûå
óñòðîéñòâà [5] è óñòðîéñòâà íà îñíîâå øèðîêîçîí-
íûõ ïîëóïðîâîäíèêîâ [6]. Îäíàêî ó âñåõ ýòèõ óñò-
ðîéñòâ èìåþòñÿ èçâåñòíûå ñóùåñòâåííûå îãðàíè÷å-
íèÿ è íåäîñòàòêè. Äëÿ ôîòîýëåêòðîííûõ óìíîæèòå-
ëåé ýòî âàêóóì, âûñîêîå íàïðÿæåíèå ïèòàíèÿ, áîëü-
øèå ãàáàðèòû è âåñ. Äëÿ ìèêðîêàíàëüíûõ ýòî âàêó-
óì, íåñòàáèëüíîñòü êîýôôèöèåíòà óìíîæåíèÿ è ÷óâ-
ñòâèòåëüíîñòè, èñêàæåíèå èçîáðàæåíèÿ. ×òî êàñàåò-
ñÿ øèðîêîçîííûõ ïîëóïðîâîäíèêîâ, òî èõ ñ óñïåõîì
ìîæåò çàìåíèòü àëìàç, êîòîðûé ïî ñâîèì ïàðàìåò-
ðàì çíà÷èòåëüíî ïðåâîñõîäèò èñïîëüçóåìûå ïîëó-
ïðîâîäíèêè.
Ìàòðè÷íûå ôîòî÷óâñòâèòåëüíûå ýëåìåíòû íà
îñíîâå ïîëóïðîâîäíèêîâ, è â îñîáåííîñòè àëìàçà,
ïîçâîëÿò ñîçäàòü ìíîãîýëåìåíòíûå ÓÔ ôîòîïðèåì-
íûå óñòðîéñòâà � âàæíåéøèé è íàèáîëåå âîñòðå-
áîâàííûé êëàññ ïðèáîðîâ, ðàáîòàþùèõ â «ñîëíå÷-
íî-ñëåïîì» äèàïàçîíå, ÷ðåçâû÷àéíî óñòîé÷èâûõ ê
èîíèçèðóþùåìó èçëó÷åíèþ, æåñòêèì óñëîâèÿì
âíåøíåé ñðåäû (òåìïåðàòóðà, àãðåññèâíàÿ ñðåäà, è
ò. ï.) è ðàáîòàþùèõ â îòêðûòîì êîñìîñå. Â äàííîé
ñòàòüå ïðåäñòàâëåíû ðåçóëüòàòû èññëåäîâàíèé ìàò-
ðè÷íûõ ôîòîïðèåìíûõ óñòðîéñòâ íà îñíîâå àëìàçà,
îïèñàíà êîíñòðóêöèÿ è òåõíîëîãèÿ èõ èçãîòîâëåíèÿ.
ÀËÌÀÇÍÛÅ ÌÍÎÃÎÝËÅÌÅÍÒÍÛÅ ÔÎÒÎÏÐÈÅÌÍÛÅ
ÓÑÒÐÎÉÑÒÂÀ ÓÔ-ÄÈÀÏÀÇÎÍÀ
Îñíîâíûå ïðèíöèïû ïîñòðîåíèÿ ìàòðè÷íûõ
ñèñòåì
Íàèáîëåå ïðîñòîé ñõåìîé ïîñòðîåíèÿ ìàòðè÷íûõ
ñèñòåì ÿâëÿåòñÿ ðåøåò÷àòàÿ ñòðóêòóðà (ìàòðèöà ñ
àäðåñíûì îïðîñîì). Ìàòðèöà óñëîâíî ñîäåðæèò äâå
ñèñòåìû øèí � ãîðèçîíòàëüíûå è âåðòèêàëüíûå
(ðåøåòêó); íà ïåðåñå÷åíèè øèí ê íèì ïîäêëþ÷àþò-
ñÿ ôîòî÷óâñòâèòåëüíûå àëìàçíûå ôîòîïðèåìíèêè
(ïèêñåëû). Íåîáõîäèìûå ôóíêöèè ïèêñåëà � äåòåê-
òèðîâàíèå îïòè÷åñêîãî ñèãíàëà, íàêîïëåíèå, êîììó-
òàöèÿ � âûïîëíÿþòñÿ â �îáû÷íîì� ôîòîðåçèñòîðå.
Ãåíåðèðîâàííûå èçëó÷åíèåì íîñèòåëè íàêàïëèâàþò-
ñÿ â îáúåìå ôîòîðåçèñòîðà â òå÷åíèå âðåìåíè æèç-
íè. ÓÔ-èçëó÷åíèå ýôôåêòèâíî ïîãëîùàåòñÿ òîëüêî
â ïðèïîâåðõíîñòíîì ñëîå ïîðÿäêà 10 ìêì. Äëÿ òîãî,
÷òîáû ãåíåðèðîâàííûå â ïðèïîâåðõíîñòíîé îáëàñ-
òè îáðàòíîé ñòîðîíû ìàòðè÷íîãî ôîòîïðèåìíèêà
íåðàâíîâåñíûå íîñèòåëè çàðÿäà (ýëåêòðîíû) ñìîã-
ëè çà âðåìÿ æèçíè ïðîäðåéôîâàòü ê ïðîòèâîïîëîæ-
íîé ñòîðîíå è ïåðåòå÷ü â íàêîïèòåëüíóþ åìêîñòü
ÿ÷åéêè ñ÷èòûâàíèÿ ìóëüòèïëåêñîðà, íà ïîëóïðîç-
ðà÷íûé Pt-ýëåêòðîä íåîáõîäèìî ïîäàòü îòðèöàòåëü-
íîå íàïðÿæåíèå ïîðÿäêà 200 Â ïðè òîëùèíå àëìàç-
íîãî êðèñòàëëà 200 ìêì. Òîãäà íîñèòåëè áóäóò äðåé-
ôîâàòü â ðåæèìå íàñûùåíèÿ äðåéôîâîé ñêîðîñòè
(1�2)·107 ñì/ñ è çà âðåìÿ ïðîëåòà (ïîðÿäêà 10�9 ñ),
ñîïîñòàâèìîãî ñî âðåìåíåì æèçíè, äîñòèãíóò ïðî-
òèâîïîëîæíîé ñòîðîíû êðèñòàëëà. ×òîáû ïðèáëè-
çèòü îáëàñòü ãåíåðàöèè íîñèòåëåé ê ðàáî÷åé ñòîðî-
íå êðèñòàëëà ïðè çàñâåòêå ñ îáðàòíîé ñòîðîíû, ýòó
ñòîðîíó ìîæíî ëîêàëüíî óòîíÿòü (ñîçäàâàòü îêíà-êî-
ëîäöû) ñ ïîìîùüþ ëàçåðíûõ òåõíîëîãèé ëèáî ïî-
ñðåäñòâîì ïëàçìî-õèìè÷åñêîãî òðàâëåíèÿ â àðãîí-
êèñëîðîäíîé ïëàçìå. Êîììóòàöèÿ îñóùåñòâëÿåòñÿ
ïðîñòîé ïîäà÷åé ïèòàíèÿ.
Ê òî÷êàì ïåðåñå÷åíèÿ øèí ñòðîê è ñòîëáöîâ ïîä-
êëþ÷àåòñÿ òîëüêî ôîòîðåçèñòîð. Ïî ãîðèçîíòàëüíûì
øèíàì ïîäàþòñÿ èìïóëüñû îïðîñà, à ïî âåðòèêàëü-
íûì øèíàì ñèãíàë ïåðåäàåòñÿ íà âûõîä.
Õàðàêòåðèñòèêè è òåõíîëîãèÿ èçãîòîâëåíèÿ ôî-
òîïðèåìíèêîâ íà îñíîâå àëìàçà ïðåäñòàâëåíû â ðà-
áîòàõ [7�10] . Îáùèìè äëÿ ÓÔ- è ÈÊ-ìàòðèö ÿâëÿ-
þòñÿ òåõíîëîãèè ñáîðêè ãèáðèäíûõ ïðèáîðîâ. Ìàò-
ðèöà äèñêðåòíûõ ôîòîïðèåìíèêîâ � â íàøåì ñëó-
÷àå àëìàçíûõ � ñî÷ëåíÿåòñÿ ñ êðåìíèåâûì êðèñ-
òàëëîì, â êîòîðîì ñôîðìèðîâàíà ýëåêòðîííàÿ ñõåìà
ìóëüòèïëåêñîðà. Êàæäûé àëìàçíûé ôîòîïðèåìíèê
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2008, ¹ 3
4
ÍÎÂÛÅ ÊÎÌÏÎÍÅÍÒÛ ÄËß ÝËÅÊÒÐÎÍÍÎÉ ÀÏÏÀÐÀÒÓÐÛ
ñ ïîìîùüþ èíäèåâûõ ñòîëáèêîâ ïîäêëþ÷àåòñÿ ê
ýëåêòðîííîìó êîììóòàòîðó. Ýòà êîìïîíîâêà ãèáðèä-
íûõ ìàòðèö, ñîáðàííûõ ïî òåõíîëîãèè �ôëèï-÷èï�,
îáëàäàåò òåì ïðåèìóùåñòâîì, ÷òî àëìàçíûé ôîòî-
ïðèåìíèê óñòàíàâëèâàåòñÿ íåïîñðåäñòâåííî íà êðåì-
íèåâûé êðèñòàëë, êîòîðûé çàòåì ìîíòèðóåòñÿ â êîð-
ïóñ.  ÌÔÓ, ñîçäàííîì òàêèì îáðàçîì, ÓÔ-èçëó÷å-
íèå ýôôåêòèâíî ïîãëîùàåòñÿ òîëüêî â ïðèïîâåðõ-
íîñòíîì ñëîå òîëùèíîé ïîðÿäêà 10 ìêì.
Ê íåäîñòàòêàì �ôëèï-÷èï�-òåõíîëîãèè êîìïîíîâ-
êè ãèáðèäíîãî ÌÔÓ ñëåäóåò îòíåñòè:
� âûñîêîå íàïðÿæåíèå ñìåùåíèÿ íà ôîòîðåçèñ-
òîðå;
� ñíèæåíèå êâàíòîâîé ýôôåêòèâíîñòè (ïî÷òè â
äâà ðàçà) èç-çà çàñâåòêè ÷åðåç ìåòàëëè÷åñêèé ýëåêò-
ðîä, ïîñêîëüêó ïëàòèíà òîëùèíîé 10 íì ïîãëîùàåò
40�60% ÓÔ-èçëó÷åíèÿ;
� îãðàíè÷åíèå øàãà ìàòðèöû ðàçìåðîì 25�
30 ìêì çà ñ÷åò ñòîëáèêîâ (äëÿ ïðåäîòâðàùåíèÿ èõ
çàìûêàíèÿ ïðè ñòûêîâêå ñ êîììóòàòîðîì), ÷òî óìåíü-
øàåò ýôôåêòèâíûé êîýôôèöèåò çàïîëíåíèÿ (îòíî-
ñèòåëüíàÿ äîëÿ ôîòî÷óâñòâèòåëüíîé ïëîùàäè êðèñ-
òàëëà).
Òåì íå ìåíåå, äàííûé âàðèàíò ìîæåò ñòàòü áàçî-
âûì, îñîáåííî â ïåðñïåêòèâíûõ øèðîêîôîðìàòíûõ
ÌÔÓ (256×256 è áîëåå ýëåìåíòîâ), ñîçäàííûõ íà
îñíîâå ãåòåðîýïèòàêñèàëüíûõ àëìàçíûõ ñòðóêòóð.
Êîíñòðóêöèÿ è òåõíîëîãèÿ èçãîòîâëåíèÿ
ôîòîïðèåìíîãî óñòðîéñòâà
Äëÿ èçãîòîâëåíèÿ ìàòðèöû 64×64 èñïîëüçîâàëàñü
ïëàñòèíà èç íàòóðàëüíîãî àëìàçà n-òèïà ðàçìåðîì
4,46×4,35×0,33 ìì ñ êîíöåíòðàöèåé àçîòà 7·1018 ñì�3
è óäåëüíûì ñîïðîòèâëåíèåì 9,4·1012 Îì·ñì. Íà îä-
íîé ñòîðîíå àëìàçíîé ïëàñòèíû ôîðìèðîâàëàñü ìàò-
ðèöà (èç 64×64 ôîòîðåçèñòîðîâ ðàçìåðàìè 30×30 ìêì
è øàãîì 50 ìêì), à òàêæå òåñòîâûå ýëåìåíòû äëÿ
âûâîäà ñèãíàëîâ îò ïèêñåëîâ ìàòðèöû (â ôîðìå ãàí-
òåëåê ñ ðàçìåðàìè 30×30 ìêì è 75×50 ìêì, ïëå÷îì
50×20 ìêì). Ýëåìåíòû èçãîòîâëÿëèñü òàêèì îáðàçîì:
íà ïîäñëîé òèòàíà (õðîìà) òîëùèíîé 10 íì íàïûëÿ-
ëè ïëàòèíó ñ ïîñëåäóþùèì îñàæäåíèåì çîëîòà (íà-
ïûëåíèåì àëþìèíèÿ) òîëùèíîé 0,8 ìêì è ôîòîëè-
òîãðàôèåé ïî çîëîòó (àëþìèíèþ) äëÿ îòêðûòèÿ îêîí
ÓÔ-çàñâåòêè. Ôîðìà òåñòîâûõ ýëåìåíòîâ ïîçâîëÿëà
ïðèâàðèâàòü ïðîâîëî÷íûå âûâîäû, à òàêæå ïðîâî-
äèòü èññëåäîâàíèÿ çîíäîì.
Èíäèåâûå ñòîëáèêè ê êàæäîìó ôîòîðåçèñòîðó íà
äðóãîé ñòîðîíå ïëàñòèíû èçãîòîâëÿëèñü ïîñðåäñòâîì
íàïûëåíèÿ ïëàòèíû ñ ïîäñëîåì òèòàíà (õðîìà) òîë-
ùèíîé 10 íì ñ ïîñëåäóþùèì íàïûëåíèåì òîëñòîãî
ñëîÿ èíäèÿ è ôîòîëèòîãðàôèåé ïî èíäèþ äëÿ ôîð-
ìèðîâàíèÿ ñîáñòâåííî ñòîëáèêîâ âûñîòîé 6�8 ìêì.
Ïîñêîëüêó íåò ïðèíöèïèàëüíîé ðàçíèöû ìåæäó
ìàòðè÷íûìè è ëèíåé÷àòûìè ôîòîïðèåìíûìè óñò-
ðîéñòâàìè, äàëåå ìû ðàññìîòðèì ïðèìåð ëèíåé÷à-
òîãî 2×64 ôîòîïðèåìíîãî óñòðîéñòâà. Äëÿ åãî ñîçäà-
íèÿ ìû èñïîëüçîâàëè óïîìÿíóòóþ âûøå ãèáðèäíóþ
êîíöåïöèþ ïîñòðîåíèÿ, ïðè êîòîðîé ðåãèñòðàöèÿ ôî-
òîñèãíàëà îñóùåñòâëÿåòñÿ ëèíåé÷àòûì 2×64 ôîòî-
ðåçèñòèâíûì ïðèåìíèêîì íà àëìàçå, à ñ÷èòûâàíèå
ïðåäâàðèòåëüíî óñèëåííîãî ôîòîñèãíàëà � êðåìíè-
åâûì ìóëüòèïëåêñîðîì.
Íàìè áûë ðàçðàáîòàí è èçãîòîâëåí ñïåöèàëü-
íûé ëèíåé÷àòûé ìóëüòèïëåêñîð ÌÊ6À. Ìóëüòè-
ïëåêñîð èìååò ïðÿìîèíæåêöèîííûå âõîäíûå
óñòðîéñòâà (âñåãî 128), êîíòàêòíûå ïëîùàäêè êîòî-
ðûõ ðàñïîëîæåíû ñ øàãîì 100 ìêì. Ñëåäóåò îò-
ìåòèòü, ÷òî ìóëüòèïëåêñîð ÌÊ6À ïðîåêòèðîâàë-
ñÿ â ðàñ÷åòå íà äîñòàòî÷íî áîëüøèå íàêàïëèâàå-
ìûå ïîä çàòâîðîì çàðÿäû (ïîðÿäêà (1�2)·107 ýëåê-
òðîíîâ). Â ñâÿçè ñ ýòèì îí èìååò íå ñëèøêîì áîëü-
øîé êîýôôèöèåíò ïðåîáðàçîâàíèÿ çàðÿäà â âûõîä-
íîå íàïðÿæåíèå ≈1,3 ìêÂ/ýëåêòðîí (âî èçáåæàíèå
íàñûùåíèÿ âûõîäíîãî óñòðîéñòâà).  ñëó÷àå, êîãäà
ïîëíûé íàêîïëåííûé çàðÿä (ò. å. ïðîèçâåäåíèå âõîä-
íîãî òîêà íà âðåìÿ íàêîïëåíèÿ) äîñòàòî÷íî ìàë (ìå-
íåå (1,5�2)·106 ýëåêòðîíîâ) è íå ïðèâîäèò ê ïåðå-
ïîëíåíèþ ïîòåíöèàëüíûõ ÿì â ðåãèñòðå ïåðåíîñà
èëè ê íàñûùåíèþ âûõîäíîãî óñòðîéñòâà, íåò íåîá-
õîäèìîñòè îòñåêàòü ÷àñòü çàðÿäà äî ïîïàäàíèÿ â ðå-
ãèñòð è íà âûõîäíîå óñòðîéñòâî.  ýòîì ñëó÷àå ïî-
òåíöèàë îòñåêàþùåãî çàòâîðà óðàâíèâàþò ñ ïîòåí-
öèàëîì íàêîïèòåëÿ, íàêîïëåííûé çàðÿä ïîëíîñòüþ
ïåðåòåêàåò â ðåãèñòð, à íà çàòâîð àíòèáëþìèíãà ïî-
äàåòñÿ ïîñòîÿííîå (íå èìïóëüñíîå) ñìåùåíèå.
Äëÿ ñîåäèíåíèÿ êîíòàêòîâ ëèíåéêè ñ êîíòàêòàìè
ìóëüòèïëåêñîðà èñïîëüçîâàëàñü ïåðåõîäíàÿ êåðàìè-
÷åñêàÿ ïëàòà «æóê», íåîáõîäèìîñòü êîòîðîé âûçâà-
íà ñëåäóþùèì: à) êîíòàêòíûå ïëîùàäêè àëìàçíîé
ëèíåéêè 2×64 âûõîäÿò íà äâå ñòîðîíû îòíîñèòåëü-
íî åå öåíòðàëüíîé ÷àñòè; á) ðàññòîÿíèÿ ìåæäó öåíò-
ðàìè êîíòàêòíûõ ïëîùàäîê � 74 ìêì; â) êîíòàêò-
íûå ïëîùàäêè ìóëüòïëåêñîðà âûõîäÿò íà îäíó ñòî-
ðîíó; ã) ðàññòîÿíèÿ ìåæäó êîíòàêòíûìè ïëîùàäêà-
ìè ìóëüòèïëåêñîðà � 100 ìêì.
Äëÿ ñîçäàíèÿ óêàçàííîãî âàðèàíòà ëèíåéêè áûë
ðàçðàáîòàí òåõíîëîãè÷åñêèé ïðîöåññ. Ïîñëå èçãîòîâ-
ëåíèÿ âñåõ ýëåìåíòîâ ñáîðêà àëìàçíîé ëèíåéêè âìå-
ñòå ñ ìóëüòèïëåêñîðîì ïðîâîäèëàñü â êîðïóñå òèïà
«Ìàìîíò» ñ 64 âûâîäàìè (ðèñ. 1). Ñíà÷àëà ìóëüòè-
ïëåêñîð íàêëåèâàëñÿ íà êåðàìè÷åñêîå îñíîâàíèå êîð-
ïóñà. Äàëåå íåïðîâîäÿùèì êëååì íàêëåèâàëàñü ïëàòà
«æóê», à íà êîíòàêòû «æóêà» íàêëåèâàëàñü àëìàçíàÿ
ëèíåéêà. Êîíòàêòû ëèíåéêè ñâàðèâàëèñü ïðîâîëîêîé
äèàìåòðîì 30 ìêì ñ êîíòàêòàìè «æóêà» (ïî 64 êîí-
òàêòà íà êàæäîé ñòîðîíå ëèíåéêè). Çàòåì ïðîâîäè-
ëàñü ñâàðêà 128 êîíòàêòîâ «æóêà» ñî 128 âõîäíûìè
Ðèñ. 1. Îáùèé âèä êîðïóñà «Ìàìîíò» ñ ìóëüòèïëåêñî-
ðîì, «æóêîì»è àëìàçíîé ëèíåéêîé
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2008, ¹ 3
5
ÍÎÂÛÅ ÊÎÌÏÎÍÅÍÒÛ ÄËß ÝËÅÊÒÐÎÍÍÎÉ ÀÏÏÀÐÀÒÓÐÛ
êîíòàêòàìè ìóëüòèïëåêñîðà, ïîñëå ÷åãî � ïðîâîäè-
ëàñü ñâàðêà 25 êîíòàêòîâ ìóëüòèïëåêñîðà ñ íîæêà-
ìè êîðïóñà. Êîíòàêò îò öåíòðàëüíîé ïîëîñû ëèíåé-
êè òàêæå ñâàðèâàëñÿ ñ îäíîé èç íîæåê êîðïóñà. Ïîñ-
ëå ýòîãî êîðïóñ çàêðûâàëñÿ êðûøêîé (ïëàñòèíîé èç
ïëàâëåíîãî êâàðöà) òîëùèíîé 0,5 ìì. Êâàðöåâàÿ
êðûøêà íàêëåèâàëàñü íà êîðïóñ ÷åðåç ïðîìåæóòî÷-
íóþ äèýëåêòðè÷åñêóþ ðàìêó òîëùèíîé 2 ìì (äëÿ
òîãî, ÷òîáû íå ïîâðåäèòü ïðîâîëî÷íûå ñîåäèíåíèÿ).
Ðåçóëüòàòû ýêñïåðèìåíòîâ
Íà îñíîâàíèè âûáðàííûõ ìåòîäèê è ñõåì èçìå-
ðåíèÿ õàðàêòåðèñòèê ÌÔÓ áûë ðàçðàáîòàí è èçãî-
òîâëåí àâòîìàòèçèðîâàííûé ñòåíä, êîòîðûé îáåñïå-
÷èâàë ïðîâåäåíèå èçìåðåíèé è îïðåäåëåíèå õàðàê-
òåðèñòèê ñëåäóþùèõ ôîòîýëåêòðè÷åñêèõ ïàðàìåòðîâ
ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïðèåìíèêîâ èçëó÷åíèÿ è ôîòî-
ïðèåìíûõ óñòðîéñòâ: òåìíîâîãî, îáùåãî è ôîòîòî-
êà ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïðèåìíèêîâ èçëó÷åíèÿ, ñïåê-
òðàëüíîé õàðàêòåðèñòèêè ÷óâñòâèòåëüíîñòè è âîëüò-
àìïåðíîé õàðàêòåðèñòèêè. Ñïåêòðàëüíàÿ ÷óâñòâè-
òåëüíîñòü ëèíåéêè è ìàòðèöû îïðåäåëÿëàñü ïðè çà-
ñâåòêå ëàìïîé ÄÄÑ-30 íà ìîíîõðîìàòîðå ÌÄÐ-23.
Ïðîöåññ ñáîðà, îáðàáîòêè, õðàíåíèÿ è âûäà÷è íà
ÏÝÂÌ èíôîðìàöèè, ïîñòóïàþùåé îò ÌÔÓ, îñóùå-
ñòâëÿëñÿ àâòîìàòè÷åñêè ñ èñïîëüçîâàíèåì ðàçðàáî-
òàííîãî íàìè ïðîãðàìíîãî îáåñïå÷åíèÿ äëÿ âûñî-
êîñêîðîñòíîãî ìèêðîêîíòðîëëåðà. Îáðàáîòêà è âè-
çóàëèçàöèÿ ïîëó÷åííîé èíôîðìàöèè ïðîâîäèëàñü ñ
ïîìîùüþ ÏÝÂÌ, âõîäÿùåé â ñîñòàâ èçìåðèòåëüíî-
ãî ñòåíäà.
Íà ðèñ. 2 ïðåäñòàâëåíà ñïåêòðàëüíàÿ ÷óâñòâè-
òåëüíîñòü 122 ýëåìåíòà ôîòîïðèåìíîé ëèíåéêè 2×64
íà îñíîâå àëìàçà ñ ñîïðîòèâëåíèåì ýëåìåíòà
10,4 ÃÎì. Íàïðÿæåíèå ñìåùåíèÿ ìèíóñ 25 Â. Ëåâàÿ
ãðàíèöà ôîòîîòâåòà îáóñëîâëåíà ñïåêòðîì ëàìïû.
Íà ðèñ. 3 ïðèâåäåíà çàâèñèìîñòü íàïðÿæåíèÿ íà
âûõîäå ìóëüòèïëåêñîðà îò íàïðÿæåíèÿ íà ëèíåéêå, ÷òî
ÿâëÿåòñÿ õàðàêòåðèñòèêîé ñâåòîâîãî òîêà ëèíåéêè.
Èç ðèñóíêà âèäíî, ÷òî íà÷èíàÿ ñ 85  âûõîäíîå
íàïðÿæåíèå ìóëüòèïëåêñîðà íå óâåëè÷èâàåòñÿ ïðè
óâåëè÷åíèè íàïðÿæåíèÿ íà ëèíåéêå (õîòÿ ëèíåéêà
âûäåðæèâàåò íàïðÿæåíèå äî 150 Â). Î÷åâèäíî, ïðè
äàííîì íàïðÿæåíèè ìóëüòèïëåêñîð íàñûùàåòñÿ òåì-
íîâûì òîêîì, ÷òî è îãðàíè÷èâàåò åãî äèíàìè÷åñêèé
äèàïàçîí.
Äëÿ îïðåäåëåíèÿ îäíîðîäíîñòè òåìíîâîãî è ñâå-
òîâîãî òîêà ýëåìåíòîâ ëèíåéêè îíà áûëà îòäåëåíà
îò ìóëüòèïëåêñîðà, è 20 ýëåìåíòîâ ëèíåéêè áûëè
ðàñïàÿíû íåïîñðåäñòâåííî íà âûâîäû êîðïóñà «Ìà-
ìîíò».
Íà ðèñ. 4 ïðåäñòàâëåíû òèïè÷íûå âîëüò-àìïåð-
íûå õàðàêòåðèñòèêè ýëåìåíòîâ ìàòðèöû ïðè èõ çà-
ñâåòêå èçëó÷åíèåì ñ äëèíîé âîëíû 210 íì. Ïîëÿð-
íîñòü íàïðÿæåíèÿ ñîîòâåòñòâóåò íàïðÿæåíèþ, ïðè-
êëàäûâàåìîìó ê ôîòî÷óâñòâèòåëüíîìó ýëåìåíòó ìàò-
ðèöû. Êàê âèäèì, ñâåòîâûå ÂÀÕ èìåþò ðåçêî âûðà-
æåííûé íåëèíåéíûé âûïðÿìëÿþùèéñÿ âèä, ÷òî ñâÿ-
çàíî ñ áîëüøèì îòëè÷èåì âðåìåíè æèçíè ãåíåðèðó-
åìûõ ñâåòîì ýëåêòðîíîâ îò âðåìåíè æèçíè äûðîê.
Íàèáîëåå ïðåäïî÷òèòåëüíûì ÿâëÿåòñÿ âàðèàíò,
êîãäà ê ýëåìåíòó ìàòðèöû ïðèêëàäûâàåòñÿ ïîòåíöè-
àë �+�, ò. å. ìóëüòèïëåêñîð äîëæåí óïðàâëÿòü ïîëî-
æèòåëüíûìè ïîñòóïàþùèìè èìïóëüñàìè.
Ïðè èçó÷åíèè ðàñïðåäåëåíèÿ òåìíîâîãî òîêà Iòåìí
ïî ýëåìåíòàì ìàòðèöû 64×64 ïðè ðàçëè÷íûõ íàïðÿ-
æåíèÿõ ñìåùåíèÿ óñòàíîâëåííî, ÷òî ñ ðîñòîì ïðè-
êëàäûâàåìîãî íàïðÿæåíèÿ íà íåêîòîðûõ ýëåìåíòàõ
òåìíîâîé òîê ðàñòåò íåëèíåéíî, è îäíîðîäíîñòü åãî
ðàñïðåäåëåíèÿ ïî ýëåìåíòàì óìåíüøàåòñÿ. Ýòî, ïî-
âèäèìîìó, ñâÿçàíî ñ ëîêàëüíûìè ìèêðîíåîäíîðîä-
íîñòÿìè â àëìàçå.
×
óâ
ñò
âè
òå
ëü
íî
ñò
ü,
î
òí
. å
ä.
1,0
0,8
0,6
0,4
0,2
0,0
100 190 210 230 250
Äëèíà âîëíû, íì
Ðèñ. 2. Ñïåêòðàëüíàÿ ÷óâñòâèòåëüíîñòü 122 ýëåìåíòà
ôîòîïðèåìíîé ëèíåéêè 2×64
Í
àï
ðÿ
æ
åí
èå
í
à
âû
õî
äå
ì
óë
üò
èï
ëå
êñ
îð
à,
Â
0,8
0,6
0,4
0,2
0
5 25 45 65 85 105 120 145
Íàïðÿæåíèå íà ëèíåéêå, Â
Ðèñ. 3. Õàðàêòåðèñòèêà ñâåòîâîãî òîêà ôîòîïðèåìíîé
ëèíåéêè
0 40 80 120 Uñì, Â
�120 �80 �40
I, ïÀ
40
30
20
10
�10
�20
�30
�40
1
3
2
4
Ðèñ. 4. ÂÀÕ ýëåìåíòîâ ìàòðèöû 64×64:
1, 2 � òåìíîâîé òîê 48-ãî è 47-ãî ïèêñåëîâ; 3, 4 � ôîòîòîê
48-ãî è 47-ãî ïèêñåëîâ, ñîîòâåòñòâåííî
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2008, ¹ 3
6
ÍÎÂÛÅ ÊÎÌÏÎÍÅÍÒÛ ÄËß ÝËÅÊÒÐÎÍÍÎÉ ÀÏÏÀÐÀÒÓÐÛ
Îáíàðóæåíî, ÷òî ïðè áîëüøèõ íàïðÿæåíèÿõ ñìå-
ùåíèÿ ôîòîòîê Iô ó áîëüøèíñòâà ýëåìåíòîâ ïðåâû-
øàë îãðàíè÷åíèÿ ïî òîêó, çàäàííûå ñõåìîé èçìåðå-
íèÿ (ïîýòîìó äîñòîâåðíûõ ñòàòèñòè÷åñêèõ äàííûõ
ïîëó÷èòü íå óäàëîñü), à òàêæå ÷òî îòäåëüíûå ýëåìåíòû
ìàòðèöû îáëàäàþò î÷åíü âûñîêîé ôîòî÷óâñòâèòåëüíî-
ñòüþ ñ êðàòíîñòüþ Ê=60�70 (Ê=(Iô�Iòåìí)/Iòåìí), à ó
áîëüøèíñòâà êðàòíîñòü ôîòîîòâåòà ëåæèò â èíòåð-
âàëå 1�10 (ðèñ. 5). Òàêàÿ íåðàâíîìåðíîñòü ôîòî-
÷óâñòâèòåëüíîñòè òàêæå îáóñëîâëåíà âíóòðåííèìè
ëîêàëüíûìè ìèêðîíåîäíîðîäíîñòÿìè êðèñòàëëà àë-
ìàçà, â êîòîðûõ, î÷åâèäíî, ïðèñóòñòâóþò öåíòðû ðå-
êîìáèíàöèè, ðåçêî îãðàíè÷èâàþùèå âðåìÿ æèçíè íå-
ðàâíîâåñíûõ ýëåêòðîíîâ è äûðîê.
Îïòèìàëüíûé ïóòü ïîâûøåíèÿ îäíîðîäíîñòè ïà-
ðàìåòðîâ ìàòðè÷íûõ ôîòîïðèåìíèêîâ íà àëìàçå �
èçãîòîâëåíèå èõ íà ýïèòàêñèàëüíûõ ïëåíî÷íûõ
ñòðóêòóðàõ, â êîòîðûõ âîçìîæíî óïðàâëåíèå ïðèìåñ-
íî-äåôåêòíûì ñîñòàâîì, âëèÿþùèì íà ýëåêòðîôè-
çè÷åñêèå ïàðàìåòðû ìàòåðèàëà è, ñëåäîâàòåëüíî, íà
îäíîðîäíîñòü ôîòîýëåêòðè÷åñêèõ ïàðàìåòðîâ ìàò-
ðè÷íûõ ôîòîïðèåìíèêîâ.
Îäíîâðåìåííî çäåñü â ìåíüøåé ñòåïåíè áóäåò
ñêàçûâàòüñÿ è ìàñøòàáíûé ôàêòîð, êîãäà íå íàäî
áóäåò «âûòÿãèâàòü» íîñèòåëè èç îáëàñòè ãåíåðàöèè
÷åðåç âåñü îáúåì êðèñòàëëà òîëùèíîé 200�300 ìêì.
Ýòîò ýôôåêò âëèÿåò íà îïòè÷åñêóþ ñâÿçü ýëåìåíòîâ
ìàòðèöû è íà ñîïðîòèâëåíèå ýëåìåíòà âñëåäñòâèå
ðàñòåêàíèÿ òîêà. Ïëåíî÷íûå ñòðóêòóðû ñ ðàáî÷èì
ñëîåì 10�20 ìêì îáåñïå÷èëè áû òàêæå ïðèåìëå-
ìûå ñ òî÷êè çðåíèÿ ðàáîòû ìóëüòèïëåêñîðà ðàáî÷èå
íàïðÿæåíèÿ 5�10 Â.
***
Âïåðâûå ïîêàçàíà ïðèíöèïèàëüíàÿ âîçìîæíîñòü
ñîçäàíèÿ ìàòðè÷íûõ ôîòîïðèåìíûõ óñòðîéñòâ óëü-
òðàôèîëåòîâîãî äèàïàçîíà íà àëìàçå, îáëàäàþùèõ
âûñîêîé ÷óâñòâèòåëüíîñòüþ. Íà ïðèìåðàõ ëèíåé÷à-
òûõ (2×64) è ìàòðè÷íûõ (64×64) ôîòîïðèåìíûõ
óñòðîéñòâ ðàçðàáîòàíû ïðèíöèïû ïîñòðîåíèÿ è îòðà-
áîòàíà èõ òåõíîëîãèÿ. Ðàçëè÷èå â ôîòî÷óâñòâèòåëü-
íîñòè ïèêñåëîâ ìàòðèöû, ñâÿçàííûå, â îñíîâíîì, ñî
ñòðóêòóðíûìè íåîäíîðîäíîñòÿìè àëìàçà, ìîæíî
êîìïåíñèðîâàòü ïðè ïîñëåäóþùåé ýëåêòðîííîé îá-
ðàáîòêå ñèãíàëà. Èçáàâèòüñÿ îò òàêèõ íåîäíîðîäíî-
ñòåé ïîçâîëÿò êà÷åñòâåííûå ìîíîêðèñòàëëè÷åñêèå
ïëåíêè áîëüøîãî ðàçìåðà. Îäíàêî óæå ñåé÷àñ ìîæ-
íî ãîâîðèòü î ðåàëüíûõ ñèñòåìàõ òåõíè÷åñêîãî çðå-
íèÿ â óëüòðàôèîëåòîâîì äèàïàçîíå íà îñíîâå ñîçäàí-
íûõ àëìàçíûõ ìàòðè÷íûõ óñòðîéñòâ.
ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ
1. Ñîììåð À., Ôîòîýìèññèîííûå ìàòåðèàëû.� Ì.: Ýíåðãèÿ,
1973.
2. Ëèíüêîâ Â. Ëîêàöèîííûå ñèñòåìû îïòè÷åñêîãî äèàïàçîíà,
êîìïëåêñîâ ÏÂÎ èíîñòðàííûõ ãîñóäàðñòâ // Çàðóáåæíîå âîåí-
íîå îáîçðåíèå.� 2001.� ¹ 7.� Ð. 665�685.
3. Ãðóçäåâ Â. Í., Èâàíîâ Â. Í., Ñóðèêîâ È. Í. è äð. Äèñòàíöè-
îííûå íàáëþäåíèÿ â óëüòðàôèîëåòîâîì äèàïàçîíå // Îïòè÷åñêèé
æóðíàë.� 2003.� Ò. 70, ¹ 5.� Ñ. 56�59.
4. Êóâàëäèí Ý. Â., Áîðèñîâ Â. À. Îñíîâíûå õàðàêòåðèñòèêè è
ìåòîäû èñïûòàíèé èçìåðèòåëüíûõ ôîòîäèîäîâ // Òåç. äîêë. XII
Âñåñîþçí. ñåìèíàðà �Èìïóëüñíàÿ ôîòîìåòðèÿ�, Ëåíèíãðàä, 1988.
5. Hochedez J.-F. E., Sohuehle U. H., Pau J. L. et al. New UV
detectors for solar observations // Proceedings of theSPIE.� 2003.�
Vol. 4853.� P. 419�426.
6. Long J. P., Varadaraajan S., Matthews J. et al. UV detectors
and focal plane array imagers based on AlGaN p-i-n photodiodes //
Opto-electronics review.� 2002.� Vol. 10, N 4.� P. 251�260.
7. Ãóëÿåâ Þ. Â., Àëòóõîâ À. À., Ìèòÿãèí À. Þ. Ôîòîïðèåì-
íèêè óëüòðàôèîëåòîâîãî äèàïàçîíà íà îñíîâå àëìàçà 2à òèïà äëÿ
íîâîãî ïîêîëåíèÿ àïïàðàòóðû íàáëþäåíèÿ è ðàñïîçíàâàíèÿ îáúåê-
òîâ // Íàóêà è òåõíîëîãèè â ïðîìûøëåííîñòè.� 2006.� ¹ 5.�
Ñ. 27.
8. Àëòóõîâ À. À., Êèðååâ Â. À., Êèðèëèí Í. Ì. è äð. Ôîòî-
ïðèåìíèêè äëÿ îïòîýëåêòðîííûõ ñèñòåì ÓÔ-äèàïàçîíà íà ïðè-
ðîäíûõ àëìàçàõ // Ðàäèîòåõíèêà è ýëåêòðîíèêà.� 2006.� ¹ 12.�
C. 1526�1529.
9. Àëòóõîâ À. À., Êëî÷êîâà À. Ì., Ìèòÿãèí À. Þ. è äð. Óëüò-
ðàôèîëåòîâûå ôîòîïðèåìíèêè íà îñíîâå ïðèðîäíûõ àëìàçîâ //
Ðàäèîòåõíèêà è ýëåêòðîíèêà.� 2007.� Ò. 52, ¹ 3.� C. 1�4.
10. Àëòóõîâ À. À., Ìèòÿãèí À. Þ., Ãîðîõîâ Å. Â. è äð. Àëìàç-
íûå ôîòîïðèåìíèêè óëüòðàôèîëåòîâîãî äèàïàçîíà // Òåõíîëîãèÿ
è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå.� 2007.� ¹ 4.�
Ñ. 29�31.
Ðèñ. 5. Ðàñïðåäåëåíèå êðàòíîñòè ôîòîîòâåòà ýëåìåíòîâ ëèíåéêè 2×64 íà îñíîâå àëìàçà 2à-òèïà ïðè íàïðÿæåíèè
ñìåùåíèÿ �25 Â
Ê
ðà
òí
îñ
òü
ô
îò
îî
òâ
åò
à
80
60
40
20
0
1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18
Íîìåð ýëåìåíòà ëèíåéêè
|