Особенности формирования быстровосстанавливающихся кремниевых диодов
Установлено, что диодные структуры с минимальным временем восстановления и максимальным коэффициентом формы тока восстановления могут быть сформированы после облучения электронами с энергией 4 МэВ и флюэнсом 6x10¹⁵ см⁻²....
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2008 |
| Main Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2008
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52426 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Особенности формирования быстровосстанавливающихся кремниевых диодов / А.Н. Горбань, В.В. Кравчина, Д.М. Гомольский, А.И. Солодовник // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 3. — С. 35-40. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1859759052929630208 |
|---|---|
| author | Горбань, А.Н. Кравчина, В.В. Гомольский, Д.М. Солодовник, А.И. |
| author_facet | Горбань, А.Н. Кравчина, В.В. Гомольский, Д.М. Солодовник, А.И. |
| citation_txt | Особенности формирования быстровосстанавливающихся кремниевых диодов / А.Н. Горбань, В.В. Кравчина, Д.М. Гомольский, А.И. Солодовник // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 3. — С. 35-40. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Установлено, что диодные структуры с минимальным временем восстановления и максимальным коэффициентом формы тока восстановления могут быть сформированы после облучения электронами с энергией 4 МэВ и флюэнсом 6x10¹⁵ см⁻².
|
| first_indexed | 2025-12-02T02:45:20Z |
| format | Article |
| fulltext |
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2008, ¹ 3
36
ÔÓÍÊÖÈÎÍÀËÜÍÀß ÌÈÊÐÎ- È ÍÀÍÎÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÀ
Äàòà ïîñòóïëåíèÿ â ðåäàêöèþ
04.10 2007 ã. � 05.03 2008 ã.
Îïïîíåíò ä. ô.-ì. í. À. À. ÅÂÒÓÕ
(ÈÔÏ èì. Â. Å. Ëàøêàð¸âà, ã. Êèåâ)
Ä. ô.-ì. í. À. Í. ÃÎÐÁÀÍÜ, ê. ò. í. Â. Â. ÊÐÀÂ×ÈÍÀ,
Ä. Ì. ÃÎÌÎËÜÑÊÈÉ, À. È. ÑÎËÎÄÎÂÍÈÊ
Óêðàèíà, Êëàññè÷åñêèé ïðèâàòíûé óíèâåðñèòåò,
ÎÀÎ "Ýëåìåíò-Ïðåîáðàçîâàòåëü"
E-mail: gorban@education.zp.ua
Óñòàíîâëåíî, ÷òî äèîäíûå ñòðóêòóðû ñ
ìèíèìàëüíûì âðåìåíåì âîññòàíîâëåíèÿ
è ìàêñèìàëüíûì êîýôôèöèåíòîì ôîðìû
òîêà âîññòàíîâëåíèÿ ìîãóò áûòü ñôîð-
ìèðîâàíû ïîñëå îáëó÷åíèÿ ýëåêòðîíàìè
ñ ýíåðãèåé 4 Ìý è ôëþýíñîì 6·1015 ñì�2.
Ïðè ðàçðàáîòêå è èçãîòîâëåíèè âûïðÿìèòåëüíûõ
äèîäîâ, ðàáîòàþùèõ íà ïîâûøåííûõ ÷àñòîòàõ, ïðè-
õîäèòñÿ óäîâëåòâîðÿòü ïðîòèâîðå÷èâûå òðåáîâàíèÿ
ïî îáåñïå÷åíèþ è ìàëûõ ïîòåðü ìîùíîñòè âî âêëþ-
÷åííîì ñîñòîÿíèè, è ìàëîãî âðåìåíè âîññòàíîâëå-
íèÿ îáðàòíîãî íàïðÿæåíèÿ ïðè ïåðåêëþ÷åíèè. Êðî-
ìå òîãî, íåîáõîäèìî ó÷èòûâàòü âîçìîæíîñòü ïîâû-
øåíèÿ îáðàòíûõ òîêîâ ÷àñòîòíûõ äèîäîâ ïðè âûñî-
êèõ òåìïåðàòóðàõ. Îáû÷íî óëó÷øåíèÿ ÷àñòîòíûõ
ïàðàìåòðîâ äîáèâàþòñÿ ââåäåíèåì â îáúåì ïîëóïðî-
âîäíèêà ðàäèàöèîííûõ äåôåêòîâ ñ ãëóáîêèìè óðîâ-
íÿìè â çàïðåùåííîé çîíå. Äëÿ ýòîé öåëè èñïîëüçó-
åòñÿ ðàäèàöèîííàÿ îáðàáîòêà ýëåêòðîíàìè âûñîêîé
ýíåðãèè (1�10 ÌýÂ).
Êàê ïîêàçàíî â ðàáîòàõ [1�5], ðàäèàöèîííàÿ îá-
ðàáîòêà è ïîñëåäóþùèé òåðìè÷åñêèé îòæèã ïîëó-
ïðîâîäíèêîâûõ ýëåìåíòîâ ïîçâîëÿþò â øèðîêèõ
ïðåäåëàõ ðåãóëèðîâàòü âðåìÿ âîññòàíîâëåíèÿ îáðàò-
íîãî òîêà trr êðåìíèåâûõ äèîäîâ. Ñêîðîñòü èçìåíå-
íèÿ âðåìåíè âîññòàíîâëåíèÿ çàâèñèò îò åãî èñõîä-
íîãî çíà÷åíèÿ, ïîýòîìó îòæèã ïåðåä ðàäèàöèîííîé
îáðàáîòêîé ïîçâîëÿåò çíà÷èòåëüíî óìåíüøèòü èçíà-
÷àëüíûé ðàçáðîñ ïî trr. Ïðè ýòîì ïðÿìîå ïàäåíèå
íàïðÿæåíèÿ äèîäîâ èçìåíÿåòñÿ âåñüìà íåçíà÷èòåëü-
íî. (Ïðÿìîå ïàäåíèå íàïðÿæåíèÿ äèîäîâ óâåëè÷è-
âàåòñÿ ïðè óìåíüøåíèè äèôôóçèîííîé äëèíû íåîñ-
íîâíûõ íîñèòåëåé â áàçå è ïðè óâåëè÷åíèè øèðèíû
áàçîâîé îáëàñòè.)
Îòæèã ðàäèàöèîííûõ äåôåêòîâ â ðàññìàòðèâàå-
ìûõ ñòðóêòóðàõ ïðîèñõîäèò â èíòåðâàëå òåìïåðàòóðû
300�450°Ñ. Íàáëþäàþùèéñÿ â íåêîòîðûõ ñëó÷àÿõ
ýôôåêò «îòðèöàòåëüíîãî îòæèãà» íå ÿâëÿåòñÿ ïðî-
öåññîì, ëèìèòèðóþùèì ñòàáèëüíîñòü ïàðàìåòðîâ,
îäíàêî âûçûâàåò íåîáõîäèìîñòü ñîîòâåòñòâóþùåãî
ïîäáîðà ïàðàìåòðîâ îòæèãà äëÿ ðàçíûõ ñòðóêòóð.
 ïðîöåññå îáëó÷åíèÿ êðåìíèÿ ýëåêòðîíàìè âû-
ñîêîé ýíåðãèè â åãî çàïðåùåííîé çîíå ïîÿâëÿåòñÿ
íåñêîëüêî ýíåðãåòè÷åñêèõ óðîâíåé, ñâÿçàííûõ ñ îá-
ðàçóþùèìèñÿ äåôåêòàìè � âàêàíñèÿìè è ñîáñòâåí-
íûìè ìåæäîóçåëüíûìè àòîìàìè. Ïðè ýòîì ìåæäîó-
ÎÑÎÁÅÍÍÎÑÒÈ ÔÎÐÌÈÐÎÂÀÍÈß
ÁÛÑÒÐÎÂÎÑÑÒÀÍÀÂËÈÂÞÙÈÕÑß
ÊÐÅÌÍÈÅÂÛÕ ÄÈÎÄÎÂ
çåëüíûå àòîìû âñòóïàþò â ðåàêöèè çàìåùåíèÿ ñ íå-
êîòîðûìè ïðèìåñÿìè [2�6], âûòåñíÿÿ èõ â ìåæäîó-
çåëüíîå ïîëîæåíèå (Ñi è Âi). Âòîðè÷íûå äåôåêòû,
ìèãðèðóÿ â êðåìíèè, â ñâîþ î÷åðåäü, âñòóïàþò â ðàç-
ëè÷íûå ðåàêöèè, îáðàçóÿ óñòîé÷èâûå ïðè êîìíàòíîé
òåìïåðàòóðå äåôåêòû. Ê íèì îòíîñÿòñÿ êîìïëåêñû
óãëåðîä�êèñëîðîä ÑiÎi (K-öåíòðû) ñ H(0,36), ïàðû
áîð�êèñëîðîä ÂiÎi ñ E(0,25), ïàðû áîð�áîð ÂiÂs ñ
H(0,30) è ìåòàñòàáèëüíûå êîìïëåêñû óãëåðîä�óãëå-
ðîä ÑsÑi ñ E(0,1/0,17) è H(0,05/0,09) [3]. Âàêàíñèè
òðàíñôîðìèðóþòñÿ â êîìïëåêñû âàêàíñèÿ�êèñëîðîä
V�O (À-öåíòðû) ñ E(0,17) è äèâàêàíñèè V 2
�
ñ E(0,23),
V
�
ñ E(0,4) è V + ñ H(0,21) [3, 4]. Ïðè ýòîì íà ñîîòíî-
øåíèå ñòàáèëüíûõ ðàäèàöèîííûõ äåôåêòîâ â êðåì-
íèè ñèëüíî âëèÿåò ïðèìåñíûé ñîñòàâ èñõîäíîãî êðè-
ñòàëëà. (Çäåñü è äàëåå ýíåðãèÿ Å îïðåäåëÿåòñÿ ïîëî-
æåíèåì ýíåðãåòè÷åñêîãî óðîâíÿ äåôåêòà îòíîñèòåëü-
íî äíà çîíû ïðîâîäèìîñòè Åñ, à Í � ýíåðãèÿ îòíî-
ñèòåëüíî ïîòîëêà âàëåíòíîé çîíû Åv. Ýíåðãèÿ âûðà-
æåíà â ýÂ.)
Íåñòàöèîíàðíàÿ åìêîñòíàÿ ñïåêòðîñêîïèÿ ãëóáî-
êèõ óðîâíåé (ÍÅÑÃÓ) ïîçâîëÿåò ïðîâîäèòü êîëè-
÷åñòâåííóþ îöåíêó ñå÷åíèÿ çàõâàòà óðîâíÿ σn, ýíåð-
ãèè àêòèâàöèè óðîâíÿ Et (ïîëîæåíèå óðîâíÿ â çàïðå-
ùåííîé çîíå), êîíöåíòðàöèè ëîâóøåê Nt. Äëÿ îïðå-
äåëåíèÿ ýòèõ ïàðàìåòðîâ èñïîëüçîâàëè ñîîòíîøå-
íèÿ, ïðèâåäåííûå â [2].
Öåëüþ íàñòîÿùåé ðàáîòû ÿâëÿåòñÿ îïðåäåëåíèå
òåõíîëîãè÷åñêèõ îñîáåííîñòåé èçãîòîâëåíèÿ ñèëî-
âûõ ïðèáîðîâ, ïîçâîëÿþùèõ óëó÷øèòü èõ ÷àñòîòíûå
õàðàêòåðèñòèêè, à èìåííî èññëåäîâàíèå âîçìîæíî-
ñòè îïòèìèçàöèè âðåìåíè âîññòàíîâëåíèÿ äèîäíûõ
ñòðóêòóð ïðè èçìåíåíèè ýíåðãèè ýëåêòðîíîâ äëÿ îá-
ëó÷åíèÿ ñòðóêòóð è óñëîâèé îòæèãà ðàäèàöèîííûõ
äåôåêòîâ.
Ìåòîäèêà ýêñïåðèìåíòà
 ðàáîòå ïðîâîäèëîñü èññëåäîâàíèå ðàçëè÷íûõ
ñåðèéíûõ äèîäíûõ ñòðóêòóð ÎÎÎ «Ýëåìåíò-Ïðåîá-
ðàçîâàòåëü», êîòîðûå ôîðìèðîâàëèñü íà ïëàñòèíàõ
òîëùèíîé 270�350 ìêì, âûïîëíåííûõ èç êðåìíèÿ
n-òèïà ñ óäåëüíûì ñîïðîòèâëåíèåì 10�60 Îì·ñì.
Èñïîëüçîâàëèñü ïëàñòèíû èç êðåìíèÿ ×îõðàëüñêî-
ãî nCz�Si (À15, À20, Á45, ÊÅÔ45-60), èç êðåìíèÿ
áåçòèãåëüíîé çîííîé ïëàâêè nFZ, èç êðåìíèÿ, ëåãè-
ðîâàííîãî ïðè ïîìîùè òðàíñìóòàöèîííûõ ÿäåðíûõ
ðåàêöèé (ÊÎÔ-30, 45, 60). Ñ îäíîé ñòîðîíû ïëàñòèí
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2008, ¹ 3
37
ÔÓÍÊÖÈÎÍÀËÜÍÀß ÌÈÊÐÎ- È ÍÀÍÎÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÀ
ïðîâîäèëàñü äèôôóçèÿ áîðà ñ àëþìèíèåì íà ãëóáè-
íó 60�110 ìêì è ôîðìèðîâàëñÿ ð+-ñëîé Si-îáëàñòè
àíîäà, à ñ äðóãîé ñòîðîíû � äèôôóçèÿ ôîñôîðà íà
ãëóáèíó 50�70 ìêì è ôîðìèðîâàëñÿ n+-ñëîé Si êà-
òîäíîé îáëàñòè. Îäíîâðåìåííàÿ äèôôóçèÿ àêöåïòîð-
íîé è äîíîðíîé ïðèìåñåé ïðîâîäèëàñü ïðè òåìïå-
ðàòóðå 1250°Ñ ñ ïîìîùüþ ëåãèðîâàííûõ îêèñíûõ
ïëåíîê.
Ïîñëå äèôôóçèè â ïëàñòèíû êðåìíèÿ îïðåäåëÿ-
ëîñü ðàñïðåäåëåíèå ëåãèðóþùåé ïðèìåñè ïî ãëóáè-
íå ïðè ïîìîùè ïîñëîéíîãî øëèôîâàíèÿ äèôôóçè-
îííîé îáëàñòè è çàìåðà èçìåíåíèÿ óäåëüíîãî ñîïðî-
òèâëåíèÿ. Îìè÷åñêèå êîíòàêòû àíîäà è êàòîäà ïîëó-
÷àëè ïóòåì ôîðìèðîâàíèÿ ïëåíîê íèêåëÿ èëè àëþ-
ìèíèÿ.
Äàëåå ñ öåëüþ ìîäèôèêàöèè âðåìåíè æèçíè íî-
ñèòåëåé çàðÿäà ãîòîâûå ñòðóêòóðû îáëó÷àëè ïî ñòàí-
äàðòíîé òåõíîëîãèè [4] ìîíîýíåðãåòè÷åñêèìè ýëåê-
òðîíàìè ñ ýíåðãèåé 4 è 10 ÌýÂ è ôëþýíñàìè ýëåê-
òðîííîé îáðàáîòêè ñîîòâåòñòâåííî F=6·1015ñì�2 è
F=(6�8)·1014 ñì�2. Ñòðóêòóðû ïîäâåðãàëèñü òåðìè-
÷åñêîìó îòæèãó ïðè òåìïåðàòóðàõ 300�450°Ñ. Âðå-
ìÿ è òåìïåðàòóðà îòæèãà âûáèðàëèñü èç íåîáõîäè-
ìîñòè çàäàíèÿ îïòèìàëüíûõ çíà÷åíèé âðåìåíè âîñ-
ñòàíîâëåíèÿ trr è íàïðÿæåíèÿ ïðè ïðÿìîì âêëþ÷å-
íèè Uïð. Îäíîâðåìåííî ïðîâîäèëñÿ êîíòðîëü âðå-
ìåíè æèçíè íåîñíîâíûõ íîñèòåëåé çàðÿäà τð.
Ïîñëå èçãîòîâëåíèÿ äèîäíûõ ñòðóêòóð ïðîâî-
äèëñÿ êîíòðîëü èõ îñíîâíûõ ïàðàìåòðîâ. Òåìïå-
ðàòóðíûå èçìåíåíèÿ íàïðÿæåíèÿ Víåñãó, ñîîòâåòñòâó-
þùèå èçìåíåíèþ åìêîñòè èññëåäóåìîé ñòðóêòóðû,
è òåìïåðàòóðíûå èçìåíåíèÿ òîêà ïðîâîäèìîñòè ² èñ-
ñëåäîâàëè íà èçìåðèòåëüíîì êîìïëåêñå DLS-82E.
Ïðè îòðèöàòåëüíûõ çíà÷åíèÿõ íàïðÿæåíèÿ ñìåùå-
íèÿ Ur=�4,0  è çíà÷åíèÿõ èìïóëüñà U1≤0,1  îáåñ-
ïå÷èâàëñÿ ðåæèì îáåäíåíèÿ, è íàáëþäàåìûå ëîâóø-
êè îïðåäåëÿëèñü êàê ëîâóøêè îñíîâíûõ íîñèòåëåé
çàðÿäà (î. í. ç.) � ýëåêòðîíîâ â êðåìíèè n-òèïà. Ïðè
ïîëîæèòåëüíûõ çíà÷åíèÿõ èìïóëüñà U1≥1,0  îáåñ-
ïå÷èâàëñÿ ðåæèì îáîãàùåíèÿ, êîòîðûé ïîçâîëÿåò
îïðåäåëÿòü ëîâóøêè íåîñíîâíûõ íîñèòåëåé çàðÿäà
(í. í. ç.) � äûðîê â Si n-òèïà.
Äëèòåëüíîñòü çàïîëíÿþùåãî èìïóëüñà U1 ñîñòàâ-
ëÿëà 50 ìêñ.  õîäå ðàáîòû ïðîâîäèëàñü êîëè÷åñòâåí-
íàÿ îöåíêà ñå÷åíèÿ çàõâàòà σn è êîíöåíòðàöèè ëîâó-
øåê Nt èññëåäóåìîãî óðîâíÿ. Êîíöåíòðàöèÿ ëîâóøåê
ïðîïîðöèîíàëüíà èçìåíåíèþ åìêîñòè ∆Ñ ïðè âîç-
äåéñòâèè çàïîëíÿþùåãî èìïóëüñà. Âåëè÷èíà èçìå-
ðÿåìîãî íàïðÿæåíèÿ Víåñãó òàêæå ïðîïîðöèîíàëüíà
∆Ñ. Ñêîðîñòü ýëåêòðîííîé ýìèññèè ån ïðè äîñòè-
æåíèè ïèêà ÍÅÑÃÓ îïðåäåëÿëàñü ïðè ïîìîùè àï-
ïðîêñèìàöèîííîé ôîðìóëû
ån (Tmax )=2,17/t0, (1)
Ðåçóëüòàòû ýêñïåðèìåíòà
 êðåìíèè ÊÅÔ è ÁÇÏ ïîñëå îáëó÷åíèÿ è îòæè-
ãà îïðåäåëÿþòñÿ ñëåäóþùèå äîìèíèðóþùèå ëî-
âóøêè: Å-öåíòðû, äèâàêàíñèè, À- è Ê-öåíòðû. Ïîñ-
ëå ïîëó÷åíèÿ ñåðèè ñïåêòðîâ, ñîîòâåòñòâóþùèõ
ðàçëè÷íûì ñêîðîñòÿì òåðìè÷åñêîé ýìèññèè, è ïî-
ñòðîåíèÿ ãðàôèêîâ â êîîðäèíàòàõ Àððåíèóñà ïðîèç-
âîäèëàñü èäåíòèôèêàöèÿ ãëóáîêèõ óðîâíåé. Ðåêîì-
áèíàöèîííûå öåíòðû (ÐÖ), íàáëþäàåìûå â ðåæèìå
î. í. ç. â äèîäíûõ ñòðóêòóðàõ ïîñëå èõ îáëó÷åíèÿ,
áûëè èäåíòèôèöèðîâàíû êàê ëîâóøêè ñî ñëåäóþùè-
ìè óðîâíÿìè: Å1(0,17), σ1n=3,1·10�15 ñì2; Å2(0,26),
σ2n=6,6·10�14 ñì2; Å3(0,37), σ3n=1,5·10�15 ñì2; Å4(0,42),
σ4n=1,0·10�15 ñì2 [1].  ñëó÷àå ïåðåçàðÿäêè óðîâíåé
â ðåæèìå èíæåêöèè â áàçó íåîñíîâíûõ íîñèòåëåé
çàðÿäà äëÿ èññëåäóåìûõ ñòðóêòóð íàáëþäàþòñÿ ñëå-
äóþùèå îñíîâíûå ëîâóøêè í. í. ç: Í2(0,20),
σ2ð=2,1·10�15 ñì2; Í3(0,35), σ3ð=3,1·10�15 ñì2.
Ìîäèôèêàöèÿ ðåêîìáèíàöèîííûõ öåíòðîâ, ïîëó-
÷åííûõ â êðåìíèè ÊÅÔ è ÁÇÏ ïðè èõ îáëó÷åíèè å�
ñ ýíåðãèåé 10 Ìý è F=(6�8)·1014 ñì�2, ïîäðîáíî
îïèñûâàåòñÿ â ðàáîòå [4]. Ïðè îòæèãå ñòðóêòóð ïðî-
èñõîäèò óâåëè÷åíèå êîíöåíòðàöèè äî ìàêñèìóìà, à
çàòåì åå óìåíüøåíèå, è îòæèã ëîâóøåê À-öåíòðîâ
Å1(0,17). Íàðÿäó ñ èçìåíåíèåì êîíöåíòðàöèè À-öåí-
òðîâ ïðîèñõîäèò îäíîâðåìåííîå óìåíüøåíèå êîí-
öåíòðàöèè ëîâóøåê Å4(0,43), ñîîòâåòñòâóþùèõ Å-
öåíòðàì, è óâåëè÷åíèå êîíöåíòðàöèè äåôåêòîâ ñ
óðîâíåì Å3(0,37). Â óñëîâèÿõ îòæèãà ñòðóêòóð ïî-
ñëå îáëó÷åíèÿ å� ñ ýíåðãèåé 10 Ìý è F=8·1014 ñì�2
ïðîèñõîäèò îòæèã À-öåíòðîâ V�O è ôîðìèðîâàíèå
óðîâíåé Å3(0,37) è Í4(0,3). Îáðàçîâàíèå óðîâíÿ
Å3(0,37) íàáëþäàåòñÿ ïîñëå îáëó÷åíèÿ Cz�Si è
FZ�Si, ãäå ð�n-ïåðåõîä ñôîðìèðîâàí ñ ïîìîùüþ ïðèìå-
ñè Àl [7, 8]. Íà èñõîäíûõ òðàâëåííûõ ñòðóêòóðàõ èç
òîãî æå êðåìíèÿ, íî ãäå ð�n-ïåðåõîä ôîðìèðîâàëñÿ
ñ ïîìîùüþ ïðèìåñè áîðà áåç ó÷àñòèÿ àëþìèíèÿ [4],
óðîâåíü Å3(0,37) îòñóòñòâóåò. Ïðè ôîðìèðîâàíèè
ð�n-ïåðåõîäà ñ ïîìîùüþ ïðîöåññîâ òåðìîìèãðàöèè
îáðàçîâàíèå óðîâíÿ Å3(0,37) íàáëþäàåòñÿ â èñõîä-
íûõ äèîäíûõ ñòðóêòóðàõ, íà êîòîðûõ ïðîöåññû ðà-
äèàöèîííîé îáðàáîòêè íå ïðîâîäèëèñü [9, 10]. Ïî-
ýòîìó ìîæíî ïðåäïîëîæèòü ó÷àñòèå Àl â îáðàçîâà-
íèè ÐÖ Å3 è Í4. Êîíöåíòðàöèÿ ýòèõ óðîâíåé âîçðàñ-
òàåò ïðè îòæèãå À-, Å-öåíòðîâ è äèâàêàíñèé V2
2� ñ
E2(0,23) è V2
� ñ E3(0,41). Ìîæíî ïðåäïîëîæèòü, ÷òî
êðîìå âëèÿíèÿ íà äåôåêòîîáðàçîâàíèå ìåõàíè÷å-
ñêèõ íàïðÿæåíèé, ñîçäàâàåìûõ àòîìàìè Àl, ïðîèñõî-
äÿò òàêæå ðåàêöèè îáðàçîâàíèÿ öåíòðîâ Àl³VÎ� [11].
Ïðè èññëåäîâàíèè ÍÅÑÃÓ-ñïåêòðîâ äèîäíûõ
ñòðóêòóð, áàçà êîòîðûõ ñôîðìèðîâàíà èç êðåìíèÿ
nCz�Si À15, À20, óñòàíîâëåíî, ÷òî ïîñëå îáëó÷åíèÿ
å� ñ ýíåðãèåé 4 Ìý è F=(3�6)·1015 ìàêñèìàëüíûå
èçìåíåíèÿ åìêîñòè p�n-ïåðåõîäà è òåðìîñòèìóëèðî-
âàííîãî òîêà ïðîâîäèìîñòè ñòðóêòóð ïðîèñõîäÿò â
äèàïàçîíå òåìïåðàòóðû 230�315 Ê, à ïîñëå îáëó÷å-
íèÿ å� ñ ýíåðãèåé 10 Ìý è F=8·1014 ñì�2 � â äèàïà-
çîíå 90�140 Ê (ðèñ. 1).
Êàê âèäíî èç ðèñ. 1, ïðè îáëó÷åíèè äèîäíûõ
ñòðóêòóð ýëåêòðîíàìè ñ ýíåðãèåé 4 ÌýÂ, â îñíîâ-
íîì, ôîðìèðóþòñÿ âûñîêîýíåðãåòè÷íûå äåôåêòû, êî-
òîðûå ìåíÿþò çàðÿäîâîå ñîñòîÿíèå â äèàïàçîíå òåì-
ïåðàòóðû 230�315 Ê. Ïðè òåìïåðàòóðå 262 Ê â ðåæè-
ìàõ äëÿ îñíîâíûõ è íåîñíîâíûõ íîñèòåëåé çàðÿäà
ãäå t0 �
Tmax �
ïåðèîä ïîâòîðåíèÿ èìïóëüñîâ U1;
òåìïåðàòóðà, ñîîòâåòñòâóþùàÿ ìàêñèìóìó ïèêà ñèãíà-
ëà ÍÅÑÃÓ.
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2008, ¹ 3
38
ÔÓÍÊÖÈÎÍÀËÜÍÀß ÌÈÊÐÎ- È ÍÀÍÎÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÀ
íàáëþäàåòñÿ ðåçêèé äâîéíîé ïèê Åä, òåìïåðàòóðíîå
ïîëîæåíèå ýêñòðåìóìà êîòîðîãî íå ìåíÿåòñÿ ïðè èç-
ìåíåíèè ñêîðîñòè ýìèññèè íîñèòåëåé çàðÿäà. Â ðà-
áîòå [7] ðàññìàòðèâàþòñÿ ïîäîáíûå ïèêè, êîòîðûå
ñîîòâåòñòâóþò ïåðåçàðÿäêå ñòðóêòóðíûõ äåôåêòîâ (â
÷àñòíîñòè, äèñëîêàöèé íåñîîòâåòñòâèÿ). Íà èññëå-
äóåìûõ îáðàçöàõ n-Si À15, À20 ïîäîáíóþ ýëåêòðè-
÷åñêóþ àêòèâíîñòü ïðîÿâëÿþò ñòðóêòóðíûå äåôåê-
òû, êîòîðûå â çàâèñèìîñòè îò ýíåðãèè ýëåêòðîíîâ
îáëó÷åíèÿ ôèêñèðóþòñÿ â ðàçëè÷íûõ òåìïåðàòóðíûõ
äèàïàçîíàõ. Â ýòèõ äèàïàçîíàõ ôèêñèðóþòñÿ è ðå-
êîìáèíàöèîííûå öåíòðû, êîòîðûå èçíà÷àëüíî èìå-
þò ìàêñèìàëüíóþ êîíöåíòðàöèþ.
Òàêèì îáðàçîì, îáðàáîòêà ýëåêòðîíàìè ðàçëè÷-
íûõ ýíåðãèé ïðèâîäèò ê ôîðìèðîâàíèþ êàê îòëè÷à-
þùèõñÿ ãëóáîêèõ óðîâíåé, òàê è îòëè÷àþùèõñÿ
ñòðóêòóðíûõ äåôåêòîâ. Òåìïåðàòóðíûå äèàïàçîíû
ýëåêòðè÷åñêîé àêòèâíîñòè ñòðóêòóðíûõ äåôåêòîâ íå-
ñîîòâåòñòâèÿ îòëè÷àþòñÿ óâåëè÷åíèåì òîêà ïðîâî-
äèìîñòè ². Ïðèðîäó óâåëè÷åíèÿ ýòîãî òîêà ìîæíî
îáúÿñíèòü ïðîòåêàíèåì ýìèññèîííûõ ïðîöåññîâ çà-
ðÿäêè ñòðóêòóðíûõ äåôåêòîâ íåñîîòâåòñòâèÿ, êîòî-
ðûå ðàñïîëîæåíû ó ð�n-ïåðåõîäà. Íåîáõîäèìî òàê-
æå îòìåòèòü, ÷òî ïîñëå îáëó÷åíèÿ äèîäíûõ ñòðóê-
òóð ýëåêòðîíàìè ñ ýíåðãèåé 4 Ìý è F=6·1015 ñì�1
íàáëþäàþòñÿ îòäåëüíûå õàðàêòåðíûå ãðóïïû ÐÖ Íñ1,
Íñ2, Íñ3, êîòîðûå ñîñòîÿò èç ñåðèè ïèêîâ (ðèñ. 1).
Ïðè îòæèãå íà íà÷àëüíîì ïðîìåæóòêå âðåìåíè
ïðîèñõîäèò îáðàçîâàíèå ëîâóøåê, ïðîÿâëÿþùèõ
ýëåêòðè÷åñêóþ àêòèâíîñòü ïðè áîëåå íèçêèõ òåìïå-
ðàòóðàõ, â òîì ÷èñëå è óâåëè÷åíèå êîíöåíòðàöèè
Å3(0,37). Ïîñêîëüêó ðåêîìáèíàöèîííûé öåíòð äèâà-
êàíñèè Å3(0,37) èìååò ñðàâíèòåëüíî âûñîêóþ òåì-
ïåðàòóðó îòæèãà (≥350°Ñ), ýòî ïîçâîëÿåò âî âðåìÿ
ôîðìèðîâàíèÿ äèâàêàíñèè Å3(0,37) îòæå÷ü äåôåêòû
äëÿ íåîñíîâíûõ íîñèòåëåé çàðÿäà òèïà Ê-öåíòðîâ ñ
ìåíüøåé òåìïåðàòóðîé îòæèãà. Ïðè òàêèõ òåðìè÷å-
ñêèõ ïåðåñòðîéêàõ äåôåêòîâ îáðàçóþòñÿ öåíòðû
Í2(0,2), íî èõ êîíöåíòðàöèÿ ïðè îïòèìàëüíîì âðå-
ìåíè æèçíè í. í. ç. ïðè îáëó÷åíèè 4 Ìý çíà÷èòåëü-
íî ìåíüøå, ÷åì ïðè îáëó÷åíèè 10 ÌýÂ, êîãäà èçíà-
÷àëüíî ïîñëå îáëó÷åíèÿ êîíöåíòðàöèÿ ýòèõ öåíòðîâ
âûñîêàÿ.
Äëÿ îáðàçöîâ ñî çíà÷èòåëüíîé êîíöåíòðàöèåé ÐÖ
Í2, íàïðèìåð ïîñëå ðàäèàöèîííîé îáðàáîòêè ýëåêò-
ðîíàìè ñ ýíåðãèåé 10 ÌýÂ, ïðè ìèíèìàëüíîì âðå-
ìåíè îïòèìàëüíîãî îòæèãà íàáëþäàåòñÿ îáðàçîâà-
íèå äâóõ ïèêîâ òîêà âîññòàíîâëåíèÿ [4]. Äàííûé ýô-
ôåêò ìîæíî îáúÿñíèòü ðàçëè÷èåì ñêîðîñòåé çàõâà-
òà è îñâîáîæäåíèÿ íîñèòåëåé çàðÿäà ðåêîìáèíàöè-
îííûìè öåíòðàìè Í1, Í2 è Å3, Å4, Å5. Ïîñêîëüêó ñêî-
ðîñòü ýìèññèè ÐÖ Í1, Í2 íà ïîðÿäîê íèæå ñêîðîñòè
ýìèññèè Å3, Å4, Å5, äëèòåëüíîñòü ïðîöåññîâ âîññòà-
íîâëåíèÿ ñ ó÷àñòèåì ÐÖ Í1, Í2 âîçðàñòàåò, ÷òî è ïðè-
âîäèò ê ïîÿâëåíèþ îòäåëüíîãî âòîðîãî ïèêà ñ áîëü-
øèì âðåìåíåì âîññòàíîâëåíèÿ. Òàêèì îáðàçîì, âòî-
ðîé ïèê ïðèíàäëåæèò ê ïðîöåññàì âîññòàíîâëåíèÿ
ñ ó÷àñòèåì ÐÖ Í1, Í2. Ïðè òåìïåðàòóðå èñïûòàíèé
125�150°Ñ ýòè äâà ðàçäåëüíûõ ïèêà ñáëèæàþòñÿ.
Äëÿ îáðàçöîâ ñ íåçíà÷èòåëüíîé êîíöåíòðàöèåé ÐÖ
Í1, Í2, íàïðèìåð ïîñëå ðàäèàöèîííîé îáðàáîòêè
ýëåêòðîíàìè ñ ýíåðãèåé 4 ÌýÂ, ïðè ìèíèìàëüíîì
âðåìåíè îïòèìàëüíîãî îòæèãà íàáëþäàåòñÿ îáðàçî-
âàíèå îäíîãî ïèêà òîêà âîññòàíîâëåíèÿ è, ñîîòâåò-
ñòâåííî, çàäà÷à óìåíüøåíèÿ âðåìåíè âîññòàíîâëå-
íèÿ óïðîùàåòñÿ.
Äëÿ îáðàáîòêè ýëåêòðîíàìè 4 ÌýÂ îïòèìàëüíûé
ðåæèì îòæèãà îïðåäåëÿåòñÿ îïòèìàëüíûì ñî÷åòàíè-
åì çíà÷åíèé ïðÿìîãî ïàäåíèÿ íàïðÿæåíèÿ è êîíöåí-
òðàöèè äåôåêòîâ ñ ïðåîáëàäàíèåì ñîäåðæàíèÿ ÐÖ
Å3(0,37). Òàêàÿ îäíîðîäíîñòü äåôåêòîâ ïîçâîëÿåò
óìåíüøèòü âðåìÿ âîññòàíîâëåíèÿ ñòðóêòóð ïîñëå îá-
ðàáîòêè ýëåêòðîíàìè ñ ýíåðãèåé 4 ÌýÂ ïî ñðàâíå-
íèþ ñ îáëó÷åíèåì 10 ÌýÂ. Ïîýòîìó îïòèìèçàöèÿ
äåôåêòíîãî ñîñòàâà è âðåìåíè âîññòàíîâëåíèÿ äè-
îäíûõ ñòðóêòóð çàêëþ÷àåòñÿ â ôîðìèðîâàíèè ìàê-
ñèìàëüíîãî îòíîøåíèÿ êîíöåíòðàöèè ÐÖ Å3(0,37) è
êîíöåíòðàöèè îñòàëüíûõ äåôåêòîâ. Ìàêñèìàëüíûé
êîýôôèöèåíò ôîðìû òîêà îáðàòíîãî âîññòàíîâëåíèÿ
S, îïðåäåëÿåìûé ñêîðîñòÿìè èçìåíåíèÿ àíîäíîãî
òîêà íà ôàçàõ íàðàñòàíèÿ è ñïàäà [4], íàáëþäàåòñÿ
äëÿ ñòðóêòóð ïîñëå îáëó÷åíèÿ ýëåêòðîíàìè ñ ýíåð-
ãèåé 4 Ìý è F=6·1015 ñì�2.
Îïòèìàëüíûå çíà÷åíèÿ âðåìåíè è òåìïåðàòóðû
ïðîöåññà îòæèãà ðåêîìáèíàöèîííûõ öåíòðîâ â êðåì-
íèåâûõ ñòðóêòóðàõ ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ýëåìåíòîâ
äèîäíûõ ñòðóêòóð çàâèñÿò îò òèïà êðåìíèÿ áàçû. Íà
ðèñ. 2 ïîêàçàíû çàâèñèìîñòè âðåìåíè âîññòàíîâëå-
íèÿ trr è âðåìåíè æèçíè íåîñíîâíûõ íîñèòåëåé çà-
ðÿäà τp îò íàïðÿæåíèÿ Uïð íà ïîëóïðîâîäíèêîâîì
ýëåìåíòå Ä×261. Èç ðèñóíêà âèäíî ÷òî, äëÿ ïîëó÷å-
íèÿ ïðèáîðîâ ñ trr≤2 ìêñ íåîáõîäèìî ïðè òîëùèíå
áàçû w=140�160 ìêì ôîðìèðîâàòü ýëåìåíòû ñ
Uïð=1,7�2,2 Â.
Îïòèìàëüíûå ðåæèìû îòæèãà äèîäíûõ ñòðóêòóð,
ñôîðìèðîâàííûõ íà ïëàñòèíàõ êðåìíèÿ ÊÅÔ è ÊÎÔ,
I, ìÀ
2
1
0
à)
Víåñãó, B
10
5
0
I, ìÀ
2
1
0
H2
H3
E3
Eä
E4
H4
H1
Å2
310 275 240 205 170 135 100 Ò, Ê
I
Víåñãó, B
10
5
0
H6
E5
Åä
345 310 275 240 205 170 135 100 Ò, Ê
H4
H5
H1
H3Å3Å4 Å2
H2
Ðèñ. 1. Îñîáåííîñòè ôîðìèðîâàíèÿ äåôåêòîâ â êðåìíèè À15 â ïðîöåññå îáëó÷åíèÿ ýëåêòðîíàìè å� ïðè en=280 c�1:
à � 10 ÌýÂ, 8·1014 ñì�2; á � 4 ÌýÂ, 6·1015 ñì�2
I
á)
Hñ1
Hñ2
Hñ3
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2008, ¹ 3
39
ÔÓÍÊÖÈÎÍÀËÜÍÀß ÌÈÊÐÎ- È ÍÀÍÎÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÀ
îòëè÷àþòñÿ íåîáõîäèìîñòüþ óâåëè÷åíèÿ òåìïåðàòó-
ðû îòæèãà äëÿ ÊÎÔ-ñòðóêòóð. Òàê, äëÿ ÊÅÔ-45 îï-
òèìàëüíûì ÿâëÿåòñÿ îòæèã ïðè òåìïåðàòóðå 390�
400°Ñ, äëÿ ÊÎÔ-45 � ïðè 420�450°Ñ â òå÷åíèå
50�80 ìèí. Íà ðèñ. 3 ïîêàçàíû çàâèñèìîñòè ïðÿìî-
ãî íàïðÿæåíèÿ îò âðåìåíè îòæèãà ïðè ðàçëè÷íûõ òåì-
ïåðàòóðàõ äëÿ ñòðóêòóð Ä×261 íà îñíîâå èñõîäíîãî
ÊÎÔ-45. Áîëåå óäîáíûì ÿâëÿåòñÿ ðåæèì îòæèãà,
èìåþùèé ëèíåéíóþ çàâèñèìîñòü, c òåõíîëîãè÷å-
ñêè ïðèåìëåìîé ñêîðîñòüþ èçìåíåíèÿ ïðÿìîãî íàïðÿ-
æåíèÿ â îáëàñòè ìèíèìàëüíîãî âðåìåíè âîññòàíîâ-
ëåíèÿ îáðàòíîãî òîêà. Ïðè 390°Ñ ïðîèñõîäèò çíà÷è-
òåëüíîå óâåëè÷åíèå âðåìåíè îòæèãà, ÷òî ïðèâîäèò
ê óâåëè÷åíèþ âðåìåíè trr. Äèîäû ñ ìèíèìàëüíûì trr,
ìàêñèìàëüíûì S è âûñîêèì ïðîáèâíûì íàïðÿæåíè-
åì (U≥2000 Â) ïîëó÷åíû íà äèîäíûõ ñòðóêòóðàõ, èç-
ãîòîâëåííûõ íà ïëàñòèíàõ ÊÎÔ-45 ïðè îòæèãå
(420�430°Ñ) â êîíâåéåðíûõ âîäîðîäíûõ ïå÷àõ.
Ïðè èññëåäîâàíèè îñîáåííîñòåé îòæèãà äèîäíûõ
ñòðóêòóð, èçãîòîâëåííûõ èç ðàçëè÷íûõ òèïîâ ïëàñ-
òèí êðåìíèÿ, ñ ïîìîùüþ ÍÅÑÃÓ èçó÷àëîñü âëèÿ-
íèå áûñòðîäèôôóíäèðóþùèõ ïðèìåñåé íà ôîðìè-
ðîâàíèå è îòæèã ÐÖ. Îäíîâðåìåííîå c äèôôóçèåé
ëåãèðóþùèõ ïðèìåñåé ïîïàäàíèå â îáëàñòü ïðî-
ñòðàíñòâåííûõ çàðÿäîâ áàçîâîé îáëàñòè áûñòðîäèô-
ôóíäèðóþùèõ íåêîíòðîëèðóåìûõ ïðèìåñåé ïðèâî-
äèò ê óìåíüøåíèþ âðåìåíè æèçíè í. í. ç. íà äèîä-
íûõ ñòðóêòóðàõ ïåðåä îáëó÷åíèåì, à òàêæå ê óâåëè-
÷åíèþ âðåìåíè è òåìïåðàòóðû ïîñëåäóþùåãî îòæèãà
ÐÖ ýòèõ ñòðóêòóð. Ê çàãðÿçíÿþùèì êîìïëåêñàì ìîæ-
íî îòíåñòè óãëåðîäíûå ñîåäèíåíèÿ, à òàêæå ÐÖ ñ ó÷à-
ñòèåì ìåòàëëîâ, ïèêè êîòîðûõ íàáëþäàþòñÿ íà ñïåê-
òðàõ ÍÅÑÃÓ. Óãëåðîäíûå êîìïëåêñû ñîñòàâëÿþò ÐÖ,
êîòîðûå îáëàäàþò íèçêèìè ñêîðîñòÿìè ýìèññèè íî-
ñèòåëåé çàðÿäà, ïîýòîìó âðåìÿ âîññòàíîâëåíèÿ òà-
êèõ ñòðóêòóð óâåëè÷èâàåòñÿ.
 ðÿäå ñëó÷àåâ ïðè íèçêîì âðåìåíè æèçíè í. í. ç.
äèîäíûõ ñòðóêòóð äî îáëó÷åíèÿ, íàïðèìåð, èç-çà íà-
ëè÷èÿ çàãðÿçíÿþùèõ ïðèìåñåé, âðåìÿ îòæèãà âîç-
ðàñòàåò, êàê ïîêàçàíî íà ðèñ. 3 (êðèâàÿ 3). Òàì æå
âèäíî, ÷òî åñëè â ïðîöåññå îòæèãà óâåëè÷èâàåòñÿ
êîíöåíòðàöèÿ íåêîíòðîëèðóåìûõ ÐÖ, ñîîòâåòñòâó-
þùèõ íåêîòîðûì çàãðÿçíÿþùèì ïðèìåñÿì (ìåòàë-
ëîâ), òî íàáëþäàåòñÿ óâåëè÷åíèå ïàäåíèÿ ïðÿìîãî
íàïðÿæåíèÿ (êðèâàÿ 4). Êîíöåíòðàöèÿ ÐÖ Í1, Í2 ïîñ-
ëå ðàäèàöèîííîé îáðàáîòêè â äèîäíûõ ñòðóêòóðàõ,
ñôîðìèðîâàíûõ ñ ïîìîùüþ ãàçîâîé äèôôóçèè, íà
äâà-òðè ïîðÿäêà ìåíüøå, ÷åì â äèîäíûõ ñòðóêòóðàõ,
ñôîðìèðîâàííûõ ñ ïîìîùüþ ðàññìàòðèâàåìîé äèô-
ôóçèè èç îêèñíûõ ïëåíîê. Ñîñòàâíîé ÷àñòüþ îêèñ-
íûõ ïëåíîê ÿâëÿåòñÿ óãëåðîä, êîòîðûé ïðè ãàçîâîé
äèôôóçèè ÿâëÿåòñÿ çàãðÿçíÿþùåé ôîíîâîé ïðèìå-
ñüþ. Êðîìå òîãî, äëÿ ýïèòàêñèàëüíûõ ñòðóêòóð õà-
ðàêòåðíû çíà÷èòåëüíî ìåíüøèå, ÷åì äëÿ êðåìíèÿ
×îõðàëüñêîãî, êîíöåíòðàöèè ôîíîâîé ïðèìåñè óã-
ëåðîäà è êèñëîðîäà. Ïîýòîìó íàáëþäàåìûå êîíöåí-
òðàöèè óãëåðîäñîäåðæàùèõ ÐÖ çíà÷èòåëüíî ìåíü-
øå ïðè ãàçîâîé äèôôóçèè ôîðìèðîâàíèÿ äèîäíûõ
ñòðóêòóð. Ìîæíî ïðåäïîëîæèòü, ÷òî îáðàçîâàíèå ÐÖ
Í1, Í2 ïðîèñõîäèò ñ ó÷àñòèåì àòîìîâ óãëåðîäà (êèñ-
ëîðîäà).
***
Äëÿ òåõíîëîãè÷åñêîãî êîíòðîëÿ êà÷åñòâà è ñîîò-
âåòñòâèÿ äèôôóçèîííûõ ñòðóêòóð ãîäíûì ïîëóïðî-
âîäíèêîâûì ïðèáîðàì ìîæíî èñïîëüçîâàòü òåìïå-
ðàòóðíûå ñïåêòðû èçìåíåíèÿ åìêîñòè è òîêà ïðîâî-
äèìîñòè I [10]. Óìåíüøåíèþ âðåìåíè æèçíè í. í. ç.
τð è óõóäøåíèþ ÂÀÕ èç-çà óâåëè÷åíèÿ òîêîâ óòå÷åê
äèîäîâ ïðè òåìïåðàòóðå 150°Ñ ñîîòâåòñòâóåò óâåëè-
÷åíèå I è óâåëè÷åíèå êîíöåíòðàöèè çàãðÿçíÿþùèõ
ïðèìåñåé ãëóáîêèõ óðîâíåé. Òåìïåðàòóðíûé îòæèã
ïðèâîäèò ê óìåíüøåíèþ êîíöåíòðàöèè ÐÖ è òîêà
ïðîâîäèìîñòè ². Åñëè æå èõ çíà÷åíèÿ îñòàþòñÿ áîëü-
øèìè, íàáëþäàþòñÿ íèçêèå èñõîäíûå çíà÷åíèÿ τð,
òåìïåðàòóðíàÿ íåñòàáèëüíîñòü è óâåëè÷åíèå òîêîâ
óòå÷åê äèîäíûõ ñòðóêòóð, ÷òî ïðèâîäèò ê óìåíüøå-
íèþ âûõîäà ãîäíûõ ïðèáîðîâ.
Ïðè ïðîâåäåíèè îòæèãà ñòðóêòóð, îáëó÷åííûõ
ýëåêòðîíàìè ñ ýíåðãèåé 4 è 10 ÌýÂ, óñòàíîâëåíî, ÷òî
äèîäíûå ñòðóêòóðû ñ ìèíèìàëüíûì âðåìåíåì âîñ-
ñòàíîâëåíèÿ è ìàêñèìàëüíûì êîýôôèöèåíòîì ôîð-
ìû òîêà âîññòàíîâëåíèÿ ìîãóò áûòü ñôîðìèðîâàíû
Ðèñ. 2. Çàâèñèìîñòü âðåìåíè âîññòàíîâëåíèÿ (1) è âðåìå-
íè æèçíè (2) í. í. ç. â çàâèñèìîñòè îò ïðÿìîãî íàïðÿæåíèÿ
Uïð äëÿ äèîäîâ Ä×261 (w=150 ìêì)
trr, ìêñ
5
4
3
2
1
1,4 1,8 2,2 2,6 U, B
τp, ìêñ
8
6
4
2
2
1
U, B
2,4
2,0
1,6
1,2
10 30 50 70 t, ìèí
1
3 2
4
Ðèñ. 3. Çàâèñèìîñòü ïðÿìîãî íàïðÿæåíèÿ îò âðåìåíè îò-
æèãà ïðè ðàçëè÷íûõ òåìïåðàòóðàõ äëÿ äèîäíûõ ñòðóêòóð
ÊÎÔ-45:
1, 3, 4 � 420°Ñ; 2 � 390°Ñ (3, 4 � çàâèñèìîñòè äëÿ ñòðóêòóð ñ
ïîâûøåííîé êîíöåíòðàöèåé íåêîíòðîëèðóåìûõ ïðèìåñåé)
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2008, ¹ 3
40
ÔÓÍÊÖÈÎÍÀËÜÍÀß ÌÈÊÐÎ- È ÍÀÍÎÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÀ
ïîñëå îáëó÷åíèÿ ýëåêòðîíàìè ñ ýíåðãèåé 4 Ìý è
ïîòîêîì 6·1015 ñì�2. Óëó÷øåíèå âðåìåíè âîññòàíîâ-
ëåíèÿ íà äèîäíûõ ñòðóêòóðàõ ïîëó÷åíî çà ñ÷åò ôîð-
ìèðîâàíèÿ ìàêñèìàëüíîé îòíîñèòåëüíîé êîíöåíòðà-
öèè äåôåêòîâ ñ ìàêñèìàëüíûìè ñêîðîñòÿìè çàõâàòà
è îñâîáîæäåíèÿ íîñèòåëåé çàðÿäà, òàêèõ êàê ÐÖ
Å3(0,37).
Îïòèìàëüíûå ðåæèìû îòæèãà äèîäíûõ ñòðóêòóð,
ñôîðìèðîâàííûõ íà ïëàñòèíàõ êðåìíèÿ ÊÅÔ è ÊÎÔ,
îòëè÷àþòñÿ íåîáõîäèìîñòüþ óâåëè÷åíèÿ òåìïåðàòó-
ðû îòæèãà äëÿ ÊÎÔ-ñòðóêòóð.
ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ
1. Áåðìàí Ë. Ñ., Ëåáåäåâ À. À. Åìêîñòíàÿ ñïåêòðîñêîïèÿ ãëó-
áîêèõ öåíòðîâ.� Ë.: Íàóêà.� 1981.
2. Dmowsky K., Lepley B., Losson E., Bouabdellati M. A method
to correct for leakage current effects in deep level transient spectro-
scopy measurements on Schottky diodes // Applied Physics.� 1993.�
Vol. 74, N 6.� P. 3936�3941.
3. Ôåêëèñîâà Î. Â., ßðûêèí Í. À. Âçàèìîäåéñòâèå âîäîðîäà
ñ ðàäèàöèîííûìè äåôåêòàìè â êðåìíèè ð-òèïà ïðîâîäèìîñòè //
Ôèçèêà è òåõíèêà ïîëóïðîâîäíèêîâ.� 2001.� Ò. 35, âûï. 12.�
Ñ. 1417�1422.
4. Ãîðáàíü À. Í., Êðàâ÷èíà Â. Â., Êîëÿäà À. È. è äð. Âëèÿíèå
îáðàáîòîê ïîâåðõíîñòè ïëàñòèí Si íà õàðàêòåðèñòèêè ñèëîâûõ
äèîäíûõ ñòðóêòóð, îáëó÷åííûõ ýëåêòðîíàìè // Ðàä³îåëåêòðîí³-
êà. ²íôîðìàòèêà. Óïðàâë³ííÿ.� Âèï. 1.� 2006.� Ñ. 23�29.
5. Íåéìàø Â. Á., Âîéíîâè÷ Â. Â., Êðàñüêî Ì. Ì. òà ³í. Ðàä³à-
ö³éíå äåôåêòîóòâîðåííÿ â n-Si ç äîì³øêàìè ñâèíöþ ³ âóãëåöþ //
Óêðà¿íñüêèé ô³çè÷íèé æóðíàë.� 2005.� Å50.� ¹ 11.�
Ñ. 1273�1277.
6. Wosinski T. Electrical activity of misfit dislocations in GaAs-
based heterostructures // Semiconductor Physics. Quantum Electronics
& Optoelectronics.� 2003.� Vol. 6, N 1.� Ð. 58�61.
7. Ãîðáàíü À. Í., Êðàâ÷èíà Â. Â., Êîëÿäà À. È. è äð. Ôîðìè-
ðîâàíèå ðàäèàöèîííûõ äåôåêòîâ â êðåìíèåâûõ äèîäàõ ñ ðàçíûì
ðàñïðåäåëåíèåì ëåãèðóþùèõ ïðèìåñåé // Òðóäû ÌÍÏÊ «Ñîâðå-
ìåííûå èíôîðìàöèîííûå è ýëåêòðîííûå òåõíîëîãèè».� Óêðàè-
íà, Îäåññà.� 2006.� Ò. 2.� Ñ. 118.
8. Ãîðáàíü À. Í., Êðàâ÷èíà Â. Â., Êîëÿäà À. È. è äð. Ôîðìè-
ðîâàíèå áûñòðîâîññòàíàâëèâàþùèõñÿ äèîäîâ // Òàì æå.� Óêðà-
èíà, Îäåññà.� 2007.� Ñ. 323.
9. Æàâæàðîâ Å. Ë., Êðàâ÷èíà Â. Â. Âëèÿíèå àòîìàðíîãî âîäî-
ðîäà íà îòæèã ðàäèàöèîííûõ äåôôåêòîâ // Òàì æå.� Óêðàèíà,
Îäåññà.� 2006.� Ò. 2.� Ñ. 118.
10. Êðàâ÷èíà Â. Â., Ãîìîëüñêèé Ä. Ì. Êîíòðîëü äèôôóçèîí-
íûõ ñòðóêòóð // Òàì æå.� Óêðàèíà, Îäåññà.� 2007.� Ñ. 354.
11. Êîìàðîâ Á. À. Îñîáåííîñòè îòæèãà ðàäèàöèîííûõ äåôåê-
òîâ â êðåìíèåâûõ p�n-ñòðóêòóðàõ: ðîëü ïðèìåñíûõ àòîìîâ æå-
ëåçà // ÔÒÏ.� 2004.� Ò. 38, âûï. 9.� Ñ. 1079�1083.
ÂÛÑÒÀÂÊÈ. ÊÎÍÔÅÐÅÍÖÈÈ
XIV Ìåæäóíàðîäíàÿ íàó÷íî-òåõíè÷åñêàÿ êîíôåðåíöèÿ
ÂÛÑÎÊÈÅ ÒÅÕÍÎËÎÃÈÈ Â ÏÐÎÌÛØËÅÍÍÎÑÒÈ ÐÎÑÑÈÈ
(Ìàòåðèàëû è óñòðîéñòâà ôóíêöèîíàëüíîé
ýëåêòðîíèêè è ìèêðîôîòîíèêè)
XXI Ìåæäóíàðîäíûé ñèìïîçèóì
ÒÎÍÊÈÅ ÏËÅÍÊÈ Â ÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÅ
Ìîñêâà, 11�13 ñåíòÿáðÿ 2008 ã.
ÖÍÈÒÈ «Òåõíîìàø»
Ìîñêîâñêèé ãîñóäàðñòâåííûé òåõíè÷åñêèé
óíèâåðñèòåò èì. Í.Ý.Áàóìàíà
Îñíîâíûå íàïðàâëåíèÿ:
³ Ìàòåðèàëû, îáîðóäîâàíèå è òåõíîëîãèè ôóíê-
öèîíàëüíîé ýëåêòðîíèêè è ìèêðîôîòîíèêè.
³ Íàíîòåõíîëîãèè â ôóíêöèîíàëüíîé ýëåêòðîíèêå
è ìèêðîôîòîíèêå.
³ Òåõíîëîãèè ïðîèçâîäñòâà, îáðàáîòêè è èññëåäî-
âàíèÿ íàíîñòðóêòóðèðîâàííûõ ìàòåðèàëîâ.
³ Ñèñòåìû è óñòðîéñòâà ðàäèîòåõíèêè è ñðåäñòâ
ñâÿçè.
³ Ìåòàìàòåðèàëû è ôîòîííûå êðèñòàëëû â îï-
òîýëåêòðîíèêå è îïòè÷åñêîì ïðèáîðîñòðîåíèè.
³ Òåõíîëîãèè, ìàòåðèàëû è îáîðóäîâàíèå äëÿ ïðî-
èçâîäñòâà ÑÂ× ýëåêòðîííîé òåõíèêè è ðàäèîýëåê-
òðîííûõ óñòðîéñòâ.
³ Ìèêðîýëåêòðîìåõàíè÷åñêèå ñèñòåìû â ìåäèöè-
íå è ïðîìûøëåííîñòè.
³ Ïîëó÷åíèå, ñâîéñòâà è ïðèìåíåíèå òîíêèõ ïëå-
íîê â ýëåêòðîíèêå.
³ Ñëîèñòûå ñòðóêòóðû íà îñíîâå òîíêèõ ïëåíîê.
³ Ìåòîäû êîíòðîëÿ ôóíêöèîíàëüíûõ ñâîéñòâ ìà-
òåðèàëîâ ýëåêòðîííîé òåõíèêè, èçìåðèòåëüíàÿ àï-
ïàðàòóðà è àíàëèòè÷åñêèå ìåòîäû.
³ Ìîäåëèðîâàíèå è èíôîðìàöèîííîå îáåñïå÷åíèå
èññëåäîâàíèé.
Ðåêâèçèòû äëÿ ñâÿçè:
121108, Ðîññèÿ, ã. Ìîñêâà, óë. Èâàíà Ôðàíêî, 4
E-mail: samoylovich@technomash.ru
belyanin@technomash.ru
Òåë. +7(495) 146-10-95,
Òåë./ôàêñ +7 (495)146-19-42
Ïîñâÿùàåòñÿ 45-ëåòèþ
ÖÍÈÒÈ «Òåõíîìàø»
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52426 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-02T02:45:20Z |
| publishDate | 2008 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Горбань, А.Н. Кравчина, В.В. Гомольский, Д.М. Солодовник, А.И. 2014-01-01T17:31:06Z 2014-01-01T17:31:06Z 2008 Особенности формирования быстровосстанавливающихся кремниевых диодов / А.Н. Горбань, В.В. Кравчина, Д.М. Гомольский, А.И. Солодовник // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 3. — С. 35-40. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52426 Установлено, что диодные структуры с минимальным временем восстановления и максимальным коэффициентом формы тока восстановления могут быть сформированы после облучения электронами с энергией 4 МэВ и флюэнсом 6x10¹⁵ см⁻². ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Функциональная микро- и наноэлектроника Особенности формирования быстровосстанавливающихся кремниевых диодов Особливості формування швидковідновлювальних кремнієвих діодів Specifies of the formed fast cover silica diodes Article published earlier |
| spellingShingle | Особенности формирования быстровосстанавливающихся кремниевых диодов Горбань, А.Н. Кравчина, В.В. Гомольский, Д.М. Солодовник, А.И. Функциональная микро- и наноэлектроника |
| title | Особенности формирования быстровосстанавливающихся кремниевых диодов |
| title_alt | Особливості формування швидковідновлювальних кремнієвих діодів Specifies of the formed fast cover silica diodes |
| title_full | Особенности формирования быстровосстанавливающихся кремниевых диодов |
| title_fullStr | Особенности формирования быстровосстанавливающихся кремниевых диодов |
| title_full_unstemmed | Особенности формирования быстровосстанавливающихся кремниевых диодов |
| title_short | Особенности формирования быстровосстанавливающихся кремниевых диодов |
| title_sort | особенности формирования быстровосстанавливающихся кремниевых диодов |
| topic | Функциональная микро- и наноэлектроника |
| topic_facet | Функциональная микро- и наноэлектроника |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52426 |
| work_keys_str_mv | AT gorbanʹan osobennostiformirovaniâbystrovosstanavlivaûŝihsâkremnievyhdiodov AT kravčinavv osobennostiformirovaniâbystrovosstanavlivaûŝihsâkremnievyhdiodov AT gomolʹskiidm osobennostiformirovaniâbystrovosstanavlivaûŝihsâkremnievyhdiodov AT solodovnikai osobennostiformirovaniâbystrovosstanavlivaûŝihsâkremnievyhdiodov AT gorbanʹan osoblivostíformuvannâšvidkovídnovlûvalʹnihkremníêvihdíodív AT kravčinavv osoblivostíformuvannâšvidkovídnovlûvalʹnihkremníêvihdíodív AT gomolʹskiidm osoblivostíformuvannâšvidkovídnovlûvalʹnihkremníêvihdíodív AT solodovnikai osoblivostíformuvannâšvidkovídnovlûvalʹnihkremníêvihdíodív AT gorbanʹan specifiesoftheformedfastcoversilicadiodes AT kravčinavv specifiesoftheformedfastcoversilicadiodes AT gomolʹskiidm specifiesoftheformedfastcoversilicadiodes AT solodovnikai specifiesoftheformedfastcoversilicadiodes |