Тензорезисторы для низких температур на основе нитевидных кристаллов кремния

Исследованы тензометрические характеристики микрокристаллов кремния р-типа. Разработаны тензорезисторы для различных диапазонов низкой температуры, включая температуру жидкого гелия, а также для работы в сильных магнитных полях при 4,2 К....

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Дата:2008
Автори: Дружинин, А.А., Марьямова, И.И., Кутраков, А.П., Павловский, И.В.
Формат: Стаття
Мова:Російська
Опубліковано: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2008
Теми:
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52443
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Тензорезисторы для низких температур на основе нитевидных кристаллов кремния / А.А. Дружинин, И.И. Марьямова, А.П. Кутраков, И.В. Павловский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 4. — С. 26-30. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1859792964764565504
author Дружинин, А.А.
Марьямова, И.И.
Кутраков, А.П.
Павловский, И.В.
author_facet Дружинин, А.А.
Марьямова, И.И.
Кутраков, А.П.
Павловский, И.В.
citation_txt Тензорезисторы для низких температур на основе нитевидных кристаллов кремния / А.А. Дружинин, И.И. Марьямова, А.П. Кутраков, И.В. Павловский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 4. — С. 26-30. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Исследованы тензометрические характеристики микрокристаллов кремния р-типа. Разработаны тензорезисторы для различных диапазонов низкой температуры, включая температуру жидкого гелия, а также для работы в сильных магнитных полях при 4,2 К.
first_indexed 2025-12-02T12:11:20Z
format Article
fulltext ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ���������� �� �� �� � ��� ������ � �������� � !� ���� �! "������ ��������������� �� �� ��� #$�%���� ���! �������� � � �! $�%&' �������������������������������������������������� ��� ��������������������������� ��������� (������� �! )*���� +�������*�&� �������� � ,)*������ ���� ������- ./01234 56789:;<3=>?@!3A2A!71 ��� !�"#$�%��!�&"�!�'()!��(!� *$'$�� �!'(��(�(� �(�'"�'(��$ "#� �'!��(+ ,��(-$�� �$&'$."�$�%��!�&"'!&(��"'% � +� '$& ()�%*� �($-$&"�"#� �(&�"/��!�� -!'$�0'%�� #� 1)$+��!�-!'$�0'0�2(�� �"3"�3! (+��$��$�2!�� +�'$."�%�#��( 4� �%*��$3�(��%*�-" +*�-'(�5�6��� +��B����%�� * ��C���� D��� �� ��*�&� %���/ � ���&� ��C���C�� ���� �� �C%����� ��E��%���� ��� ��C��� �%���� ���� �B��������� �� ��B��� / %� ���� � ������ ������ ��� �������%�D���� � %�F���� ��� ��*�� � ���������� �D���� � ��! �� �C%����� ��E��%���� ��� ��C��� �%���� ���� #���� * �� �%���� ��& G������ ���� ' �����*C�� / � �������D�&� � E��*���&� ��C���C�� ��&� �C��/ ������&� �C ��C��D�&� %� ����D����� �������! +�/ ��� � ��% � �� ��C���C�� ���� �� � � ��C��� ��/ �EE����� ��C�D��� �� ��*��� �� ����D��� �� ���/ �� ��� ��� H ��� ��� � I��J��� KIL! M����*C������ ���������������&� %� �������� � D�� ��� �� ���%/ �� � �� �C�� ������ D��� �� ��*�&� ���%�� �� ��/ C���C�� ���� ��C������ C��D� ��*�� �����D� * �� D��� �� ��*��� * K�L! N�����C% ���� �� ���� ��/ C���C�� ���� ������� �� ������D����% O�%� ��/ ���%P ��C���C�� ����% �EE�� � � ��������������� KQL! R��������&� ��%� ����������� ��C���C�� ��/ ���� �EE�� � � ����������&� �� �����&� ���� ��/ ��� #��' ���%�� ,/ ��� � �����C��� �%���� �� ���J Q�� H ����C���� D � ��� ������&� �%���� ���� � ���%��� � ������ ������ B��� �B��C� �������� O%�/ ���J������ ���P #� �' ��B����� � ����� ���� ��������D����� ��C���C�� ���&� �EE�� K�L� �&C/ ����&� �C%������% %�����C%� �������� ���� ���� ��� ��� ��������&� �%���� ����! S � � ��&��� ��C%�G��� � ��C���� ���%����&� ��C���C�� ���� � �&����� D��� �� ��*��� *� ��� ��C��� �%����/ ����! +�%� ��C��B� ��& ���������������&� ��C���C�/ � ��&� D��� �� ��*�&%� ���%�� �%� �� ��&� �� / � � +H T2 '/ ��� � ����� ����� UIIIV� ������*�� ��� �B����� ������*��� %�����D����� ���D��� *� �� B������� ����� %��E������� ��C��� � �����C�/ �� * %����%��*�&� �� ������� %� ������ ��C���/ C�� ���&� �EE�� K L! S � ��C���C�� ��& ��F�� ���%������ �� %����� �B��� � ����� � ������ ��� �� �C%����� ���D��� �&� ����� ���� �� ��C��D/ �W+X"YWXM$�"YZ �)[ +MXHM\ �WNRWY]�(Y +] "$+"^W +M�W^M�+Z\ HYM$�]))"^ HYWN+M[ �&� �C����� � ���� ������� �� � �� ��C���� �� �� ������ �� D���� %�����D����� ����D�� #������� � �������� � ��!' K�L! �� ��C���� ���%����&� ��C���C�� ����� ��B�/ ������B�&� ��� ��C��� �%���� ����� ����������* ����������� ��C�%� ��D����� ����� ���� �� +H T2 ,/ ���� ����������&� B���%� � ��C��D�&% ����*�&% ����� �������% � F�����% �����C��� �%���� �� J � ��%�� ��� �� �%���� ��& G������ ���� ! M�����������* �� �����& ���� ����� � ��C��� � ����*� ���������� 4 I' ���*������������&� +H T2 ,/ ��� � ����*�&% ����� �������% ρQ��H_ `I� a "%`% � %� ����D����% ���% �������%�� �b �' +H T2 ,/ ��� � ρQ��H_I`I� a� "%⋅% � ������ ��/ ���� B���� ��� �� � ���c�� B��C�� � � �������� O%� ���J������ ���P � %� ����D����� � ����& ��/ ������b Q' +H T2 ,/ ��� � ρQ��H_I�Q`I� a� "%`% � ������ ��/ ���� B��� �B��C� RN� � ������ ��D����� � ����&! "����� �� ����� ���� ��� ���� ����� ���%�� � C���������&� �� %� ������� � ��C�&% ���EE�����/ �% ��%�D������ ���F����� #�� '� ��� � �� ��/ C&���%&� ��%�D����� ��E��%����� �B���������&� ��C��D��% H�Y ���%�� � ��������%��� %� ������ K�� dL! "��B���� ���*�� � � ��� ��� ��� �� � � ��� ��C��� �%���� ����! R�� �%� ����������� ��C�/ %� ��D����� ����� ���� �� +H ���%�� �� ��C��/ �� ��C���C�� ���� �� �� ������ ����������* �� ���� ������� %� �������4 I' %� �����& � H�Y� B��C��% � H�Y ���%�� � � D�� ��� �� ������&� �����&b �' %� �����& � H�Y� �� ��&� ���*�� � ��D�� � � H�Y ���%�� � � D�� ��� �� � ��*! �������������������� M����������� ��C�%� ��D����� ����� ���� �� +H ���%�� � �����C��� �%���� �� ���JQ�� H �����/ �����* � �������% ����� � � � ��%�c*� �������*�� ��C��B� ������ �� ���� �� � ������% ���%�� �% � ���� ������*��� B����� �� �� ���� ��������* ����/ ���&� ���������&� ����% ^)/eQI #� �%���� ���� ����%���C���� I��f$'! H�����*�&� B����� �C�� ��/ ����&� �C ��C�&� %� ������� #������ ��� � ���'� � ��%�c*� �������*���� %�����C%� ��E��%��������* � ����D� � � �����C��� ��E��%���� �G� � /��� G�/ �� �� gI�� `I�aQ � �! ��! ̂ � ���% �C%������ ���� / ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �d ���������� �� �� ���� ���� ���� ����� ���c�� �� ���* � �� �D���� ��� � ����� ��� h?2@93?= ���! S��� ��D����� ���� / G���� �� �B��C��� � �&����&� ������ ������� �%/ ���� ��& �C%�� ���* ��E���&%� ���* %� ��%� ��� h?2@93?= ���� � �������%����� �� �%� �D����� C���/ �*� ����C���� ���B���� �� ��%�*� ��! S������%�� ��*�� ������� ���* C�����%�� � ��/ ��� ������ +H T2 � ��E��%���� B���� εB ��� E��/ ��������&� �%���� ����4 Q��� dd � ��� H! R���D��/ �&� C� �% C�����%�� � � ���� ��*���� �C%����� ��/ ��� ������ ���� ����� � εB ∆7#εB'i7�_8#εB' ����/ ��� � ��C�%� ��D����� ����� ���� ��� ���� ����� ��� � �� �%���� ����! X��D��� ���EE����� � ��/ C�D��� �� ��*��� � ��� E������������ �%���� ��� %�G�� ����D� � * �� E��%��� ( ) 0 ,� � R R K ∆ ε = ε #I' ����������������������������������������� ���!��!"����#�������������$��� +� ���%�&��$ ��������& ����D���&� �������%��/ ��*�� ��C�%� ��D����� ����� ���� ��� �� ������ �����& ���� ������ C���������&� �� �������� B��/ ��� ��� ���C���&� �%���� ����! H�� ����� �C ���/ E����� � � ���� ���& ����� ���C���� � ����D��% ������D������ ��C���C�� ������ �EE�� � #����� ��/ ����� ���� ����� �����D���� � ��� ��E��%���� ��� G��� � �%��*F�� � ��� ��E��%���� �G� � ' �� ���% ��������%�% �� ������ �%���� ��! ^���/ D��� ���EE����� � ��C�D��� �� ��*��� � � �� ���/ � ������ ����D� ���� �� E��%��� #I'� ��� ��C�&� �%���� ���� ��� ��� � ��� �� � ����� �Q��H≈e�� �ddH≈��� � ����H≈��Q ��� ��E��%���� ��� G��� B���� ε_I���`I�aQ! ����� +H T2 %�G�� �����*C��� * � ��D�� �� D��� �� ��*�&� ���%�� �� ��C���C��/ ����� ��B� ������B�&� � F�����% �����C��� �%/ ���� �� J � ��%�� ��� �� �%���� ��& G������ ���� ! ���C�%� ��D����� ����� ���� ��� +H T2 � ������/ ������ B��� �B��C� RN� � %� ����D����� � ����& �������� ��������& �� ���! I� .! H�� ������ ��� ��%/ �� ��� �%���� ��� � �%���� ��� G������ �C� � �� ��C�%� ��D����� ����� ���� ��� �%�� ���� ���D/ �&� �� ������D������ ��C���C�� ������ �EE�� � � ���%���! ̂ ���D��� ���EE����� � ��C�D��� �� ��*/ ��� � ���� ���� ����� ��� ��� � �Q��H≈eQ � �ddH≈��I ��� ��E��%���� ��� G��� B���� ε_I���`I�aQ! R�� �%���� ��� G������ ���� ��C�/ %� ��D����� ����� ���� ��� � �� ���� ����� �%�� ���B&D�&� ��� � ��C��* � � ��� ����� ��������D�/ ����� ��C���C�� ������ �EE�� �4 ����� ������� ���/ � ����� ���*�� ��C��� �� ��� ���� ���% ��E��%�/ ��� � �� C����� � �� C����b ��� � �% ���EE����� ��C�D��� �� ��*��� � �����D���� � � ��� ���� C��D��� ����H≈��� ��� ��E��%���� ��� G��� B��/ �� ε_I���`I�aQ! $�C����&� �� ������ ���� ���� ��/ ��� ��C���C�� ��& %��� �����*C��� *� �� �C%�/ ���� ��E��%���� ��� ��������&� �%���� ���� ���� * �� �%���� ��& G������ ���� K�L! +H T2 � ������ ������ B��� �B��C� RN� � ��/ ���� ��D����� � ����& �������� #���! I� #'� ����� �/ ��C���� � D��C�&D���� �&����� ��C�D��� �� ��*/ ��� *� ��� �%���� ��� G������ ���� � D � �B�����/ ���� ��������D����% ��C���C�� ���&% �EE�� �% � � �� ���� �����4 ����H_��e`I� Q ��� ��E��%���� ���/ �' ∆7i7�� j Q� �� I� � aI� a�� aI� � I� ε`I�� I Q � B' ∆7i7�� j �� �� �� �� � a�� aI� � I� ε`I�� I Q � �' ∆7i7�� j ��� ��� ��� � aI aI� a � I� ε`I�� I Q � ∆7i7�� j �� � a�� aI� a � ε`I�� I � Y��! I! ���C�%� ��D����� ����� ���� ��� C���������&� �� �������� B���� +H T2 '/ ��� � ��C��D�&% ρQ��H4 $ J `I�a b . J I`I�a�b # J I�Q`I�a� "%`% 9 J Q�� H� 6 J dd H� : J ��� H ��� 7� J ∆7#εB' J ����� ������� ���� ���� �� ����E��%��������� B����b �C%������ ����� ������ ���� ���� � ��C��* � � ��/ E��%���� B����! ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ���������� �� �� G��� B���� ε_I���`I�aQ � ����H_aQ�Q`I� Q ��� ��/ E��%���� �G� � ε_aI���`I�aQ� D � �� ��� ��� ��� �&F� ���EE����� � ��C�D��� �� ��*��� � �B&D�&� ���%����&� ��C���C�� ���� ��� ���� �%���� ���! S � � ��&��� ��C%�G��� � �����*C����� ���� ���/ � ����� ��� D��� �� ��*�&� ���%�� �� ��C���C��/ ���� �� �C%����� �D��* %��&� ��E��%���� ��� ������&� �%���� ����! "����� � � �� �����D�� ��C/ %�G��� � �����*C����� � �� ���� ����� � ��C���/ C�� ���� �� ��B� & ��� �%���� ��� G������ �C� �� �� ��� �ddH_��� � �Q��H_ee ��� ������ ��E��%�/ ��� ε_I���`I�aQ! ����������������������������������������� ���!��!"����#��������������#� $����� � %� � *� D � ���� H�Y %� ������ B���� #� ��* � ��F�% ���D��' B��*F� H�Y ���%�� � � �� +H T2� C���������&� �� B����� ���� ��� ��%�D�/ ��� ��E��%��� �G� � � C��D���� �� ���� ��C��� �/ � ��� ��C��� �%���� ����! Y���D� ���&� �C �����/ ��%�� ��*�&� ����&� C��D��� ��%�D����� ��E��/ %���� �� %�������� ����� T2� C���������&� �� � ��*��� B����� ��� ��� � 4 ε _a#�� J '`I�a� ��� Q�� H� ε _aI�� `I� aQ ��� dd H � ε _a��Q`I� aQ ��� ��� H! R�� ��������� C��D��� ��%�D����� ��E��%���� ε � ��/ ���� ���& &��� ��� ��C��� �%���� ���� ����/ ���& '/T2� C���������&� �� � ��*��� B����� � ����/ D���� ��E��%���� ��%�� B����� �� ��� ��� ���� ����D��& ε_gI�� `I�aQ� � ����� � ��� �&%� ��D�/ %� ��%�D���� ��E��%��� ���*�� ��� � �� ��/ C�%� ��D����� ����� ���� ��� � �� ���� ����� ��� ��������&� �%���� ����! +� ���%�'� $���������& ��C�%� ��D����� �����/ ���� ��� ���*������������&� +H ���%�� �� � ��*/ ��� B���� ��� ��C�&� �%���� ����! ̂ �� ��� ��%�/ D����� ��E��%���� ���B���� ���*�� ��� �� � � ��� ��������&� �%���� ���� � �� ������ ���Jdd H� ��/ � �%� ��C�%� ��D����� ����� ���� ��� � �� ����/ ����� ��� dd H � ��� H ��� ��E��%���� �G� � B��/ �� �%�� C��D� ��*��� ���������� * #����&� 6� : �� ���! �� $'! ����� +H T2 ,/ ���� �� ��F �C�� �� ������/ ���B��C�� �����*C��� * �� ��C���C�� ����� ����/ ��C��D���&� �� �C%����� ��� ��������&� �%��/ �� ���� ��E��%���� ���� ������ � �C������ �C��/ ������&� �C %� �������� H�Y �� ��&� C��D� ��*�� B��*F� H�Y ���%�� #�����%��� � ���'! $����% ������ ��� �%�� ��C�%� ��D����� ��/ ��� ���� ��� +H T2 ,/ ��� � ������ ������ B��� �B��C� RN� ��� ��C��� �%���� ����� ����� ���/ �� � � ���� ��� ��������D������ ��C���C�� ��/ ���� �EE�� � � � �� ���� �����! +� ���! �� . ����/ C��& ��C�%� ��D����� ����� ���� ��� +H T2 ,/ ��� � ρQ��H_I`I� a� "%`% #�B��C� RN� � %� ����D����� � ����& ��������' �� � ��*��� B����! R�����*�� ��� ������&� �%���� ���� � � +H ����� � ��� ���� ��/ �% ��E��%���� �G� � ��G� ��� ��E��%���� ��� / G��� B���� C� �D� ���� �� ��%�D����� ��E��%�/ ��� �� � ����& � ��*��� B����� ����� : �� ���! �� . ��� �� � ��� ����� ��� �C%����� ����� ������ +H T2 ��� ���� ���% ��E��%���� �G� � �� ���D� ��/ B' ∆7i7�� j �� Q� � aQ� a�� aI� a � I� ε`I�� I Q �' ∆7i7�� j I� � a aI� I � aI� a � I� ε`I�� Q � �' ∆7i7�� j � a� a � ad aI�� aI� a � I� ε`I�� I � Q �' ∆7i7�� j I� � aI� a�� aI aI� a � ε`I�� I � Y��! �! ���C�%� ��D����� ����� ���� ��� C���������&� �� � ��*��� B���� +H T2 ,/ ��� � ��C��D�&% ρQ��H4 $ J `I�a b . J I`I�a�b # J I�Q`I�a�b 3 J �� `I�a� "%`% 9 J Q�� Hb 6 J dd Hb : J ��� H ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �e ���������� �� �� ������D������ ��C���C�� ������ �EE�� �! R�� � �% ����D��� ���EE����� � ��C�D��� �� ��*��� � ��/ � ��� � 4 ����H;aI������� ε_a���`I� a� � ����H_a��� ��� ε_e� `I�a�� ���� ��� �ddH_�I�� �Q��H_I������ ε_e� `I�a�! ����� +H T2 ,/ ��� � ρQ��H_I`I� a� "%`% %�G�� ����%������ * ��� D��� �� ��*�&� ���%�� & ��C���C�� ���� �� �C%����� ��E��%���� � ��*/ �&� ���� ������ ��� ������&� �%���� ����! ]������D�&� ����� �� �%�� ��C�%� ��D����� ����� ���� ��� +H T2 ,/ ��� �B��C� RN� � ������ / ��D����� � ����& ��������� C���������&� �� � ��*/ ��� B���� #���! �� #'! "�� �%�� ���EE����� ��C�/ D��� �� ��*��� � ����H_aI��� � �ddH_IQQ ��� ��E��/ %���� B���� ε_e� `I�a�! R�� ��� H � � ���� ���& �%�/ � ���%%� ��D�&� ��C�%� ��D����� ����� ���� �/ �� ��� ��� G���� � �G� ���� � �� ����D��� ���EE�/ ���� � ��C�D��� �� ��*��� � ������%& � +H ,/T2 � ρQ��H_I`I� a� "%`%! "����� �� �C%����� ��E��%�/ ��� � ��*�&� ���� ������ � �C����� ��� ������&� �%���� ���� ������D � ��*��� �����*C��� * ��C�/ ��C�� ��& �� ������ +H ,/T2 � ρQ��H_I`I� a� "%`%� �� ��&� ����� ���C���� � �&����% C��D����% ����H � ��%%� ��D�&%� #�� � ��F���� � ��E��%����' ��/ C�%� ��D����%� ����� ���� ���%�! +H T2 � ������ ������ B���� �� ��� � ��D�� ��/ ���� ��D����� �B��� �� ��������� � RN� #ρQ��H_�� `I� a� "%`%'� ��� �%���� ��� G������ �C� � �%�� ��C�%� ��D����� ����� ���� ���� ���D�&� �� ������D������ ��C���C�� ������ �EE�� � #���/ �� 6 �� ���! �� 3'! M� ���EE����� ��C�D��� �� ��*/ ��� � ����� �ddH_��Q� � �Q��H_I�d� ���� ε_���`I� a�! R�� ��� H ���� ���� ���& ����� C��������� �� � ��*/ ��� B���� ��� ���� ���% B��*F�� ��%�D����� ��/ E��%���� ε � ��C��* � � ��������D������ ��C���C�/ � ������ �EE�� � �D��* ���*�� �C%�� � ���� �����/ �������� C��D���� �� ����� ��� ���� I�JQ� N"%! R�� �%� �� ���������B��C�� �����*C��� * �� ��/ C���C�� ����� ������C��D���&� �� ��B� & ��� ��/ ����&� �%���� ����� � � G� ���% ��� %��� ��/ ��F�� ���%�� *� �� �C%����� ��E��%���� � ��*/ �&� ���� ������ ��� �%���� ��� G������ �C� �! �������������(��# �����"���(����������!��� ��#)�(����"����(����#�* �� ��C��B� �� ��C���C�� ����� ��B� ������B/ �&� ��� ��������&� �%���� ���� � ���*�&� %��/ �� �&� ��� �� ������������* ��� ��� %���� ���� ��� �� ����� ������� +H T2 '/ ��� � ��C��� ������/ ������ B��� � ���*� �&B��� ���� ������ ����%� �& �� ��&� ���B���� � �B��*�& ��� ��C���� ��� %��/ �� ���� ��� ! R���������* �C%����� %���� ���/ ��� ������ ����E��%�������&� � �������� ��E��/ %�������&� ���� ����� ��� �%���� ��� G������ ���� ! Y�C��* � & �C%������ ��������& �� ���%�+! H�� ������ %���%��*��� �C%������ ����� ������ � ���*/ �&� %���� �&� ��� � �%�� ���*������������&� +H T2 ,/ ��� � ρQ��H_ `I� a "%⋅%� �� �� ��&� � ����/ ��*��� �C%������ ����� ������ ����E��%������/ �&� ���� ����� #ε_�' ��� ��C���� ���% %���� ���� ��� � ��������� <_� �� �� ����&F�� I��j #���/ �� 9 �� ���! Q'! ^ � G� ���% �� +H T2 ,/ ��� � ρQ��H_#IJI�Q'`I�a� "%`% �C%������ ����� ������ ��� ��� � ��� �� ������ �� #����&� 6 � : �� ���! Q'! ���� ��� ��������� ��E��%���� �� ���*��������/ ����&� +H ,/T2 �� ������� � ��c�� �����%� �C%�/ ����� �� ����� ������ #����� 9= �� ���! Q'� ���� ��� �� ���� ����� � ������ ������ B��� �B��C� RN� �C%������ ����� ������ � %���� ��% ���� ��� ��/ � � ��� �� ������ �� #����&� 6=� := �� ���! Q'! R�� �%� ���*������������&� +H ,/T2 %��� ��/ ���*C��� *� ��� D��� �� ��*�&� ���%�� & ��C�/ ��C�� ���� �� ��B� & ��� �%���� ��� G������ ���� � ���*�&� %���� �&� ��� � KeL! \���� ����/ ��� ����� ��C���C�� ��� ����� ����� � ������ : �� ���! I� $! H��EE����� ��C�D��� �� ��*��� � ���� ��C���C�� ���� ����H_�d����� ��E��%���� ��� G��� ε_kI���`I�aQ � ����H_II����� ��E��%�/ ��� �G� � ε_aI���`I�aQ� D � � ������*�� ��� ��� ��C ����&F�� C��D���� ���EE����� � ��C�D��� ��/ ��*��� � �������D�&� � E��*���&� ��C���C�� �/ ��� KIL� ������C��D���&� �� ��B� & � ���� G� ��/ ���� �! ,,, Y�C��B� ��& ��C�� �%���� ���&� ��C���C�� ��& �� ������ �� �����&� ���� ����� ���%�� ,/ ���� ����������&� B���%! �� �C%����� ��E��%���� � %� ������� � H�Y� B��C��% � H�Y ���%�� � ��C��B�/ ��& ��C���C�� ��& �� F������� �����C��� �%��/ �� �� ���aQ�� Hb �� ��������&� �%���� ��� ����/ D� �%���� ��� G������ ���� b �� �%���� ��& G��/ ���� ���� ! �� �C%����� ��E��%���� � %� ������� � H�Y� B��*F�% H�Y ���%�� #� ��* � �����&'� ��C��B� �/ �& ��C���C�� ��& �� ������&� �%���� ��b �� �%/ ���� ��& G������ �C� �! Y�C��B� ��& ��C���C�� ��&� ��B� ������B�&� ��� ������&� �%���� ���� � ���*�&� %���� �&� ��� � #� ��������� �� � ��'� �� ������ ���*������/ ������&� +H '/T2! ����% �B��C�%� �����*C������ %�������� ����� ���%�� '/ ��� � ������ ������ B��� �B��C� ������/ �� O%� ���J������ ���P� �B�����c�� ��������D�/ ���% ��C���C�� ���&% �EE�� �% ��� ��� H� � ��D�/ I � I�� e� �� Q� � Q � e I �� �� I � I′ �′ Q Q′ Y��! Q! N���� ������ ������� ��� ��� H ����E��%���/ ����&� #IJQ' � ��E��%�������&� #9lJ:l' ε_aQ��`I�aQ +H T2 '/ ��� � ��C��D�&% ρQ��H4 9� 9l J `I�a� "%`%b 6� 6l J I`I�a� "%`%b :� :l J I�Q`I�a� "%`% ∆7 #< 'i 7 �� j ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � Q� ���������� �� �� � �� D��� �� ��*�&� ���%�� �� ��C���C�� ����� ��/ C������ ��C�� * ��C���C�� ��& �� ������&� �%/ ���� �� � ���%��*�� �&����% ���EE����� �% ��C�/ D��� �� ��*��� �! M$R")mX"^]++ZW M$�"n+MHM I! H������ +! R! ���C���C�� ��& ii �� D��� � ��� �%&!J ����!J � Q!J $! I�JI�! �! S���� ̂ !� ̂ ��* �� )! S��� ��D����� �C%����� ������ ��/ D����� ����D�� ���������������&%� ��C���C�� ���%�!J N!4 N��� Ied�! Q! o�� p! )!� R���� p! W! $�%%� �� � ��E��%������&� �E/ E�� & � ���������������!J N!4 +����� Ied�! �! q67892>2> r! r!� s16=10<A1 t! t!� u1A3<Avw= t! x!� u13?yvw2 z! u2?8<6?v2v@2A? ;6<;?6@2?v <{ |<6<>/5<;?5 v232}<> y92vw?6v 1@ }6=<~?>2} @?0;?61@76?v ii �7>}@2<>13 s1@?6213v!J ����!J x<3! II� �! �!J u! ���J�d�! ! x<6<>2> x!� s16=10<A1 t!� �1~1>=1}9 �! ?@ 13! T232}<> y92vw?6v {<6 0?}91>2}13 v?>v<6v ii T?>v<6v 1>5 r}@71@<6v!J Iee�!J x<3! rQ�� �! Ia�!J u! �dJQQ! �! ���G���� ]! ]!� N��* %��� M! M!� )��� ��� W! +! � ��! " ���������������&� ��C���C�� ���� � %�������� ����&% �� / D���% ii �� D��� � ��� �%&!J ���I!J � �!J �! �Jd! d! +������� $! M! �������� ���F������ ����&� ��!J N!4 +����� Ied�! �! R� ! �Id (������! n� ����� ���%�� ������� %�����D/ ��� ����D�� �� �%���� ��� ������� ����� i ]! "! ���G����� �! �! N��� %���� "! R! H� ������ �! ^! R������*���!J ��� !J o��! � �! e! R� ! IIQ Q (������! n� ����� ���%�� ������� %�����D/ ��� ����D�� �� ��B� � ��� �%���� ��� ������� ����� � ���*��� %���� ��� ��� � i ]! "! ���G����� �! �! N��� %���� �! ^! R��/ ����*���!J ��� !J o��! � I�!
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52443
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 2225-5818
language Russian
last_indexed 2025-12-02T12:11:20Z
publishDate 2008
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
record_format dspace
spelling Дружинин, А.А.
Марьямова, И.И.
Кутраков, А.П.
Павловский, И.В.
2014-01-01T21:36:56Z
2014-01-01T21:36:56Z
2008
Тензорезисторы для низких температур на основе нитевидных кристаллов кремния / А.А. Дружинин, И.И. Марьямова, А.П. Кутраков, И.В. Павловский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 4. — С. 26-30. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52443
Исследованы тензометрические характеристики микрокристаллов кремния р-типа. Разработаны тензорезисторы для различных диапазонов низкой температуры, включая температуру жидкого гелия, а также для работы в сильных магнитных полях при 4,2 К.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Сенсоэлектроника
Тензорезисторы для низких температур на основе нитевидных кристаллов кремния
Тензорезистори для низьких температур на основі нитковидних кристалів кремнію
Low-temperature strain gauges based on silicon whiskers
Article
published earlier
spellingShingle Тензорезисторы для низких температур на основе нитевидных кристаллов кремния
Дружинин, А.А.
Марьямова, И.И.
Кутраков, А.П.
Павловский, И.В.
Сенсоэлектроника
title Тензорезисторы для низких температур на основе нитевидных кристаллов кремния
title_alt Тензорезистори для низьких температур на основі нитковидних кристалів кремнію
Low-temperature strain gauges based on silicon whiskers
title_full Тензорезисторы для низких температур на основе нитевидных кристаллов кремния
title_fullStr Тензорезисторы для низких температур на основе нитевидных кристаллов кремния
title_full_unstemmed Тензорезисторы для низких температур на основе нитевидных кристаллов кремния
title_short Тензорезисторы для низких температур на основе нитевидных кристаллов кремния
title_sort тензорезисторы для низких температур на основе нитевидных кристаллов кремния
topic Сенсоэлектроника
topic_facet Сенсоэлектроника
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52443
work_keys_str_mv AT družininaa tenzorezistorydlânizkihtemperaturnaosnovenitevidnyhkristallovkremniâ
AT marʹâmovaii tenzorezistorydlânizkihtemperaturnaosnovenitevidnyhkristallovkremniâ
AT kutrakovap tenzorezistorydlânizkihtemperaturnaosnovenitevidnyhkristallovkremniâ
AT pavlovskiiiv tenzorezistorydlânizkihtemperaturnaosnovenitevidnyhkristallovkremniâ
AT družininaa tenzorezistoridlânizʹkihtemperaturnaosnovínitkovidnihkristalívkremníû
AT marʹâmovaii tenzorezistoridlânizʹkihtemperaturnaosnovínitkovidnihkristalívkremníû
AT kutrakovap tenzorezistoridlânizʹkihtemperaturnaosnovínitkovidnihkristalívkremníû
AT pavlovskiiiv tenzorezistoridlânizʹkihtemperaturnaosnovínitkovidnihkristalívkremníû
AT družininaa lowtemperaturestraingaugesbasedonsiliconwhiskers
AT marʹâmovaii lowtemperaturestraingaugesbasedonsiliconwhiskers
AT kutrakovap lowtemperaturestraingaugesbasedonsiliconwhiskers
AT pavlovskiiiv lowtemperaturestraingaugesbasedonsiliconwhiskers