Оптические сенсоры газов на основе полупроводниковых источников ИК-излучения

Рассмотрены различные конструкции маломощных полупроводниковых источников ИК-излучения и оптических сенсоров газов на их основе. Показана перспективность использования таких сенсоров в приборах газового анализа нового поколения....

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Дата:2008
Автор: Кабаций, В.Н.
Формат: Стаття
Мова:Російська
Опубліковано: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2008
Теми:
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52444
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Оптические сенсоры газов на основе полупроводниковых источников ИК-излучения / В.Н. Кабаций // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 4. — С. 30-35. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1859794277873221632
author Кабаций, В.Н.
author_facet Кабаций, В.Н.
citation_txt Оптические сенсоры газов на основе полупроводниковых источников ИК-излучения / В.Н. Кабаций // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 4. — С. 30-35. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Рассмотрены различные конструкции маломощных полупроводниковых источников ИК-излучения и оптических сенсоров газов на их основе. Показана перспективность использования таких сенсоров в приборах газового анализа нового поколения.
first_indexed 2025-12-02T12:41:19Z
format Article
fulltext ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ���������� �� �� �� � ��� ������ � �������� � !�� ���� �! "������ ����������������� ��� #�������� ���! ��$ � �! ������% �������������� �� ���� � &������� '���(������ ��������(����� ��� � � )$*+,-. /*0*1,!234!4+ ���������������������������� �!������ ����"��#�$�� $��%������%�#� �������� ��%� ���� ����&����$�������#��������% '���%�����#�����%���(��������$���$����%� ����)� ��$��)��%���&�����#� �������%� % $��*���#�'���%�'������������%�'��$������ ��&� '� ��5 �����6�� 7�6����8��� �� �����8���� ���� �� ��� � 9�������9� ��8�� ��� ��� ��� � ������ �7���7�����5� �� �(����� 9� ����� :���$ �� �����;6��95� �� ���� ���! <��7���� ������� $ ������59 �� �����6� ������ ����� =>� =>�� ?>�� @>� @>�� Σ=+A, � ��� ��� 9������9����� �5� ��6�$ �5� �9���� �� � � 9� �� BC$���� ��������! <�$ ��(�� �6��� ����� ���5� ����� �����8��� ��6��� �� �������� � � BC$�7��� � ���� ��� ����� ���5� �� ��D���� �����6����9��� ��9����� �� ��6��� $ � �57��� ; �� �9��;�5� ������ �69����� � � ��$ D� ��6��7� � ; �� �(����� ������5 �� ���7���� ��6����� �����6� � �5����9� ����� ���59� ��69�D$ ��� 9�! �� ��6��7� �� � ���95:������� �5���$ �� �����9���5� �������� ������7�5� �� �(����� �������� ��6�� � ���7���� ��6����� �����6� �� �� ������ ���7����95 ���������������5� �� �(���� � �� �� ��5 BC$�6��(��� � �7��� � ���� �� ��EF E�� 9�9� ��� ����� � ����� ���5� �����5 �����$ 8��� ��6��� �57���5���95� � � 9��G��� ���95:$ ������ ;� � 6��� 6� �8�� ��! H� ���;��� ; ��6��7� �� �� �(����� �������� �� 7�6� ���������������5� �� �(����� BC$�6��(��� "I�BJKLCBK LK<L"MN OHP"Q <H "L<"QK I"R&IM"Q"�<BC"QNS BL�"J<BC"Q BC$BPR&JK<BT �7��������� ��D� ���5:���59� ��7����� 9� � 7�6������� � ��������� ��7� � ������75���8��� 9� �������(������ ��9�(����� � ��8���� ���95:$ ������ �� �������$������ �(������ ��9������� ������� �� ������� �� ��� ��� ��6��5� �57��$ ��� � � 9��G���! B����;6������ �����9����� ���$ 9�� ��� 7�65 ��� ��69�D��� ; �� �9� �6����� ; ������� �69����� � � ��D� ���8�� �� ; ������5�$ �5� ��� ���; 6� 6��� 6�����9 ����D��8�� ����5 � ���95:����59� ��������9�! "����� ���� ���������������5� 9� �������� �� 7�6� �� ��5� 9��� 75 ; �6�� �����5 �� ���5� ���$ 9�� 5 ���������������5� �� �(����� BC$�6��(��� � ������(��� � 9� �����5 �8� ����� � �(�� �6�(��5! <��7���� ����9��959� �� �����6���� �� ��$ �5� ���9�� �� ���������������5� �� �(����� �6$ ��(��� � �7��� � ���� �� ��EFE�� 9�9 �� � � ���������������5� �� ���� ��� ��5 �� 7�6� ���$ �5� ��� ����� UVW+XYZUVXY � UVXY?[\ZUVXY� �9��$ 8�� ���7����95� �� ����� �69����� :����5 6�$ ���8����� 6��5! ]������� ���7����� 9 ��G�� ��7$ ��6����� ��� ��� ������;��� ���� ����6���� �7��$ 6�� � � ��� ���� �����:���5� ���� ����5� ��� ��$ ���� ��6��� �8�� ����(� ; � ��� -.,$�������5 ^ _! <�� � 8� ��7� � ���� 8��� ��6��7� �� ������ �������� �� �(����� �������� ��6�� � ��6������$ 6� ���� �� �� ������ � �����;6������9 9���9�8$ �5� ���������������5� �� �(����� BC$�6��(��� ���� ������ ��EFE�� 9�9� �6�� ������5� �� 7�6� �� ���� ��� �� UVW+XYZUVXY � UVXY?[\ZUVXY! Q5��8������ ��� ������;�5� �� ���� ��� �� UVW+XYZUVXY � UVXY?[\ZUVXY ����������; 9� ���9 � �� (��� �� ��;�5� ���9�� �� ��6���6�� ����� ��$ 6������ ��6�� ; ��6���6�� ��5 �� ������5� �9$ ���� �� � ���9��;�� �5����9 ���GG����� �9 ��$ 6�(��� �� ��;��� �! BLI"R`P"QH<<NK BL�"J<BCB ! C������ <! I! ���6���6�� ��5 ZZ �� (��� � ��� �95!F ����!F � �!F L! �F �! �! a���� Q!� Q��; �� R! a��� ��(����� �69����� ������ ��$ (����� ����(�� ���������������59� ��6���6�� ���9�!F '!. '��� bc�! �! ]�� O! R!� I���� O! K! L�99� �� � ��G��9������5� �G$ G�� 5 � ���������������!F '!. <����� bc�! �! de4fg,V,V X! X!� h+ei+*j/+ U! U!� \+/-j/Yki U! l!� \+-2mYk, n! \,2fje2Y,Y1,/2 oejo2e1,2Y jp [jejV$3jo23 Y,-,qjV mg,Yk2eY +1 qeijr2V,q 12*o2e+14e2Y ZZ s4Vq1,jV+- h+12e,+-Y!F ����!F lj-! � @! �!F \! �t�F�c�! E! ljejV,V l!� h+ei+*j/+ U!� u+r+Vi+qg v! 21 +-! ?,-,qjV mg,Yk2eY pje *2qg+V,q+- Y2VYjeY ZZ ?2VYjeY +V3 Xq14+1jeY!F bb�!F lj-! X��� @! w�!F \! �cF��! t! ���D���� H! H!� '��; 9��� B! B!� R��� ��� K! <! � ��! " ���������������5� ��6���6�� ���� � 9�������� ����59 �� (���9 ZZ �� (��� � ��� �95!F ��� !F � t!F =! �Fc! c! <������� L! B! �������� ���:������ ����5� ��!F '!. <����� bc�! �! I� ! E� c &���x��! J� ����� ���9�� ������� 9����y($ ��� ����(�� �� �9���� ��� �y����� ���y� Z H! "! ���D��y�� z! {! '��| 9���� "! I! C� ������ z! Q! I������;���!F ���E!F ]��! � �! b! I� ! �E� &���x��! J� ����� ���9�� ������� 9����y($ ��� ����(�� �� ��7� � ��� �9���� ��y �y����� ���y� � ���;��� 9���y ��� ��� � Z H! "! ���D��y�� z! {! '��| 9���� z! Q! I��$ ����;���!F ���E!F ]��! � �! ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � � ���������� �� �� D����G�6��� ��� ����� � �� ��� �(�8������ ����$ ����! H� ���5� ���9�� 5 �� ���������������5� �� �(����� BC$�6��(��� � ���� � �6��(��� �� �$ �5� ������5��� �7��� ; ���F��t 9�9� 75�� �6��$ �����5 �� 7�6� ��� ������;�5� �� ���� ��� �� ����5� ��� ����� #� % UV w#W+#XY ##≤���E%! a�� ��$ ����;�5� � ��� ��5 ����(��� � ��D�9� �5��D���$ ���� ����D���� ��� ����$�������� � �����6��� �9$ ���� ��5 b��Fbc� C �� �����D��� UVXY ����� �$ ��� } ~! L����� ; ����D���� ��� ��� �� �� EF ��t CZ9��! I���� ��(���9 �������� ��� ������ ���$ ����� � ���;� ��� ��9�����6����� �5���D����� � �(���� ��Ft� 9�� ��� �9���� ��� �� EF � C 7��;:��� (�9 �9���� ��� ��(��� ��� �! �� ����$ (��� -.,$�������� ����������� ���8�� �� ���; �� �9 ������� � ������� �������;�� �6�� �����$ ��� ���� ��5 UVwhV! �� ������8�� �7��� � ���� �� #���FE�� 9�9% �� ���5� ���9�� 5 �� ���������������5� �� �($ ����� BC$�6��(��� 75�� �6�� �����5 �� 7�6� �M UVXY w/w0?[/\0 #�≤/≤�� E� �≤0≤�� �%! a�� ������;�5� � ��� ��5 ����(��� � ��D�9� �5��D������� ����D$ ���� ��� ����$�������� � �����6��� �9���� ��5 bE�Fbb� C! I������� �� ��FE� C ���8�� �� �� � ���;� ��(:�� ��9�����6���� ��� ����$��������! L����� ; ����D���� ��� ��� �� ���F���t CZ9��! I���� ��� ������ ������� �5���D����� �� ��� $ D���� t�Fb� 9�� � � 9��G��� (�� ��� ��������! P� � � ���9 ������� ����D�� �(�8��� � �����$ ���� � ��� �� � �����D��� UVXY! �� ����(��� -.,$�������� ����������; ����������� �������� hV ��� uV! B���������� 9��G������ ��� ������;�5� ���$ �� ����(���5� �M ����������; 9� ���9 9� ����$ ���G�(������ �����6� �� 9��������� ''M$�M� � ���$ ��� ���� ���� ���� � ��� � � �� �����D��� ; �6$ 9�� ���; �� 9� ��� S����! a�� ������;�5� ���� � 7��;:��� �� ���(��� �9��� �����9����� 6�����;$ ��� ��������� ;! C����� ���� �� � �(��� �����$ ��� ���9��� � ������������5� �7��6��� ��� ��� $ � # F�%� � c�9w�� ������ ���� �5��� � ���������$ �5� 9�������9 ��� � �M ���������; � �������� � tF � � �9w�� �����D��� ; ���� ���� ��� ��� �� ��F �� �9�ZQ� ��� ��� C! Q ��(�� �� ��� �� �� � �$�7��� � � ��� �� �����;6����� ����� UVwhV� ���$ �� �9� � ,$�7��� � ���D��� UV ��� ����� UVw?V! ��$ 7���� 9� �����$������� ��� ����� ���� ���5:��� ������ ����� ���� ���� � ������ ����6�������� �7��� � � �7����(����� �9�(��� ; ��� �� ��! "9�$ (����� ��� �� 5 � ����(���59 ��� ������;�59 � ��� ���9 ��6�������; ���� �����. �(�(�5� #���$ 9� ��9 ����� E� 9�9% � ����:�5� F �� � ����5 ���� ����� (���6 �� ���� �� �5���� � �6��(����! Q��; $�9����5� ����� ���� ��� �.$$�������� ���� �(���� �� �69�� ���; � �69������9 ��� ��� �M� ( � ���65��� �� ����97���������$������������� 9����; ��� ����� ��� (���6 -.,$������� � ���$ �5� ��� �����! B����������� ���� ����9������� �5� #��% ����� � �� ���5� ���9�� �� ����6���� ( � �6��(�$ ��;�� ����97����� � ����(���5� �� ���� ��� �$ ��� ������� � � �� 959� ��������9� F �6���$6��$ �59�� � ,$9� ������ � �6��� �������9�� � F ��$ ��� ���5� ������;� � -$9� ������! ���9� ���� ��� aR ���9�� �� #� ����% ���65��� �� �5����� � ���$ ����� �����:��� �� �M �� ���9 �����6��� ��� �$ ���! I���:����� ���� ��� �6��(��� -.,$��������� �9��;:�� � � ��� �9 # #�9��;:�� � ����� ����5 �6��(��� %! '���� �� ��� ����� �� ��� �������$ ���; �������9 � (�� � �� �� �c O�! C�9������5� ����������� ���� ��G�6�(����� � �� �(����� ����9� ��� �� ���5� ���9�� �� ��$ �������������5� �� �(����� BC$�6��(��� ��6��$ ���� �������� ; �� �9��;�5� ��� ��5 �M� �7����$ (����8�� �6��(���� �� ���5� ���9�� �� �� ������ ����� ����� ��� �8�� ���� �(����� �� ���� #���$ �5 ������ ��c� ����� ���c � ��tc 9�9 ��� �� � ��� ����� ���59 ������9 �����8��� ����� ���5� 9�$ ��� =A�� �������� �������� =>�� ������ �������� =>% ^�_! �� �����(��� ���:���� ���� ����� �5���� �6$ ��(��� � 6�8� 5 � 9�����(����� �����D����� � � ����������� ����5 �� �� ���5� ���9�� 5 ����$ �����; �� �(����� ����5 � � ��6��(��� � ��� �$ ��� ��������� � �6 ���;��������5� ������������$ ���5� � ���� #���% ��� �9 W2#\[%w?[#�,%w?#?2%! a � � ���� �9�� �9�:����� � ��� ��� #����(�($ �5�� � ������(����� � ����9����;�5� � ��� ���5� ������5%� ( � ������� � �� ��7��;��� ; � �����$ ������ ; � ����� ����� � ��� ��5 � ��6��� � ��$ :� ; ���7��9� �57��� �9���� ��5 ��69 �(��� � ����������� ���GG����� �� ��9�(������ ���:�$ ���� �� ���5� ���9�� ��� ������� � �� �(������ ����5 � ! ��������(���� (�� ; ������� ����(��$ �5� ���������������5� �� �(����� BC$�6��(��� #� ����% �6�� ������ �6 SIL� ��� �� 9����� (�9 � � ��6� �5:� ���������� �����G���(����� ���65 ^�_! Q���(��� ����7���� �������������� ������$ �� 1 � ���� � ��� 9�D�� �6��(��8�9� ���� ����$ 9� 2 �57���5 ���9�� ( �75 ����(� ; �GG�� ���$ ���� ��� ������� � ��D��� �6��(��� � �� ���� ��$ ��� �� ������� ��6���� ����;���������� � ���� F ��6����� � ��D� �GG�� ���� �����;6��� ; 7������ �6��(���� ���� �����! &9��;:���� ����� � ��D�$ �� 7������� �6��(��� � �GG�� ����� �����;6���$ ��� G��� ��;���� �6��(��� ��������� � �������$ ��� �����G���(����� ���6�! ��������(���� (�� ; ������� � ��������� �����G���(���� ���6� �6��$ 3� � �! ��! �� ��E � ��� ��� ��� ��t ��� ��� λ� 9�9 � � � E t c M��! ! P�����9�� ; �� �������� � �6��(��� �.$$����$ ���� aR �� ���5� ���9�� �� �� ������ �M � ����5 ���$ �5 �6��(��� ��� 4���� C. 1F5 F UV w/W+/XYZUVXY ##≤���E%� EF6 F UVXY w/w0?[/\0ZUVXY #�≤/≤�� E� �≤0≤�� �% ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ���������� �� �� �����5 � ����9 ��������(����9 ����� �6 ������ 9� ������ ��� ( � �� ��8�� ��� ������5 ��6���� 9�D�� ��9�! I����9� �8� �6��(���� 7����� ��$ ������� ; ����7���� �������� � �6�� ������� � G��9� ���(������ ������ ��� ������� ������ �� �$ �� �6��(��� � �9�� � � ���������� �����G���(�$ ���� ���6�� ���5:�� �5��� �6��(��� � ��������$ �� �� ���� �(������ �����;6����� ! M�69�8���� �� ��������� ���� � 7���� ���� ������ �6��(��8�� ����5 ����� ��� ��6��� ����5� �� �69�� � �� ��$ ����99� ������������ �� ( � ���7���� ��D�� �� ���� ��������� ������ ������ ���7���� ��6����� �����6�! aGG�� ����� �����;6������ 7������� � G��� ��;���� �6��(��� �� ���5� ���9�� �� ����$ �����������5� �� �(����� BC$�6��(��� ��6����$ �� �������9���� �9��;:� ; ������99� ���������$ ��� � �� �� �� ��� � �����(� ; 9�8��� ; �6��(�$ �� � ��EF� ��6� ����; ��� �6��(��� #� ����%! "�������;�� �������� �������� G�������$ �8�� � 6�8� �5� �� �(����� ����5 �� �� �6��(�$ �8�� �� ���5� ���9�� 5 �7����(���� ����:�� �������6����9�� ; ���9� ��� � ��� ����� ������! �� ���:����� �7��� � �����;6����� 9���$ 9�8�5� ���������������5� �� �(����� �6��(��� � � ��D� �9���� ������ �����6��� � �7��;��� ��$ 7� 5 7�6 ���9����� �9�������� ����D���� � ��9� ��6��7� ��5 ��6��(�5� ���� ������ �� �(����� BC$�6��(��� � ���(:���59� ����(����9� �����$ ���� ���9� � �����;6������9 ���� � 7���� �� ��$ �5� ���9�� �� �� ���� ��� ������;�� ���� ���� �6$ ��(��� � � ��D� ��69�8���5� � ������� ���6���$ ��7���(������ 6������ #� ����%! ����� �� �(��� �6��(��� �����D� �� �(����� G��; � �� ��7�(�� ����� ����5 � �6��� ������� ���������� � �� ���5� ���9�� � ��� � 8�� �6 ���� � 7���� �6��(��8�� ���� �����! L��� �5 �6��(�$ ��� t�� b�� ��� t�� b�� �� � � � M��! �! ������99� ������������ � ���������������5� �� �(����� BC$�6��(��� . 1�F 7�6 �� �(������ ����5 � �� ���5� ���9�� ��� 2�F � �� �$ (����9 ����5 ��9 � G��9� �����G��5� 7 F ��9�8���5� � ��$ ��7���(����� � ��D� ��; ���9� ��9 �� 99� 5�F � ��������$ (����� (�� ;� ������� �6 SIL �% � � � � � � � 7% M��! �! C��� ����� 9���9�8�5� ���������������5� �� �(����� BC$�6��(��� � 7����������9 ������ � #�% � � ��������(����� (�� ;� ������� �6 SIL #*%. 1�F ���������� 2�F �� ���5� ���9�� 5� 7�F ����5���5� 5�F G��������8�� � 6�8� ��� ����5 �� �6 SIL M��! �! C��� ����� �� �(����� BC$�6��(��� � �� �(�$ ���9 G��; ��9 � ������;��9� ���� ����9�� �6��(��8�$ 9� ����5 ��6��� ����5 #�%� � ���6�����7���(����9 � ��$ D� ���9 #*%. 1F5 F ��� � �� ���! �� 8�F �6��������5� �� �(����� G��; �� 9 F ���6�����7���(����� � ��D� ��;� 6 F ������;�� 9��������;$ �� 6�����;�� ����9��� E � � � �% 7% E c � � t 3� � �! ��! �� ��E � ��� ��� ��� ��t λ� 9�9 � � M��! E! L��� �5 �6��(��� ���� ����� �� ������ ���9��$ � �� �(���� �6��(��� #1� 2% � ���� ���;��� ����D���� �� �(������ G��; �� #7% ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ���������� �� �� �� ���� ����� ��6�����5 �� �����9 ���� � ����$ ��;�� ��7�(�� ����5 ����5 �� �(������ G��; �� �� �� �(���� �6��(��� �� ����� ����5 λ����� 9�9� #� ����%! ������ �����5 ���������� �� �(������ G��; �� ∆λ\ �57���� � �6 ��� ��:��� P , C T n ∆ ≤ ∆λ ��� � �9 ����� ����5 � :����� ���� �� �6��(��$ 8�� ���� ����� ��� 4���� C ������ ��� � ����$ �� 9. P P2k kλ ≤ λ − ∆λ F �� (� ���� ����(�� �� �6��(�$ �8�� ���� ������ P P 1 2k k +λ ≤ λ + ∆λ F �� ��(� ���� ����(�� �� �6$ ��(��8�� ���� ������ Q5���� � �7���6��� �����5 �6��(��� �� �($ ���� ��� �69������ �9���� ��5 ����D��8�� ���$ �5 ��������� ������ ��� ���� ( � 9����9�95 � ���� ��� �6��(��� ���� ����� �9�8��5 � ����$ ��;�� ��7�(�� ����5 ����5 �� �(������ G��; �� � ���� ���������� � �������������� �7��� � ����$ �� � �9�� ��������5� �9���� ���5� ���GG���$ �� �9�8��� 6����8����� 6��5! L �7���6��� 9�8��� � �6��(��� �� ��7�(�� ����� ����5 ���$ �� �� �(���� ���8�� �� � � �� �9 ������������ �� 9��� ���� ��(������ ��� (���6 -.,$������� �6$ ��(��8�� � ��� ��! I�� ���� ���������� �����9���5� �7���7����$ �5� ���7���� ��6����� �����6� ���7����9� �7����$ (� ; �5����� (��� �� ��;��� ;� �(��� ;� ���9��� � � �9���� ����� � �7��;��� ; ���7���� � �������$ 9���59 �9��;:����9 �� ��7��� ��� �������� ��7��$ �� � ����! a � ������� � ���7����9�� � ��6��7� $ �� ���5� ���� ������ �� �(����� BC$�6��(��� � �� ��5� �����7�5 G��9����� ; ������;�� ��6�����$ 95� �� ���� �6��(��� � ��������5� �� �����9����$ � � ������������ ������� ��� �� �� ��� � 6���9�$ �8�� ��6��� ���� ���� ������ ����D���� � ��6�5� 9�9�� 5 ���9���! �� � �� ����� ��9� ��6��7� �� 9���������;�5� �� �(��� BC$�6��(��� � �����;$ 6������9 ���6�����7���(������ 6�����;���� � ��D�$ �� � ���� ����� �� ����� ����6��� �� ���! �� *! Q ������� 1 ��69�8��� ������;�� �� ���5� ���$ 9�� �� 2� �6��(��8�� ����5 ����� ��� ��6�5� ����� ���6�����7���(����� 6������ 9� ������;�� 9��������;�� ����9��� 6 � 6�����;�59� ���� 9� � �� �(����� G��; � 8! H� ���5� �6��(��8�� ���$ 9�� 5 ��69�8��5 � ���6�����7���(����9 6������ ��� ( � �� �6��(���� ���������� � � ����� ���:�$ �5 9��������;��� ����9��5� ��9�8����� � ��� G�$ ����! ����� ��69�8���� ���9�� �� ��6��� � ����$ (� ; ������;�� ��������5� ��������;�5� ��� ��5� ��(��� BC$�6��(��� ! <�6�����9�� ; ���� ��(��� ��� �� 6���9��8�� ��6��� ���� ���� ������ ����$ D���� � ��6�5� 9�9�� 5 ���9���� �7����(���� � �����;6������9 ���� � 7���� �6��(��8�� �� ���5� ���9�� ��� �9�8���5� � ���� ��;�� �� �(����� ��� �� �(���� �6��(��� � �� ��5� �� ������ � �� �($ ����9 �� ��� � ��6�5� 9�9�� 5 ���9���! Q ��(��;$ �5� 9�9�� ���9��� ���� �6 �6��(��8�� �� ���5� ���������� ��� ���� ������� ���� �������λ����� � � �������� ������������������ �������������������� ������������∆λ����� � � ���������� ���������� !!���������"����#����$�%��&'��(� �������)�� &� ����� �� *��� !!�+������ �,�����λ����� � -�.� � %������ �� ��/01�23-/023�4λ���5����6�7� � 8� �����9�:6�;�λ�����%��<��������������������� =��>����"� � 4��?�6�)8×)�@6� �����A�:6�;�λ�����%��<��������%����������� =��>����"� 4�������8×)�@6� %������ �� ��/023BCD-/023�4λ���5E������� � 8� � �����9�:6�;�λ�����%��<��������������������� =��>����"� 46���6�78×)�@6� �����A�:6�;�λ�����%��<��������%����������� =��>����"� 4��?�6��8×)�@6� F�,����"���� ��������������������� �G�.� � � � �"�� *���H� �<�����+���4�5)�)��I��τ�5)��� ��8� ����)���� ������ �� *���H� �<�����+���4�5���)��� I8� ���)��� &� ����� �� *��� !!�+������� ������� �,��������%��������� �� ����� � ��)6�666���(-�� ��6����� J ����%�*��������� )�@:� K<������ �������L� ≤E�� M������*��������>������>���+����� �N��N� ≥6�� :��������������������$���������$���������$�� $��%������%�#����������%� ���� ����& �������%���%����#�����%���%�3,;<=>?3,=>���3,=>@AB?3,=> ��� C F , F ∆4 F λM F λD F D F D�� �9���� ���5� ���GG����� �9�8��� ���� �� �6��$ (��8�� ���� ������ ����(�� �� ���� ������ �6��(��8�� ����5 ��6��� ����5� �� ����� �69����� �9���� ��5 ����D��8�� ����5� ��7�(� ����� ����5 �� �(������ G��; ��� ����� ����5 9����9��;���� �6��(��� ���� ������ ��9�� �6��(��8��� ���� ����� � �� ���,! ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ���������� �� �� ���9�� �� ��6��� ��� ���� ��(��� ����������5� �� ��� �� � ���8�� ����� ����9��5� �� ��5�� � ��$ D� �; � ���� ������� �� ��� �� � ���8�� ���9��$ 5 6������! P� �9 ������� ��� �� � � ���(������ � ��D�59 �6��(��8�9 ���9�� �9! I�� � �9 G��$ 9���� � ��������;�5� ��� ��5� ��(��� �9��8�� ��6��(��� ���� ���� ������ ����D����! B����;6�$ ����� ��������5� �� ���5� ���9�� ��� �6��(��8�� �� ����� ��� ��6�5� ������ ����� ��6��� � ����$ (� ; ���� ���� ����� ��6������5� ��������5� ��($ �� �6��(��� � �����9���59 �������������9 ����$ ��� ��� �� ��(�� � ��6��(�5� 9�9�� 5 ���9���! Q�� ��6��7� ���5� ��9� ���� ������ �������$ ��������5� �� �(����� BC$�6��(��� 9�����(���� ���(�5 � ��������� ���� ����9� �5 ����� ���� �� �� ��� ��7�������5� �����6�� � �����6��� (�� � � � �� E�� O� ��� ���5 ��� � �� ��7��� ���� Qa�L$���H! M�6��; � 5 �69����� ���� ��G�6�(����� � ��$ �(����� ����9� ��� ���������������5� �� �(��$ ��� BC$�6��(��� ��������5 � ���� ��! L �(� �9 ����(� �6��� ����� ���5� ����� ��$ ���8��� ��6��� �� �������� � � ������� BC$�7$ ��� � �� �����6����95� ��9����� �� ��6���� �9�$ ��� ���� ��� ���5� ���7����� � ��������������$ �5� �� �(����� BC$�6��(��� � � ��D� ��7����� � �����9���59 ���7���9 ��6����� �����6�� 75�� ��6��7� ��5 ��6��(�5� ���� ������ �� �(����� �������� #� ����% � ��6������6� ���� �� �� ������� � ��D� ��������;�5� �����75 �69����� ������ ��$ ��� �����6����95� ��6�� � ��6���� �9��� ^�Fc_! M�6��7� ���5� ��9� �����7 �69����� ������ $ ����� ��6�� � ��6���� �9��� ��� �����(���� ����$ ��� ���5� �� ��; �6��(��� #6��5������ ; ����5� ���5:���� ����� � �9���� ���� 6��� 6������ ; �� �(����� ���9�� �� �� ���9���9% ��6��� � �6$ 9�� ; ������ ����� ��6�� � :�����9 �����6��� �9���� ��5 � 6������� �(��� ;� � (��� �� ��;$ ��� ;�! Q ������D����9 �����7� �����6����95� ��6 ���$ ���� (���6 �69��� ��;�5� ���� 5 ��6��� ����5� � �� ��5� �� ��� �6��(��� ���5 5��� �������$ �5� �69����� � �� �� 6���5� � �����8����9 ��6�! C����� ���� �����6����9��� ��6� � ��6���� �9��� ������� � � �6 ��� ��:��� . ( ) 1 2 1 2 1 ln ,x U C l l U ∆= α − ∆ Q �������� �7��7� �� ���� ��(����� �������� �� �5���� ����9���� ��G���������� �6��(��� � � �69����� ��9�������� � ! B����;6������ ����$ �����������5� �� �(����� �6��(��� � ���� ���$ ��� 9���� ��� ����9���� ��G���������� �6��(��� ��6��� � �69�� ; ��6��� � �����8��� �6��(��� �� �5���� �69��� ��;�5� ���� ��������� � ���(�$ ������ �����(��� (���6 ��� ��6���� �9���� ( � ��$ �5:�� ����D��� ; ������D������ �����7�! Q ��6��7� ���5� �� �(����� �������� � ��(�� �� ����9���� ��G���������� �6��(��� �����;6����� ������� ���5� ���������������5� G� ���6�� ��! L�� ���� �� �� 9����������� ��� �� ���� �� ���5� ���9�� �� ����9���59 ���9 ����(���� ��� 9X � (�� � �� �� �O�! ����� ��D�9 ��7� 5 �� ���5� ���9�� �� ��6��� � �����(� ; 75� ������ ��� ���$ ���� �� ���F��E �! <���(�� � ����������������9 �� �(���� BC$�6��(��� �� ������ ���9�� �� �6��$ (��8��� �� ����� ����5� �� ��������8�� � �����$ ���59� ������9� �����8��� �����6����9��� ��6� ��� ��9����� �� � ��6���� �9��� #λ���b� 9�9%� ��$ 6��� � �����;6��� ; ��� � �� �(����9 ������� � ��(�� �� �� �(���� �������� �������! B69����� ������ ����� �����6����9��� ��6� ��� ��9����� �� � ��6���� �9��� ����6���� ( � 9�$ ��9��;��� �����:��� ; �69������ 9�D�� ����(� ; ��� �����(�� �� �(������ ������� ��6����9 ��� ��$ 6�9� ����� ���5� �����5 �����8��� �� ����� �� �������� � ����� ���59� ������9� �����8��� �����6����9��� ��6� ��� ��9����� �� � ��6���� �9�$ ��� � �7��9�� � � ��6 ����5:��8�9 �7��9 �������! �� �69����� ������ ����� 9� ��� L<� #λ� ����� 9�9%� �� ��5� �9�� � ���� ��;�� 9��5� ��$ �GG����� �����8��� � ������ �7��� �� �����;$ 6����� �� �(����� ������ � G��9� ������ :��� ���9� ��9 �� 99 #���! t%! Q�� ���� ��������� ; :��� � ��� �� ��D��8��� ������ #���! t� �% ����5$ � ���;�� ��G��9��������� ���9������� G��;���� ��6���8�� ��GG�6��� � ��D���� � ���GG����� �9 � ��D��� ��b�F��b� � �����6��� ���� ���� ��EF E�� 9�9! I��9������ ���9������� G��;�� �7����$ (���� 7���� �����9����� ����8���� � ������ ��$ ���;6������ �� ��� �6��(��� � ( � �����(���� (��$ � �� ��;��� ; � �(��� ; �69������! M�69�8���� �� ���5� ���9�� �� �� �78�9 ������������9 ��$ ������� ���(:�� �9���� ����� � �7��;��� ; ��$ 7� 5 �������! I��������5� �69����� ������ ��$ ��� 9� ��� � �����6��� �FE �7! � ����6��� �5��$ ��� ����D��� ; � �(��� ; �69������! " ��:���� � � � �% 7% � � M��! t! C��� ����� �� �(����� �������� � ���� ������ :��� �� ��� �� ��D��8�9 ������9 #�% � 7�6 ������ #*%. 1�F ���������������5� �� �(��� BC$�6��(��� � 2 F :�� � ��� ������ ��GG�6�� ���������8�� ��������� ;�� 7 F ��� �$ � ��D��8�� ������ 5 F G� �����9��� ��� ������E# F α F F � F� F ∆G � ∆G� F ������ ���� ��6�� �� ��5� �����6���� � � ���GG����� �����8��� ��6�� �� ��5� �����6���$ � � � 6����� � � ����� ����������� ���� ��� ��$ ���8��� ��6�� ���� ���;��� ����� ���� ��� �� �($ ���� ��G���������� �6��(��� � ���� ���;��� (��$ � �� ��;��� � ����9���� ��G���������� �6��(��� � ����� �69��� ��;�5� ���� � �69������ ���� D��� ��� ��������� �� G� ����$ �9��� �� ��� �6��(��� � �� ��5� ���:�� (���6 �6$ 9��� ��;�5� ���� 5 ����5 F � F� ��� �� � �����! ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �E ���������� �� �� ������Z:�9 ��� ��� �� �t � ��E �� ������ ����� ��� �� � ����� ��� � ��� �7! �! I�� �69������ ���$ ��� ����� ��6�� � � ���� ��;�� 7��;:�9 ���GG�$ ���� �9 �����8��� � �����9�� �������� �������� L"� #λ����c 9�9%� 6� �(� 9����� �7��9� ������� # t �9�% ������ ; �����(�� ��6���� �9��� ������; ���6� ; �� ���E 9Z(! I�� � �9 ���9 �� �������� 6��(���� ������ ����� ��6� ��� ��� �� �� �� � 9�$ ��9��;�� �69������ ������ ���� L"� � ��6���� ��� ��� �� E�F �� 9��w ! ��� B����;6������ � �� �(����� �������� � ��6����$ ��6� ���� ��G�������5� ���������������5� �� �($ ����� �6��(��� ���� ������ ��EFE�� 9�9 � ��5$ ��� ���5� ��69�D��� � �7���7�������� 9� ��� ��� ���� ���������� ���7���� ��6����� �����6�! ����� ������5 ��7� �� ��� ��9�� ��� �9���� ���� �9�$ � �5����� 75� ������ ��� #τ� �wcF �w� q%� 7��;$ :�� �����6�� (�� � ���� ������ 9���� ��� #�� � 'O�%� 7��;:�� ���9 ����7� �� �� � ��6 #�� 9��;$ :� �� 5�! (%� 9��5� ��69��5 � �������� ��7�����! I��������5� ���5 ��� ��6��7� ���5� �� �(����� �������� ����6��� �� ������� ����� ; �� ��6���� ��� � ���5� ��6������6� ����! Q5����� ������� �$ �����5� ����9� �5 � ��6�� ��7�� ��9�� ; ����� ���� ������5 �������� ������7�59� �� ��� ���$ ��9 � 9�����9 �5����! BLI"R`P"QH<<NK BL�"J<BCB ! C�7��y� Q! '!� O�����( {! {! �������y�(y ���y�����y���$ ���y �D����� �����9y������ y�G��(�������� �y���6��� ���� $ �� ZZ Qy���� ��������y(���� ��y����� � � I��y�� !F ����!F J! � ���! E!F L! ��F��! �! C�7��y� Q! '! �D����� �����9y������ ������ �����y�� � �7��� y ���� �� ��EFE�� 9�9 ZZ ��! c$� '�D�����! ���(!$����$ �(! ���G! �LBa�$���t�!F "�����!F ���t!F L! E�! �! I� ! �cc�t &���x��! <��y�����y������� �D����� y�G��(����$ ���� �����9y������ Z Q! '! C�7��y�� Q! "! O������;!F �! ���c! �! I� ! ��t�� &���x��! L���y7 ��9y������ ������ ���yx ��6y� Z Q! '! C�7��y�!F �! � ���c! E! I� ! ��t�b &���x��! z�G��(������� ��6�����y6� �� Z Q! '! C�7��y�!F �! � ���c! t! I� ! � c�� &���x��! O�6�����y6� �� #���y�� �% Z Q! '! C�$ 7��y�!F �E!� ����! c! I� ! � c�� &���x��! O�6�����y6� �� Z Q! '! C�7��y�� �! Q! '�������� '! '! C�7��y�!F �E!� ����! �� !���� " �������� �� �� �� ��� ��� ��� ��� �� ��� ��� ��� �� ��� � ����� ��� !�"##$ ��%&&�� �������� ��� ��� ����� � ��� �������� �������������������������������� � �� ������� �������������� ���������� ������� �� � ����������������� �� �� �������� ������� ������ �� � ����� ����������������������� ���� ��� � ������� ����� ������� � ������������ �� ���� ������� �� �� ����� ����� ����������� ��!� ! "����������������� �#��� ������� � ��������� ����� ���������� ���� �������������� ��� �� �����!�$���� ��� � � ���� ��������%&��������� ��� � ��'(���� �����������&))�� ��������� �������������())�� ��� ��! *� ����������� ������������� ��� �������� ������� ������ ��� ��� ����� ���� ��� �� ������ � ���� ���! ��''� (�) ��� * � + '�,����� � ���-����� ������� ���''���� ��� � ����� ��� !�"##. ��/0#�� +������ � �� �� ��������� ��� � ��� �� ����� ��� ��� �� ����� �� ���� ���� ���� ������ ����� ����� ���������������� �� ��������������� � ������ �������� �������������� �� �� �����������!�,�� ������������� ���� � ����� ���� �� ���� ������� � �-.���/0-1234567859��/2:;<��=/�.(.1&>?1&..� �� �����������&�.)��@� � �!�+����������������A���� �� ������������������ ��� ��B������������������� ��� ���CD������� ����������� ��� ��� ��!� ! C� ������ �� ��������� ������������ @EC� �E@C��� �� F��������#�GHI� JKL�� � � ��F� � ���!�,����������� ����� �������������������#� � ����� � ������������������#� ����������������� �� � ������������ ������������ � ��� ������������ ������ ������� ��� M������������������ ���������� �CJ+N! "� ��� ��������� �������� �� �� ����� ��� ��� �������O � � ����������� ���������������������� ��� ����� ��F�������������������� �� ���������� � ! D� ������������� ���� �� ���� �� ������ ���O ��������������������������� � ���������� ������� ���� ���������� ��� �� ���� ���� ������! � � ! � �� � � "
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52444
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 2225-5818
language Russian
last_indexed 2025-12-02T12:41:19Z
publishDate 2008
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
record_format dspace
spelling Кабаций, В.Н.
2014-01-01T21:39:08Z
2014-01-01T21:39:08Z
2008
Оптические сенсоры газов на основе полупроводниковых источников ИК-излучения / В.Н. Кабаций // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 4. — С. 30-35. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52444
Рассмотрены различные конструкции маломощных полупроводниковых источников ИК-излучения и оптических сенсоров газов на их основе. Показана перспективность использования таких сенсоров в приборах газового анализа нового поколения.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Сенсоэлектроника
Оптические сенсоры газов на основе полупроводниковых источников ИК-излучения
Оптичні сенсори газу на основі напівпровідникових джерел ІЧ-випромінювання
Optical sensors of gas on the basis of semiconductor sources of infrared emission
Article
published earlier
spellingShingle Оптические сенсоры газов на основе полупроводниковых источников ИК-излучения
Кабаций, В.Н.
Сенсоэлектроника
title Оптические сенсоры газов на основе полупроводниковых источников ИК-излучения
title_alt Оптичні сенсори газу на основі напівпровідникових джерел ІЧ-випромінювання
Optical sensors of gas on the basis of semiconductor sources of infrared emission
title_full Оптические сенсоры газов на основе полупроводниковых источников ИК-излучения
title_fullStr Оптические сенсоры газов на основе полупроводниковых источников ИК-излучения
title_full_unstemmed Оптические сенсоры газов на основе полупроводниковых источников ИК-излучения
title_short Оптические сенсоры газов на основе полупроводниковых источников ИК-излучения
title_sort оптические сенсоры газов на основе полупроводниковых источников ик-излучения
topic Сенсоэлектроника
topic_facet Сенсоэлектроника
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52444
work_keys_str_mv AT kabaciivn optičeskiesensorygazovnaosnovepoluprovodnikovyhistočnikovikizlučeniâ
AT kabaciivn optičnísensorigazunaosnovínapívprovídnikovihdžerelíčvipromínûvannâ
AT kabaciivn opticalsensorsofgasonthebasisofsemiconductorsourcesofinfraredemission