Вольт-фарадные характеристики ионно-имплантированных структур GaAs

Выявлены особенности вольт-фарадных характеристик ионно-имплантированных структур GaAs, обусловленные наличием глубоких центров захвата.

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Datum:2008
Hauptverfasser: Горев, Н.Б., Коджеспирова, И.Ф., Привалов, Е.Н.
Format: Artikel
Sprache:Russisch
Veröffentlicht: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2008
Schlagworte:
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52449
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Вольт-фарадные характеристики ионно-имплантированных структур GaAs / Н.Б. Горев, И.Ф. Коджеспирова, Е.Н. Привалов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 4. — С. 52-54. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1859615066698022912
author Горев, Н.Б.
Коджеспирова, И.Ф.
Привалов, Е.Н.
author_facet Горев, Н.Б.
Коджеспирова, И.Ф.
Привалов, Е.Н.
citation_txt Вольт-фарадные характеристики ионно-имплантированных структур GaAs / Н.Б. Горев, И.Ф. Коджеспирова, Е.Н. Привалов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 4. — С. 52-54. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Выявлены особенности вольт-фарадных характеристик ионно-имплантированных структур GaAs, обусловленные наличием глубоких центров захвата.
first_indexed 2025-11-28T18:14:49Z
format Article
fulltext ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� ������ ��� �� � ��� ������ � �������� �� �� ���� � !������ ���������������� ��� � "#�$$ %&'()� � &���* ������������������� ������������������������ ��� ��� ��� ������������������������ � $������� � �������� ������ (�� � � ����+����� ,������� #-#$ � #&-$ ./01234 56789�:;0123 7< =!>?�/@-A-�#BC D-A-&�CA(E�(&( (!##!/(F'>-#�(A!=-##BD E�A$&�$A G1HI ����� ���!"!# ��!"�$��!�%���&'&(��) )&'&�� '$"�$�� $!��!�$�*�&��$'!�&�� ��)�"�'+��+'�,-./��!#+"�!�� ��� ��&�$� 0$ ��1�+#!�$)�2 ��'!��3&)�&�&� (���� �,���� ��� J ���� �K ��L���M�� ,�/ ���� �K�� ������ ���N���� � �� �����O�P� ���, �� ������ G1HI '�����O�� �,���� ��� �������/ Q�� ���,��� ����K���� � ��������� ����� � ��/ ���K������Q�� �����L��� ��,������������� ���/ N���,� ��� ��,�� � � ��� �P ,��� ���KP�� O K�/ ,� ��� ��� ��� �� ����� ���� ��� �����/�,����/ �������P� � ��� ��� � �, +���� � �� ���O /R����/ ��� ����� ���� ���� �� ��� M����� �����OK�� � �� ���������� ����,� ��� ���������������P� � ��� �� � ���N���� �� �� ������ S�Q�� ���Q�� ,� ��P ���+� � N��O����� �,��/ � � �����/�,���� �������P� � ��� �� �������P �� ��������L����� + � �� ������� ,�L�� �N��� O� �N������ N��O��� T� �� � ��� ���O�P, ������, ������ ���� ���N���P� ���� ���� �K,�� � � ���+/ ��, � ��� �� ������ ����� �������Q�� ���,��� 4 5 UVW� �� ���� ����� �� �P���� O� ��� �,P��/ ��� � �� �N��� � �N������ � �N��� O� �NX�,���� K�� �� �� ������� �,���� ���������� ��� � ���/ ��L��� U�W Y��O� ������ ��N� P �� � � �P ���/ ��� ���N����� �� ���O /R�����P� ����� ���� �� �����/�,���� �������P� � ��� ��� �N���������P� ����+��, ���N���� ��� ��� #�K��/ � �P����+�� � �� N��O���� �,��� O 67 � 8 97 ������Q�, �N��K�, �P��L�� � +���K ���� / L����� O ���� ��+������ ��� : ; �� ������� %,�/ ���J�������������)4 0 ,b LF rev E C S V δ = εε δ 0 0 , t b HF rev n E C S V δ = δ = εε δ "V* !�������, K�����,�� O ���� L����� � ���� ��/ +������ ��� : ; �� ������� %,� ���J����������/ ���) � �N�� ���� ���� L��� < =>? �� N��O��� T� / �� �� � ��� ����,� ��, � ��� ���� ����+����� �,���� ����� �������� ���,��� � �����K������/ Q�� �����L��� �����L�Q�� ,����� �����P � ���/ ��� ������ 4 / � ��,��������Q�� �� ���N���� ����/ ����P� ��� �P K���� � ����� ������ ��� � ������/ ������ 4 @ � ����,� � T����ZA��� �� ��P� "������/ ���� ���N���P� ���� ���� � ���+��� ����� ������O @��,� �������� � ������ �+����, ������, ���N���/ �� ��� ��* ����� A V '��R��O ������ ����� �,����/ ��������� �������� ���,��� �,�� ������� ���4 ( ){ }2 ( ) exp 2 ,d p pN x N x R = − − σ  #� ��������� O � ��� ��P ������� ��� �� T� / ��� � �� ���,� �����L��� �N�� ��� ���� L���� < =>? A������������ ���� L����� � ���� ��+������ ��� : � � ��� ��� ����P��� � ���������, '�������4 [ ] 0 d ( ) , d t d s E q n n N x N x = + − − εε "�* '�����O�� � N��O��� �����L��� �N�� ��� ���� / L����� ��� ��� ����Q�� +���K N��O��� �����N��L�/ ,� ,�� �� ������� ��O��� ���K�������O @��,� � ���/ ���O��� +�� � �����L�� ��� � ��� E������� ��/ ����� ����� N��O��� T� ��� �� ��� ����������� �� ��������������� � �P����� �����L��� O�� �� ��� � ��� � � �N��� � �N������ N��O��� � �,�Q�� � ���� ��O�� ����� @��,� � ,� ���� �� ����+��� B< =>? = ���� ��� � �� �� ���K������ @��,� ����/ ����� ������P���� � ��� �����,�� ��� d , d n q nE x kT = "[* ��� ε J ε � J C J < =>? J δ: ; � δA @ J � ���� ��O�� ������ ��+���� ��������,�� O ��/ ������������\ ������ ��+���� ��� � ��� \ ���Q��O N��O������ ��� �� �\ �N�� ��� ���� L���� �� N��O��� T� ��\ ��� �� � ����� �K,����� ���� L����� � ���� ��/ +������ ��� : ; � ������ ����� K����+���P� ����/ ���� A @ ��� �K,������ δ< =>? �N�� ���� ���� L��� �� N��O��� T� �� ��� ) J 4 D J E D J σ J �������� �� � �+� P���,� � ��������� � ����������/ ����\ ,����,��O�� ������ ���� �,���� �������P� ����/ ���\ ����� ������� ���N��� �����\ ������������ �+��� � �������� �������� ��� B J A J A @ J A @� ] K�� � ���� ����\ ������ ���� ���N���P� ���� ����\ ������ ���� K����+���P� ���� ����� 4 @ A ^"A_A V * ���`F J G J ��� � ��� a��O�,���\ �N���� �� �,���� ��� ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �[ ��������� ������ ��� = ��,��� ������� ����� N��O��� T� �� ���/ ��+��� ������� �� ������� %,� ���J����������/ ���) ")]�* �,�� ��� ln , (0) c rev b NkT V q q n = − ϕ "�* CQ� ���� �����+��� �������� �� ���N��P ���/ ��L��� �,�� ��� 0 ,sub x x E n n →∞ →∞ → ⇔ → "�* ��� A /H; J ������ ���� ���N���P� ���� ���� � ���/ N��� �����L��� �� K���� � 4 @ �`4 / � A V �������, ����/ ����� ���O��� � A /H; _4 @ A /H; ^"A /H; _A V *]4 / $������� "�*� "[* � �����+�P,� ������ ,� "�*� "�* ����� ��� � ��N�� ���������� ������� K���/ +�� ��M���� �� ���� ��K��� � ��� � ����,�� ��/ �� L����� O ���� ��+������ ��� �� ������� %,�/ ���J�������������) &�� �������� �� ��M��� ��������P� �����P� K���+ �����OK�� � ��K��+�P� � ��������P� ,� �/ �P U[W = �����, L� ���+�� �����R��� K���+� ��K��/ � � ���� � �� � K���+� &�M�� �� ���N��� � � ���/ �� , ���� � �,� + � �� ������� �,���� ��������/ �� ��� � �����L�� �,�� � �N��� O �� �������� �NX�,���� K�� �� "������� %�����J�����L��)* U�W = ���� ���� + � ��N������ ����� � ��,����������/ ��� �����K������Q�� �����L�� ��,���� N��OM� ��N������� ����P � �,���� ��������, ����� � � �N��� O ���� ���� � � �����L�� �� K��+� ��O��� ���� � ���� ��������� Q�� M����� �N��� � ������/ ���� =�� �N��� � ���������� ��������� "�* �����/ ,�� ��� 0 1 d . d t s E q n n N N x n n   = + − εε +  "b* (����+�� �������� � I �K ��������� "[* � "b*� ����+�, 1 0 ( )d . d t sn N n n n NE kT n nE + + − = εε ":* $�������� ":* ,�L� NP O ����� ��M���� � � �+�/ �, ������ "�* ��� ������Q�� ��� ��M���� ,�L/ �� : � A4 1 2 1 1 2 sgn( ) ln ln , sub sub sub s t sub t sub kT E n n ql n n Nn n n N n n N n = − ×  − + × + − +  "�* ��� 0 2 .sub t kT l q N εε = �����O ,P ,�L�, �PN�� O ���� ���� �+�� I JA � �����L�� ��� �N��� � ���������� "I JA ZE D ccσ*� K�/ R�������� O ���� ���� K��+���� A JA ������ ����� ���N���P� ���� ����� ��� � �K "�* ��� �� � ���Q�� �,� K��+���� ���� L����� � ���� ��+������ ��� :"A JA * � K� �, ��M� O �������� "�*� "[* � ��+��O�P/ ,� ������ ,� :"I JA *]:"A JA *� A"I JA *]A JA d � ��K��� � ���O��� A JA ����+� O K�����,�� O : ; "< =>? *� � ������� ��O��� � 8 67 "< =>? * � ����,� ��+�/ ���� R��,� #����, ����O �P����+�� � ��� �,��� O 8 97 '�� O �N�� ��� ���� L���� < =>? �K,������O �� ,���� ����+��� δ< =>? � ��O NP� ��� + � ������ ��/ �� K����+���P� ���� ���� A @ �K,��� O� �� ����/ ��� � δA @ ]� '���� ���, : � A ��� �N�� ��, ��/ �� L���� < =>? _δ< =>? � ���� :]: � _δ:� A]A � _δA� ��� : � � A � J ��M���� ��� �,P "�*� "[* ��� �N�� ��, ���� / L���� < =>? � ����+����� �������P, �PM� ,� ���, E �+� �, ������ δA @ ]�� �������K��� ��������� "�*� "[* ��� 0 d ; d q E n x δ = δ εε "e* ( )0 0 d . d q n n E E n x kT δ = δ + δ "V�* >������K�����P� �����+�P� ������ "�*� "�* ���/ ��,�� ��� 0 0; x x E n →∞ →∞ δ → ⇔ δ → "VV* 0 (0) . (0)rev kT n V q n δδ = − "V�* C��� �K��� �� ��M���� : � � A � � � +�������� ��/ M���� �������� ������� K���+� "e*J"V�* ,�L� NP O ����� ����+��� � ����� �P,� ��� ��������P/ ,� ,� ���,�� �����,��� ,� ���, �������K���� U[W� ����� +��� �P����+�� � �� �,��� O 8 97 ������ � �� R��,��� "V* ����+�P� ����+� ���P� K�����,�� � ��K��/ � �P����+�� � ��� N��O����� �,��� � 8 67 � 8 97 ���/ ��/�,���� ��������� � ��� ��P G1HI � �N�� ��/ �� ���� L��� < =>? �� N��O��� T� �� �� ��K��+/ �P� K��+���� ������ ����� ���N���� ��� ��� 4 @ ��� R����������P� ����,� ��� ���������� 4 D � E D � σ ��������P �� ������ "4 D ]V�b�fV�V:`�,Z[\ E D ] ]��V�[`,�,\ σ]����V`,�,\ 4 / ]V�V�`�,Z[\ A /H; ]V�e`�,Z[\ ϕ ; ]���`�=\ C][��`,�,�\ K][��`&* &�� ����� �K ���O /R�����P� ����� ���� ��� ���/ N���� ��� �P ���KP��� K��+� ��O��� ��� ��� ��� �� ��K��/� �� � �� �P����+�� � ��� N��O����� �,/ ��� O ���� �� ��K��+�� � ��� ���O /R������� K���/ ��,�� � �,�� � �+�� �� ��� � �,��� �� ������ ��/ ����� �,��OM�� � � ��� �, ������ ����� ���N�/ ��� ��� ��� '� ������ � ��� �+�� ��� ��� � � ���/ +�� ��� ������O�P� � ��� �� U�JbW� �N��������� �����+����, ������ � �K,����� K�� �� N��O��� ��� 4 L J A"�* J ϕ ; J �RR�� ���� ��� ��� O ��� � ��� � K��� �������,�/ � � ��������������\ ������ ���� ���N���P� ���� ���� �� ������� %,�/ ���J�������������)\ �P�� � N��O��� �� � ����P ,� ���� ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� ������ ��� T� �� � �N�� �P, ���� L����, � ��+���, �� �����/ ���� ���� �M��� ���N���� ��� ��� ! ��+�� L� � ��� ������O�P� � ��� �� K����+�� � � �,� + � � ���/ ��+����, ������ ����� ���N���� ��� ��� � � �+��/ �� ��+�K�� d � �� K��� � �,� + � �����/�,/ ���� �������P� � ��� ��P �����L� ���N���� ��� / �P �� ��O�� � �����K������Q�� �����L��� �� � � ��/ ,�, �,���� ��������, ����� � ��� �,� ���� �M���� ���N���� ��� ��� � �K,������, �N�� ���� ���� L�/ �� ��������� ��� ���� �N�� �P� ���� L��� �� � �� ��O�� ��� �� ��P� �N��� O �NX�,���� K�� �� N��O��� T� �� ��� ���� �������� %�����J�����L��) g � ����� � �P����+�� � ��� ���O /R������� ����� ���� ���� � ��� �,�� �+�� �� ��K���� ����/ �� �,��� �� �� ��P� � �����+����, ������ ����� ���N���� ��� ��� ������� � � � ����� N���� ��K/ ��� �N�� �P� ���� L���� ����� ��������� �,���/ � �NX �� � � ��K��, �������, ������ ����� ���/ N���P� ���� ���� �� ������� ������ E �����+���/ �, L� ������ ����� ���N���� ��� ��� ����� ��L�/ � � ������ ��� ���M����� �N��� � �NX�,���� K�/ � �� �������� %�����J�����L��)� � ��� �,� ����/ ��� �,��� � ��+���� � ��� ,��OM�� �N�� �P� ��/ �� L��� � ��� ����, �N��K�,� ����K���� + � �� ���O /R�����P� ����� ���� ��� �����/�,���� �������P� � ��� �� 8 67 � �@ ��[� ��[� ���� ���� ��V� ��V� ���� � V � [ � < =>? � h [ V � � 1* N* 8 �7 � �@ ��[� ��[� ���� ���� ��V� ��V� ���� � V � [ < =>? � h [ V�� A�� `V =��O /R�����P� ����� ���� ��� ��K��+�� � ��� "&* � �P����+�� � ��� "#* N��O����� �,��� � �����/�,����/ ��������� � ��� ��P G1HI �� ��K��+�P� K��+���� 4 @ 4 M J �fV�V� �,Z[\ N J V�Vb\ O J [fV�Vb\ P J bfV�Vb �,Z[\ G1HI K��+� ��O��� ��� ��� ���KP��� ���N���� ��� �P K���� � !��N����� � ���O /R�����P� �����/ ���� ��� �N���������P� ����+��, ���N���� ��� / ���� ,��� NP O �����OK����P �� ������ ������ / ����� � �� ��� ��� �� ���O /R�����P, �K,����� , � ������P� ���������������P� ���� ���� (E'!>?i!=-##BC (E�!g#(&( V T�� F E����,���P� ���N��P �� ������ �������� ���/ �� J F 4 F��� VeeV � &�� P��� E - � '������� C @ � $����� - � j����� �/ ���������� � ���������+�P� ��������������P� � ��� ���� J &���4 #������ ��,��� Vee� [ #� Y =P+���� ��O�P� ,� ��P ��M��� ��������P� ���/ ��+�P� K���+ J F 4 F��� Ve�� � k���� # a � &�� P��� E - � F������� � = � �� =��O /R�/ ����P� ����� ���� �� ���������+�P� � ��� �� A/G1HI ^^ @�K��� � ������ ��������������� J Vee� J � �b� �`� J E �bVJ�b: � l6Imn389 o H � p76qr6769 . s � G6789 t h 8m 13 u6v/ w78x<8yzn z1{1z2m1yz8/963m158 zr171zm872|1m26y 6w }88{ 38983I 2y w230/ ~<ww87`31n87/I<~Im71m8 G1HI Im7<zm<78I ^^ o632}/om1m8 .38zm76y2zI J Veee J � �[� t V J p VbeJV:b b G6y|138|/�87y1y}8| � � p76qr6769 . � G6789 t h 8m 13 t6y/ }8Im7<zm298 m8zry2x<8 w67 mr8 zr171zm872|1m26y 6w }88{ m71{I 1m 2ym8731/ In87 2ym87w1z8I 2y mr2y/w230 0<3m231n87 I802z6y}<zm67 Im7<zm<78I ̂ ^ �6<7/ y13 6w �1z<<0 oz28yz8 � �8zry6365n h J Veee J � V:� t � J p �[�:J�[b� ���� � ��� � � � � � � � � �������� �� �� ��������� �� �� ������ ���� � ��� ���� � ���������� �������������������� ������ � ���� � !�� ���� ��������� �� �� � ����" ���� � �� ��# ��$ ������� �����%&������ '(()�# *'* �� ��������� � ���� ������� �� ������ �� ��� ������ ��� ��� ����� �� ������������� ������� � ������������������ ��� ����� ��������������� ��� � ������������ � ����������������� ������ ������ ���������� ��� � ���������� � ��� �� ���� ����� �!������������������������� ��������� ��������� ���� � ������"����� � ��� �������� ��������� �����#��� ������������������������� ��������� �� ��� � ����� ���� ���������$� �� �����%������!�������� � � ���� ��� ������� ����� ���� ������� �!� ������� ���������� ��������� � ������ � ������� �!� ��#��� � ������ � ��������� �����������������������������������!��&����������% ��� ���� � �� �� ������� ���������� ������� ����� �%� �������!���� "����� � �� �� ������� �!� ���� ���� � ���� �� ����%� ������ ���� �� ��� �!� �� ��� ��� � �� ��������%����!��'�!������ ���������������!���� ������� ���()��� ���� � ����*�
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52449
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 2225-5818
language Russian
last_indexed 2025-11-28T18:14:49Z
publishDate 2008
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
record_format dspace
spelling Горев, Н.Б.
Коджеспирова, И.Ф.
Привалов, Е.Н.
2014-01-01T21:56:40Z
2014-01-01T21:56:40Z
2008
Вольт-фарадные характеристики ионно-имплантированных структур GaAs / Н.Б. Горев, И.Ф. Коджеспирова, Е.Н. Привалов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 4. — С. 52-54. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52449
Выявлены особенности вольт-фарадных характеристик ионно-имплантированных структур GaAs, обусловленные наличием глубоких центров захвата.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Материалы электроники
Вольт-фарадные характеристики ионно-имплантированных структур GaAs
Вольт-фарадні характеристики іонно-імплантованих струкіур GaAs
Capacitance-voltage characteristics of GaAs ion-implanted structures
Article
published earlier
spellingShingle Вольт-фарадные характеристики ионно-имплантированных структур GaAs
Горев, Н.Б.
Коджеспирова, И.Ф.
Привалов, Е.Н.
Материалы электроники
title Вольт-фарадные характеристики ионно-имплантированных структур GaAs
title_alt Вольт-фарадні характеристики іонно-імплантованих струкіур GaAs
Capacitance-voltage characteristics of GaAs ion-implanted structures
title_full Вольт-фарадные характеристики ионно-имплантированных структур GaAs
title_fullStr Вольт-фарадные характеристики ионно-имплантированных структур GaAs
title_full_unstemmed Вольт-фарадные характеристики ионно-имплантированных структур GaAs
title_short Вольт-фарадные характеристики ионно-имплантированных структур GaAs
title_sort вольт-фарадные характеристики ионно-имплантированных структур gaas
topic Материалы электроники
topic_facet Материалы электроники
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52449
work_keys_str_mv AT gorevnb volʹtfaradnyeharakteristikiionnoimplantirovannyhstrukturgaas
AT kodžespirovaif volʹtfaradnyeharakteristikiionnoimplantirovannyhstrukturgaas
AT privaloven volʹtfaradnyeharakteristikiionnoimplantirovannyhstrukturgaas
AT gorevnb volʹtfaradníharakteristikiíonnoímplantovanihstrukíurgaas
AT kodžespirovaif volʹtfaradníharakteristikiíonnoímplantovanihstrukíurgaas
AT privaloven volʹtfaradníharakteristikiíonnoímplantovanihstrukíurgaas
AT gorevnb capacitancevoltagecharacteristicsofgaasionimplantedstructures
AT kodžespirovaif capacitancevoltagecharacteristicsofgaasionimplantedstructures
AT privaloven capacitancevoltagecharacteristicsofgaasionimplantedstructures