Химическое осаждение из газовой фази гетеро- и наноструктур соединений III–V
Исследованы технологические условия формирования перенасыщенной паровой фазы при низкотемпературной газотранспортной эпитаксии для выращивания гетеро- и наноструктур на основе соединений In1-xGax As, GaAs1-xPx....
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Дата: | 2008 |
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2008
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52486 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Химическое осаждение из газовой фази гетеро- и наноструктур соединений III–V / В.А. Воронин, С.К. Губа, И.В. Курило // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 5. — С. 36-40. — Бібліогр.: 13 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862683544773459968 |
|---|---|
| author | Воронин, В.А. Губа, С.К. Курило, И.В. |
| author_facet | Воронин, В.А. Губа, С.К. Курило, И.В. |
| citation_txt | Химическое осаждение из газовой фази гетеро- и наноструктур соединений III–V / В.А. Воронин, С.К. Губа, И.В. Курило // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 5. — С. 36-40. — Бібліогр.: 13 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Исследованы технологические условия формирования перенасыщенной паровой фазы при низкотемпературной газотранспортной эпитаксии для выращивания гетеро- и наноструктур на основе соединений In1-xGax As, GaAs1-xPx.
|
| first_indexed | 2025-12-07T15:55:46Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52486 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T15:55:46Z |
| publishDate | 2008 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Воронин, В.А. Губа, С.К. Курило, И.В. 2014-01-03T23:10:53Z 2014-01-03T23:10:53Z 2008 Химическое осаждение из газовой фази гетеро- и наноструктур соединений III–V / В.А. Воронин, С.К. Губа, И.В. Курило // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 5. — С. 36-40. — Бібліогр.: 13 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52486 Исследованы технологические условия формирования перенасыщенной паровой фазы при низкотемпературной газотранспортной эпитаксии для выращивания гетеро- и наноструктур на основе соединений In1-xGax As, GaAs1-xPx. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Технологические процессы и оборудование Химическое осаждение из газовой фази гетеро- и наноструктур соединений III–V Хімічне осадження з газової фази гетеро- та наноструктур сполук III-V Chemical deposition from gas phase of the hetero- and nanostructures of III-V compounds Article published earlier |
| spellingShingle | Химическое осаждение из газовой фази гетеро- и наноструктур соединений III–V Воронин, В.А. Губа, С.К. Курило, И.В. Технологические процессы и оборудование |
| title | Химическое осаждение из газовой фази гетеро- и наноструктур соединений III–V |
| title_alt | Хімічне осадження з газової фази гетеро- та наноструктур сполук III-V Chemical deposition from gas phase of the hetero- and nanostructures of III-V compounds |
| title_full | Химическое осаждение из газовой фази гетеро- и наноструктур соединений III–V |
| title_fullStr | Химическое осаждение из газовой фази гетеро- и наноструктур соединений III–V |
| title_full_unstemmed | Химическое осаждение из газовой фази гетеро- и наноструктур соединений III–V |
| title_short | Химическое осаждение из газовой фази гетеро- и наноструктур соединений III–V |
| title_sort | химическое осаждение из газовой фази гетеро- и наноструктур соединений iii–v |
| topic | Технологические процессы и оборудование |
| topic_facet | Технологические процессы и оборудование |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52486 |
| work_keys_str_mv | AT voroninva himičeskoeosaždenieizgazovoifazigeteroinanostruktursoedineniiiiiv AT gubask himičeskoeosaždenieizgazovoifazigeteroinanostruktursoedineniiiiiv AT kuriloiv himičeskoeosaždenieizgazovoifazigeteroinanostruktursoedineniiiiiv AT voroninva hímíčneosadžennâzgazovoífazigeterotananostrukturspolukiiiv AT gubask hímíčneosadžennâzgazovoífazigeterotananostrukturspolukiiiv AT kuriloiv hímíčneosadžennâzgazovoífazigeterotananostrukturspolukiiiv AT voroninva chemicaldepositionfromgasphaseoftheheteroandnanostructuresofiiivcompounds AT gubask chemicaldepositionfromgasphaseoftheheteroandnanostructuresofiiivcompounds AT kuriloiv chemicaldepositionfromgasphaseoftheheteroandnanostructuresofiiivcompounds |