Химическое осаждение из газовой фази гетеро- и наноструктур соединений III–V

• Published in: Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Date: 2008
• Main Authors: Воронин, В.А., Губа, С.К., Курило, И.В.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2008
• Subjects: Технологические процессы и оборудование
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52486
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Химическое осаждение из газовой фази гетеро- и наноструктур соединений III–V / В.А. Воронин, С.К. Губа, И.В. Курило // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 5. — С. 36-40. — Бібліогр.: 13 назв. — рос.

Исследованы технологические условия формирования перенасыщенной паровой фазы при низкотемпературной газотранспортной эпитаксии для выращивания гетеро- и наноструктур на основе соединений In1-xGax As, GaAs1-xPx....