Приборно-технологическое моделирование автоэмиссионных кремниевых микрокатодов
Предложена структура преобразования топологической информации для цифровой литографии. Разработаны метод формирования трехмерных структур кремний-на-изоляторе и элементы управления автоэмиссионного микрокатода....
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Datum: | 2008 |
| Hauptverfasser: | , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2008
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52488 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Приборно-технологическое моделирование автоэмиссионных кремниевых микрокатодов / А.А. Дружинин, В.И. Голота, И.Т. Когут, С.В. Сапон, Ю.М. Ховерко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 5. — С. 43-49. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862718339279749120 |
|---|---|
| author | Дружинин, А.А. Голота, В.И. Когут, И.Т. Сапон, С.В. Ховерко, Ю.М. |
| author_facet | Дружинин, А.А. Голота, В.И. Когут, И.Т. Сапон, С.В. Ховерко, Ю.М. |
| citation_txt | Приборно-технологическое моделирование автоэмиссионных кремниевых микрокатодов / А.А. Дружинин, В.И. Голота, И.Т. Когут, С.В. Сапон, Ю.М. Ховерко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 5. — С. 43-49. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Предложена структура преобразования топологической информации для цифровой литографии. Разработаны метод формирования трехмерных структур кремний-на-изоляторе и элементы управления автоэмиссионного микрокатода.
|
| first_indexed | 2025-12-07T18:14:47Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52488 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T18:14:47Z |
| publishDate | 2008 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Дружинин, А.А. Голота, В.И. Когут, И.Т. Сапон, С.В. Ховерко, Ю.М. 2014-01-03T23:17:30Z 2014-01-03T23:17:30Z 2008 Приборно-технологическое моделирование автоэмиссионных кремниевых микрокатодов / А.А. Дружинин, В.И. Голота, И.Т. Когут, С.В. Сапон, Ю.М. Ховерко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 5. — С. 43-49. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52488 Предложена структура преобразования топологической информации для цифровой литографии. Разработаны метод формирования трехмерных структур кремний-на-изоляторе и элементы управления автоэмиссионного микрокатода. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Технологические процессы и оборудование Приборно-технологическое моделирование автоэмиссионных кремниевых микрокатодов Приладо-технологічне моделювання автоемісійних кремнієвих мікрокатодів Device-technological simulation of field emission silicon microcathodes Article published earlier |
| spellingShingle | Приборно-технологическое моделирование автоэмиссионных кремниевых микрокатодов Дружинин, А.А. Голота, В.И. Когут, И.Т. Сапон, С.В. Ховерко, Ю.М. Технологические процессы и оборудование |
| title | Приборно-технологическое моделирование автоэмиссионных кремниевых микрокатодов |
| title_alt | Приладо-технологічне моделювання автоемісійних кремнієвих мікрокатодів Device-technological simulation of field emission silicon microcathodes |
| title_full | Приборно-технологическое моделирование автоэмиссионных кремниевых микрокатодов |
| title_fullStr | Приборно-технологическое моделирование автоэмиссионных кремниевых микрокатодов |
| title_full_unstemmed | Приборно-технологическое моделирование автоэмиссионных кремниевых микрокатодов |
| title_short | Приборно-технологическое моделирование автоэмиссионных кремниевых микрокатодов |
| title_sort | приборно-технологическое моделирование автоэмиссионных кремниевых микрокатодов |
| topic | Технологические процессы и оборудование |
| topic_facet | Технологические процессы и оборудование |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52488 |
| work_keys_str_mv | AT družininaa pribornotehnologičeskoemodelirovanieavtoémissionnyhkremnievyhmikrokatodov AT golotavi pribornotehnologičeskoemodelirovanieavtoémissionnyhkremnievyhmikrokatodov AT kogutit pribornotehnologičeskoemodelirovanieavtoémissionnyhkremnievyhmikrokatodov AT saponsv pribornotehnologičeskoemodelirovanieavtoémissionnyhkremnievyhmikrokatodov AT hoverkoûm pribornotehnologičeskoemodelirovanieavtoémissionnyhkremnievyhmikrokatodov AT družininaa priladotehnologíčnemodelûvannâavtoemísíinihkremníêvihmíkrokatodív AT golotavi priladotehnologíčnemodelûvannâavtoemísíinihkremníêvihmíkrokatodív AT kogutit priladotehnologíčnemodelûvannâavtoemísíinihkremníêvihmíkrokatodív AT saponsv priladotehnologíčnemodelûvannâavtoemísíinihkremníêvihmíkrokatodív AT hoverkoûm priladotehnologíčnemodelûvannâavtoemísíinihkremníêvihmíkrokatodív AT družininaa devicetechnologicalsimulationoffieldemissionsiliconmicrocathodes AT golotavi devicetechnologicalsimulationoffieldemissionsiliconmicrocathodes AT kogutit devicetechnologicalsimulationoffieldemissionsiliconmicrocathodes AT saponsv devicetechnologicalsimulationoffieldemissionsiliconmicrocathodes AT hoverkoûm devicetechnologicalsimulationoffieldemissionsiliconmicrocathodes |