Приборно-технологическое моделирование автоэмиссионных кремниевых микрокатодов
Предложена структура преобразования топологической информации для цифровой литографии. Разработаны метод формирования трехмерных структур кремний-на-изоляторе и элементы управления автоэмиссионного микрокатода....
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2008 |
| Main Authors: | , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2008
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52488 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Приборно-технологическое моделирование автоэмиссионных кремниевых микрокатодов / А.А. Дружинин, В.И. Голота, И.Т. Когут, С.В. Сапон, Ю.М. Ховерко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 5. — С. 43-49. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52488 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Дружинин, А.А. Голота, В.И. Когут, И.Т. Сапон, С.В. Ховерко, Ю.М. 2014-01-03T23:17:30Z 2014-01-03T23:17:30Z 2008 Приборно-технологическое моделирование автоэмиссионных кремниевых микрокатодов / А.А. Дружинин, В.И. Голота, И.Т. Когут, С.В. Сапон, Ю.М. Ховерко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 5. — С. 43-49. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52488 Предложена структура преобразования топологической информации для цифровой литографии. Разработаны метод формирования трехмерных структур кремний-на-изоляторе и элементы управления автоэмиссионного микрокатода. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Технологические процессы и оборудование Приборно-технологическое моделирование автоэмиссионных кремниевых микрокатодов Приладо-технологічне моделювання автоемісійних кремнієвих мікрокатодів Device-technological simulation of field emission silicon microcathodes Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Приборно-технологическое моделирование автоэмиссионных кремниевых микрокатодов |
| spellingShingle |
Приборно-технологическое моделирование автоэмиссионных кремниевых микрокатодов Дружинин, А.А. Голота, В.И. Когут, И.Т. Сапон, С.В. Ховерко, Ю.М. Технологические процессы и оборудование |
| title_short |
Приборно-технологическое моделирование автоэмиссионных кремниевых микрокатодов |
| title_full |
Приборно-технологическое моделирование автоэмиссионных кремниевых микрокатодов |
| title_fullStr |
Приборно-технологическое моделирование автоэмиссионных кремниевых микрокатодов |
| title_full_unstemmed |
Приборно-технологическое моделирование автоэмиссионных кремниевых микрокатодов |
| title_sort |
приборно-технологическое моделирование автоэмиссионных кремниевых микрокатодов |
| author |
Дружинин, А.А. Голота, В.И. Когут, И.Т. Сапон, С.В. Ховерко, Ю.М. |
| author_facet |
Дружинин, А.А. Голота, В.И. Когут, И.Т. Сапон, С.В. Ховерко, Ю.М. |
| topic |
Технологические процессы и оборудование |
| topic_facet |
Технологические процессы и оборудование |
| publishDate |
2008 |
| language |
Russian |
| container_title |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Приладо-технологічне моделювання автоемісійних кремнієвих мікрокатодів Device-technological simulation of field emission silicon microcathodes |
| description |
Предложена структура преобразования топологической информации для цифровой литографии. Разработаны метод формирования трехмерных структур кремний-на-изоляторе и элементы управления автоэмиссионного микрокатода.
|
| issn |
2225-5818 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52488 |
| citation_txt |
Приборно-технологическое моделирование автоэмиссионных кремниевых микрокатодов / А.А. Дружинин, В.И. Голота, И.Т. Когут, С.В. Сапон, Ю.М. Ховерко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 5. — С. 43-49. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT družininaa pribornotehnologičeskoemodelirovanieavtoémissionnyhkremnievyhmikrokatodov AT golotavi pribornotehnologičeskoemodelirovanieavtoémissionnyhkremnievyhmikrokatodov AT kogutit pribornotehnologičeskoemodelirovanieavtoémissionnyhkremnievyhmikrokatodov AT saponsv pribornotehnologičeskoemodelirovanieavtoémissionnyhkremnievyhmikrokatodov AT hoverkoûm pribornotehnologičeskoemodelirovanieavtoémissionnyhkremnievyhmikrokatodov AT družininaa priladotehnologíčnemodelûvannâavtoemísíinihkremníêvihmíkrokatodív AT golotavi priladotehnologíčnemodelûvannâavtoemísíinihkremníêvihmíkrokatodív AT kogutit priladotehnologíčnemodelûvannâavtoemísíinihkremníêvihmíkrokatodív AT saponsv priladotehnologíčnemodelûvannâavtoemísíinihkremníêvihmíkrokatodív AT hoverkoûm priladotehnologíčnemodelûvannâavtoemísíinihkremníêvihmíkrokatodív AT družininaa devicetechnologicalsimulationoffieldemissionsiliconmicrocathodes AT golotavi devicetechnologicalsimulationoffieldemissionsiliconmicrocathodes AT kogutit devicetechnologicalsimulationoffieldemissionsiliconmicrocathodes AT saponsv devicetechnologicalsimulationoffieldemissionsiliconmicrocathodes AT hoverkoûm devicetechnologicalsimulationoffieldemissionsiliconmicrocathodes |
| first_indexed |
2025-12-07T18:14:47Z |
| last_indexed |
2025-12-07T18:14:47Z |
| _version_ |
1850874304804159488 |