Испаритель для термического напыления материалов в вакууме
Разработан испаритель оригинальной конструкции, предназначенный для термического распыления материалов в технологических процессах изготовления СВЧ-транзисторов, диодов и монолитных схем....
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Дата: | 2008 |
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2008
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52490 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Испаритель для термического напыления материалов в вакууме / В.И. Босый, В.П. Кохан, Н.М. Рахманов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 5. — С. 56-57. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862646573443317760 |
|---|---|
| author | Босый, В.И. Кохан, В.П. Рахманов, Н.М. |
| author_facet | Босый, В.И. Кохан, В.П. Рахманов, Н.М. |
| citation_txt | Испаритель для термического напыления материалов в вакууме / В.И. Босый, В.П. Кохан, Н.М. Рахманов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 5. — С. 56-57. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Разработан испаритель оригинальной конструкции, предназначенный для термического распыления материалов в технологических процессах изготовления СВЧ-транзисторов, диодов и монолитных схем.
|
| first_indexed | 2025-12-01T11:47:58Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52490 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-01T11:47:58Z |
| publishDate | 2008 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Босый, В.И. Кохан, В.П. Рахманов, Н.М. 2014-01-03T23:22:38Z 2014-01-03T23:22:38Z 2008 Испаритель для термического напыления материалов в вакууме / В.И. Босый, В.П. Кохан, Н.М. Рахманов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 5. — С. 56-57. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52490 Разработан испаритель оригинальной конструкции, предназначенный для термического распыления материалов в технологических процессах изготовления СВЧ-транзисторов, диодов и монолитных схем. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Технологические процессы и оборудование Испаритель для термического напыления материалов в вакууме Випарник для термічного напилення матеріалів у вакуумі Evaporator for thermal vacuum deposition of materials Article published earlier |
| spellingShingle | Испаритель для термического напыления материалов в вакууме Босый, В.И. Кохан, В.П. Рахманов, Н.М. Технологические процессы и оборудование |
| title | Испаритель для термического напыления материалов в вакууме |
| title_alt | Випарник для термічного напилення матеріалів у вакуумі Evaporator for thermal vacuum deposition of materials |
| title_full | Испаритель для термического напыления материалов в вакууме |
| title_fullStr | Испаритель для термического напыления материалов в вакууме |
| title_full_unstemmed | Испаритель для термического напыления материалов в вакууме |
| title_short | Испаритель для термического напыления материалов в вакууме |
| title_sort | испаритель для термического напыления материалов в вакууме |
| topic | Технологические процессы и оборудование |
| topic_facet | Технологические процессы и оборудование |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52490 |
| work_keys_str_mv | AT bosyivi isparitelʹdlâtermičeskogonapyleniâmaterialovvvakuume AT kohanvp isparitelʹdlâtermičeskogonapyleniâmaterialovvvakuume AT rahmanovnm isparitelʹdlâtermičeskogonapyleniâmaterialovvvakuume AT bosyivi viparnikdlâtermíčnogonapilennâmateríalívuvakuumí AT kohanvp viparnikdlâtermíčnogonapilennâmateríalívuvakuumí AT rahmanovnm viparnikdlâtermíčnogonapilennâmateríalívuvakuumí AT bosyivi evaporatorforthermalvacuumdepositionofmaterials AT kohanvp evaporatorforthermalvacuumdepositionofmaterials AT rahmanovnm evaporatorforthermalvacuumdepositionofmaterials |