Испаритель для термического напыления материалов в вакууме
Разработан испаритель оригинальной конструкции, предназначенный для термического распыления материалов в технологических процессах изготовления СВЧ-транзисторов, диодов и монолитных схем....
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Дата: | 2008 |
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2008
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52490 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Испаритель для термического напыления материалов в вакууме / В.И. Босый, В.П. Кохан, Н.М. Рахманов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 5. — С. 56-57. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52490 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Босый, В.И. Кохан, В.П. Рахманов, Н.М. 2014-01-03T23:22:38Z 2014-01-03T23:22:38Z 2008 Испаритель для термического напыления материалов в вакууме / В.И. Босый, В.П. Кохан, Н.М. Рахманов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 5. — С. 56-57. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52490 Разработан испаритель оригинальной конструкции, предназначенный для термического распыления материалов в технологических процессах изготовления СВЧ-транзисторов, диодов и монолитных схем. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Технологические процессы и оборудование Испаритель для термического напыления материалов в вакууме Випарник для термічного напилення матеріалів у вакуумі Evaporator for thermal vacuum deposition of materials Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Испаритель для термического напыления материалов в вакууме |
| spellingShingle |
Испаритель для термического напыления материалов в вакууме Босый, В.И. Кохан, В.П. Рахманов, Н.М. Технологические процессы и оборудование |
| title_short |
Испаритель для термического напыления материалов в вакууме |
| title_full |
Испаритель для термического напыления материалов в вакууме |
| title_fullStr |
Испаритель для термического напыления материалов в вакууме |
| title_full_unstemmed |
Испаритель для термического напыления материалов в вакууме |
| title_sort |
испаритель для термического напыления материалов в вакууме |
| author |
Босый, В.И. Кохан, В.П. Рахманов, Н.М. |
| author_facet |
Босый, В.И. Кохан, В.П. Рахманов, Н.М. |
| topic |
Технологические процессы и оборудование |
| topic_facet |
Технологические процессы и оборудование |
| publishDate |
2008 |
| language |
Russian |
| container_title |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Випарник для термічного напилення матеріалів у вакуумі Evaporator for thermal vacuum deposition of materials |
| description |
Разработан испаритель оригинальной конструкции, предназначенный для термического распыления материалов в технологических процессах изготовления СВЧ-транзисторов, диодов и монолитных схем.
|
| issn |
2225-5818 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52490 |
| citation_txt |
Испаритель для термического напыления материалов в вакууме / В.И. Босый, В.П. Кохан, Н.М. Рахманов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 5. — С. 56-57. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT bosyivi isparitelʹdlâtermičeskogonapyleniâmaterialovvvakuume AT kohanvp isparitelʹdlâtermičeskogonapyleniâmaterialovvvakuume AT rahmanovnm isparitelʹdlâtermičeskogonapyleniâmaterialovvvakuume AT bosyivi viparnikdlâtermíčnogonapilennâmateríalívuvakuumí AT kohanvp viparnikdlâtermíčnogonapilennâmateríalívuvakuumí AT rahmanovnm viparnikdlâtermíčnogonapilennâmateríalívuvakuumí AT bosyivi evaporatorforthermalvacuumdepositionofmaterials AT kohanvp evaporatorforthermalvacuumdepositionofmaterials AT rahmanovnm evaporatorforthermalvacuumdepositionofmaterials |
| first_indexed |
2025-12-01T11:47:58Z |
| last_indexed |
2025-12-01T11:47:58Z |
| _version_ |
1850860108086509568 |