Cover Image

Испаритель для термического напыления материалов в вакууме

Разработан испаритель оригинальной конструкции, предназначенный для термического распыления материалов в технологических процессах изготовления СВЧ-транзисторов, диодов и монолитных схем....

Full description

Saved in:

Bibliographic Details
Published in:	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Date:	2008
Main Authors:	Босый, В.И., Кохан, В.П., Рахманов, Н.М.
Format:	Article
Language:	Russian
Published:	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2008
Subjects:	Технологические процессы и оборудование
Online Access:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52490
Tags:	Add Tag No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:	Испаритель для термического напыления материалов в вакууме / В.И. Босый, В.П. Кохан, Н.М. Рахманов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 5. — С. 56-57. — Бібліогр.: 3 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Similar Items

Испаритель для термического напыления материалов в вакууме
by: Bosyi, V. I., et al.
Published: (2008)

Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала
by: Панфилов, Ю.В., et al.
Published: (2005)

Технология и оборудование для обработки алмазных материалов современной электроники
by: Митягин, А.Ю., et al.
Published: (2009)

Бесконтактный метод определения эффективности термоэлектрических материалов
by: Ащеулов, А.А.
Published: (2009)

СВЧ плазмохимическое осаждение структур для высокоапертурных планарных оптических волноводов
by: Григорьянц, В.В., et al.
Published: (2005)

Получение активных слоев InP в составе гетероструктур для диодов Ганна
by: Вакив, Н.М., et al.
Published: (2010)

Установка для регенерации сорбентов в электромагнитном поле
by: Головко, М.И., et al.
Published: (2005)

Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики
by: Белянин, А.Ф., et al.
Published: (2006)

Подключающее МЭМС-устройство для контроля BGA-компонентов
by: Невлюдов, И.Ш., et al.
Published: (2012)

Технология получения пленок силицида палладия для мощных диодов Шоттки
by: Ануфриев, Л.П., et al.
Published: (2005)

Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей
by: Федорович, О.А., et al.
Published: (2009)

Информационные параметры для реализации адаптивной зарядки вторичных химических источников тока
by: Житник, Н.Е., et al.
Published: (2008)

Автоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур
by: Бойко, Ю.В., et al.
Published: (2007)

Получение двухсторонних высоковольтных эпитаксиальных кремниевых p—i—n-структур методом ЖФЭ
by: Вакив, Н.М., et al.
Published: (2013)

Особенности конструкции и технологии сборки микроэлектронных координатно-чувствительных детекторов
by: Сидоренко, В.П., et al.
Published: (2018)

Предэпитаксиальная обработка подложек GaSb для жидкофазного выращивания гомоэпитаксиальных слоев
by: Андронова, Е.В., et al.
Published: (2008)

Высокочувствительная установка для оценки изменения показателя преломления водных растворов
by: Подкамень, Л.И., et al.
Published: (2011)

Высокочастотный реактор с асимметричными электродами для плазмохимического травления полупроводников
by: Дудин, С.В., et al.
Published: (2011)

Новое технологическое оборудование для инновационных технологий микро-, нано- и радиоэлектроники
by: Одиноков, В.В., et al.
Published: (2011)

Сравнительный анализ методов сборки микросхем на гибких полиимидных носителях
by: Вербицкий, В.Г., et al.
Published: (2013)

Измерительно-вычислительный комплекс СМ-100 для характеризации жидкокристаллических дисплеев
by: Сорокин, В.М., et al.
Published: (2008)

Макет экспериментальной установки для исследования пространственно-временного интегрирования в акустооптической среде
by: Рудякова, А.Н., et al.
Published: (2008)

Электроосаждение конформных электродов для получения туннельного перехода с вакуумным нанозазором
by: Джангидзе, Л.Б., et al.
Published: (2009)

Влияние параметров ВЧ-разряда и параметров нагревателя на температуру подложки в плазмохимическом реакторе «Алмаз» для синтеза углеродных алмазоподобных пленок
by: Гладковский, В.В., et al.
Published: (2014)

Источник бескапельных плазменных потоков для наноэлектроники
by: Борисенко, А.Г.
Published: (2013)

Фрезеровально-гравировальные плоттеры для изготовления печатных плат
by: Кудрявцев, Е.М.
Published: (2005)

Технология изготовления автоэмиссионных кремниевых катодов субмикронных размеров
by: Дружинин, А.A., et al.
Published: (2007)

Безадгезивные акустические мембраны на полиимидной основе
by: Воробьев, А.В., et al.
Published: (2014)

Технология сборки микросхем на гибком полиимидном носителе
by: Плис, Н.И., et al.
Published: (2010)

Технология изготовления гибких терморезисторов на полиимидной основе
by: Динев, Д.А., et al.
Published: (2013)

Источник питания для контактной микросварки с программируемой формой сварочного импульса
by: Паэранд, Ю.Э., et al.
Published: (2006)

Автоматизированная система регистрации циклов при вибрационных испытаниях образца
by: Усов, В.В., et al.
Published: (2008)

Разработка процесса глубокого плазменного травления кремния для технологии трехмерной интеграции кристаллов
by: Голишников, А.А., et al.
Published: (2014)

Приборно-технологическое моделирование автоэмиссионных кремниевых микрокатодов
by: Дружинин, А.А., et al.
Published: (2008)

Оборудование для формирования омических контактов полупроводниковых приборов на основе соединений A₃B₅
by: Александров, С.Б., et al.
Published: (2011)

Сравнительный анализ технологий изготовления кремниевых схем считывания информации с ИК-фотодиодов
by: Рева, В.П., et al.
Published: (2007)

Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния
by: Иванчиков, А.Э., et al.
Published: (2008)

Особенности изготовления Cd1-xZnxTe-детектора ионизирующего излучения
by: Томашик, З.Ф., et al.
Published: (2013)

Формирование МОП-транзисторов с изоляцией активных элементов окисленным пористым кремнием
by: Новосядлый, С.П., et al.
Published: (2009)

Формирование полированной поверхности халькогенидов Bi и Sb в травильных композициях K₂Cr₂O₇–HBr
by: Павлович, И.И., et al.
Published: (2011)