Прогнозирование диэлектрических свойств некристаллизующейся моноармированной полиматричной стеклокерамики
Предложен комплексный метод прогнозирования диэлектрических параметров стеклокерамики с одним армирующим и двумя стеклянными компонентами при разном их соотношении....
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2008 |
| Main Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2008
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52491 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Прогнозирование диэлектрических свойств некристаллизующейся моноармированной полиматричной стеклокерамики / М.В. Дмитриев, И.Н. Еримичой, Л.И. Панов, Е.Л. Панова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 5. — С. 58-62. — Бібліогр.: 16 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1860265626324434944 |
|---|---|
| author | Дмитриев, М.В. Еримичой, И.Н. Панов, Л.И. Панова, Е.Л. |
| author_facet | Дмитриев, М.В. Еримичой, И.Н. Панов, Л.И. Панова, Е.Л. |
| citation_txt | Прогнозирование диэлектрических свойств некристаллизующейся моноармированной полиматричной стеклокерамики / М.В. Дмитриев, И.Н. Еримичой, Л.И. Панов, Е.Л. Панова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 5. — С. 58-62. — Бібліогр.: 16 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Предложен комплексный метод прогнозирования диэлектрических параметров стеклокерамики с одним армирующим и двумя стеклянными компонентами при разном их соотношении.
|
| first_indexed | 2025-12-07T19:00:28Z |
| format | Article |
| fulltext |
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2008, ¹ 5
58
ÌÀÒÅÐÈÀËÛ ÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÈ
Äàòà ïîñòóïëåíèÿ â ðåäàêöèþ
22.04 2008 ã.
Îïïîíåíò ä. õ. í. Â. Í. ÒÎÌÀØÈÊ
(ÈÔÏ èì. Â. Å. Ëàøêàð¸âà, ã. Êèåâ)
Ê. ô.-ì. í. Ì. Â. ÄÌÈÒÐÈÅÂ, ê. ò. í. È. Í. ÅÐÈÌÈ×ÎÉ,
ê. ò. í. Ë. È. ÏÀÍÎÂ, Å. Ë. ÏÀÍÎÂÀ
Óêðàèíà, Îäåññêèé íàöèîíàëüíûé ïîëèòåõíè÷åñêèé óíèâåðñèòåò
E-mail: panov.leonid@gmail.com
Ïðåäëîæåí êîìïëåêñíûé ìåòîä ïðîãíî-
çèðîâàíèÿ äèýëåêòðè÷åñêèõ ïàðàìåòðîâ
ñòåêëîêåðàìèêè ñ îäíèì àðìèðóþùèì è
äâóìÿ ñòåêëÿííûìè êîìïîíåíòàìè ïðè
ðàçíîì èõ ñîîòíîøåíèè.
Ñòåêëîêåðàìè÷åñêèå êîìïîçèöèîííûå ìàòåðèà-
ëû (ÑÊÌ) óñïåøíî çàìåíÿþò ðàäèîêåðàìèêó â èç-
äåëèÿõ ðàçíîãî íàçíà÷åíèÿ [1, 2], âûãîäíî êîíêóðè-
ðóÿ ñ íåé è îáåñïå÷èâàÿ âûñîêóþ ïðèáûëü çà ñ÷åò
ñíèæåíèÿ ñåáåñòîèìîñòè. Ïàðàìåòðû ÑÊÌ ìîæíî
èçìåíÿòü â øèðîêèõ ïðåäåëàõ, âàðüèðóÿ ìàòåðèàëû,
èõ êîëè÷åñòâî, ñîîòíîøåíèå êîìïîíåíòîâ è ðåæè-
ìû òåõíîëîãèè. ÑÊÌ îáëàäàþò ýêîíîìè÷åñêèìè,
òåõíè÷åñêèìè è òåõíîëîãè÷åñêèìè ïðåèìóùåñòâà-
ìè áëàãîäàðÿ èñïîëüçîâàíèþ ýíåðãîñáåðåãàþùèõ,
íàóêîåìêèõ òåõíîëîãèé.
Êîíêóðåíòîñïîñîáíîñòü ìíîãèõ èçäåëèé èç ÑÊÌ
îáåñïå÷èâàåòñÿ êîìïîçèòàìè ñ îïòèìàëüíûìè ñâîé-
ñòâàìè è ñìåíÿåìûìè ïðîãðåññèâíûìè òåõíîëîãèÿ-
ìè ïðè ïîñòîÿííîì óëó÷øåíèè ñâîéñòâ, ñíèæåíèè
ñåáåñòîèìîñòè è óñêîðåíèè ïðîöåññà ðàçðàáîòêè.
Ïðåïÿòñòâèåì íà ýòîì ïóòè ÿâëÿåòñÿ áîëüøàÿ
äëèòåëüíîñòü ïîèñêà ìàòåðèàëà ñ îïòèìàëüíûìè
ñâîéñòâàìè, åñëè îãðàíè÷èâàòüñÿ òîëüêî ýêñïåðèìåí-
òàìè. Ýòî îáóñëîâëåíî íåîáõîäèìîñòüþ ïðèäàíèÿ
ìàòåðèàëó ñâîéñòâ, êîòîðûå õàðàêòåðèçóþòñÿ äåñÿò-
êîì ïàðàìåòðîâ ïðè íåîäíîçíà÷íîñòè âëèÿíèÿ íà íèõ
ìíîãèõ âàðüèðóåìûõ ôàêòîðîâ:
� ìàòåðèàëîâ, èõ ÷èñòîòû, êîëè÷åñòâà è ñîîòíî-
øåíèÿ îêèñëîâ ñòåêëÿííîãî êîìïîíåíòà;
� ïàðàìåòðîâ ñòåêëÿííîãî êîìïîíåíòà;
� ìàòåðèàëà, ÷èñòîòû, êîëè÷åñòâà è ñâîéñòâ ôóíê-
öèîíàëüíîãî íàïîëíèòåëÿ;
� ñîîòíîøåíèÿ êîìïîíåíòîâ ÑÊÌ;
� ðåæèìîâ òåõíîëîãè÷åñêèõ îïåðàöèé: ñòåïåíè
èçìåëü÷åíèÿ êîìïîíåíòîâ, òåìïåðàòóðíî-âðåìåííîãî
ïðîôèëÿ ñïåêàíèÿ è äð.
 ïóáëèêàöèÿõ î êîìïîçèòàõ, â îñíîâíîì, ïðèâå-
äåíû êîíå÷íûå ðåçóëüòàòû ðàçðàáîòêè.  íèõ ïðàê-
òè÷åñêè îòñóòñòâóþò ñâåäåíèÿ î âëèÿíèè ìíîãèõ
ôàêòîðîâ íà õàðàêòåðèñòèêè ìàòåðèàëà. Ýòî îáóñëîâ-
ëèâàåò íåîáõîäèìîñòü ïðîâåäåíèÿ áîëüøîãî êîëè-
÷åñòâà ýêñïåðèìåíòîâ â ïðîöåññå ðàçðàáîòêè.
Òàê, äëÿ ÷åòûðåõ ñëó÷àåâ âàðüèðîâàíèÿ êàæäîãî
ôàêòîðà è ïðè èõ êîëè÷åñòâå, ðàâíîì äåñÿòè, òðåáó-
ÏÐÎÃÍÎÇÈÐÎÂÀÍÈÅ ÄÈÝËÅÊÒÐÈ×ÅÑÊÈÕ ÑÂÎÉÑÒÂ
ÍÅÊÐÈÑÒÀËËÈÇÓÞÙÅÉÑß ÌÎÍÎÀÐÌÈÐÎÂÀÍÍÎÉ
ÏÎËÈÌÀÒÐÈ×ÍÎÉ ÑÒÅÊËÎÊÅÐÀÌÈÊÈ
åòñÿ ïðîâåäåíèå 410=1048576 îïûòîâ, ïîçâîëÿþùèõ
âûáðàòü îïòèìàëüíûé âàðèàíò èçãîòîâëåíèÿ èçäåëèÿ.
Ñîêðàòèòü îáúåìû ýêñïåðèìåíòîâ ìîæíî ïóòåì
âíåäðåíèÿ òåîðåòè÷åñêèõ ìåòîäîâ èññëåäîâàíèÿ â
ïðàêòèêó èíæåíåðíûõ ðàñ÷åòîâ, êîòîðûå ïîçâîëÿò
îïåðàòèâíî ïðîñ÷èòûâàòü ðàçëè÷íûå âàðèàíòû ñî-
çäàíèÿ ìàòåðèàëà. Ýôôåêò ìîæåò áûòü äîñòèãíóò êàê
ïðè ðàçðàáîòêå íîâûõ, òàê è ïðè ñîâåðøåíñòâîâà-
íèè ñóùåñòâóþùèõ ÑÊÌ.
Àíàëèòè÷åñêèå ìåòîäû èññëåäîâàíèÿ ðàñêðûâà-
þò êîëè÷åñòâåííûå ñâÿçè ìåæäó ñîñòàâîì, ðåæèìà-
ìè òåõíîëîãèè, ñòðóêòóðîé è äîñòèãàåìûìè ñâîé-
ñòâàìè ìàòåðèàëà. Îíè îòíîñÿòñÿ ê ÷èñëó ñëîæíûõ,
ìíîãîïàðàìåòðè÷åñêèõ è ìíîãîôàêòîðíûõ ìåòîäîâ.
Ïîýòîìó öåëåñîîáðàçíî ñíà÷àëà ñîçäàâàòü ìåíåå
ñëîæíûå ìåòîäû, êàæäûé èç êîòîðûõ óñòàíàâëèâàåò
èíäèâèäóàëüíóþ êîëè÷åñòâåííóþ ñâÿçü ÷àñòè
ñâîéñòâ êîìïîçèòà ñ ÷àñòüþ âàðüèðóåìûõ ôàêòîðîâ.
Ìåòîä àíàëèòè÷åñêîãî ïðîãíîçèðîâàíèÿ äèýëåê-
òðè÷åñêèõ ïàðàìåòðîâ ÑÊÌ (äàëåå � D-ïàðàìåò-
ðîâ) äëÿ ðàçíûõ ñîîòíîøåíèé åãî êîìïîíåíòîâ ïðåä-
ñòàâëÿåò ñîáîé îäèí èç òàêèõ ìåòîäîâ.
 ðàáîòàõ [3�7] ïîäîáíàÿ çàäà÷à áûëà ðåøåíà
äëÿ ÑÊÌ ñ ïðîñòåéøåé ñòðóêòóðîé, ïîëó÷åííîé ïðè
ñïåêàíèè äâóõ èñõîäíûõ ìàòåðèàëîâ � ñòåêëà è íà-
ïîëíèòåëÿ.
Âîçìîæíîñòü âëèÿíèÿ íà ñâîéñòâà ÑÊÌ ïîÿâëÿ-
åòñÿ ïðè ââåäåíèè â åãî ñîñòàâ äîïîëíèòåëüíîãî
ñòåêëà. Ïðè ïîäõîäÿùèõ ñâîéñòâàõ ýòîãî ñòåêëà ìîæ-
íî ïîëó÷èòü òàêèå ïðåèìóùåñòâà êàê:
� óñêîðåíèå ðàçðàáîòêè ñòåêëîôàçû � îáû÷íî
íàèáîëåå ñëîæíîé, äëèòåëüíîé è äîðîãîñòîÿùåé ÷à-
ñòè ðàçðàáîòêè ÑÊÌ;
� ñíèæåíèå òåìïåðàòóðû ñïåêàíèÿ çà ñ÷åò áîëåå
íèçêîé òåìïåðàòóðû îáðàçîâàíèÿ æèäêîé ôàçû äî-
ïîëíèòåëüíîãî ñòåêëà;
� ðàñøèðåíèå äèàïàçîíà ïðèìåíåíèÿ ÑÊÌ;
� óëó÷øåíèå åãî ñâîéñòâ è äð.
Ñ öåëüþ ïðîäîëæåíèÿ èññëåäîâàíèé, íà÷àòûõ â
[3�7], áûëà ïîñòàâëåíà çàäà÷à ñîçäàíèÿ ïðîñòîãî
ñïîñîáà ïðîãíîçèðîâàíèÿ D-ïàðàìåòðîâ áîëåå ñëîæ-
íîãî êîìïîçèòà.
Ðåøåíèå ýòîé çàäà÷è îñóùåñòâëÿëîñü êîìïëåêñ-
íûì ìåòîäîì, ñî÷åòàþùèì ýêñïåðèìåíòàëüíûå è
òåîðåòè÷åêèå èññëåäîâàíèÿ. Ïåðâè÷íûé, èçìåðè-
òåëüíûé, ýêñïåðèìåíò áûë âûïîëíåí íà èçãîòîâëåí-
íûõ îáðàçöàõ ÑÊÌ. Âòîðè÷íûé, âû÷èñëèòåëüíûé,
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2008, ¹ 5
59
ÌÀÒÅÐÈÀËÛ ÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÈ
ýêñïåðèìåíò ïîçâîëèë ïîëó÷èòü â êîëè÷åñòâåííîì
âûðàæåíèè íîâûå ñâåäåíèÿ îá ÑÊÌ, ïîëåçíûå äëÿ
îïòèìèçàöèè åãî ñâîéñòâ.
Òåîðåòè÷åñêèå ïîèñêè äîñòîâåðíîé ñâÿçè ñâîéñòâ
êîìïîçèòîâ ñî ñâîéñòâàìè èõ êîìïîíåíòîâ àêòèâíî,
íî áåçóñïåøíî ïðåäïðèíèìàëèñü íà ïðîòÿæåíèè âñå-
ãî äâàäöàòîãî ñòîëåòèÿ. Ýòè ïîèñêè îòðàæåíû â äå-
ñÿòêàõ ïóáëèêàöèé, îáçîð êîòîðûõ ñîäåðæèòñÿ â [8,
9]. Ïðîÿâëåííûé èíòåðåñ îáóñëîâëåí øèðîêèì ïðè-
ìåíåíèåì êîìïîçèöèîííûõ ìàòåðèàëîâ âî ìíîãèõ
îáëàñòÿõ òåõíèêè. Ïîëó÷åííûå ôîðìóëû ïî ðàçíûì
ïðè÷èíàì íå îáåñïå÷èâàþò äîñòàòî÷íî òî÷íîãî ñîâïà-
äåíèÿ ðåçóëüòàòîâ ðàñ÷åòà ñ îïûòíûìè äàííûìè.
 ðàáîòàõ [5�7] íà ïðèìåðå D-ïàðàìåòðîâ ïîêà-
çàíî, ÷òî òàêîãî ñîâïàäåíèÿ ìîæíî äîñòè÷ü, åñëè â
ðàñ÷åòàõ ó÷åñòü èçìåíåíèÿ êîëè÷åñòâåííûõ õàðàê-
òåðèñòèê êîìïîíåíòîâ, âíîñèìûå îïåðàöèÿìè èçãî-
òîâëåíèÿ. Êðîìå òîãî, â [5] áûëà ýêñïåðèìåíòàëüíî
äîêàçàíà ïðèìåíèìîñòü äëÿ òàêèõ ðàñ÷åòîâ ïðîñòîé
ôîðìóëû, îòðàæàþùåé ëîãàðèôìè÷åñêèé çàêîí ñìå-
øèâàíèÿ êîìïîíåíòîâ, îïóáëèêîâàííîé â ðàáîòå [10]
â 1931ã. Äëÿ D-ïàðàìåòðîâ îíà èìååò âèä
2
ln( ) ,
k
i i
i
D y D
=
= ∑ (1)
D-ïàðàìåòðû ÿâëÿþòñÿ ýôôåêòèâíûìè ïîêàçàòå-
ëÿìè ñâîéñòâ ãåòåðîôàçíîãî ìàòåðèàëà.
 äàííîé ðàáîòå äëÿ ïðîãíîçèðîâàíèÿ èñïîëüçî-
âàíà ïîëó÷åííàÿ â [11] ñòåïåííàÿ çàâèñèìîñòü D-ïà-
ðàìåòðîâ êîìïîçèòà îò D-ïàðàìåòðîâ êîìïîíåíòîâ.
Åå ñïðàâåäëèâîñòü ïîäòâåðæäåíà ýêñïåðèìåíòàìè
íà ìíîãîêîìïîíåíòíûõ ÑÊÌ è ðåçóëüòàòàìè êîí-
òðîëüíûõ ðàñ÷åòîâ ïî ëîãàðèôìè÷åñêîé ôîðìóëå (1).
Äëÿ ìíîãîêîìïîíåíòíîãî êîìïîçèòà ñòåïåííàÿ
ôîðìóëà èìååò âèä
2
,
k
n n
i i
i
D y D
=
= ∑ (2)
ãäå n � ïîêàçàòåëü ñòåïåíè, ðàâíûé 10�4 ïðàêòè-
÷åñêè äëÿ ëþáûõ âñòðå÷àåìûõ âåëè÷èí ε, tgδ è ρ [11].
Îáúåìíûå äîëè i-õ êîìïîíåíòîâ, ñîãëàñíî [12, ñ. 33],
îïðåäåëÿþòñÿ ïî ôîðìóëå:
1
,i i
i k
i i
i
m p
y
m p
=
=
∑
(3)
ãäå mi, pi � ìàññîâàÿ äîëÿ è ïëîòíîñòü i-ãî êîìïî-
íåíòà k-êîìïîíåíòíîãî êîìïîçèòà, ñîîòâåòñòâåííî.
 íàñòîÿùåé ðàáîòå äëÿ èññëåäîâàíèé âûáðàí
ãåòåðîôàçíûé èçîòðîïíûé ïîëèìàòðè÷íûé ìîíîàð-
ìèðîâàííûé ÑÊÌ. Åãî ñèíòåç îñóùåñòâëÿåòñÿ ìå-
òîäîì ïîðîøêîâîé ìåòàëëóðãèè æèäêîôàçíûì ñïå-
êàíèåì ìåëêîäèñïåðñíîãî êîìïîçèöèîííîãî è ãîìî-
ãåíèçèðîâàííîãî ïîðîøêà èç ÷àñòèö ñòåêëà è ôóíê-
öèîíàëüíîãî íàïîëíèòåëÿ. Ñòðóêòóðà åãî îïðåäåëÿåò-
ñÿ òðåìÿ èñõîäíûìè ìàòåðèàëàìè: íàïîëíèòåëåì è äâó-
ìÿ ñòåêëàìè ñ ðàçëè÷íûìè ñâîéñòâàìè, îáðàçóþùè-
ìè ñòåêëÿííóþ ìàòðèöó. Ìàòðèöà ïðåäñòàâëÿåò ñî-
áîé äâóõêîìïîíåíòíûé ñòåêëÿííûé êîìïîçèò â ñî-
ñòàâå ñòåêëîêåðàìè÷åñêîãî êîìïîçèöèîííîãî ìàòå-
ðèàëà. Ðàñïðåäåëåííûé â ñòåêëå òóãîïëàâêèé îêñèä-
íûé êðèñòàëëè÷åñêèé àðìèðóþùèé íàïîëíèòåëü óëó÷-
øàåò ñâîéñòâà ÑÊÌ è îáåñïå÷èâàåò åãî ôîðìîóñòîé-
÷èâîñòü ïðè ñïåêàíèè.
Èññëåäóåìûé ÑÊÌ íå ñîäåðæèò ïîð è îáðàçóþ-
ùåéñÿ ïðè ñïåêàíèè íîâîé êðèñòàëëè÷åñêîé ôàçû,
êîòîðûå ìîãëè áû íåãàòèâíî ïîâëèÿòü íà âåëè÷èíû
D-ïàðàìåòðîâ.
Êàê óñòàíîâëåíî â ðàáîòàõ [6, 7], äàæå ìàëàÿ äîëÿ
ïîð îùóòèìî óõóäøàåò ïàðàìåòðû ìàòåðèàëà tgδ è
ρ, ïîñêîëüêó ýôôåêòèâíûå ïàðàìåòðû ïîð tgδï è ρï
íà íåñêîëüêî ïîðÿäêîâ õóæå, ÷åì ïàðàìåòðû êîìïî-
íåíòîâ ÑÊÌ. Êðîìå òîãî, ïîðû óâåëè÷èâàþò ðàçáðîñ
ëèíåéíîé óñàäêè ïðè ñïåêàíèè. Ýòî óõóäøàåò âîñ-
ïðîèçâîäèìîñòü ðàçìåðîâ èçäåëèé è ïðèâîäèò ê íå-
îáõîäèìîñòè ïðèìåíåíèÿ ìåõàíîîáðàáîòêè. Îòñóò-
ñòâèå ïîð îáåñïå÷èâàåòñÿ æèäêîôàçíûì ñïåêàíèåì
ÑÊÌ ïðè îïðåäåëåííîé òåìïåðàòóðå.
Êðèñòàëëè÷åñêàÿ ôàçà ìîæåò óõóäøèòü D-ïàðà-
ìåòðû, ïîñêîëüêó:
� íà åå ôîðìèðîâàíèå òðåáóåòñÿ äîïîëíèòåëü-
íûé ðàñõîä ñòåêëà, ñâîéñòâà êîòîðîãî õóæå ñâîéñòâ
íàïîëíèòåëÿ;
� ñâîéñòâà îñòàòî÷íîãî ñòåêëà ìîãóò ñòàòü õóæå,
÷åì ó èñõîäíîãî.
 íàñòîÿùåé ðàáîòå áûëà èñêëþ÷åíà íåîáõîäè-
ìîñòü èçãîòîâëåíèÿ îáðàçöîâ òðåõêîìïîíåíòíîãî
ÑÊÌ. Âìåñòî ýòîãî èñõîäíûå äàííûå äëÿ âòîðè÷íî-
ãî ýêñïåðèìåíòà îáåñïå÷åíû ðåçóëüòàòàìè ýêñïåðè-
ìåíòà íà áîëåå ïðîñòûõ äâóõêîìïîíåíòíûõ îáðàç-
öàõ ÑÊÌ-1 (ñòåêëî 1 + íàïîëíèòåëü) è ÑÊÌ-2 (ñòåê-
ëî 2 + íàïîëíèòåëü).
Ïåðâè÷íûé ýêñïåðèìåíò
 äàííîé ðàáîòå íå ñòàâèëàñü çàäà÷à ñîçäàíèÿ
ñïåöèàëüíî ðàçðàáîòàííîãî ÑÊÌ, è âûáîð ìàòåðèà-
ëîâ êîìïîíåíòîâ áûë ñäåëàí òîëüêî äëÿ ðåøåíèÿ
îñíîâíîé çàäà÷è.
 êà÷åñòâå ñòåêëà 1 âûáðàíî âûïóñêàåìîå ïðî-
ìûøëåííîñòüþ íåêðèñòàëëèçóþùååñÿ ýëåêòðîâàêó-
óìíîå êàëüöåâîàëþìîáîðàòíîå ñòåêëî Ñ51-1 ñëåäó-
þùåãî ñîñòàâà (ìàñ.%): SiO2 � 14; Al2O3 � 31; CaO
� 20; B2O3 � 31; SrO � 4 [13].
 êà÷åñòâå ñòåêëà 2 âûáðàíî êðèñòàëëèçóþùåå-
ñÿ ñâèíöîâîáîðîñèëèêàòíîå ñòåêëî ñëåäóþùåãî ñî-
ñòàâà (ìàñ.%): SiO2 � 38; PbO � 19; B2O3 � 13;
Al2O3 � 12; ZnO � 5; MgO � 6; CaO � 7 [14].
 êà÷åñòâå íàïîëíèòåëÿ âûáðàí ãëèíîçåì ÃÍ-1
(ÃÎÑÒ 6912-87 ÒÓ), ñîäåðæàùèé 95% α-Al2O3.
Ìåòîäèêà èçãîòîâëåíèÿ îáðàçöîâ ÑÊÌ-1 è ÑÊÌ-2
èç ïåðå÷èñëåííûõ ìàòåðèàëîâ èäåíòè÷íà ïðèâåäåí-
íîé â ðàáîòå [5]. Âñå îáðàçöû áûëè èçãîòîâëåíû ïðè
îäèíàêîâûõ ðåæèìàõ òåõíîëîãèè:
� óäåëüíàÿ ïîâåðõíîñòü ïîðîøêîâ êàæäîãî ñòåê-
ëà � 850 ì2/êã, ïîðîøêà íàïîëíèòåëÿ � 650 ì2/êã;
� îòíîøåíèå ìàññîâûõ äîëåé ñòåêëà è íàïîëíè-
òåëÿ mñ:mí=0,4:0,6;
ãäå D, Di �
yi �
k �
îòíîñèòåëüíàÿ äèýëåêòðè÷åñêàÿ ïðîíèöàåìîñòü ε
(èëè òàíãåíñ óãëà äèýëåêòðè÷åñêèõ ïîòåðü tgδ, èëè
óäåëüíîå îáúåìíîå ýëåêòðîñîïðîòèâëåíèå ρ) êîìïî-
çèòà è i-ãî êîìïîíåíòà, ñîîòâåòñòâåííî;
îáúåìíàÿ äîëÿ i-ãî êîìïîíåíòà;
êîëè÷åñòâî êîìïîíåíòîâ.
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2008, ¹ 5
60
ÌÀÒÅÐÈÀËÛ ÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÈ
� îäíîâðåìåííîå ñïåêàíèå ñïðåññîâàííûõ ãîìî-
ãåíèçèðîâàííûõ êîìïîçèöèé â ýëåêòðîïå÷è ïðè òåì-
ïåðàòóðå 900°Ñ ïðîâîäèëîñü â òå÷åíèå 10 ìèíóò, ÷òî
íà ïîðÿäîê âûøå âðåìåíè ñïåêàíèÿ îñíîâàíèé îä-
íîâàòòíûõ íåïðîâîëî÷íûõ ðåçèñòîðîâ [2] è êîíäåí-
ñàòîðîâ åìêîñòüþ ≈1 ïÔ. Ýòî äàåò âîçìîæíîñòü èç-
ãîòîâëåíèÿ áîëåå êðóïíûõ èçäåëèé.
Áëàãîäàðÿ âûáðàííîìó ðåæèìó ñïåêàíèÿ áûëà
èñêëþ÷åíà êðèñòàëëèçàöèÿ ñòåêëà 2, ïðåäêðèñòàë-
ëèçàöèîííûé ïåðèîä êîòîðîãî τï≥10 ìèí. Îòñóòñòâèå
êðèñòàëëè÷åñêîé ôàçû ïîäòâåðæäåíî ðåíòãåíî-ôà-
çîâûì àíàëèçîì.
Îïðåäåëåíèå ýêñïåðèìåíòàëüíûõ çíà÷åíèé D-
ïàðàìåòðîâ â ÑÊÌ-1 è â ÑÊÌ-2 îñóùåñòâëÿëîñü ïðè
òåìïåðàòóðå îêîëî 25°Ñ. Èçìåðåíèÿ âûïîëíåíû â ñî-
îòâåòñòâèè ñ ÎÑÒ 110303-86 ñ ñîáëþäåíèåì òðåáóå-
ìûõ ðàçìåðîâ è êîëè÷åñòâà îáðàçöîâ. Äëÿ èçìåðå-
íèÿ tgδ è ýëåêòðè÷åñêîé åìêîñòè íà ÷àñòîòå 1ÌÃö
èñïîëüçîâàëñÿ èçìåðèòåëü E7-12, äëÿ èçìåðåíèÿ
ýëåêòðîñîïðîòèâëåíèÿ ïîñòîÿííîìó òîêó � òåðàîì-
ìåòð Å6-13.
Ðåçóëüòàòû ïðèâåäåíû â òàáë. 1.
D-ïàðàìåòðû âûáðàííîãî íàïîëíèòåëÿ âçÿòû èç
ðàáîò [1�3]. Îíè áûëè ïîëó÷åíû ïðè òåõ æå ðåæè-
ìàõ òåõíîëîãèè, ÷òî è â äàííîé ðàáîòå, è çàíåñåíû â
òàáë. 1 â êà÷åñòâå èñõîäíûõ äàííûõ äëÿ âû÷èñëè-
òåëüíîãî ýêñïåðèìåíòà.
Çíà÷åíèÿ ïëîòíîñòè èçìåëü÷åííûõ êîìïîíåíòîâ
îïðåäåëÿëèñü ïèêíîìåòðè÷åñêè ñ ïðèìåíåíèåì êñè-
ëîëà.
Ðåçóëüòàòàìè ýêñïåðèìåíòà, ñîãëàñíî ôîðìóëàì
(2) è (3), äîëæíû áûòü çíà÷åíèÿ ïàðàìåòðîâ Di è
îáúåìíûõ äîëåé êîìïîíåíòîâ ÑÊÌ yi, ñîîòâåòñòâó-
þùèõ ïðîèçâîëüíî çàäàâàåìûì âåëè÷èíàì mi.
 ñîîòâåòñòâèè ñ ôîðìóëîé (3), çíà÷åíèÿ yi îïðå-
äåëÿþòñÿ ñ ïîìîùüþ âûðàæåíèé
c1
c1
c1
c1 c2 í
c1 c2 í
;
m
p
y
m m m
p p p
=
+ +
(4)
c2
c2
c2
c1 c2 í
c1 c2 í
;
m
p
y
m m m
p p p
=
+ +
(5)
í
í
í
c1 c2 í
c1 c2 í
,
m
p
y
m m m
p p p
=
+ +
(6)
Âû÷èñëåííûå ïî ôîðìóëàì (4)�(6) çíà÷åíèÿ yi
äëÿ ðàçíûõ âåëè÷èí mi ñâåäåíû â òàáë. 2 è òàêæå
ñëóæàò èñõîäíûìè äàííûìè äëÿ âòîðè÷íîãî ýêñïå-
ðèìåíòà.
Äëÿ äâóõêîìïîíåíòíûõ ÑÊÌ-1 è ÑÊÌ-2 ôîðìó-
ëà (2) ïðèîáðåòàåò âèä
4 4 410 10 10
ý1 c1 c1 í í ;D y D y D
− − −
= + (7)
4 4 410 10 10
ý2 c2 c2 í í ,D y D y D
− − −
= + (8)
îòêóäà èñêîìûå ïàðàìåòðû ñòåêîë ìîæíî îïðåäåëèòü
ïî ôîðìóëàì:
4 4
4
10 10
10 ý1 í í
ñ1
ñ1
;
D y D
D
y
− −
− += (9)
4 4
4
10 10
10 ý2 í í
ñ2
ñ2
.
D y D
D
y
− −
− −
= (10)
Ïàðàìåòðû ñòåêîë Dñ1 è Dñ2, âû÷èñëåííûå íà ïðè-
ìåðå ÑÊÌ ñ ñîîòíîøåíèåì mñ:mí=0,4:0,6, ïðè èñ-
ïîëüçîâàíèè ýêñïåðèìåíòàëüíûõ äàííûõ òàáë. 1,
ñëóæàò äîñòàòî÷íûìè ñâåäåíèÿìè äëÿ âûïîëíåíèÿ
âòîðè÷íîãî âû÷èñëèòåëüíîãî ýêñïåðèìåíòà.
Âòîðè÷íûé ýêñïåðèìåíò
Âû÷èñëåíèÿ ïðîãíîçèðóåìûõ âåëè÷èí Di ÑÊÌ
âûïîëíåíû ñ èñïîëüçîâàíèåì ýêñïåðèìåíòàëüíûõ
äàííûõ èç òàáë. 1, ðàñ÷åòíûõ äàííûõ î âåëè÷èíàõ
îáúåìíûõ äîëåé êîìïîíåíòîâ yi èç òàáë. 2, à òàêæå
ôîðìóëû:
4 4 4 410 10 10 10
c1 c1 c2 c2 í í ,i i i iD y D y D y D
− − − −
= + + (11)
ïîëó÷åííîé èç (2) äëÿ âûáðàííîãî ÑÊÌ.
Ðåçóëüòàòû ýòèõ âû÷èñëåíèé ñâåäåíû â òàáë. 2.
Èç íèõ âèäíî, ÷òî âàðüèðîâàíèå ñîîòíîøåíèÿ êîì-
ïîíåíòîâ ïðèâîäèò ê îùóòèìûì èçìåíåíèÿì D-ïà-
ðàìåòðîâ êîìïîçèòîâ, èçãîòàâëèâàåìûõ â îäèíàêî-
âûõ óñëîâèÿõ. Ýòè èçìåíåíèÿ äîëæíû áûòü òåì áîëü-
øå, ÷åì áîëüøå îòëè÷àþòñÿ äðóã îò äðóãà ïàðàìåò-
ðû êîìïîíåíòîâ.
Ïðîãíîçèðîâàíèå D-ïàðàìåòðîâ áûëî ÷àñòè÷íî
ïîâòîðåíî ñ ïðèìåíåíèåì ëîãàðèôìè÷åñêîé ôîðìó-
ëû (1). Ðåçóëüòàòû ñ áîëüøîé òî÷íîñòüþ ñîâïàëè ñ
ïðèâåäåííûìè â òàáë. 2, êîãäà âû÷èñëåííûå çíà÷å-
íèÿ lnD è D10�4
ïðè ïîñëåäóþùèõ ðàñ÷åòàõ çàäàâà-
ëèñü íå ìåíåå, ÷åì âîñåìüþ çíà÷àùèìè öèôðàìè.
Äèàïàçîí ïðîãíîçèðóåìûõ D-ïàðàìåòðîâ ìîæåò
áûòü ðàñøèðåí çà ñ÷åò óìåíüøåíèÿ ìàññîâîé äîëè íà-
ïîëíèòåëÿ. Ýòî ñóùåñòâåííî óâåëè÷èò îáúåì ïîëó÷à-
D-ïàðàìåòðû Êîìïîçèò/
êîìïîíåíò ε tgδ ρ, Îì·ì
Ïëîòíîñòü
ð, ã/ñì3
ÑÊÌ-1 8,82 0,00042 3,0.1011 �
ÑÊÌ-2 8,17 0,00015 1,2.1012 �
Íàïîëíèòåëü 11 [1] 10�5 [2] 1013 [3] 3,7 [1]
Ñòåêëî 1 6,95 0,023 6,67·109 2,65 [1]
Ñòåêëî 2 5,72 0,0041 9,5·1010 2,97
Òàáëèöà 1
Ðåçóëüòàòû ïåðâè÷íîãî ýêñïåðèìåíòà
ãäå pñ1, pñ2, pí
�
mñ1, mñ2, mí �
ïëîòíîñòü ñòåêëà 1, ñòåêëà 2 è íàïîëíèòåëÿ, ñî-
îòâåòñòâåííî;
ìàññîâûå äîëè òåõ æå êîìïîíåíòîâ.
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2008, ¹ 5
61
ÌÀÒÅÐÈÀËÛ ÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÈ
åìîé èíôîðìàöèè, ÷òî ðàñøèðèò âîçìîæíîñòü âûáî-
ðà ÑÊÌ äëÿ êîíêðåòíîãî èëè ðàçíûõ ïðèìåíåíèé.
Âûâîäû
Ñîçäàí ñïîñîá ïðîãíîçèðîâàíèÿ äèýëåêòðè÷åñêèõ
ñâîéñòâ òðåõêîìïîíåíòíîãî ÑÊÌ äëÿ ðàçíûõ ñîîò-
íîøåíèé êîìïîíåíòîâ (2 ñòåêëà è íàïîëíèòåëü), ñî-
÷åòàþùèé ýêñïåðèìåíò è òåîðåòè÷åñêèå èññëåäîâà-
íèÿ. Ðåçóëüòàò ïðîãíîçèðîâàíèÿ � ïðåäñòàâëÿåìûå
â êîëè÷åñòâåííîì âûðàæåíèè ñâåäåíèÿ îá ÑÊÌ �
èñïîëüçóåòñÿ äëÿ îïòèìèçàöèè åãî ñâîéñòâ.
Ïðåèìóùåñòâà ñïîñîáà ñîñòîÿò â òîì, ÷òî:
� äëÿ ïîëó÷åíèÿ èñõîäíûõ äàííûõ äëÿ ïðîãíî-
çèðîâàíèÿ íå òðåáóåòñÿ èçãîòîâëåíèÿ òðåõêîìïîíåíò-
íîãî ÑÊÌ;
� ïåðâè÷íûé èçìåðèòåëüíûé ýêñïåðèìåíò âû-
ïîëíÿåòñÿ íà ïðîñòûõ äâóõêîìïîíåíòíûõ ÑÊÌ âñå-
ãî äâóõ ñîñòàâîâ;
� â êà÷åñòâå òåîðåòè÷åñêîé áàçû èñïîëüçóåòñÿ
ëþáàÿ èç äâóõ ïðîñòåéøèõ ôîðìóë (1) èëè (2), ÷òî
óïðîùàåò ïðîãðàììó äëÿ âû÷èñëåíèé;
� ïðèìåíÿåòñÿ îòíîñèòåëüíî ïðîñòàÿ ìåòîäèêà
îïðåäåëåíèÿ âåëè÷èí äèýëåêòðè÷åñêèõ ïàðàìåòðîâ
êîìïîíåíòîâ, ðåàëèçóåìûõ â ñîñòàâå ñèíòåçèðîâàí-
íîãî ÑÊÌ.
Ðàññìîòðåííûé ñïîñîá ìîæåò áûòü ïîëåçåí ïðè
ðàçðàáîòêå ÑÊÌ ðàçíîãî íàçíà÷åíèÿ.
ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ
1. Äìèòðèåâ Ì. Â. Êîìïîçèöèîííàÿ ðàäèîñòåêëîêåðàìèêà //
Òðóäû Îäåññêîãî ïîëèòåõíè÷åñêîãî óíèâåðñèòåòà.� 1999.�
Âûï. 2 (8).� Ñ. 209�211.
2. Äìèòðèåâ Ì. Â. Ñòåêëîêåðàìè÷åñêèå îñíîâàíèÿ ðåçèñòî-
ðîâ // Òðóäû Îäåññêîãî ïîëèòåõíè÷åñêîãî óíèâåðñèòåòà.�
1999.� Âûï. 1 (7).� Ñ. 89�91.
3. Äìèòðèåâ Ì. Â. Ïðîãíîçèðîâàíèå äèýëåêòðè÷åñêèõ ñâîéñòâ
êîìïîçèöèîííîé ñòåêëîêåðàìèêè ñ êðèñòàëëèçóåìûì ñòåêëîì äëÿ
ðàçíûõ ñîîòíîøåíèé êîìïîíåíòîâ // Ìàòåðèàëû ýëåêòðîííîé
òåõíèêè.� 2000.� ¹ 3.� Ñ. 35�37.
Ìàññîâûå äîëè êîìïîíåíòîâ Îáúåìíûå äîëè êîìïîíåíòîâ D-ïàðàìåòðû
mñ1 mñ2 yñ1 yñ2 yí ε tgδ ρ, Îì·ì
mc:mí=0,4:0,6
0 0,40 0 0,454 0,546 8,17 0,00015 1,2·1012
0,05 0,35 0,063 0,394 0,543 8,26 0,00017 1,0·1012
0,10 0,30 0,125 0,336 0,539 8,34 0,00020 8,7·1011
0,15 0,25 0,187 0,278 0,535 8,42 0,00023 7,2·1011
0,20 0,20 0,247 0,221 0,532 8,50 0,00026 6,1·1011
0,25 0,15 0,307 0,165 0,528 8,58 0,00029 5,1·1011
0,30 0,10 0,366 0,109 0,525 8,66 0,00033 4,3·1011
0,35 0,05 0,425 0,054 0,521 8,74 0,00037 3,6·1011
0,40 0 0,482 0 0,518 8,82 0,00042 3,0·1011
mc:mí=0,45:0,55
0 0,45 0 0,505 0,495 7,91 0,00021 9,5·1011
0,05 0,40 0,062 0,446 0,492 7,99 0,00024 8,0·1011
0,10 0,35 0,124 0,387 0,489 8,07 0,00027 6,7·1011
0,15 0,30 0,185 0,330 0,485 8,14 0,00030 5,6·1011
0,20 0,25 0,245 0,273 0,482 8,22 0,00035 4,7·1011
0,25 0,20 0,304 0,217 0,479 8,30 0,00039 3,9·1011
0,30 0,15 0,362 0,162 0,476 8,38 0,00044 3,3·1011
0,35 0,10 0,420 0,107 0,473 8,46 0,00049 2,8·1011
0,40 0,05 0,477 0,053 0,470 8,54 0,00055 2,5·1011
0,45 0 0,533 0 0,467 8,61 0,00062 2,0·1011
mc:mí=0,35:0,65
0 0,35 0 0,401 0,599 8,46 0,00011 1,6·1012
0,05 0,30 0,64 0,342 0,594 8,54 0,00013 1,3·1012
0,10 0,25 0,127 0,283 0,590 8,62 0,00015 1,1·1012
0,15 0,20 0,189 0,225 0,586 8,71 0,00017 9,1·1011
0,20 0,15 0,250 0,168 0,582 8,79 0,00019 7,6·1011
0,25 0,10 0,311 0,111 0,578 8,87 0,00022 6,4·1011
0,30 0,05 0,369 0,058 0,573 8,94 0,00025 5,3·1011
0,35 0 0,429 0 0,571 9,03 0,00028 4,5·1011
Òàáëèöà 2
Ïðîãíîçèðóåìûå D-ïàðàìåòðû ÑÊÌ (ðåçóëüòàòû âòîðè÷íîãî ýêñïåðèìåíòà)
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2008, ¹ 5
62
ÌÀÒÅÐÈÀËÛ ÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÈ
Äàòà ïîñòóïëåíèÿ â ðåäàêöèþ
17.04 2008 ã.
Îïïîíåíò ä. õ. í. Â. Í. ÒÎÌÀØÈÊ
(ÈÔÏ èì. Â. Å. Ëàøêàð¸âà, ã. Êèåâ)
Ê. ô.-ì. í. Î. À. ÊÓËÈÍÈ×, ä. ô.-ì. í. Â. À. ÑÌÛÍÒÛÍÀ,
ê. ô.-ì. í. Ì. À. ÃËÀÓÁÅÐÌÀÍ, ê. ô.-ì. í. Ã. Ã. ×ÅÌÅÐÅÑÞÊ,
È. Ð. ßÖÓÍÑÊÈÉ
Óêðàèíà, Îäåññêèé íàöèîíàëüíûé óíèâåðñèòåò èì. È. È. Ìå÷íèêîâà
E-mail: yatsunskiy@gmail.com, eltech@elaninet.com
Ïîêàçàíî, êàêèì îáðàçîì äåôåêòû èñ-
õîäíîãî êðåìíèÿ âëèÿþò íà ñòðóêòóð-
íûå èçìåíåíèÿ ïîâåðõíîñòè è
ïðèïîâåðõíîñòíîé îáëàñòè â ïðîöåññå
âûñîêîòåìïåðàòóðíîãî îêèñëåíèÿ.
Ïî ìíåíèþ âåäóùèõ ïðîèçâîäèòåëåé ýëåêòðîí-
íîé òåõíèêè, êðåìíèé áóäåò îñòàâàòüñÿ îñíîâíûì ìà-
òåðèàëîì äëÿ ïðîèçâîäñòâà ýëåìåíòíîé áàçû ñîâðå-
ìåííîé ýëåêòðîíèêè åùå êàê ìèíèìóì ñòî ëåò [1].
Ïðè ïåðåõîäå îò ìèêðîííûõ è ñóáìèêðîííûõ ýëå-
ìåíòîâ ýëåêòðîííîé òåõíèêè ê íàíîðàçìåðíûì ýëå-
ìåíòàì ñóùåñòâåííî ïîâûøàþòñÿ òðåáîâàíèÿ ê
ñòðóêòóðíîìó ñîâåðøåíñòâó èñõîäíîãî ïîëóïðîâîä-
íèêîâîãî ìàòåðèàëà è òåõíîëîãèè èçãîòîâëåíèÿ èç-
äåëèé. Åñëè â ñëó÷àå ìèêðîííûõ ðàçìåðîâ ýëåìåí-
òîâ â çîíå ïðîñòðàíñòâåííîãî çàðÿäà îäíîãî ñòðóê-
òóðíîãî äåôåêòà ðàñïîëàãàëîñü äî äåñÿòêà ýëåìåí-
òîâ, òî â ñëó÷àå íàíîðàçìåðíûõ ýëåìåíòîâ â çîíå ïðî-
ñòðàíñòâåííîãî çàðÿäà äåôåêòà ðàñïîëàãàþòñÿ äåñÿò-
êè òûñÿ÷ ýëåìåíòîâ, ïðîâîäèìîñòü ðàáî÷èõ çîí êî-
òîðûõ ìîæåò áûòü èíâåðòèðîâàíà. Ïðîöåíò âûõîäà
ãîäíûõ ýëåìåíòîâ ïðè ýòîì ñóùåñòâåííî ñíèæàåò-
ñÿ. Óñòàíîâëåíî, ÷òî äåôåêòû â èñõîäíîì ïîëóïðî-
âîäíèêîâîì ìàòåðèàëå âëèÿþò íà ïðîöåññ äåôåêòî-
îáðàçîâàíèÿ â èçäåëèè ïðè ïðîâåäåíèè ðàçëè÷íûõ
òåõíîëîãè÷åñêèõ îïåðàöèé, îäíàêî ìåõàíèçì ýòîãî
âëèÿíèÿ äî êîíöà èçó÷åí íå áûë.
Öåëüþ ïðåäñòàâëåííîé ðàáîòû ÿâëÿåòñÿ èçó÷åíèå
ñ ïîìîùüþ ñîâðåìåííûõ ìåòîäîâ èññëåäîâàíèÿ ìå-
õàíèçìà âëèÿíèÿ èñõîäíûõ äåôåêòîâ íà ðàñïðåäåëå-
ÂËÈßÍÈÅ ÈÑÕÎÄÍÛÕ ÄÅÔÅÊÒÎÂ
ÍÀ ÐÀÑÏÐÅÄÅËÅÍÈÅ ÌÅÕÀÍÈ×ÅÑÊÈÕ ÍÀÏÐßÆÅÍÈÉ
È ÄÅÔÎÐÌÀÖÈÉ ÏÐÈ ÎÊÈÑËÅÍÈÈ ÊÐÅÌÍÈß
íèå ìåõàíè÷åñêèõ íàïðÿæåíèé è äåôîðìàöèé â ïðî-
öåññå äåôåêòîîáðàçîâàíèÿ ïðè îêèñëåíèè êðåìíèå-
âûõ ïëàñòèí.
Îáúåêòàìè èçó÷åíèÿ ÿâëÿëèñü ïëàñòèíû ìîíîêðè-
ñòàëëè÷åñêîãî êðåìíèÿ ÊÝÔ-4,5 (111) è ÊÄÁ-10
(100), âûðàùåííûå ìåòîäîì ×îõðàëüñêîãî, ñ ðàçëè÷-
íûì óäåëüíûì ñîïðîòèâëåíèåì, îêèñëåííûå â àòìî-
ñôåðå ñóõîãî êèñëîðîäà ïðè òåìïåðàòóðå 1150°Ñ. Òîë-
ùèíà ïëåíîê îêñèäîâ îïðåäåëÿëàñü ïî âðåìåíè âû-
ðàùèâàíèÿ è ýëëèïñîìåòðè÷åñêèì ìåòîäîì è ñîñòàâ-
ëÿëà îò 1 äî 1,5 ìêì.
Äëÿ âûÿâëåíèÿ äåôåêòîâ íà ïîâåðõíîñòè ïëàñòèí
êðåìíèÿ ñíà÷àëà äëÿ óäàëåíèÿ îêñèäà êðåìíèÿ ïðî-
èçâîäèëàñü îáðàáîòêà ïîâåðõíîñòè ïëàâèêîâîé êèñ-
ëîòîé (HCl), äàëåå ïðîèçâîäèëàñü îáðàáîòêà êðåìíè-
åâûõ ïëàñòèí õèìè÷åñêèìè èçáèðàòåëüíûìè òðàâè-
òåëÿìè Ñèðòëÿ (ïîâåðõíîñòü 111) [2] è Ñýêêî (ïîâåð-
õíîñòü 100) [3] (ñêîðîñòü òðàâëåíèÿ ïîðÿäêà 2�3
ìêì/ìèí) ñ ïðåäâàðèòåëüíîé îáðàáîòêîé â ñîñòàâàõ
Êàðî è ïåðåêèñíîàììèà÷íîì ðàñòâîðå [4]. Òàêàÿ ïðåä-
âàðèòåëüíàÿ îáðàáîòêà ïîçâîëÿëà çà ñ÷åò ïðîöåññîâ
äîïîëíèòåëüíîãî îêèñëåíèÿ ïîâûñèòü âûÿâëÿþùèå
ñâîéñòâà èçáèðàòåëüíûõ òðàâèòåëåé (ÈÒ).
Èçó÷åíèå ïîâåðõíîñòè êðåìíèÿ ïîñëå õèìè÷åñêîé
îáðàáîòêè ïðîâîäèëîñü ðàçëè÷íûìè ìåòîäàìè.
Äëÿ ýëåêòðîííîé ñêàíèðóþùåé ìèêðîñêîïèè ïðè-
ìåíÿëè ìèêðîñêîï-àíàëèçàòîð Cam Scan-4D ñ ñèñòå-
ìîé ýíåðãåòè÷åñêîãî äèñïåðñèîííîãî àíàëèçàòîðà
«Link-860» è ïðîãðàììîé «Zaf». ×óâñòâèòåëüíîñòü
ïðèáîðà ñîñòàâëÿëà 0,01% ïî ìàññå, äèàìåòð ïó÷êà
� îò 5·10�9 äî 1·10�6 ì [5].
4. Äìèòðèåâ Ì. Â. Äèýëåêòðè÷åñêèå ñâîéñòâà ñòåêëîêåðàìè-
êè äëÿ ðàçíûõ ñîîòíîøåíèé ñòåêëà, íàïîëíèòåëÿ è ïðîäóêòà èõ
âçàèìîäåéñòâèÿ // Èçâåñòèÿ âóçîâ. Ýëåêòðîíèêà.� 2000.� ¹ 6.�
Ñ. 11�14.
5. Äìèòðèåâ Ì. Â. Âëèÿíèå êîíöåíòðàöèè êîìïîíåíòîâ è ïîð
íà äèýëåêòðè÷åñêóþ ïðîíèöàåìîñòü ñòåêëîêåðàìèêè // Òåõíîëî-
ãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå.� 1997.�
¹ 4.� Ñ. 34�39.
6. Äìèòðèåâ Ì. Â. Âëèÿíèå êîíöåíòðàöèè êîìïîíåíòîâ è ïîð
íà äèýëåêòðè÷åñêèå ïîòåðè â ñòåêëîêåðàìèêå // ÒÊÝÀ.� 1998.�
¹ 1.� Ñ. 39�43.
7. Äìèòðèåâ Ì. Â. Âëèÿíèå êîíöåíòðàöèè êîìïîíåíòîâ è ïîð
íà ýëåêòðîñîïðîòèâëåíèå ñòåêëîêåðàìèêè // ÒÊÝÀ.� 1998.�
¹ 2.� Ñ. 43�47.
8. Ïðèâàëêî Â. Ï., Íîâèêîâ Â. Â., ßíîâñêèé Þ. Ã. Îñíîâû
òåïëîôèçèêè è ðåîôèçèêè ïîëèìåðíûõ ìàòåðèàëîâ.� Êèåâ: Íàó-
êîâà äóìêà, 1991.
9. Äóëüíåâ Ã. Í., Íîâèêîâ Â. Â. Ïðîöåññû ïåðåíîñà â íåîäíî-
ðîäíûõ ñðåäàõ.� Ë.: Ýíåðãîàòîìèçäàò, 1991.
10. Lichtenecker K., Rother K. Die herleitung des logarithmischen
mischungsgesetzes des allgemeinen prinzipien der stationaren stroumung
// Physikalishe Zeitschrift.� 1931.� Bd, N 6.� S. 255�267.
11. Äìèòðèåâ Ì. Â. Ñòåïåííàÿ ñâÿçü ïàðàìåòðîâ êîìïîçèöèîí-
íîãî ìàòåðèàëà è åãî êîìïîíåíòîâ // ÒÊÝÀ.� 2002.� ¹ 4�5.�
Ñ. 58�61
12. Äóëüíåâ Ã. Í., Çàðè÷íÿê Þ. Ï. Òåïëîïðîâîäíîñòü ñìåñåé
è êîìïîçèöèîííûõ ìàòåðèàëîâ.� Ë.: Ýíåðãèÿ, 1974.
13. Ñòàíäàðò ïðåäïðèÿòèÿ ÑÒÏ ÏÀÙ.0.27.0.15.78.
14. À. ñ. 1782947 ÑÑÑÐ. Ñòåêëîêåðàìè÷åñêèé êîìïîçèöèîí-
íûé ìàòåðèàë / Áóðàí Ë. Â., Äìèòðèåâ Ì. Â., Ëåìçà Â. Ä., Òàðòà-
êîâñêàÿ Ë. Í.� 22.08 1992.
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52491 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T19:00:28Z |
| publishDate | 2008 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Дмитриев, М.В. Еримичой, И.Н. Панов, Л.И. Панова, Е.Л. 2014-01-03T23:25:31Z 2014-01-03T23:25:31Z 2008 Прогнозирование диэлектрических свойств некристаллизующейся моноармированной полиматричной стеклокерамики / М.В. Дмитриев, И.Н. Еримичой, Л.И. Панов, Е.Л. Панова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 5. — С. 58-62. — Бібліогр.: 16 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52491 Предложен комплексный метод прогнозирования диэлектрических параметров стеклокерамики с одним армирующим и двумя стеклянными компонентами при разном их соотношении. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Материалы электроники Прогнозирование диэлектрических свойств некристаллизующейся моноармированной полиматричной стеклокерамики Прогнозування діелектричних властивостей моноармованої поліматричної склокераміки що не кристализується Forecasting of dielectric properties of noncrystalizing monoarmature polymatrix glass ceramics Article published earlier |
| spellingShingle | Прогнозирование диэлектрических свойств некристаллизующейся моноармированной полиматричной стеклокерамики Дмитриев, М.В. Еримичой, И.Н. Панов, Л.И. Панова, Е.Л. Материалы электроники |
| title | Прогнозирование диэлектрических свойств некристаллизующейся моноармированной полиматричной стеклокерамики |
| title_alt | Прогнозування діелектричних властивостей моноармованої поліматричної склокераміки що не кристализується Forecasting of dielectric properties of noncrystalizing monoarmature polymatrix glass ceramics |
| title_full | Прогнозирование диэлектрических свойств некристаллизующейся моноармированной полиматричной стеклокерамики |
| title_fullStr | Прогнозирование диэлектрических свойств некристаллизующейся моноармированной полиматричной стеклокерамики |
| title_full_unstemmed | Прогнозирование диэлектрических свойств некристаллизующейся моноармированной полиматричной стеклокерамики |
| title_short | Прогнозирование диэлектрических свойств некристаллизующейся моноармированной полиматричной стеклокерамики |
| title_sort | прогнозирование диэлектрических свойств некристаллизующейся моноармированной полиматричной стеклокерамики |
| topic | Материалы электроники |
| topic_facet | Материалы электроники |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52491 |
| work_keys_str_mv | AT dmitrievmv prognozirovaniediélektričeskihsvoistvnekristallizuûŝeisâmonoarmirovannoipolimatričnoisteklokeramiki AT erimičoiin prognozirovaniediélektričeskihsvoistvnekristallizuûŝeisâmonoarmirovannoipolimatričnoisteklokeramiki AT panovli prognozirovaniediélektričeskihsvoistvnekristallizuûŝeisâmonoarmirovannoipolimatričnoisteklokeramiki AT panovael prognozirovaniediélektričeskihsvoistvnekristallizuûŝeisâmonoarmirovannoipolimatričnoisteklokeramiki AT dmitrievmv prognozuvannâdíelektričnihvlastivosteimonoarmovanoípolímatričnoísklokeramíkiŝonekristalizuêtʹsâ AT erimičoiin prognozuvannâdíelektričnihvlastivosteimonoarmovanoípolímatričnoísklokeramíkiŝonekristalizuêtʹsâ AT panovli prognozuvannâdíelektričnihvlastivosteimonoarmovanoípolímatričnoísklokeramíkiŝonekristalizuêtʹsâ AT panovael prognozuvannâdíelektričnihvlastivosteimonoarmovanoípolímatričnoísklokeramíkiŝonekristalizuêtʹsâ AT dmitrievmv forecastingofdielectricpropertiesofnoncrystalizingmonoarmaturepolymatrixglassceramics AT erimičoiin forecastingofdielectricpropertiesofnoncrystalizingmonoarmaturepolymatrixglassceramics AT panovli forecastingofdielectricpropertiesofnoncrystalizingmonoarmaturepolymatrixglassceramics AT panovael forecastingofdielectricpropertiesofnoncrystalizingmonoarmaturepolymatrixglassceramics |