Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния

• Published in: Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Date: 2008
• Main Authors: Кулинич, О.А., Смынтына, В.А., Глауберман, М.А., Чемересюк, Г.Г., Яцунский, И.Р.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2008
• Subjects: Материалы электроники
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52492
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния / О.А. Кулинич, В.А. Смынтына, М.А. Глауберман, Г.Г. Чемересюк, И.Р. Яцунский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 5. — С. 62-64. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.

Показано, каким образом дефекты исходного кремния влияют на структурные изменения поверхности и приповерхностной области в процессе высокотемпературного окисления.