Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния
Показано, каким образом дефекты исходного кремния влияют на структурные изменения поверхности и приповерхностной области в процессе высокотемпературного окисления....
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Datum: | 2008 |
| Hauptverfasser: | , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2008
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52492 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния / О.А. Кулинич, В.А. Смынтына, М.А. Глауберман, Г.Г. Чемересюк, И.Р. Яцунский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 5. — С. 62-64. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52492 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Кулинич, О.А. Смынтына, В.А. Глауберман, М.А. Чемересюк, Г.Г. Яцунский, И.Р. 2014-01-03T23:28:21Z 2014-01-03T23:28:21Z 2008 Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния / О.А. Кулинич, В.А. Смынтына, М.А. Глауберман, Г.Г. Чемересюк, И.Р. Яцунский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 5. — С. 62-64. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52492 Показано, каким образом дефекты исходного кремния влияют на структурные изменения поверхности и приповерхностной области в процессе высокотемпературного окисления. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Материалы электроники Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния Вплив вихідних дефектів на розподіл механічних напруг и деформацій при окиснені кремнія The influence of initial defects on mechanical stress and deformation distribution in oxidized silicon Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния |
| spellingShingle |
Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния Кулинич, О.А. Смынтына, В.А. Глауберман, М.А. Чемересюк, Г.Г. Яцунский, И.Р. Материалы электроники |
| title_short |
Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния |
| title_full |
Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния |
| title_fullStr |
Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния |
| title_full_unstemmed |
Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния |
| title_sort |
влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния |
| author |
Кулинич, О.А. Смынтына, В.А. Глауберман, М.А. Чемересюк, Г.Г. Яцунский, И.Р. |
| author_facet |
Кулинич, О.А. Смынтына, В.А. Глауберман, М.А. Чемересюк, Г.Г. Яцунский, И.Р. |
| topic |
Материалы электроники |
| topic_facet |
Материалы электроники |
| publishDate |
2008 |
| language |
Russian |
| container_title |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Вплив вихідних дефектів на розподіл механічних напруг и деформацій при окиснені кремнія The influence of initial defects on mechanical stress and deformation distribution in oxidized silicon |
| description |
Показано, каким образом дефекты исходного кремния влияют на структурные изменения поверхности и приповерхностной области в процессе высокотемпературного окисления.
|
| issn |
2225-5818 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52492 |
| citation_txt |
Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния / О.А. Кулинич, В.А. Смынтына, М.А. Глауберман, Г.Г. Чемересюк, И.Р. Яцунский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 5. — С. 62-64. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT kuliničoa vliânieishodnyhdefektovnaraspredeleniemehaničeskihnaprâženiiideformaciipriokisleniikremniâ AT smyntynava vliânieishodnyhdefektovnaraspredeleniemehaničeskihnaprâženiiideformaciipriokisleniikremniâ AT glaubermanma vliânieishodnyhdefektovnaraspredeleniemehaničeskihnaprâženiiideformaciipriokisleniikremniâ AT čemeresûkgg vliânieishodnyhdefektovnaraspredeleniemehaničeskihnaprâženiiideformaciipriokisleniikremniâ AT âcunskiiir vliânieishodnyhdefektovnaraspredeleniemehaničeskihnaprâženiiideformaciipriokisleniikremniâ AT kuliničoa vplivvihídnihdefektívnarozpodílmehaníčnihnaprugideformacíipriokisneníkremníâ AT smyntynava vplivvihídnihdefektívnarozpodílmehaníčnihnaprugideformacíipriokisneníkremníâ AT glaubermanma vplivvihídnihdefektívnarozpodílmehaníčnihnaprugideformacíipriokisneníkremníâ AT čemeresûkgg vplivvihídnihdefektívnarozpodílmehaníčnihnaprugideformacíipriokisneníkremníâ AT âcunskiiir vplivvihídnihdefektívnarozpodílmehaníčnihnaprugideformacíipriokisneníkremníâ AT kuliničoa theinfluenceofinitialdefectsonmechanicalstressanddeformationdistributioninoxidizedsilicon AT smyntynava theinfluenceofinitialdefectsonmechanicalstressanddeformationdistributioninoxidizedsilicon AT glaubermanma theinfluenceofinitialdefectsonmechanicalstressanddeformationdistributioninoxidizedsilicon AT čemeresûkgg theinfluenceofinitialdefectsonmechanicalstressanddeformationdistributioninoxidizedsilicon AT âcunskiiir theinfluenceofinitialdefectsonmechanicalstressanddeformationdistributioninoxidizedsilicon |
| first_indexed |
2025-12-07T18:28:46Z |
| last_indexed |
2025-12-07T18:28:46Z |
| _version_ |
1850875184404234240 |