Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния
Показано, каким образом дефекты исходного кремния влияют на структурные изменения поверхности и приповерхностной области в процессе высокотемпературного окисления....
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2008 |
| Main Authors: | , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2008
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52492 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния / О.А. Кулинич, В.А. Смынтына, М.А. Глауберман, Г.Г. Чемересюк, И.Р. Яцунский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 5. — С. 62-64. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862721087362564096 |
|---|---|
| author | Кулинич, О.А. Смынтына, В.А. Глауберман, М.А. Чемересюк, Г.Г. Яцунский, И.Р. |
| author_facet | Кулинич, О.А. Смынтына, В.А. Глауберман, М.А. Чемересюк, Г.Г. Яцунский, И.Р. |
| citation_txt | Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния / О.А. Кулинич, В.А. Смынтына, М.А. Глауберман, Г.Г. Чемересюк, И.Р. Яцунский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 5. — С. 62-64. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Показано, каким образом дефекты исходного кремния влияют на структурные изменения поверхности и приповерхностной области в процессе высокотемпературного окисления.
|
| first_indexed | 2025-12-07T18:28:46Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52492 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T18:28:46Z |
| publishDate | 2008 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Кулинич, О.А. Смынтына, В.А. Глауберман, М.А. Чемересюк, Г.Г. Яцунский, И.Р. 2014-01-03T23:28:21Z 2014-01-03T23:28:21Z 2008 Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния / О.А. Кулинич, В.А. Смынтына, М.А. Глауберман, Г.Г. Чемересюк, И.Р. Яцунский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 5. — С. 62-64. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52492 Показано, каким образом дефекты исходного кремния влияют на структурные изменения поверхности и приповерхностной области в процессе высокотемпературного окисления. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Материалы электроники Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния Вплив вихідних дефектів на розподіл механічних напруг и деформацій при окиснені кремнія The influence of initial defects on mechanical stress and deformation distribution in oxidized silicon Article published earlier |
| spellingShingle | Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния Кулинич, О.А. Смынтына, В.А. Глауберман, М.А. Чемересюк, Г.Г. Яцунский, И.Р. Материалы электроники |
| title | Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния |
| title_alt | Вплив вихідних дефектів на розподіл механічних напруг и деформацій при окиснені кремнія The influence of initial defects on mechanical stress and deformation distribution in oxidized silicon |
| title_full | Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния |
| title_fullStr | Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния |
| title_full_unstemmed | Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния |
| title_short | Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния |
| title_sort | влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния |
| topic | Материалы электроники |
| topic_facet | Материалы электроники |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52492 |
| work_keys_str_mv | AT kuliničoa vliânieishodnyhdefektovnaraspredeleniemehaničeskihnaprâženiiideformaciipriokisleniikremniâ AT smyntynava vliânieishodnyhdefektovnaraspredeleniemehaničeskihnaprâženiiideformaciipriokisleniikremniâ AT glaubermanma vliânieishodnyhdefektovnaraspredeleniemehaničeskihnaprâženiiideformaciipriokisleniikremniâ AT čemeresûkgg vliânieishodnyhdefektovnaraspredeleniemehaničeskihnaprâženiiideformaciipriokisleniikremniâ AT âcunskiiir vliânieishodnyhdefektovnaraspredeleniemehaničeskihnaprâženiiideformaciipriokisleniikremniâ AT kuliničoa vplivvihídnihdefektívnarozpodílmehaníčnihnaprugideformacíipriokisneníkremníâ AT smyntynava vplivvihídnihdefektívnarozpodílmehaníčnihnaprugideformacíipriokisneníkremníâ AT glaubermanma vplivvihídnihdefektívnarozpodílmehaníčnihnaprugideformacíipriokisneníkremníâ AT čemeresûkgg vplivvihídnihdefektívnarozpodílmehaníčnihnaprugideformacíipriokisneníkremníâ AT âcunskiiir vplivvihídnihdefektívnarozpodílmehaníčnihnaprugideformacíipriokisneníkremníâ AT kuliničoa theinfluenceofinitialdefectsonmechanicalstressanddeformationdistributioninoxidizedsilicon AT smyntynava theinfluenceofinitialdefectsonmechanicalstressanddeformationdistributioninoxidizedsilicon AT glaubermanma theinfluenceofinitialdefectsonmechanicalstressanddeformationdistributioninoxidizedsilicon AT čemeresûkgg theinfluenceofinitialdefectsonmechanicalstressanddeformationdistributioninoxidizedsilicon AT âcunskiiir theinfluenceofinitialdefectsonmechanicalstressanddeformationdistributioninoxidizedsilicon |