Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния - Кулинич, О.А.; Смынтына, В.А.; Глауберман, М.А.; Чемересюк, Г.Г.; Яцунский, И.Р. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2008)
Показано, каким образом дефекты исходного кремния влияют на структурные изменения поверхности и приповерхностной области в процессе высокотемпературного окисления.