Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния
Показано, каким образом дефекты исходного кремния влияют на структурные изменения поверхности и приповерхностной области в процессе высокотемпературного окисления....
Збережено в:
| Опубліковано в: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Дата: | 2008 |
| ISSN: | 2225-5818 |
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2008
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52492 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния / О.А. Кулинич, В.А. Смынтына, М.А. Глауберман, Г.Г. Чемересюк, И.Р. Яцунский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 5. — С. 62-64. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния
за авторством: Kulinich, O. A., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Kulinich, O. A., та інші
Опубліковано: (2008)
Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»
за авторством: Смынтына, В.А., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Смынтына, В.А., та інші
Опубліковано: (2011)
Получение пригодного для сенсорики пористого кремния методом неэлектролитического травления MacEtch
за авторством: Яцунский, И.Р.
Опубліковано: (2013)
за авторством: Яцунский, И.Р.
Опубліковано: (2013)
Фотолюминесцентный метод исследования пластической деформации на границе раздела «SiO₂—Si»
за авторством: Кулинич, О.А., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Кулинич, О.А., та інші
Опубліковано: (2012)
Влияние облучения кремния низкоэнергетическими ионами аргона на образование в нем электрически активных дефектов
за авторством: Попов, В.М., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Попов, В.М., та інші
Опубліковано: (2009)
Способ электродугового восстановления кремния
за авторством: Соловьев, О.В., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Соловьев, О.В., та інші
Опубліковано: (2005)
Роль пластической деформации в получении нанокремния
за авторством: Смынтына, В.А., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Смынтына, В.А., та інші
Опубліковано: (2011)
Получение и свойства пористого карбида кремния
за авторством: Светличная, Л.А., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Светличная, Л.А., та інші
Опубліковано: (2005)
Взаимодействие атомарного водорода с поверхностью монокристаллов кремния
за авторством: Жавжаров, Е.Л., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Жавжаров, Е.Л., та інші
Опубліковано: (2006)
Исследование собственных и примесных точечных дефектов в сапфировых подложках люминесцентными методами
за авторством: Блецкан, Д.И., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Блецкан, Д.И., та інші
Опубліковано: (2006)
Влияние примесей и структурных дефектов на электрофизические и детекторные свойства CdTe и CdZnTe
за авторством: Кондрик, А.И., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Кондрик, А.И., та інші
Опубліковано: (2019)
Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста
за авторством: Наливайко, О.Ю., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Наливайко, О.Ю., та інші
Опубліковано: (2009)
Распределение дефектов в тонких полупроводниковых пластинах при низкотемпературной деформации
за авторством: Уколов, А.И., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Уколов, А.И., та інші
Опубліковано: (2013)
Исследование свойств пленок нитрида и оксида кремния, полученных методом плазмохимического осаждения на кремниевую подложку
за авторством: Рубцевич, И.И., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Рубцевич, И.И., та інші
Опубліковано: (2011)
Влияние пластической деформации на анизотропию электропроводности трансформаторной стали
за авторством: Усов, В.В.
Опубліковано: (2001)
за авторством: Усов, В.В.
Опубліковано: (2001)
Исследование влияни кислорода на скорость и анизотропию глубинного травления кремния в плазмохимическом реакторе с управляемым магнитним полем
за авторством: Гладковский, В.В., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Гладковский, В.В., та інші
Опубліковано: (2017)
Повышение радиационной устойчивости кремниевых монокристаллических эпитаксиальных слоев
за авторством: Курмашев, Ш.Д., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Курмашев, Ш.Д., та інші
Опубліковано: (2014)
Неразрушающий экспресс контроль механических напряжений
за авторством: Безотосный, В.Ф., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Безотосный, В.Ф., та інші
Опубліковано: (2013)
Влияние физико-механических свойств соединяемых металлов и геометрии деталей на распределение напряжений при диффузионной сварке в вакууме
за авторством: Махненко, В.И., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Махненко, В.И., та інші
Опубліковано: (2008)
Каталитические эффекты при анодном окислении глюкозы
за авторством: Антонов, С.П., та інші
Опубліковано: (1984)
за авторством: Антонов, С.П., та інші
Опубліковано: (1984)
Фотохромная чувствительность модифицированных пленок бактериородопсина для устройств молекулярной электроники
за авторством: Адамов, Г.Е., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Адамов, Г.Е., та інші
Опубліковано: (2005)
Исследование ширины запрещенной зоны смешанных кристаллов ZnSxSe₁₋x
за авторством: Трубаева, О.Г., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Трубаева, О.Г., та інші
Опубліковано: (2018)
Температурные и концентрационные зависимости подвижности носителей заряда в твердых растворах (PbS)1–x(Sm2S3)x
за авторством: Гасанов, Г.А., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Гасанов, Г.А., та інші
Опубліковано: (2008)
Исследование допустимой импульсной мощности кремниевой p+–p–n+-структуры
за авторством: Каримов, А.В., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Каримов, А.В., та інші
Опубліковано: (2011)
Сцинтиляційні матеріали на основі твердих розчинів ZnSxSe₁₋x
за авторством: Трубаєва, О.Г., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Трубаєва, О.Г., та інші
Опубліковано: (2018)
Синтез и исследование нанопорошков ферромолибдата стронция с высокой степенью сверхструктурного упорядочения для спинтроники
за авторством: Ярмолич, М.В., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Ярмолич, М.В., та інші
Опубліковано: (2016)
Эффективные сцинтилляционные материалы на основе твердых растворов ZnS1–xTex и перспективы их применения
за авторством: Катрунов, К.А., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Катрунов, К.А., та інші
Опубліковано: (2011)
Высокоинформативный комплексный метод определения типа моторного масла
за авторством: Мамыкин, А.В., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Мамыкин, А.В., та інші
Опубліковано: (2019)
Исследование механических напряжений в приводном валу вакуумного выключателя средних напряжений
за авторством: Байда, Е.И., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Байда, Е.И., та інші
Опубліковано: (2017)
Исследование процесса термической деполяризации сегнетокерамики (Pb,Sr)(Zr,Ti)O₃
за авторством: Кузенко, Д.В., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Кузенко, Д.В., та інші
Опубліковано: (2011)
Разработка сцинтилляторов на основе соединений AIIBVI для медицинского и технического радиационного приборостроения
за авторством: Старжинский, Н.Г., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Старжинский, Н.Г., та інші
Опубліковано: (2009)
Взрывная кристаллизация тонких пленок полупроводников при облучении y-квантами
за авторством: Храмов, Е.Ф., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Храмов, Е.Ф., та інші
Опубліковано: (2003)
Термоэлектрические свойства сплавов системы TlInTe₂-TlYbTe₂
за авторством: Зарбалиев, М.М., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Зарбалиев, М.М., та інші
Опубліковано: (2004)
Перспективные материалы для низкоомных толстопленочных резистивных элементов
за авторством: Смирнов, А.Н., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Смирнов, А.Н., та інші
Опубліковано: (2005)
Стабильность свойств пьезокерамических материалов при внешних воздействиях
за авторством: Кузенко, Д.В., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Кузенко, Д.В., та інші
Опубліковано: (2010)
Влияние содержания серы на сцинтилляционные свойства смешанных кристаллов ZnSxSe1–x
за авторством: Трубаева, O.Г., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Трубаева, O.Г., та інші
Опубліковано: (2018)
Формирование гетероструктур GaTe/CdSe для использования в солнечных элементах
за авторством: Балицкий, А.А.
Опубліковано: (2005)
за авторством: Балицкий, А.А.
Опубліковано: (2005)
Поверхностные нанообразования при окислении слоистых кристаллов SnS₂
за авторством: Катеринчук, В.Н., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Катеринчук, В.Н., та інші
Опубліковано: (2007)
Поверхностные нанообразования при окислении слоистых кристаллов SnS₂
за авторством: Katerynchuk, V. M., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Katerynchuk, V. M., та інші
Опубліковано: (2007)
Широкозонные халькогенидные сцинтилляторы на основе соединений AIIBVI
за авторством: Старжинский, Н.Г., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Старжинский, Н.Г., та інші
Опубліковано: (2012)