Предэпитаксиальная обработка подложек GaSb для жидкофазного выращивания гомоэпитаксиальных слоев
Представлены результаты исследований по оптимизации режимов предэпитаксиальной обработки подложек GaSb химическим травлением в смеси на основе неорганических кислот....
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2008 |
| Main Authors: | , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2008
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52537 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Предэпитаксиальная обработка подложек GaSb для жидкофазного выращивания гомоэпитаксиальных слоев / Е.В. Андронова, В.В. Курак // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 6. — С. 41-43. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862601335759699968 |
|---|---|
| author | Андронова, Е.В. Курак, В.В. |
| author_facet | Андронова, Е.В. Курак, В.В. |
| citation_txt | Предэпитаксиальная обработка подложек GaSb для жидкофазного выращивания гомоэпитаксиальных слоев / Е.В. Андронова, В.В. Курак // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 6. — С. 41-43. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Представлены результаты исследований по оптимизации режимов предэпитаксиальной обработки подложек GaSb химическим травлением в смеси на основе неорганических кислот.
|
| first_indexed | 2025-11-28T01:49:18Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52537 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-11-28T01:49:18Z |
| publishDate | 2008 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Андронова, Е.В. Курак, В.В. 2014-01-04T18:14:13Z 2014-01-04T18:14:13Z 2008 Предэпитаксиальная обработка подложек GaSb для жидкофазного выращивания гомоэпитаксиальных слоев / Е.В. Андронова, В.В. Курак // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 6. — С. 41-43. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52537 Представлены результаты исследований по оптимизации режимов предэпитаксиальной обработки подложек GaSb химическим травлением в смеси на основе неорганических кислот. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Технологические процессы и оборудование Предэпитаксиальная обработка подложек GaSb для жидкофазного выращивания гомоэпитаксиальных слоев Передепітаксійна обробка підкладок GaSb для рідкофазного вирощування гомоепітаксійних шарів Preepitaxial substrate treatment of GaSb for liquid phase technology homoepitaxial growth Article published earlier |
| spellingShingle | Предэпитаксиальная обработка подложек GaSb для жидкофазного выращивания гомоэпитаксиальных слоев Андронова, Е.В. Курак, В.В. Технологические процессы и оборудование |
| title | Предэпитаксиальная обработка подложек GaSb для жидкофазного выращивания гомоэпитаксиальных слоев |
| title_alt | Передепітаксійна обробка підкладок GaSb для рідкофазного вирощування гомоепітаксійних шарів Preepitaxial substrate treatment of GaSb for liquid phase technology homoepitaxial growth |
| title_full | Предэпитаксиальная обработка подложек GaSb для жидкофазного выращивания гомоэпитаксиальных слоев |
| title_fullStr | Предэпитаксиальная обработка подложек GaSb для жидкофазного выращивания гомоэпитаксиальных слоев |
| title_full_unstemmed | Предэпитаксиальная обработка подложек GaSb для жидкофазного выращивания гомоэпитаксиальных слоев |
| title_short | Предэпитаксиальная обработка подложек GaSb для жидкофазного выращивания гомоэпитаксиальных слоев |
| title_sort | предэпитаксиальная обработка подложек gasb для жидкофазного выращивания гомоэпитаксиальных слоев |
| topic | Технологические процессы и оборудование |
| topic_facet | Технологические процессы и оборудование |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52537 |
| work_keys_str_mv | AT andronovaev predépitaksialʹnaâobrabotkapodložekgasbdlâžidkofaznogovyraŝivaniâgomoépitaksialʹnyhsloev AT kurakvv predépitaksialʹnaâobrabotkapodložekgasbdlâžidkofaznogovyraŝivaniâgomoépitaksialʹnyhsloev AT andronovaev peredepítaksíinaobrobkapídkladokgasbdlârídkofaznogoviroŝuvannâgomoepítaksíinihšarív AT kurakvv peredepítaksíinaobrobkapídkladokgasbdlârídkofaznogoviroŝuvannâgomoepítaksíinihšarív AT andronovaev preepitaxialsubstratetreatmentofgasbforliquidphasetechnologyhomoepitaxialgrowth AT kurakvv preepitaxialsubstratetreatmentofgasbforliquidphasetechnologyhomoepitaxialgrowth |