Получение эффективных катодолюминесцентных структур на базе пленочной технологии
Получены и исследованы катодолюминесцентные структуры с яркостью свечения до 1000 кд/м² на пленках толщиной 7-9 мкм, на базе которых могут быть созданы средства отображения информации с высокой разрешающей способностью....
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Datum: | 2008 |
| Hauptverfasser: | , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2008
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52539 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Получение эффективных катодолюминесцентных структур на базе пленочной технологии / Л.Ф. Коваленко, В.В. Севастьянов, В.С. Хомченко, Ю.А. Цыркунов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 6. — С. 48-49. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1860076489626615808 |
|---|---|
| author | Коваленко, Л.Ф. Севастьянов, В.В. Хомченко, В.С. Цыркунов, Ю.А. |
| author_facet | Коваленко, Л.Ф. Севастьянов, В.В. Хомченко, В.С. Цыркунов, Ю.А. |
| citation_txt | Получение эффективных катодолюминесцентных структур на базе пленочной технологии / Л.Ф. Коваленко, В.В. Севастьянов, В.С. Хомченко, Ю.А. Цыркунов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 6. — С. 48-49. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Получены и исследованы катодолюминесцентные структуры с яркостью свечения до 1000 кд/м² на пленках толщиной 7-9 мкм, на базе которых могут быть созданы средства отображения информации с высокой разрешающей способностью.
|
| first_indexed | 2025-12-07T17:13:56Z |
| format | Article |
| fulltext |
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2008, ¹ 6
48
ÒÅÕÍÎËÎÃÈ×ÅÑÊÈÅ ÏÐÎÖÅÑÑÛ È ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈÅ
Äàòà ïîñòóïëåíèÿ â ðåäàêöèþ
29.08 2008 ã.
Îïïîíåíò ê. ò. í. Â. Â. ÐÞÕÒÈÍ
(ÖÊÁ «Ðèòì», ã. ×åðíîâöû)
Ë. Ô. ÊÎÂÀËÅÍÊÎ, Â. Â. ÑÅÂÀÑÒÜßÍÎÂ,
ê. ô.-ì. í. Â. Ñ. ÕÎÌ×ÅÍÊÎ, Þ. À. ÖÛÐÊÓÍÎÂ
Óêðàèíà, ã. Âèííèöà, ÍÈÈ «Ãåëèé»;
ã. Êèåâ, ÑÊÒÁ ÈÔÏ èì. Â. Å. Ëàøêàð¸âà
E-mail: helium@svitonline.com
ÏÎËÓ×ÅÍÈÅ ÝÔÔÅÊÒÈÂÍÛÕ
ÊÀÒÎÄÎËÞÌÈÍÅÑÖÅÍÒÍÛÕ ÑÒÐÓÊÒÓÐ
ÍÀ ÁÀÇÅ ÏËÅÍÎ×ÍÎÉ ÒÅÕÍÎËÎÃÈÈ
Ïîëó÷åíû è èññëåäîâàíû êàòîäîëþìè-
íåñöåíòíûå ñòðóêòóðû ñ ÿðêîñòüþ ñâå-
÷åíèÿ äî 1000 êä/ì2 íà ïëåíêàõ òîëùè-
íîé 7�9 ìêì, íà áàçå êîòîðûõ ìîãóò
áûòü ñîçäàíû ñðåäñòâà îòîáðàæåíèÿ
èíôîðìàöèè ñ âûñîêîé ðàçðåøàþùåé
ñïîñîáíîñòüþ.
Ñðåäñòâà îòîáðàæåíèÿ èíôîðìàöèè ñ èñïîëüçî-
âàíèåì ýôôåêòà êàòîäîëþìèíåñöåíöèè, ò. å. ñâå÷å-
íèÿ ëþìèíåñöåíòíîãî ìàòåðèàëà, øèðîêî ïðèìåíÿ-
þòñÿ â áûòîâîé è ñïåöèàëüíîé òåõíèêå [1]. Îäíàêî
ïîëó÷åíèå êàòîäîëþìèíåñöåíòíûõ (ÊË) ñòðóêòóð äëÿ
ìîíèòîðîâ ìàëîãî ðàçìåðà, íàïðèìåð äëÿ ýëåêòðîí-
íî-îïòè÷åñêèõ ïðåîáðàçîâàòåëåé, ñ ïîâûøåííûìè òðå-
áîâàíèÿìè ê ðàçðåøàþùåé ñïîñîáíîñòè ÿâëÿåòñÿ ïðî-
áëåìàòè÷íûì â ñâÿçè ñ îòñóòñòâèåì ýôôåêòèâíûõ
ïîðîøêîâûõ è ïëåíî÷íûõ êàòîäîëþìèíîôîðîâ
(ÊËÔ) äëÿ ñåðèéíîãî ïðîèçâîäñòâà [2�5].
Öåëüþ íàñòîÿùåé ðàáîòû áûëà ðàçðàáîòêà òåõíîëî-
ãè÷åñêîãî ìàðøðóòà è ïîäáîð òåõíîëîãè÷åñêèõ ðåæè-
ìîâ èçãîòîâëåíèÿ ïëåíî÷íûõ ÊËÔ, à òàêæå èõ èññëå-
äîâàíèå, ñ ó÷åòîì ðåçóëüòàòîâ, ïîëó÷åííûõ â [6, 7].
Îñíîâíûìè ýòàïàìè ðàçðàáîòàííîé òåõíîëîãèè ÿâ-
ëÿþòñÿ ýëåêòðîííî-ëó÷åâîå íàïûëåíèå â âàêóóìå ïëå-
íîê ZnS:Cu è èõ äàëüíåéøèé îòæèã ñ îäíîâðåìåííûì
ëåãèðîâàíèåì Ga â àòìîñôåðå ñåðû äëÿ ïîëó÷åíèÿ
ñòðóêòóð ZnS:Cu.Ga èëè â àòìîñôåðå êèñëîðîäà äëÿ
ïîëó÷åíèÿ ñòðóêòóð ZnO:Cu.Ga. Òîëùèíà íàïûëåííûõ
íà ñàïôèðîâûå ïîäëîæêè ïëåíîê ZnS:Cu ñîñòàâèëà
7�9 ìêì. Âåñîâàÿ äîëÿ Ñu â ìèøåíÿõ ìåíÿëàñü îò
0,06 äî 0,12%. Îòæèã ïðîâîäèëñÿ â äèàïàçîíå òåìïå-
ðàòóð 700�800°Ñ. Ëåãèðîâàíèå ïëåíîê îñóùåñòâëÿ-
ëîñü òåðìè÷åñêèì èñïàðåíèåì ãàëëèÿ èç êâàðöåâîãî
òèãëÿ. Íåîáõîäèìóþ ïðè îòæèãå è ëåãèðîâàíèè àòìî-
ñôåðó îáåñïå÷èâàëè ñïåöèàëüíî ïîäîáðàííûå ïîðîø-
êîâûå ñìåñè. Ïîñëå îòæèãà íà ÊË-ñòðóêòóðû âàêóóì-
íûì íàïûëåíèåì íàíîñèëñÿ ñëîé Al òîëùèíîé 0,1 ìêì.
Íà ðèñ. 1 ñõåìàòè÷åñêè ïîêàçàíî óñòðîéñòâî, êî-
òîðîå ïðèìåíÿëîñü äëÿ ëåãèðîâàíèÿ ïîëó÷åííûõ ïëå-
íîê âî âðåìÿ îòæèãà ìåòîäîì èñïàðåíèÿ Ga ñ áëèç-
êîãî ðàññòîÿíèÿ ïðè àòìîñôåðíîì äàâëåíèè.
Áûëî óñòàíîâëåíî, ÷òî ïëåíêè ZnS:Cu.Ga è
ZnO:Cu.Ga ïîñëå îòæèãà ïîä âîçäåéñòâèåì óëüòðà-
ôèîëåòîâîãî èçëó÷åíèÿ ïðèîáðåòàþò ôîòîëþìèíåñ-
öåíòíûå ñâîéñòâà â çåëåíîé îáëàñòè ñïåêòðà. Ýòîò
ýôôåêò áûë èñïîëüçîâàí äëÿ ïåðâè÷íîé îòáðàêîâêè
ÊË-ñòðóêòóð ïóòåì ïðîâåðêè îäíîðîäíîñòè ñâå÷åíèÿ
îáðàçöîâ äî íàïûëåíèÿ ïëåíêè àëþìèíèÿ.
Îïðåäåëåíèå âçàèìîñâÿçè ìåæäó òåõíîëîãè÷å-
ñêèìè ðåæèìàìè è ñòðóêòóðíûìè ïàðàìåòðàìè ÊËÔ
ïðîâîäèëîñü ñ ïîìîùüþ ðåíòãåíîâñêîãî äèôðàêòî-
ìåòðà «Äðîí-4», à èññëåäîâàíèå ìîðôîëîãèè ïîâåðõ-
íîñòè � íà ñêàíèðóþùåì çîíäîâîì ìèêðîñêîïå
Nanoscope D3000. Íà ðèñ. 2 ïðåäñòàâëåíû ðåçóëüòà-
Íàãðåâàòåëü
1
2
3
4
Ðèñ. 1. Ñõåìà óñòðîéñòâà äëÿ ëåãèðîâàíèÿ ïëåíîê ìåòî-
äîì èñïàðåíèÿ:
1 � êâàðöåâàÿ ïëàñòèíà; 2 � êâàðöåâûé òèãåëü; 3 � ìàòåðèàë äëÿ
ëåãèðîâàíèÿ; 4 � ïîðîøêîâàÿ ñìåñü
È
íò
åí
ñè
âí
îñ
òü
è
çë
ó÷
åí
èÿ
20 30 40 50 60 70 80 90 2θ, °
3
2
1
(111)
(311)
(010)
(002)
(011)
(012)
(110)
(013)
(112)
(004)
(022)
(014)
(023)
(121)
ZnO:Cu
ZnS:Cu
Ðèñ. 2. Ðåçóëüòàòû ðåíòãåíî-äèôðàêöèîííûõ èññëåäîâà-
íèé ïëåíîê ZnS:Cu (1), ZnO:Cu (3), íàíåñåííûõ íà ñàï-
ôèðîâûå ïîäëîæêè, è ïîðîøêà ZnO (2)
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2008, ¹ 6
49
ÒÅÕÍÎËÎÃÈ×ÅÑÊÈÅ ÏÐÎÖÅÑÑÛ È ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈÅ
òû ðåíòãåíî-äèôðàêöèîííûõ èññëåäîâàíèé ïëåíîê
ZnS:Cu è ZnO:Cu, à òàêæå ïîðîøêà ZnO. Èç ðèñóíêà
âèäíî, ÷òî ïîñëå îòæèãà â àòìîñôåðå, îáîãàùåííîé
ñåðîé, ïëåíêè ZnS:Cu èìåþò êðèñòàëëè÷åñêóþ ñòðóê-
òóðó ñôàëåðèòà ñ îðèåíòàöèåé ïðåèìóùåñòâåííî
<111>. Ñòðóêòóðà ïëåíîê ZnO:Cu � âþðöèò ñ îðèåí-
òàöèåé ïðåèìóùåñòâåííî <001>. Êðèñòàëëè÷åñêàÿ
ñòðóêòóðà ïîðîøêà ZnO òàêæå âþðöèò è, â äîñòàòî÷-
íîé ìåðå, îíà ïîäîáíà ñòðóêòóðå ïëåíêè ZnO:Cu. Ýòî
ïîäòâåðæäàåò ïðåäïîëîæåíèå î òîì, ÷òî â ïðîöåññå
îòæèãà ïëåíêè ZnS:Cu â àòìîñôåðå, ñîäåðæàùåé êèñ-
ëîðîä, ïðè òåìïåðàòóðå îêîëî 800°Ñ ïðîèñõîäèò êàê
èçìåíåíèå åå êðèñòàëëè÷åñêîé ñòðóêòóðû, òàê è ïðå-
îáðàçîâàíèå ïëåíêè â ZnO:Cu. Èññëåäîâàíèÿ ïîêà-
çàëè, ÷òî ëåãèðîâàíèå ãàëëèåì íå èçìåíÿåò ñòðóêòó-
ðó íè ïëåíîê ZnS:Cu, íè ïëåíîê ZnO:Cu.
Èçîáðàæåíèÿ ïîâåðõíîñòåé èññëåäóåìûõ ïëåíîê,
ïîëó÷åííûå íà ñêàíèðóþùåì ìèêðîñêîïå, ïðåäñòàâ-
ëåíû íà ðèñ. 3.
Óñòàíîâëåíî, ÷òî äî îòæèãà ïëåíêè ZnS:Cu òîë-
ùèíîé áîëåå 7�9 ìêì ñîñòîÿò èç çåðåí ðàçìåðîì
150�300 íì, îòæèã â àòìîñôåðå, ñîäåðæàùåé ñåðó,
ïðèâîäèò ê èõ óâåëè÷åíèþ äî 750 íì, à îòæèã ñ îäíî-
âðåìåííûì ëåãèðîâàíèåì Ga � ê óâåëè÷åíèþ äî 1 ìêì.
Êàê âèäíî íà ðèñ. 3, â, ïîâåðõíîñòü ïëåíîê ZnO:Ñu
î÷åíü íåîäíîðîäíà. Çäåñü äîìèíèðóþò çåðíà ðàçìå-
ðîì 350�500 íì, îäíàêî âñòðå÷àþòñÿ è áîëüøèå,
ðàçìåðîì äî 2 ìêì. Îòæèã ñ îäíîâðåìåííûì ëåãè-
ðîâàíèåì Ga ïðèâîäèò ê ïîÿâëåíèþ, â îñíîâíîì, çå-
ðåí ðàçìåðîì îêîëî 1,2 ìêì, íî íàáëþäàþòñÿ òàêæå
çåðíà ðàçìåðîì îò 1,5 äî 3 ìêì, à íà ïîâåðõíîñòè
êðóïíûõ çåðåí ðàçìåùàþò-
ñÿ ìàëûå, ðàçìåðîì îêîëî
80 íì. Èññëåäîâàíèÿ ïîêà-
çàëè, ÷òî ïðè÷èíîé îáðàçî-
âàíèÿ ìàëûõ çåðåí ÿâëÿåò-
ñÿ ðåàêöèÿ âçàèìîäåéñòâèÿ
ìåæäó ZnS è çàãðÿçíåíèÿ-
ìè àòìîñôåðû, â êîòîðîé
ïðîâîäèëñÿ îòæèã.
Ïðè èññëåäîâàíèè ñïåê-
òðàëüíûõ õàðàêòåðèñòèê
áûëî óñòàíîâëåíî, ÷òî äëÿ
ñòðóêòóð ZnS:Cu.Ga ìàêñè-
ìóì ñïåêòðà ÊË-ñòðóêòóð
íàõîäèòñÿ â çåëåíîé îáëàñ-
òè íà 530 íì, à äëÿ
ZnO:Cu.Ga � íà 520 íì.
ßðêîñòü ñâå÷åíèÿ ÊË-
ñòðóêòóð ïðè ïëîòíîñòè òîêà
âîçáóæäåíèÿ 50 ìêÀ/ñì2
ñîñòàâèëà äëÿ ïëåíîê
ZnS:Cu.Ga îêîëî 200 êä/ì2,
äëÿ ZnO:Cu.Ga � îêîëî
1000 êä/ì2.
***
 ïðîöåññå ïðîâåäåíèÿ
íàñòîÿùåé ðàáîòû áûëè
ïîëó÷åíû è èññëåäîâàíû
êàòîäîëþìèíåñöåíòíûå ñòðóêòóðû ñ ÿðêîñòüþ ñâå-
÷åíèÿ äî 1000 êä/ì2 íà ïëåíêàõ òîëùèíîé 6�8 ìêì.
Ïîëó÷åííûå ýêñïåðèìåíòàëüíûå äàííûå ïîçâîëÿþò
ðàññìàòðèâàòü âîçìîæíîñòü ñîçäàíèÿ êîíêóðåíòî-
ñïîñîáíûõ ìîíèòîðîâ ñ âûñîêîé ðàçðåøàþùåé ñïî-
ñîáíîñòüþ íà áàçå ïðèìåíåíèÿ ñåðèéíîé ïëåíî÷íîé
òåõíîëîãèè.
ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ
1. Áåëÿåâ Â. Ñîâðåìåííûå ýëåêòðîííûå äèñïëåè // Ýëåêòðîí-
íûå êîìïîíåíòû.� 2002.� ¹ 1.� Ñ. 24�28.
2. Áåëÿåâ Â. Äèñïëåè íà îñíîâå ýôôåêòîâ êàòîäîëþìèíåñöåí-
öèè // Â êí.: Äèñïëåè 1990 ãîäîâ.� Ì.: Ðîñ. îòä. îáùåñòâà èí-
ôîðì. äèñïëååâ.� 2005.� Ñ. 12�20.
3. Ìèõàéëîâà Ñ. Ï., Òèìîôååâà Ò. Ì., Êîðàáë¸â Í. Ì. Ðàçðà-
áîòêà íîâûõ ëþìèíîôîðîâ äëÿ ýëåêòðîííî-îïòè÷åñêèõ ïðåîáðà-
çîâàòåëåé // Ñá. íàó÷íûõ òðóäîâ ÂÍÈÈ ëþìèíîôîðîâ.� Ñòàâðî-
ïîëü.� Âûï. 39.� 1990.� Ñ. 45�50.
4. Ìèðîíåíêî Â. Ì., Ïîäëóæíûé Â. Â. Ñîâðåìåííîå ñîñòîÿ-
íèå è ïåðñïåêòèâû ðàçðàáîòêè ëþìèíîôîðîâ äëÿ öâåòíîãî òåëå-
âèäåíèÿ è öâåòíûõ äèñïëååâ // Òàì æå.� Âûï. 38.� Ñ. 7�20.
5. Givargizov E. I., Zadorozhnaya L. A., Stepanova A. N., Galstyan
V. G. Phosphors with columnar structure // Book of Ext. Abstr. 5
Inter Conf. on the Science and Technology of Display Phosphors.�
San Diego, California.� 1999.� P. 301�305.
6. Byng Soo Leon, Jae Soo Yoo, Jong Duk Lee. Òhe effects of
growth conditions on the luminescence of ZnO:Zn thin film phosphor
grown by MOCVD // Proc. 4-th Inter Conf. on the Science and
Technology of Display Phosphors.� Bend, Oregon, U.S.A.� 1998.�
P. 14�17.
7. Khomchenko V. S., Rodionov V. P., Pekar G. S. et al. Fabrica-
tion and cathodoluminescent properties of the ZnO�Cu, Ga and ZnS�
Cu, Ga film phosphor // Journal of the SID.� 2003.� ¹ 11/1.�
P. 21�25.
Ðèñ. 3. Ìîðôîëîãèÿ ïîâåðõíîñòè èññëåäóåìûõ ïëåíîê:
à � ZnS:Cu ïîñëå îòæèãà â àòìîñôåðå S; á � ZnS:Cu.Ga ïîñëå îòæèãà â àòìîñôåðå S ñ îäíîâðå-
ìåííûì ëåãèðîâàíèåì Ga; â � ZnO:Cu ïîñëå îòæèãà â àòìîñôåðå O2; ã � ZnO:Cu.Ga ïîñëå
îòæèãà â àòìîñôåðå O2 ñ îäíîâðåìåííûì ëåãèðîâàíèåì Ga
à)
ìêì
0
1
2
3
ìêì
ìêì
0
1
2
3
2
â)
0
1
2
3
ìêì
ìêì
0
1
2
3
ìêì
2
á)
0
1
2
3
ìêì
ìêì
0
1
2
3
ìêì
2
ã)
0
1
2
3
ìêì
ìêì
0
1
2
3
ìêì
2
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52539 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T17:13:56Z |
| publishDate | 2008 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Коваленко, Л.Ф. Севастьянов, В.В. Хомченко, В.С. Цыркунов, Ю.А. 2014-01-04T18:20:10Z 2014-01-04T18:20:10Z 2008 Получение эффективных катодолюминесцентных структур на базе пленочной технологии / Л.Ф. Коваленко, В.В. Севастьянов, В.С. Хомченко, Ю.А. Цыркунов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 6. — С. 48-49. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52539 Получены и исследованы катодолюминесцентные структуры с яркостью свечения до 1000 кд/м² на пленках толщиной 7-9 мкм, на базе которых могут быть созданы средства отображения информации с высокой разрешающей способностью. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Технологические процессы и оборудование Получение эффективных катодолюминесцентных структур на базе пленочной технологии Отримання ефективних катодолюмінесцентних структур на базі плівкової технології Creation of the cathodoluminescence structures based on thin film technology Article published earlier |
| spellingShingle | Получение эффективных катодолюминесцентных структур на базе пленочной технологии Коваленко, Л.Ф. Севастьянов, В.В. Хомченко, В.С. Цыркунов, Ю.А. Технологические процессы и оборудование |
| title | Получение эффективных катодолюминесцентных структур на базе пленочной технологии |
| title_alt | Отримання ефективних катодолюмінесцентних структур на базі плівкової технології Creation of the cathodoluminescence structures based on thin film technology |
| title_full | Получение эффективных катодолюминесцентных структур на базе пленочной технологии |
| title_fullStr | Получение эффективных катодолюминесцентных структур на базе пленочной технологии |
| title_full_unstemmed | Получение эффективных катодолюминесцентных структур на базе пленочной технологии |
| title_short | Получение эффективных катодолюминесцентных структур на базе пленочной технологии |
| title_sort | получение эффективных катодолюминесцентных структур на базе пленочной технологии |
| topic | Технологические процессы и оборудование |
| topic_facet | Технологические процессы и оборудование |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52539 |
| work_keys_str_mv | AT kovalenkolf polučenieéffektivnyhkatodolûminescentnyhstrukturnabazeplenočnoitehnologii AT sevastʹânovvv polučenieéffektivnyhkatodolûminescentnyhstrukturnabazeplenočnoitehnologii AT homčenkovs polučenieéffektivnyhkatodolûminescentnyhstrukturnabazeplenočnoitehnologii AT cyrkunovûa polučenieéffektivnyhkatodolûminescentnyhstrukturnabazeplenočnoitehnologii AT kovalenkolf otrimannâefektivnihkatodolûmínescentnihstrukturnabazíplívkovoítehnologíí AT sevastʹânovvv otrimannâefektivnihkatodolûmínescentnihstrukturnabazíplívkovoítehnologíí AT homčenkovs otrimannâefektivnihkatodolûmínescentnihstrukturnabazíplívkovoítehnologíí AT cyrkunovûa otrimannâefektivnihkatodolûmínescentnihstrukturnabazíplívkovoítehnologíí AT kovalenkolf creationofthecathodoluminescencestructuresbasedonthinfilmtechnology AT sevastʹânovvv creationofthecathodoluminescencestructuresbasedonthinfilmtechnology AT homčenkovs creationofthecathodoluminescencestructuresbasedonthinfilmtechnology AT cyrkunovûa creationofthecathodoluminescencestructuresbasedonthinfilmtechnology |