Электропроводящие тонкие пленки для BaCuTeF прозрачных контактов в полупроводниковой электронике

• Published in: Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Date: 2008
• Main Authors: Готра, З.Ю., Тейт, Дж., Кикинеши, Р., Закутаев, А.А., Ракобовчук, Л.М.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2008
• Subjects: Материалы электроники
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52541
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Электропроводящие тонкие пленки для BaCuTeF прозрачных контактов в полупроводниковой электронике / З.Ю. Готра, Дж. Тейт, Р. Кикинеши, А.А. Закутаев, Л.М. Ракобовчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 6. — С. 54-57. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.

Исследованы химический состав и физические свойства тонких пленок BaCuTeF. Показана возможность улучшения электрических параметров пленок путем добавления в них избыточной меди....