Технологии изготовления фотонных кристаллов

Приведен обзор методов изготовления фотонных кристаллов для нанофотонных микросхем. Рассмотрены перспективы применения технологий в условиях промышленного производства таких устройств....

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Date:2007
Main Author: Березянский, Б.М.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2007
Subjects:
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52649
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Технологии изготовления фотонных кристаллов / Б.М. Березянский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 1. — С. 45-51. — Бібліогр.: 22 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1859623051705974784
author Березянский, Б.М.
author_facet Березянский, Б.М.
citation_txt Технологии изготовления фотонных кристаллов / Б.М. Березянский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 1. — С. 45-51. — Бібліогр.: 22 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Приведен обзор методов изготовления фотонных кристаллов для нанофотонных микросхем. Рассмотрены перспективы применения технологий в условиях промышленного производства таких устройств.
first_indexed 2025-11-29T06:22:28Z
format Article
fulltext ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� � ���� ���� ���������������� �� � ��� ������ � ������� �!"�� ���# �" $������ ����������������� � �� ��� %&'( �)" *" +" ,�-���.��� �" /���0 �������� �������� 1������� 2�11 3/������� ���� ����4����� ��� � � 5 6789:;< =>?@=@A9=B:=C@D"EF ��������� �������������� ������� ���! "�����#$� %��&�' ��� � !� �'��"����( �#$���%��&$���� '&&������#� )��&)�%( ���#�)��������!���$�� ���*� �� +& ���( !$� )���#, ������� )�������&��'��'%�$ +&���*&��� * ��������� ���) ��G� ��� � � ��)� ��H��� ��I�� �� ��I���G��I�J� �� ���� � ��������� ����7 ��< )�G��H�J� ���K��J� ��)�H ��J� � �) 4���� � ��� � ���J�� ����)����� 8LM7������J � )����� ���7 ���" *�N���-�� ����)� � ���� �� ���� � O ���7 ��� H �G��G� �� ����J�� ������� �)� ����� ��� ���)�� )�������)" P����)���� ����� �� ���)�� ������� Q� )���)��H�J� ��I)�� ���)�� �� ����� #� �)� � � ������� ��� O M� �) R�S" P ������ � ���7 �J� ������ H �����N���� ������� ������4���� � ������ H ������� ������ ���� �����" /��)� � �7 ��� � G�� �� ���� �� ���N�� �� ��H�� ������ ��7 � H K���������H�J) ��G����� )� �� � GJ H ��)7 ��� �J)� ���G�J) � �����HI������" P�Q�� ������ ���4-���� K���������H�J� ��I7 )�N��� �� �G����4���� ����� ��������� �� ���� �� ��������J� �� ������� ������� ��� ��J� ��� ����7 �4����� ����" P ��� ��� � �� �� ���� � ����G�� ��������� ���� ����4������ ��� �)� �� )�N�� ��7 I�� H ���� ��������G�J)�" / � ��� ���) ����� ��� ��������N� K� ���J� ���� ���J %��0 �� ��� �7 �J� ���� � K�����J� ���� ���J �� ���� �4�����" '/ �G��I���� �������4���� 4����� Q�)�� �G7 ��� )� � ��I��4� Q�)�� �� �4����)� ����� ��7 )�" T������� ��I��4� ���KK����� �� � ��N��� � �����)���� �G��� �� K��)���� � ���� ���������7 ��� ������������ � � �����J 4�� � � ��� �� ��J� ��� ��J� ����J �� )��� ������� ��� H� � '/" ����� �����J 4�� � ��IJ�� � K� ���J)� I����7 Q���J)� I���)� %���0" '/ )��� GJ H ����7� ����7 � ���)���J)�" * ��� � Q�� ���) �� ������ '/ ��I��G� ��� G��H-�� 4���� �� ���� �< )������������J� ������ K��H �J� )��H ��������J� ��� ����J R�S" U � )��� GJ H ��� � ���H�J� �� ���� ��� �� � ������H�� �� ���� �� �GV�������J� � ���� ����K� ���� ��7 �����H�� )�������)� %����� 0" (�� ����� �7 ������� ���� �� ���� � �� ������� ��-� � K�7 I�4����� I���4�� � ��-H ��G��H-�� ���)���� ���� 7 � � ��-��� ���� ��� �����7 ��������4����� I�7 �+W2$,$X&& &YX$�$*,+2&Z '$�$22[W /\&P�],,$* ��4" (�� �)� �� �����)����) � ���� ��� �� � � ���H7 �J)� '/� ������� ��-H �������)�� ��H��� �I�� ��7 ����� 2' &^P � ��� ������ RM� �S" (�����H�� ��I)��J ������ ���)�� � 2' &^P ���N�J ��� �� � ���� H �����)���J) ��G����� ) R�S� � ��� K��)�������� 'YY ���G����)� �4�� H ��I���������� ��G��H-�� �����-��� ��" $�� )��� ������ � � I��4� ��H�J) �I)����� ) I����Q������ �� ������� ������ ����J �����I��� 4�� � � )��� ����� H �� ����������� K� ������ �� ���� 4 � ���7 ��� �� ���� �� ����G� ������G�J)" $ � �� �����7 �J����� ��G����� � �I�� ������ �� ���� � �� ������ '/� � 4�� ��� �� ���G����)�� H ������H���� �JG��� ��������� � )� ����� ����I���� ��" ]��7 ��I� � �� )� ���� � ���� Q��� ��� � Q� ��G� �" ������ ��� � ����� ��������� ��H��� H ����7 ������� ��������� �I�� ������ '/ R�� #S" P�����7 �� R�S� ���4��� ���G����)� ����� ��� H ��� � �� ���7 ���� " ������ �� ���� ��� ��� _=`a_= ���M b9 ���� cAa_=` �J��Q��� �� _=`7�����N��� �����HI� ��� �I ��7 I���� K�IJ �� ������ )� ����������4����� �����7 �����" Y� �) ���N�� d:e � � ����J�� ������7 ��� H ����) ����)� ��)� ������ � % ���0" (���7 ��4��� ��4���� ��� J ����� ���N���� � �������� ����J � ����I��� �� ���" �� -" (���� � ��� �� ������ (ffc K��)���� � ����7 ��� � �����HI������) ���� �����7��4���� �� ����7 K�� %���" �� �0" Y� �) �G��I�� �������� ���) ��I7 ��4�J) ��������) ������ ������� " (����� ���7 ����� ������� ������� � (ffc �� ���� d:e � � � �7 ��� �������� ������� ��� ���������������J) ����7 ��) %���" �� �� �0" $� � �� d:e � ����� ������� ���7 � N����� �J) ��������) � �����HI������) ���7 ������� ����� J %���" �� �0" ����� �G��I�� ������7 ��4��� � �� �������� �� � ��� ��� ���� ���" ^� ����� �����N�� _=` � ���� _=b9cA ���� ���7 ) ��������� ��H�J)� ��������)� N����� ���� ���7 ���� � ��� ����I��� �� ���" �� �.�" 1������ � � �������� )�N�� ��I���� H �� �� ������J� � ���< ��������� ������ %��� ���� 0� ��7 ������� ������� %�� ����K� 0 � ��������" 2� ���7 ��) � ��� ������� � � ��� �� )� ������� '/� �� � ���) O ��� � ��� ���� �� �� H�) ���� ������� �� ��J� ����� � ��� ��I�� �)" /�N�J� �I � �� � �7 ��� )�N� ����� H �� ��I���������� �����-��� �� � '/< �0 ���� ��I�� � )��� GJ H �������J �������7 )����g �0 �������� ����4���J� ������ ��� �� ����7 �# ��������� � ���� ���� ���������������� ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � K��� )�N� �)� H �������� �g M0 ����� ������� �� � �� )� ������ )��� ��I�� H � ��� ���� ����N�7 Q� ����������� �����N���� ��� ���� ����J" 2�7 �G����)� �4�� H ��I��-� Q� �����G��� H �� �7 ���K��� ���) ����I���� �� ������ '/7�� ���� �� � ��I)�N��� H �I�� ������ �������)���� ������H7 ��� �� ���� �" P �4� �) � �� ������� ���G����)� �� ��H��� ���7 �)� ����� ���� )� ���� ����I���� �� '/ � ��I)�N7 ��� H �JG��� ���G���� �� �)��H��� �� ��)G���7 ��� �� ��� ��� ����� ���4� " $�����J)� )� ���)� ��� ����� �� �I�� ��7 ���� '/ �� � )������ ���7��4���� ��� ���� %� �0 � ��� �I ��I���� K�IJ � �����H7 I������) )� ���������4����� ���������� %��� �� 0" * �����) )� ��� ����� )������� ����4�7 ���� ���� K��)��� �� ����� �� )������� ����7 4����� �����N�� I� �4� ������� )�N�� )������ �7 �J)� ��� � �)�J)� ��4��)� � ��������� H ���7 ��N��" (�4�� �������� � � �������H�J� �KK�I�7 ���J� ��)����� ��G� � Q�� � �G��� � �)���� �� �� ����hP" * ��� ��������� ��������� ��G��)J� )� �������7������ ��" ̂ ������J � � �)J �J��� �I ��)�� 4���I )����H��� � ���� � � ������J����� ��7 ���)� ���N� � G�I � ����������" *J���� �)����7 ��� �����N�� �����G� ��� �������N��� )������ ��� � �)�� �� ��������� �" * ��I��H � � ��� I���)�7 � ���� ����������J� ����N��� � 4 � ���G����)� �� K��)������� �J������4�� ����J� �������4�7 ���� � ��� �� � I����Q���J)� I���)�" / ��� ���� ��) ^(U ������ � ��� � ��I)�N7 ��� H K��)������� ��I��� ������ )�N�� ��� )� � )���������J� � ��� ���� O � � G�� )�)�� )�N7 �� ������ H ��� ������� )� ������ � ��4� H ����4� �������" * ���� ��Q�� ������ ����)�Q�� �� O ��I7 )�N��� H ��� �������� H ������� �������� ������� �����I����� H ��� �� � � ��� ��� ����� � ������ �7 ���� H �-�G��" P�Q�� ����J) ����� � ��) )� ��� �� � � ��I�� ������ H ��� �� 4 � ����� ����I)�N7 �J) ���)������ ��� � �������������) � )������) ����I���� ��" *� � ���) )� ���� \X' ̂ $P� �������4��H�� )�7 �����J %������J� )� ���������4����� ��������� O )� ���7��������J� ��� )� ���7��������7�������7 �J�0 ��� ��� �I �������H�J� �� �4����� � ��G��H7 -�� �)��� ��H�J� ��)��J" (�����H�� K��)��� Q�7 �� � ��� ��J )��� GJ H )���������J)� � K��)�7 �� � ��� � �����) ������ � ���� �� �4����� ��7 G�� � ������H��" $GV�)J �)��� ��H�J� ��)�� ���N7 �J GJ H )���)��H�J)�� ������H�� �� K��)���7 ���� ��I��� ������ )�N�� ��� )� ���G����)� GJ�7 �� )�� H ��� �� ��I���� �)���" &I ��)��J ��I��� �)��H ��� ���� � ��������7 �� %��� ��� �4�� 0 ��)���� ��� ��� ��I���� ���) �)���� ��J � ��������� �� ��J� �����HI�� � � ��7 4�� �� ��I�7���� �� �)���� �������� ������� ��I7 ��N��� %������I�0 )� �����������" $G��I����-�7 �� )� ���J ������� �� ����� �� �����N�� � ���7 ����)�� �G��I� ��G��)J� ��Q�� ��" W�)�4���� ������ �� K��)������� ������ b9cA �)�� ��� #��hP %ij M 0 M b9kcAj M →b9cA↓kMij � " X������ ��� ���� �� )� ��� O ��I)�N��� H ��7 ��4��� � ��� �� � G��H-�� ���Q��H g � � ��I��� ������ �� )�������� ����I���� ��" ^� �� ��I��7 � � ��N� K��)����� H �������-� �� � ��Q���� � ���H�J� ����� �� ��� �) R�S" 2���� � �� )� ��� O ���N��� H ��� ��� I��� I7 ���� )� ������� ������ ��������)" /��)� ���� ���G����)� �����)� H )��J G�I������� � ��� ��G�7 � � �������)�" $�����J� )� ��J �� ����K�� ��������J �� ����!" '� ��� ����K� O ���������� ��7 ������ � ���)�� �)� �� �������)�� ��H���� ���7 ����������� � �� ��� ����� �������� � ������� �-������ �������� � �� �-������ �������� � �� ������� ������� � ���� ����������� ���� ������������� � ����� � � ������ �������� � ������� � �������� � � ������� � \��" �" ^� ��J �� ����K�� \��" �" (������ �I�� ������ ����)���J� '/ �� ����7 �����������J� �����N���< ' O ��I)�Q���� ��� d:e � � (^^]g � O ���� �����7��4��� �� ����K� g � O ���� ����� ������ ��������g � O ��)�4����� �������� � ��)�QH ������� ��4�g � O �������� N����� ��� ��������g � O ��I)�Q���� �� � ��� ��� ���� ���g / O N��7 ��� ��� ��������g � O �������� _=cAb9 G0 d:e� _=cAb9 (����N�� %_=`0 �0 (^^] d:e� _=cAb9 (����N�� %_=`0 �0 _=cAb9 (����N�� %_=`0 �0 _=cAb9 (����N�� %_=`0 �0 _=cAb9 (����N�� %_=`0 �0 _=cAb9 (����N�� %_=`0 P ��� ��� ���� ��� I0 P ��� ��� ���� ��� N0 _=cAb9 P ��� ��� ���� ��� _=` _=���McA����b9 _=` ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� � ���� ���� ���������������� �I���� �� '/ Rl� !S" U � )� �� ��� �� � �������7 ������� ������ ��� K� ���I�� � �� ���) K� ���� G��N��� ��H ��K���� ���� �G��� �" $������� ����7 � � �� K� ��� ����K�� O ��K���������� ������4�7 ��� ��I)���� ����� ��� ���)J ��I)��� ���)�� � R��S" 1)��H-���� ����� ��� ���)J �G����4���� � �)��H7 -����) ����J ����J ��������� Q��� �I��4��� " * �������) ���-��) �����HI������H �I��4���� � ���7 ��� ����J ��l �) %� � �������� ����4��� ��I����� �� ����K�� �� ������ ���G����� ��H ��K���� �0� � ��� � Q�� ���) O ��� �) R��S %�����)�� ��H ��7 K���� ��� �� ����K� 0� ��� � �) ����� �� ���)� ��� ��� � #� �)" 1)��H-� ����� ����J ��I��� �� ��� �)� ��I��7 G� 4��� � ��������H � �)� 4 � �I��4���� ��� ����7 ��4� � �� �4���� � K� ���I�� � �����Q�� � ����7 N� Q�� ������ � ���I�)�" �� �� ������ � �� ���7 G��)J GJ�� ��-��� ��� � ��� ������ � �� ���� ��4 ��I��� �� �����Q�� � " * ��I��H � � � I�����)�7 � � � �JG������ ����J ������4� ��I����� ��� ��7 �J� )� ��� �� ����K��< �����)�� ��H ��K���� ��� �� ����K� � �))�������� �� ����K� " (�� ��I��G� �� )� ��� �����)��� ��H ��K����7 ���� �� ����K�� ��� �)� ���I� �� ��J� �����Q��� �I��4����� I�)����� ��� �)�� I����� R��S" $ ��N�7 Q�� ����J �� ��N���� I������ ��� �� �I ������H7 ��� ��� ��� ����� %��Ol� R��S0 )���G����a���)7 �� ��� G���a�������� ��Q���� � ������H�� � �)�� ��N�J�" $������� ������� ��G� J ����< ��I���J� ��4 ������� � � ���I)������ �� �4���� 4���I I������ �� )����� � �� ���� ������� �I�G��N���� ������� �������� '/ �� ��� �)� I����� ������������ ��7 ��� O � ��� ������� )������� �� �)��H-�� � " Y� �) �I�G��N���� ��� ���� ����� ������������7 ����� ������ % ����"0 R��S" * ��� � Q�� ���) �����)�� ��H ��K���� ��� �� ����K� O ���G���� ������� ���J� )� �� �� �I7 �� ������ '/ ������I)����� ������H�� ��I)�� ���7 )�� � � #� �) O �� ������ R�S" /��)� ���� ��� ��4�7 �� ���)�� H� � ����I���� �� )��������������� �� ��������H�J� ��)�H ���� K��)�� _=m>;� 4 � �����4� I� ��G�� ���H���-�� �� ��I�� �� �� ��� ����7 � ���� ���-������� �� ������" Y�)� �J� ����� � �� � ��� )� ��� O ���N��� H �I�� ������ ��)�� �� ������� 4 � �� I��� � ����7 � H ����I���� �� ����� ��� Q�� ��� �)J I�����" $��GJ� ��G����� ����V �� � � )����) O ��� �� ���N�J �����N� H ��K�� J" &� �������� ���G��7 ��)J ��� �)J ��� ��� � ������N��� Q�� �����) ��� � �4�� �J����� � �����" (�� ��I��G� �� �))��������� �� ����K�� GJ�� ��-��� � ��I� H� � ��G� J � ������ ����J �����7 ���� Q��� �I��4��� ��� �) � �� ����� H� �� ���7 �� ����J �!M �) O � � �) ���4�� �� ��G�� � )�7 � H ��� �)� ���I �� I������� ����I���� �� �� ��J� ��� � �4�� ���N��" $������� ���� ��I��G� 4��� ���7 ���� �� ������ � �� ���� ��������� GJ �����������7 ���� �������� �� �H ���������) \��� R�MS� ������7 � Q�) )���)��H�J� ��I)��J ���)�� �� ����4��7 )��� ��������������)< 1 , k W NA λ = ����) �G��I�)� ��� �����4���� I��4��� 01 �)��H-�� � )���)��H�J� ��I)�� ����������)��� ���)�� �" &���� �I � ��� � ��4�� �� ����J �������7 ������ GJ�� �I � ����� �� ��� ��� ��G��H-�� ���7 � � �� � � �� �4���� �I��4��� �� ��I�� � ��� ��7 I��4� ��H��� I� ������" �� ���J 2n��M�! %�� ��I���� 2n�0" (�� 3 � n����� λn�!M �)� A:=αn��!M ����4�) )���)��H�J� ��I)�� ���)�� �< 0,25 193 39 �! 1,329 0,93 W ⋅= = ⋅ P��)� �� ������ �� �))��������� �� ����K�� �I�G��N��� �� ����# R�MS" (��� ��� � ��I�� �)� � ��N� ��� �)� ���I� ��)�Q� � � �������H�� �)7 ��� H� ���������� �����" (���� ���)������) ���� �4�Q� � ��N��� ��H�J� ��IJ�H��� ���)���� ��7 ��� 3 � O λ O 01 O 01�n 2 O α O K�� �� ��I��-� Q�� �����G��� �g ����� ����J ��������� Q��� �I��4��� g 4������ ���� ���� =oA:=αg ����I� ��H �����)���� ����J ������������� g ���� ������ � ���I" � � M � \��" �" P��)� �� ������ �� �))��������� �� ����K��< 4 O ����g 5 O �I��4���� j>p>7��I���g 6 O �����N��g 7 O )���7 ��I)� ���Q� Q�� ��������� � �����N��� � � M � � \��" M" P��)� �� ������ �� �����)��� ��H ��K���� �7 ��� �� ����K��< 4 O ���������������� ��.���g 5 O I������g 6 O -�G���g 7 O ���������g 8 O ���I)� �l ��������� � ���� ���� ���������������� ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � I��� ����4�� �� ��J� )�N� ������ � � ����N��� ) ����������)��� �������" \��� � ��� � ��� �)J ���I �� ��I�� � ���N�� GJ H �� # ))� ���� �����Q���� ����� ��������� Q��� ��4� G��� )���� �q" &����� � �� ������ �����HI� �� ��K������ ���� ��4��� G������� 4�)� � � )� �� ����4�� �Q� ���� ��I��7 ��� O �� ��K���������� �� ����K� R��� ��S" P�Q�� ����J� ����� � �� )� ��� O �����4��� I��4���� ��I)��� ���)�� � %M! �)0� �� ���� ��� ���7 � � ��H�� ��� ������� ���)����� ���J" * ���4�� �������� �� �������� � �����HI������) �������7 �� Q��� �I��4��� � ������ ����J ��� �) ����� ����� ��� � ���IJ� �� ���� � �� ������4� �I��4�7 �� � ��I�� �" �� ���H���-��� ��I�� � � �� ����7 ����� ���G����) ����� ������� ��Q�� �� ��� ���� ��G���� � ����� ��� �� ��J� �� ����������� GJ �����Q���� ��I������ �I��4��� � ������ ����J ��� �)" * ��� � Q�� ���) � � �������� ���)�� 7 � � � �������)�� ��H��) ����I���� �� '/ R�#S" �����) -����� ������� ������J) )� ���) � �������)�� ��H��) ����I���� �� '/ � ��� ���� ���7 ��7��4��� �� ����K� %���0 R�� #S" 1� ������ �� U,, �����N� �����)����)� ������� � �� �4��7 ��) ���� ������ ��� �)�� ����� Q�� ���� ������ )���� �J)� ���I�)�� � ��N� ��� �)� ����������� ���� ������� ��4� �� ��������� � ����������)�� �����N��" P�� �)J K��)������� ���� ������� ��4� �G����4��� ��I����� �� ��� ���� ����� � ������7 �� ��O��� ��*� �K�������������� � � �� ��I)�7 ��) �O��� �)" ,�4 �������� �� ��������� � ��7 ��J �� ��I�� �) �����N��" P ��)�QH ���� ��� �7 �4����� ��� �)J I������� ��4�� ������ �)�� ��)7 �H ���J) ������ ���) �I�G��N��� � �����������7 ��� ��������� � ��I�� � ����I���� � �JG���4�� � ��� �� � ��� � ��G��)�� ���)� ���� ��I�����)J� ���)�� ��" * ��4�� �� ��I�� � ���G���� 4�� � �����H7 I� (^^]" �� ������ )� ����� �����HI�� � � ���� ���7 ���� �� ��J� ����4�� ��I����� �I�J���� �� ����7 K�� %;:rm7@rr LE@s>AA0 R�S" 2� � ��� ����� ���� )���� ������ ��I�� � ���������� � I� ���� ������ ���� 7 ������� ��4�� ����� 4��� ��� �� � � � ��� �� � ��7 Q�� ��)�4����� ������ ��" Y� �) ����I��� ���N7 ����� ������ )� ����" (�� � �) � �)J � )������J )� ���� ���N�J ��� ��� H � ��������� � �����N�� � ����������� ���) ����������� O 4 �GJ ������ )� ���� K��)��������H ��H�� �� �����N�� � ����� ��I�� ����� )���� � �� ��������� � ��I�� �" (����7 ������J� ���) �G��I�) � ��� ��J �������� ��7 )�4����� �G��G� �� � �� ����) ������4����) ��� ��7 �� ���" $� ��-� � ������ )� ���� �� �����N�� ��7 � �� � ������� �������������J� �G��� ��" $�����J) ����N��� Q�) K�� ���) ���)����� U,, �� �I�� ������ '/ � ������ � )�������� ���7 �I���� �� �� �� � ���J���� ������ H �G��G� �� ���7 ��N�� G��H-��� ���)� ��" P ������ � ����J� � � ��7 ������ �N� -����� ���)�� � � � �������)�� ��H7 ��) ����I���� �� '/� 4 � ��� ��I)�N��� H ��� �7 �4�� ����� ������ H �� � )������� ����I���� ��" \�I�� ��) U,, � ��� �����7��4��� �� ����K� " (��)������ � ��� )� ��� ��N� ��I)�N�� �� ���7 ����)�� ��H���� �I�� ������ '/ � ��G��� ���J� ������ � G������� �J����� ��I��-� Q�� �����G7 ��� � O �� ��O�� �) R��S" $�����J) � ��4��) � ��� )� ��� � U,, �� � � ���)������ �� ��� ����� �)�� � �� ��� ���� �����" $ � �� ����� � ��G�7 ���� � ������ �� ���� ��������� ����J) ��4��)� 4 � ���J-�� � ��)�� H ��)�� �� ������" /��)� ���� ������� ��������� ��H���� ������������� ����J) ��4�) �� �� � ���-��) )������J)� 4 � ��N� I� ���� � ��������� �����7��4���� �� ����7 K�� � )������� ����I���� �� '/" c�H ���� ���J� )� �� �I�� ������ ����� ���7 �� O ������4� H R�lS" U � )� �� �����HI�7 � ���J� ������J � �I�� ������� '/ O 4�����H�� ��4� H � ������� � ���)������) - �)��� �� ����7 ���� �������" t�����H�� ��4� H %���� �������� R�lS� )�������7 �� �� ��4� H0 ��� �� � ��������� 4����� �� ���7 ��N�� ��� ��)�Q� ���� �4���� - �)��" 2������7 �J� 4������ �G��I� ��)����� ��4���� )���)�7 ����� ��� ������� �� ��� �����HI�� � � ��4�� �� -�G���� ��� ���H���-�) ��������" u �)� �I�� ��7 ���� �I ������)� ������������� 4������ O �I �7 ��� ��� ��� ����I����J� R�S" ^� �� 4�����H��� ��4� � �)�� � � ���N��� ��" *�7����J�� ��� )������� ��) �����HI������ ����7 �4�J� - �)�J )��� ��I��4� ��H�� �I)�� H ���� ��I)��J� � N� ��������� � ��� �I)������ �)��7 �� ��J ����N� Q�� ����J" * �� I� � � �) �����7 �� � �)�� � ����-���� ���� �4���� - �)�� �����H7 I��� H ���� ���� �4�� ������� ��������� �� ����J� - �)�" *�7� ��J�� ��� ��� �� � - �)�� � �����N��� ��������� ��KK�I������ ��I)J �� ��7 ������ �� ���� ��� � �4�� ���N�� ������ ���� � " *7 �� H��� ������H�� ������ ������ � �� ���H - �)�� ��� 4� � G����J� � ����� � �G��I�� � ��7 �� ��� v-������� �� Hw �� ��� � �N� � ��4� ����7 �� �������� � �� ��� �N��� �4��� � ���)�� �� ��7 ����� ���G����)� ������� ��H��� ��������" 1��I���J� ����� � �� ��I��� � �������� H �Q� ���� ��I�������� H ��4� � O ��4� H � ����������7 �����)" $�����J) � ��4��) �� �� � � ��������� 4����� �� ����I�� ��H�J� %������� J� ��� ���Q��7 �J�0 ������� � ������� - �)��� �� �� �� G����J� � ����" * � �) ���4�� -������� �� H ��� ��� � )�7 ��� �O�� �)� 4 � ������ ����� �)� �� )����� K�7 ���J� � ��� �� R�lS" &��� ������ �����HI�� � � �������" P��4��� �����N��� ����J � ��I�� �)� ������� �� �)��7 �� ��J ��I) �4��� " Y� �) ����J� - �)� � ���G��7 ��)J) �������) ��� ��������) ����� ��� �� � ��7 Q�� ������� ����G����� � ��I�� ����� ������" (�� � �) - �)� ����J�� �������H�J) ����������)� 4 �GJ �� �� ������ � ����)���" $� � �� ��I�� � �J7 )J�� ��� ��)�4����) �������� ��� �������� ����������� ���I)��" * ��4�� �� ��I�� ����� ����7 �� �����HI� ��)����� �4����� ����)��J� I�4��7 � (^^]" Y�)� �� ����)�Q�� �� � �� �����J )� ���� �� �I�� ������ '/ O �� ���G� �� � )������) ����I7 ���� ��" $����� ��� ��G� ���)����� - �)��� � �J����� ��I��-� Q�� �����G��� H � �� ��J�� � ��� �4����H� �I�� ������ � )� ���) U,, R�lS" ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �! ��������� � ���� ���� ���������������� �� �I�� ������ '/ 4�� � �����HI�� � )�7 ����� ��� �������� � ��������� �� ��)�7 �G����� � ���)������ ������� Q�� I����� ��� )��7 �������� R�!S" P��4��� ���)����� �����N�� ���7 ������ �������� R�� �" MMS ��������) � ��� ���� ���������� ����� J" Y� �) K��)��� ����������7 ���� ������ )���)������ ���� ��Q��J O ���) �G��I�)� 4 �GJ ���� ����� )������ I������ �� �� �����N��� � ������ �G��I��J��� ���� ��������� H" U � ������ �G��G� J�� )� ���) ������� Q�� I��7 ��� ��� ��� ��)�Q� � �)���� �������� )�������7 ��" * ���H���-�) �� ����4���J� ������� I������ 7 4�� ��J ������� � �J��-��� � I� �) I������ 7 4�� ��J ����� " ̂ � ����I�������� ������ ���7 N� -�G����) �� ���H���-��� ������� " \���)� ��) �� ��H��� �G��G� �� ������ )� ���) �� ����K�� ������� Q�)� I����)�" $�����J� ����7 ���J � ��� )� ��� �����J � U,," * ��4�� �� ��I�� � �����HI�� � (^^]" \������ ���������� � �� �7 ��) ��I�������� �4����� ���� ������ ���Q�� �I �7 4�4���� I���� %��I�������� �4����� ���� ���J �� �� ����� �� �� �����N�� � �� �������� � �7 ��4�J� ���� �����0" *� ���) �����N���� I���� ���� � ��� )�N�� ��) � �����N��� �� �� � ��� �7 ��J)� �� �I)�� � � ��N� � �� �� ���� �����" /��7 )� ���� I���J �����HI� �� )�����4������ K��7 )������� � ��� �� � ������ ��I�� � ��� �� �����7 �� )� ������ ���������)" (���� ������������� ��I�� � � ���)������) I���� ���G����)� ������� 7 Q�� ��� ������ � ��������" (�����H�� ������� �������� ������� � ���)�7 �����) ������ I���� ��� � �4�� )������J�� � ���7 )�� �������H�J� �������� � �� ��J� �GV������J ������H�� I�����" �� ����)��)�� ������ � ����7 ���� ������� ����4�� �� I����� � ����� ������� ���N�� ��� ��� H ���O��# R�� �" M�S� ���4�) ���G7 ����)� I����� H ����N���� ��N���� �I ��� � ����7 ��H�� �����N��" &����� �)�� � I����� ���)�� � �)�J� ����7 ��� )��������� �� ��J� ��I��� � ����)�Q� H � 7 ���H�J� � �)J� " �" �IG�N� H �����-��� �� ��� ��7 I����� ����� ��� ��� ������H�� ������� '/ K��7 )���� � �� � �)����) ������" �� ���)���J� '/ ��I��G� ��J ����� Q�� �� ������J� )� ����� R��S" (���J� ������ ��� �� � ��������) ����I���� ��� ��� �� ���) � 7 ���H�J� ����)���J� '/ ����4� ��� ��)�Q� �GJ47 �J� ��������� �� ����K�� � ������� � � �� �) �� ������ ���) �G��I�)� 4 �GJ ����4� H ���G����7 )� ���)���� � ��� ���" * ���� ������ ����������� ���)������ )� ��� ���������H��� ��)��G����� ��� �� ���) )����H��� ������ ��4����� �K��J� �������N���J� � N����� �� G������� ��������� �J) ����) ��������� � � ��� ������������)� �������� ���������)� ���� ��7 ��" U � ���� ���J )��� GJ H I�������J ��Q�� ��) � �J����) ���KK����� �) �����)���� " *�� ����� ��Q�� �� �������4��H�J� �K��J ��� ��� � � 4 �7 GJ �K��)����� H ���� ���J� ����G�J� �����)� � ���7 ��� 'YY" ��� �� ������ ��� �� � ���)������ �������K�7 4����� �� ����K��� �� ��� �� � � ��I�� ��) �)7 )���������" T������� �� ��K������� 4� J��� ��7 I���J� ��4�� �� ��� �4��� �� ��H��) ����)��� ��7 ��4�� � ���G����)J� �������" (���J� )� �� ����I)�N�� �����HI��� H �� ��7 ����I)���J� '/� ������H�� �����-��� H ��� �GV�7 ������� ������H��� ����� � ��I)���)� ���)�� �� ������� ��� ��� � ���G��I� ��H�� ��� �)" * ���� � �� �� )� ��J -����� ���)�� � ��� �I�� ��7 ����� ���)���J� '/" &� ����)�Q�� �� ��� �� � ��I)�N��� � ����4��� ����4���� ��I��H � � I� ��7 G��H-�� ���)�N� �� ���)��� R��� ��S" * ��4�� �� ��H ���� ������ )� ��� -������ ��I7 �� �� ����4��� � ������ ����K� " U � ����� ����J� )� ��� ��I��� Q�� ����� ����� H � �I�� ������ H ���)���J� '/7� ��� ��J � �����) ����� R��S" P��7 4��� )����H ����� ��� �� ��)�H ���" Y� �) ���7 �J� � )����� ������ �� ��I���� �� ������� �� �7 �� G��� K��)����� H ��)� �� ���� ��" (�� ��)�H7 ����) ����� �������� � )����H ���� �������H7 �J� ����G����� �� ��J� ���I���J ����� ���Q� H ���7 ��������� )����� � ���N�J� �4�� ���� � �G���I�7 ���� H �J� ��J� �� �J� ��� � � ��� H I��� ���� � ��� K��)J� �� �� ���� G��� ������ H� I��� ���� �� ���) ��� �I�" T������� ����G����) )�N�� ��N� ��� �I����� H ���N�J� )����� �� 4�� )" ]����� ) ��� �I� )����� �I�G��N�� �� ����$" "���#�� ����� ������� ���$-�� ��� � "������������ �%������� ��� ����� ���������������� ���� �� ���� &���� �������'����������������������� ������������������(���� )����� ������� ���$� ������� �� �������������� ������� *������������+ ��� ,� ������ -� �# ,����� ���� ���.���� ���� ����+ ,� ��� "�� ��������������%�������/������ ��� ����������� \��" �" ]����� ) � ������ ����K�4������ ��� �I� )����� �� ��������� � ���� ���� ���������������� ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � Y��� ���� %K� �4��� �� ��H�J� ����)��0 �����7 N� � �������H�� ����� � ������)���I��������� N����� H " 1�H ��K���� ��J� ��I�� �J4��4���� ������ ��4����" * �) )�� �� ��� ��I���J� ��4 ��7 ��� ��� ����)���)� ��������� � �������� %����7 ���H�� ��� ��I��� 0 )� ������" (���� � ��� I���7 ���� ������ � ���H�K �� ��������� � I����� � � ������)���I��������� N����� H " 2������� Q�� �� ���� �� ���� � �I��-�� N������ ����)���� � ��7 I���J� ��4 �J4��4���� ���J� ����" (���� ���� ��� )����H G��� ������ H �K��)�������� �� �����)�7 ��� ������) N����� �� �I��-�� N����� � � ���7 " Y� �) )����H ��)�Q�� � � ��4H �� �������7 ��H���� � ���N���� ����)��� % �)���� ��� ���hP0" *� ���) �������� )�N� �I)��� H� �GV�) N����7 � � O �I7I� ������ ����)���� ��� �)� ������H N��7 ��� � ������ ���� � " T������� � ������ ����K�� )�N�� K��)����� H ���)���J� '/� � 4�� ��� � )���������J� � ��� �7 �J % ����%0 R��S" /��)� ���� �����)���J� �� ����7 �� ��I��� �� ��� H ������J� )� ����� � ��)�7 QH � ����� �J� ������))�J� ���� ��� �����)�� cFm@i9x" / ������J) ����� � ��) )� ��� ������ � ��� � �J���� ����4��� H ����)��� � ����� � �� 4�� 7 �� ����J� ��� ��H��� H ��� �G��G� �� %�# � G���� 4����0� �J���� � ��)�� H )� ������� �� ������ � �G���N����� �� ������" / ����� � ��) )�N�� � 7 ��� � ��N� ���G����)�� H ����G����� �� ��J� ��7 ��� ��� �I� )����� ��N�� ���� H )�����4����) ���7 ��G�)" �&'()& * ��� � Q�� ���) ��������� K� ���J� ���� ��7 ��� ���������I��� � ����I���� �� ��� ����K� ��7 �J� &^P� �� � � ���H�J� �� ���� � �� ������ '/� I� ������� �J����)� ��G����� )� � �4��� � �J7 ������� ���)�� ��� ������H�� �N� ��I��4� ��H�J� �����-��� � ����-� ������ K��)������� I�7 ���Q���J� I��" / ����N��� Q�) K�� ���) � ��7 � � ��N� ���N�J� ������ �I�� ������ � �� �7 ������ ��J �J� �� ���� �� �J���� � ��)�� H ���7 ����)�� �� � ��� ��H��� H ��������" �� �I�� ������ ����)���J� '/ � �� ���� � �� �� ������ )�N�� ���)��� H � ����� �� ������7 �� � �������� � R�S" (�� � �) �� )�������� ���7 �I���� �� �� ���� �� � �� ��J� �� ���G����)�� � ��G� �� H ������H�� �J���� �4��� H� )�N�� ���7 )�� H � ��4�� �� ��� ����� ��� �I ��I���� K�IJ � �����HI������) ^$P" +��� ��G�� � �J���� �47 ��� H� � ���G����)� ���)�� H )������ ���7��4��7 �� ��� ���� " * ��4�� �� �� ����K�� ���G���� ���7 ���� ���� �����)�� ��H ��K���� ��� �� ����K� � ��I��� Q� ����4� H ����� �� ���)� ��I)��� ���7 )�� � )���� #� �)" ���N� )�N� �����HI��� H� �)7 )�������� �� ����K� O ��� �������� 4 � ���� � ����G�� H N����� H� � �� ���� �� ��K����� Q�� ��4� �� G��� �������� H� " / �)� N� � � ������7 ��� �N� ������J � ����I���� �� ��������������7 �J� &^P" P����� � ������� �)� H � ����� 4 � � � ��7 ������� �� ��� � �� ����I���� �� ���)���J� '/7 �� ���� � � ������ K� ����� I����Q����� I����" T���� �KK�� ����� O � �4�� I���� ��� �4���7 �� �� � ������ � ����I���� ��� O �� � � )���7 ��� ��� �������� � �� ��� ������� � �� ���7 )���J� '/" $����� )� �� �� � � ���)�I���)� � ���� �� ������� �� ��� �������� � )������� ���7 �I���� ��" ]�H ���� ���J) )� ���) ����I���� �� ���)���J� '/ )�N� � � H � ������ ����K� � �� �7 �� �N� ����-�� ���)�� � � � )�����������) ���7 �I���� ��" (��)J-������ �������� '/7�� ���� � �������7 ��I��� ��G�� Q� ��H��� K�I���7 ����4������ ���7 � ��� ����7 ��������4����� � ������I�������7���7 ��)�4����� ����� ���� ����I���� ��" /��)� ���� ��G�� � ��N� I��4� ��H�� G��H-�� ����4�� �� ��I7 ��G� ���J� �� ���� � �� ������ '/ ���������I���" &P($,yY$*]22[+ &P�$t2&/& �" z{@8LA@= b" c= _=m>; L>EAL>sm:|> @= A:;:s@= =9=@>;>smE@=:s aa z>s{=@;@}~ 9=x f9=Fr9smFE:=} bE@FL� _=m>;"O ����" �" 2���� +" ]" 1� ���� �� �� ������ K� ���J� ���� ����� aa ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���"O ����"O � M"O P" �lO��" M" �F8@= "̀� �@}9>EmA �"� �9= i98L>={@Fm �" >m 9;" �@�7;@AA L{@m@=:s �:E>A 9=x s@8L9sm E:=} E>A@=9m@EA := A:;:s@=7@=7:=AF;9m@E aa `E@s>>x:=}A d~8L@A:F8 _666a�6ed"O �>=>;FD i{9Lm>E"O ���M"O "̀ �Ol" �" ��� ���� ]" ^" �J�4� J� ��������J aa 1����� K�I�4�7 ���� ����"O ����"O �" ���� � ��"O P" ���MO����" �" c;|9E9x@7�@xE:}F>� _" �9CE:s9m:@= @r m�@7x:8>=A:@=9; L{@m@=:s sE~Am9; A:=};>7x>r>sm s9|:m:>A 9=x m{>:E s{9E9sm>E:�9m:@= C~ >;9Am:s As9mm>E:=} aa c x:AA>Em9m:@= � �@sm@E @r `{:;@A@L{~ := 6;>smE:s9; 6=}:=>>E:=}"O �@A c=}>;>A� �=:|>EA:m~ @r i9;:r@E=:9"O ���M" #" �@=�ar f"� �@;; z"� �F�kovic �"� ds{>E>E c" �>A:}= 9=x r9CE:s9m:@= @r A:;:s@= L{@m@=:s sE~Am9; @Lm:s9; �9|>}F:x>A aa �@FE=9; @r �:}{m�9|> z>s{=@;@}~"O ����"O �@;" �l� p ��"O "̀ ����O����" �" 2������� ������" * M 4" t" �" 2��� �������� aa *" +" T��������� ]" &" *���GH���"O ^�"< TX1&\� ���M" l" i9Em>E7i@89= i"� �E@�= c" d"� �:s?=>;;7z9AA:FA �" >m 9;" dmE9:=7 8@xF;9m>x >L:m9D~< 8@x:r:s9m:@= @r }E@�m{ ?:=>m:sA |:9 L9mm>E=>x� s@8L;:9=m AFCAmE9m>A aa �" �9s" ds:" z>s{=@;"O �!!#"O �@;" � ��%M0"O "̀ ����O����" !" d8:m{ j" c"� �>C>Em f"� dm>E=C>E} e" �>A:}= :=rE9E>x r:;m>EA FA:=} Am9s?>x 8>m9; ;9mm:s>A aa cLL;" `{~A" �>mm"O ���M"O �@; l�� p ��"O "̀ M#��OM#��" ��" \J���� +" ]"� /�����.� T" X" P�G)������J� �� �����H7 �J� ���)J< ���)�� �� G�I� � ����� ��������"O ��������< �\�1� ����" ��" �@E@x@|A?~ �"� ds{>=?>E �"� c;;>= b" >m 9;" �:m{@}E9L{~ AmE9m>}~ r@E #� =8 =@x> aa {mmL<aa9LLA":=m>;"s@8 ��" 6DmE>8> F;mE9|:@;>m ;:m{@}E9L{~" _89}:=} m{> �FmFE> aa 6��� `E@}E>AA �>L@Em d�z�"O �!!!"O "̀ �O!" �M" `9E? �" j" z{> :=m>E9sm:@= @r F;mE97LFE> �9m>E 9=x L{@m@E>A:Am := �!M =8 :88>EA:@= ;:m{@}E9L{~aa ��=x c==F9; f:sE@>;>smE@=:s 6=}:=>>E:=} i@=r>E>=s>"O ����"O "̀ M�OM!" \��" #" (��)��J ���)���J� K� ���J� ���� ����� ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� � ���� ���� ���������������� ��" i9Em>E �" f"� �;>8:=} �" i"� d9|9A z" c" >m 9;" _=m>Er>E>=s> ;:m{@}E9L{~ aa fz� c==F9; �>L@Em"O ���M"O "̀ �l#O�ll" ��" �EF>s?" d" �" �" eLm:s9; 9=x :=m>Er>E@8>mE:s ;:m{@}E9L{~ O =9=@m>s{=@;@}~ >=9C;>A aa`E@s>>x:=} @r m{> _666"O ����"O �@;" !M� p ��"O "̀ ����O����" �#" �:|:;:9=A?~ _"� f9~>E z{" d"� j@;;:x9~ �" d" >m 9;" �9CE:s9m:@= @r m{E>>7x:8>=A:@=9; L@;~8>E L{@m@=:s sE~Am9; AmEFsmFE>A FA:=} A:=};> x:rrE9sm:@= >;>8>=m :=m>Er>E>=s> ;:m{@}E9L{~ aa cLL;" `{~A" �>mm"O ���M"O �@; l�� p ��"O "̀ �##�O�##!" ��" *��G����� *" X" &���J� ���� ��������� � ���� ����7 ��"O /"< ^( ,�� � ����" �l" �@}>EA �" c" `{@m@=:s 9LL;:s9m:@=A @r LE:=m>x 9=x 8@;x>x =9=@AmEFsmFE>Aaa �>??>E 6=s~s;@L>x:9 @r p9=@As:>=s> 9=x p9=@7 m>s{=@;@}~"O ����"O "̀ �l#!O�l�l" �!" �E~9=m b" �"� d{:E;>~ 6" �"� b@;x=>E �" d" z{>@E~ @r LE@C:=} 9 L{@m@=:s sE~Am9; �:m{ mE9=A8:AA:@= =>9E7r:>;x @Lm:s9; 8:sE@As@L~ aa `{~A:s9; �>|:>� �"O �!!l"O �@;" �l� p �" ��" �@{=A@= d" b"� �@9==@L@F;@A �" �" _=mE@xFsm:@= m@ L{@m@=:s sE~Am9;A< �;@s{�A m{>@E>8� C9=x x:9}E98A 9=x }9LA %CFm =@ x>r>smA0 aa f_z"O ���M" ��" f>:A>; �" i"� �>}>=>E f"� �FAs{ �" z{E>>7x:8>=A:@=9; sE~Am9;A C~ {@;@}E9L{:s ;:m{@}E9Lm{~ FA:=} m{> F8CE>;;9 s@=r:}FE9m:@=< A~88>mE:>A 9=x s@8L;>m> L{@m@=:s C9=x }9LA aa `{~A:s9; �>|:>�"O ����"O �@;" � ��"O "̀ �#����7�O�#����7��" ��" �>:=:=} f"� f>}>=A f"� dm>:={9Exm "̀ �" >m 9;" 6DL>E:8>=m9; 8>9AFE>8>=m @r m{> L{@m@=:s LE@L>Em:>A @r :s@A9{>xE9; �F9A:sE~Am9;A aa p9mFE>"O ����"O �@;" �M#� _AAF> ���M"O "̀ !!MO!!#" �� ������������������ �*+,-�.,�.(/0* */1�� *.1�2��� 9����!��� )�'%��%'��'���':����#$�)������� �� &�&��� *.1�2� !� ;)��<�&%��� �� �)��%�(= �%�����#�� )����( �#��� &�&���# *.1�2� "� ���:�&&#� ������� ���!� )�������>� �����# �� &)�&��#� �$� %����� ! *.1�2� #��9����!� �� )���%�����'���� �'��)�������� � &�&���� ��������!� ��$'��<�&%�$� �� �<�� �� �'��)�����?���* ^���� ��� �� �G��I����� � ����� 1�����J 2�������H�J� ����4����� �������� � 1�����J v/������� ���� ����4����� ��� � � w %(��G���� ��� ��H�J� K����H � 0 u�� � ���4��7 ����4���� ���K������ 3 ������ �������4� � ��5������ �� ������6 ��O�� ����� ���� �" �" /���� 1������ \�G�4�� IJ�� ���K������� O ����������� ������� 14��J� ����� ��H �" \" /��4�� ��"< %���0 ���7l#7�� >789:;< ?;@ms{?@BLAr"=mF7?L:"?:>|"F9 ����������� � � � � � ��� � � � � �������� �� ���� ��������������������������������� ��� ��������� �������������������� ���������� ��� �������� �����!""# ��$#"�% ����������� ���� ������ ���������������� ������ � � ���������� ���������� ��� �� ����� � ��������� � ����� ������������������� ������� �����!������"�������� ��� �� ����������������������!��� �� � � ���� ����" ��� � �����#�����$�� �� � ���� ��� �� ������ � ������ ������������������ ���� ������������ ��������������� �� �� %� ������� � � �&����� � '��� ������������ �������������� �� ����#�������� ���� " ������� ����� ���� ���� ����� ���������!������������������� ��� &�� �!��#��& �� ��������# � �!����#��" ������� �� ��� �����'���� ����� ����������� ��������!���� ������� � � � ����'����!�&� ��" � ������� ����������� ����'�� ������� �� � � ������#��������� �� �������� � ������� �� �(()������ *.1�2� $� ��' ���<�&%��� �� =%� ���<�&%��� )������( &������� *.1�2�%� �������:��&%���)������&������������$�� ���� *.1�2� 7� ���'��+,'@?�*� %����� A>���$��<�&%'!� � ����:��&%'!� ��'���&��%' *.1�2�8� ������#��� &�&���#� +<��'� �'&$��'� =�����( ��&��� �* *.1�2� 9� ��"���':����#����$�� �������)������(>��'( ,���&�����������'��(>���%��)���%�����'��� *.1�2��:� BCDEF-G� E2HDIJKL2DH� -2M� HNHDLKH
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52649
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 2225-5818
language Russian
last_indexed 2025-11-29T06:22:28Z
publishDate 2007
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
record_format dspace
spelling Березянский, Б.М.
2014-01-05T20:35:51Z
2014-01-05T20:35:51Z
2007
Технологии изготовления фотонных кристаллов / Б.М. Березянский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 1. — С. 45-51. — Бібліогр.: 22 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52649
Приведен обзор методов изготовления фотонных кристаллов для нанофотонных микросхем. Рассмотрены перспективы применения технологий в условиях промышленного производства таких устройств.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Технологические процессы и оборудование
Технологии изготовления фотонных кристаллов
Технології виготовлення фотонних кристалів
Technologies of the fabrication of photonic crystals
Article
published earlier
spellingShingle Технологии изготовления фотонных кристаллов
Березянский, Б.М.
Технологические процессы и оборудование
title Технологии изготовления фотонных кристаллов
title_alt Технології виготовлення фотонних кристалів
Technologies of the fabrication of photonic crystals
title_full Технологии изготовления фотонных кристаллов
title_fullStr Технологии изготовления фотонных кристаллов
title_full_unstemmed Технологии изготовления фотонных кристаллов
title_short Технологии изготовления фотонных кристаллов
title_sort технологии изготовления фотонных кристаллов
topic Технологические процессы и оборудование
topic_facet Технологические процессы и оборудование
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52649
work_keys_str_mv AT berezânskiibm tehnologiiizgotovleniâfotonnyhkristallov
AT berezânskiibm tehnologíívigotovlennâfotonnihkristalív
AT berezânskiibm technologiesofthefabricationofphotoniccrystals