Технологии изготовления фотонных кристаллов
Приведен обзор методов изготовления фотонных кристаллов для нанофотонных микросхем. Рассмотрены перспективы применения технологий в условиях промышленного производства таких устройств....
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Дата: | 2007 |
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2007
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52649 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Технологии изготовления фотонных кристаллов / Б.М. Березянский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 1. — С. 45-51. — Бібліогр.: 22 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1859623051705974784 |
|---|---|
| author | Березянский, Б.М. |
| author_facet | Березянский, Б.М. |
| citation_txt | Технологии изготовления фотонных кристаллов / Б.М. Березянский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 1. — С. 45-51. — Бібліогр.: 22 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Приведен обзор методов изготовления фотонных кристаллов для нанофотонных микросхем. Рассмотрены перспективы применения технологий в условиях промышленного производства таких устройств.
|
| first_indexed | 2025-11-29T06:22:28Z |
| format | Article |
| fulltext |
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
��
��������� �
����
����
����������������
��
�
���
������
�
�������
�!"��
���#
�"
$������
����������������� �
��
���
%&'(
�)"
*"
+"
,�-���.���
�"
/���0
�������� ��������
1�������
2�11
3/�������
����
����4�����
���
�
�
5
6789:;<
=>?@=@A9=B:=C@D"EF
��������� �������������� ������� ���!
"�����#$� %��&�' ��� � !� �'��"����(
�#$���%��&$���� '&&������#� )��&)�%(
���#�)��������!���$�� ���*� �� +& ���(
!$� )���#, ������� )�������&��'��'%�$
+&���*&���
*
���������
���)
��G� ���
�
�
��)�
��H���
��I��
��
��I���G��I�J�
��
����
�
���������
����7
��<
)�G��H�J�
���K��J�
��)�H
��J�
�
�)
4����
�
���
�
���J��
����)�����
8LM7������J
�
)�����
���7
���"
*�N���-��
����)�
�
����
��
����
�
O
���7
���
H
�G��G�
��
����J��
������� �)�
�����
���
���)��
)�������)"
P����)����
�����
��
���)��
������� Q�
)���)��H�J�
��I)��
���)��
��
�����
#�
�)�
�
�
�������
���
O
M�
�)
R�S"
P
������
�
���7
�J�
������
H
�����N����
�������
������4����
�
������
H
�������
������
����
�����"
/��)�
�
�7
���
� G��
��
����
��
���N��
��
��H��
������
��7
�
H
K���������H�J)
��G����� )�
��
�
GJ
H
��)7
���
�J)�
���G�J)
�
�����HI������"
P�Q��
������
���4-����
K���������H�J�
��I7
)�N���
��
�G����4����
�����
���������
��
����
��
��������J�
��
�������
�������
���
��J�
���
����7
�4�����
����"
P
���
���
�
��
��
����
�
����G��
���������
����
����4������
���
�)�
��
)�N��
��7
I��
H
����
��������G�J)�"
/
�
���
���)
�����
���
��������N�
K�
���J�
����
���J
%��0
��
���
�7
�J�
����
�
K�����J�
����
���J
��
����
�4�����"
'/
�G��I����
�������4����
4����� Q�)��
�G7
���
)�
�
��I��4� Q�)��
��
�4����)�
�����
��7
)�"
T�������
��I��4�
���KK�����
��
�
��N���
�
�����)����
�G���
��
K��)����
�
����
���������7
���
������������
�
�
�����J
4��
�
�
���
��
��J�
���
��J�
����J
��
)���
�������
���
H�
�
'/"
�����
�����J
4��
�
��IJ��
�
K�
���J)�
I����7
Q���J)�
I���)�
%���0"
'/
)���
GJ
H
����7�
����7
�
���)���J)�"
*
���
� Q��
���)
��
������
'/
��I��G�
���
G��H-��
4����
��
����
�<
)������������J�
������
K��H
�J�
)��H
��������J�
���
����J
R�S"
U
�
)���
GJ
H
���
�
���H�J�
��
����
���
��
�
������H��
��
����
��
�GV�������J�
�
����
����K�
����
��7
�����H��
)�������)�
%�����
0"
(��
�����
�7
�������
����
��
����
�
��
�������
��-�
�
K�7
I�4�����
I���4��
�
��-H
��G��H-��
���)����
���� 7
�
�
��-���
����
���
�����7
��������4�����
I�7
�+W2$,$X&&
&YX$�$*,+2&Z
'$�$22[W
/\&P�],,$*
��4"
(��
�)�
��
�����)����)
�
����
��� ��
�
�
���H7
�J)�
'/�
�������
��-H
�������)��
��H���
�I��
��7
�����
2'
&^P
�
���
������
RM�
�S"
(�����H��
��I)��J
������
���)��
�
2'
&^P
���N�J
���
��
�
����
H
�����)���J)
��G����� )
R�S�
�
���
K��)��������
'YY
���G����)�
�4��
H
��I����������
��G��H-��
�����-���
��"
$��
)���
������
�
�
I��4�
��H�J)
�I)����� )
I����Q������
��
�������
������
����J
�����I���
4��
�
�
)���
�����
H
��
�����������
K�
������
��
����
4
�
���7
���
��
����
��
����G�
������G�J)"
$
� ��
�����7
�J�����
��G�����
�
�I��
������
��
����
�
��
������
'/�
�
4��
���
��
���G����)��
H
������H����
�JG���
���������
�
)�
�����
����I����
��"
]��7
��I�
�
��
)�
����
�
���� Q���
���
� Q�
��G�
�"
������
��� �
�����
���������
��H���
H
����7
�������
���������
�I��
������
'/
R��
#S"
P�����7
��
R�S�
���4���
���G����)�
�����
���
H
���
�
��
���7
���� "
������
��
����
���
���
_=`a_=
���M
b9
����
cAa_=`
�J��Q���
��
_=`7�����N���
�����HI�
���
�I
��7
I����
K�IJ
��
������
)�
����������4�����
�����7
�����"
Y�
�)
���N��
d:e
�
�
����J��
������7
���
H
����)
����)�
��)�
������
�
%
���0"
(���7
��4���
��4����
���
J
�����
���N����
�
��������
����J
�
����I���
��
���"
��
-"
(����
�
���
��
������
(ffc
K��)����
�
����7
���
�
�����HI������)
����
�����7��4����
��
����7
K��
%���"
��
�0"
Y�
�)
�G��I��
��������
���)
��I7
��4�J)
��������)
������
������� "
(�����
���7
�����
�������
�������
�
(ffc
��
����
d:e
�
�
�
�7
���
��������
�������
���
���������������J)
����7
��)
%���"
��
��
�0"
$�
�
��
d:e
�
�����
�������
���7
�
N�����
�J)
��������)
�
�����HI������)
���7
�������
�����
J
%���"
��
�0"
�����
�G��I��
������7
��4���
�
��
��������
��
�
��� ���
����
���"
^�
�����
�����N��
_=`
�
����
_=b9cA
����
���7
)
���������
��H�J)�
��������)�
N�����
����
���7
���� �
���
����I���
��
���"
��
�.�"
1������
�
�
��������
)�N��
��I����
H
��
��
������J�
�
���<
���������
������
%���
���� 0�
��7
�������
�������
%��
����K� 0
�
��������"
2�
���7
��)
�
���
������� �
�
���
��
)�
�������
'/�
��
�
���)
O
���
�
���
����
��
��
H�)
����
�������
��
��J�
�����
�
���
��I��
�)"
/�N�J�
�I
�
��
�
�7
���
)�N�
�����
H
��
��I����������
�����-���
��
�
'/<
�0
����
��I��
�
)���
GJ
H
�������J
�������7
)����g
�0
��������
����4���J�
������
���
��
����7
�#
��������� �
����
����
����������������
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
K���
)�N�
�)�
H
��������
�g
M0
�����
�������
��
�
��
)�
������
)���
��I��
H
�
���
����
����N�7
Q�
�����������
�����N����
���
����
����J"
2�7
�G����)�
�4��
H
��I��-� Q�
�����G���
H
��
�7
���K���
���)
����I����
��
������
'/7��
����
��
�
��I)�N���
H
�I��
������
�������)����
������H7
���
��
����
�"
P
�4�
�)
�
��
�������
���G����)�
��
��H���
���7
�)�
�����
����
)�
����
����I����
��
'/
�
��I)�N7
���
H
�JG���
���G����
��
�)��H���
��
��)G���7
���
��
���
���
�����
���4� "
$�����J)�
)�
���)�
���
�����
��
�I��
��7
����
'/
��
�
)������ ���7��4����
���
����
%�
�0
�
���
�I
��I����
K�IJ
�
�����H7
I������)
)�
���������4�����
����������
%���
��
0"
*
�����)
)�
���
�����
)�������
����4�7
����
����
K��)���
��
�����
��
)�������
����7
4�����
�����N��
I�
�4�
�������
)�N��
)������ �7
�J)�
���
�
�)�J)�
��4��)�
�
���������
H
���7
��N��"
(�4��
��������
�
�
�������H�J�
�KK�I�7
���J�
��)�����
��G�
� Q��
�
�G���
�
�)����
��
��
����hP"
*
���
���������
���������
��G��)J�
)�
�������7������
��"
̂ ������J
�
�
�)J
�J���
�I
��)��
4���I
)����H���
�
����
�
�
������J�����
��7
���)�
���N�
�
G�I
�
����������"
*J����
�)����7
���
�����N��
�����G�
���
�������N���
)������
���
�
�)��
��
���������
�"
*
��I��H
�
�
���
I���)�7
�
����
����������J�
����N��� �
4
�
���G����)�
��
K��)�������
�J������4��
����J�
�������4�7
����
�
���
��
�
I����Q���J)�
I���)�"
/
���
����
��)
^(U
������
�
���
�
��I)�N7
���
H
K��)�������
��I���
������
)�N��
��� )�
�
)���������J�
�
���
����
O
�
� G��
)�)��
)�N7
��
������
H
���
�������
)�
������
�
��4�
H
����4�
�������"
*
����
��Q��
������
����)�Q��
��
O
��I7
)�N���
H
���
��������
H
�������
��������
�������
�����I�����
H
���
��
�
�
���
���
�����
�
������
�7
����
H
�-�G��"
P�Q��
����J)
�����
�
��)
)�
���
�� �
�
��I��
������
H
���
��
4
�
�����
����I)�N7
�J)
���)������
���
�
�������������)
�
)������)
����I����
��"
*�
�
���)
)�
����
\X'
̂ $P�
�������4��H��
)�7
�����J
%������J�
)�
���������4�����
���������
O
)�
���7��������J�
���
)�
���7��������7�������7
�J�0
���
���
�I
�������H�J�
��
�4�����
�
��G��H7
-��
�)���
��H�J�
��)��J"
(�����H��
K��)��� Q�7
��
�
���
��J
)���
GJ
H
)���������J)�
�
K��)�7
��
�
���
�
�����)
������
�
����
��
�4�����
��7
G��
�
������H��"
$GV�)J
�)���
��H�J�
��)��
���N7
�J
GJ
H
)���)��H�J)��
������H��
��
K��)���7
����
��I���
������
)�N��
��� )�
���G����)�
GJ�7
��
)��
H
���
��
��I����
�)���"
&I
��)��J
��I���
�)��H
���
����
�
��������7
��
%���
���
�4�� 0
��)����
���
���
��I����
���)
�)����
��J
�
���������
��
��J�
�����HI��
�
�
��7
4��
��
��I�7����
��
�)����
��������
�������
��I7
��N���
%������I�0
)�
�����������"
$G��I����-�7
��
)�
���J
�������
��
�����
��
�����N��
�
���7
����)��
�G��I�
��G��)J�
��Q��
��"
W�)�4����
������
��
K��)�������
������
b9cA
�)��
���
#��hP
%ij
M
0
M
b9kcAj
M
→b9cA↓kMij
�
"
X������
���
����
��
)�
���
O
��I)�N���
H
��7
��4���
�
���
��
�
G��H-��
���Q��H g
�
�
��I���
������
��
)��������
����I����
��"
^�
��
��I��7
� �
��N�
K��)�����
H
�������-�
��
�
��Q����
�
���H�J�
�����
��
���
�)
R�S"
2����
�
��
)�
���
O
���N���
H
���
���
I��� I7
����
)�
�������
������
��������)"
/��)�
����
���G����)�
�����)�
H
)��J
G�I�������
�
���
��G�7
�
�
�������)�"
$�����J�
)�
��J
��
����K��
��������J
��
����!"
'�
���
����K�
O
����������
��7
������ �
���)�� �)�
��
�������)��
��H����
���7
����������� �
��
���
�����
�������� �
�������
�-������
�������� �
��
�-������
�������� �
��
�������
������� �
����
�����������
����
������������� �
�����
�
�
������ ��������
�
������� �
��������
�
�
������� �
\��"
�"
^�
��J
��
����K��
\��"
�"
(������
�I��
������
����)���J�
'/
��
����7
�����������J�
�����N���<
'
O
��I)�Q����
���
d:e
�
�
(^^]g
�
O
����
�����7��4���
��
����K� g
�
O
����
�����
������
��������g
�
O
��)�4�����
��������
�
��)�QH
�������
��4�g
�
O
��������
N�����
���
��������g
�
O
��I)�Q����
��
�
��� ���
����
���g
/
O
N��7
���
���
��������g
�
O
��������
_=cAb9
G0
d:e�
_=cAb9
(����N��
%_=`0
�0 (^^]
d:e�
_=cAb9
(����N��
%_=`0
�0
_=cAb9
(����N��
%_=`0
�0
_=cAb9
(����N��
%_=`0
�0
_=cAb9
(����N��
%_=`0
�0
_=cAb9
(����N��
%_=`0
P
��� ���
����
���
I0
P
��� ���
����
���
N0
_=cAb9
P
��� ���
����
���
_=`
_=���McA����b9
_=`
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
��
��������� �
����
����
����������������
�I����
��
'/
Rl�
!S"
U
�
)�
��
���
��
�
�������7
�������
������
���
K�
���I��
�
��
���)
K�
����
G��N���
��H
��K����
����
�G���
�"
$�������
����7
�
�
��
K�
���
����K��
O
��K����������
������4�7
���
��I)����
�����
���
���)J
��I)���
���)��
�
R��S"
1)��H-����
�����
���
���)J
�G����4����
�
�)��H7
-����)
����J
����J
��������� Q���
�I��4��� "
*
�������)
���-��)
�����HI������H
�I��4����
�
���7
���
����J
��l
�)
%�
�
��������
����4���
��I�����
��
����K��
��
������
���G�����
��H
��K����
�0�
�
���
� Q��
���)
O
���
�)
R��S
%�����)��
��H
��7
K����
���
��
����K� 0�
���
�
�)
�����
��
���)�
���
��� �
#�
�)"
1)��H-�
�����
����J
��I���
��
���
�)�
��I��7
G�
4���
�
��������H
�
�)�
4
�
�I��4����
���
����7
��4�
�
��
�4����
�
K�
���I��
�
�����Q��
�
����7
N� Q��
������
�
���I�)�"
��
��
������
�
��
���7
G��)J
GJ��
��-���
���
�
���
������
�
��
����
��4
��I���
��
�����Q��
� "
*
��I��H
�
�
�
I�����)�7
�
�
�
�JG������
����J
������4�
��I�����
���
��7
�J�
)�
���
��
����K��<
�����)��
��H
��K����
���
��
����K�
�
�))��������
��
����K� "
(��
��I��G�
��
)�
���
�����)���
��H
��K����7
����
��
����K��
���
�)�
���I�
��
��J�
�����Q���
�I��4�����
I�)�����
���
�)��
I�����
R��S"
$
��N�7
Q��
����J
��
��N����
I������
���
��
�I
������H7
���
���
���
�����
%��Ol�
R��S0
)���G����a���)7
��
���
G���a��������
��Q����
�
������H��
�
�)��
��N�J�"
$�������
�������
��G�
J
����<
��I���J�
��4
�������
�
�
���I)������
��
�4����
4���I
I������
��
)�����
�
��
����
�������
�I�G��N����
�������
��������
'/
��
���
�)�
I�����
������������
��7
���
O
�
���
�������
)�������
��
�)��H-��
� "
Y�
�)
�I�G��N����
���
����
�����
������������7
�����
������
% ����"0
R��S"
*
���
� Q��
���)
�����)��
��H
��K����
���
��
����K�
O
���G����
�������
���J�
)�
��
��
�I7
��
������
'/
������I)�����
������H��
��I)��
���7
)��
�
�
#�
�)
O
��
������
R�S"
/��)�
����
���
��4�7
��
���)��
H�
�
����I����
��
)���������������
��
��������H�J�
��)�H
����
K��)��
_=m>;�
4
�
�����4�
I�
��G��
���H���-��
��
��I��
��
��
���
����7
�
����
���-�������
��
������"
Y�)�
�J�
�����
�
��
�
���
)�
���
O
���N���
H
�I��
������
��)��
��
�������
4
�
�� I���
�
����7
�
H
����I����
��
�����
��� Q��
���
�)J
I�����"
$��GJ�
��G�����
����V ��
�
�
)����)
O
���
��
���N�J
�����N�
H
��K��
J"
&�
��������
���G��7
��)J
���
�)J
���
��� �
������N��� Q��
�����)
���
�
�4��
�J�����
�
�����"
(��
��I��G�
��
�))���������
��
����K��
GJ��
��-���
�
��I�
H�
�
��G�
J
�
������
����J
�����7
���� Q���
�I��4���
���
�)
�
��
�����
H�
��
���7
��
����J
�!M
�)
O
�
�
�)
���4��
��
��G��
�
)�7
�
H
���
�)�
���I
��
I�������
����I����
��
��
��J�
���
�
�4��
���N��"
$�������
����
��I��G�
4���
���7
����
��
������
�
��
����
���������
GJ
�����������7
����
��������
�� �H
���������)
\���
R�MS�
������7
� Q�)
)���)��H�J�
��I)��J
���)��
��
����4��7
)���
��������������)<
1 ,
k
W
NA
λ
=
����)
�G��I�)�
���
�����4����
I��4���
01
�)��H-��
�
)���)��H�J�
��I)��
����������)���
���)��
�"
&����
�I
�
���
�
��4��
��
����J
�������7
������
GJ��
�I
�
�����
��
���
���
��G��H-��
���7
�
� �� �
�
��
�4����
�I��4���
��
��I��
�
���
��7
I��4�
��H���
I�
������"
��
���J
2n��M�!
%��
��I����
2n�0"
(��
3
�
n�����
λn�!M
�)�
A:=αn��!M
����4�)
)���)��H�J�
��I)��
���)��
�<
0,25 193
39
�!
1,329 0,93
W
⋅= =
⋅
P��)�
��
������
��
�))���������
��
����K��
�I�G��N���
��
����#
R�MS"
(���
���
�
��I��
�)�
�
��N�
���
�)�
���I�
��)�Q�
�
�
�������H��
�)7
���
H�
����������
�����"
(����
���)������)
����
�4�Q�
�
��N���
��H�J�
��IJ�H���
���)����
��7
���
3
�
O
λ
O
01
O
01�n
2
O
α
O
K��
��
��I��-� Q��
�����G���
�g
�����
����J
��������� Q���
�I��4��� g
4������
����
����
=oA:=αg
����I�
��H
�����)����
����J
������������� g
����
������
�
���I"
�
�
M
�
\��"
�"
P��)�
��
������
��
�))���������
��
����K��<
4
O
����g
5
O
�I��4����
j>p>7��I���g
6
O
�����N��g
7
O
)���7
��I)�
���Q� Q��
���������
�
�����N���
�
�
M
�
�
\��"
M"
P��)�
��
������
��
�����)���
��H
��K����
�7
���
��
����K��<
4
O
����������������
��.���g
5
O
I������g
6
O
-�G���g
7
O
���������g
8
O
���I)�
�l
��������� �
����
����
����������������
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
I���
����4��
��
��J�
)�N�
������
�
�
����N��� )
����������)���
�������"
\���
� ���
�
���
�)J
���I
��
��I��
�
���N��
GJ
H
��
#
))�
����
�����Q����
�����
��������� Q���
��4�
G���
)����
�q"
&�����
�
��
������
�����HI�
��
��K������
����
��4���
G�������
4�)�
�
�
)�
��
����4��
�Q�
����
��I��7
���
O
��
��K����������
��
����K�
R���
��S"
P�Q��
����J�
�����
�
��
)�
���
O
�����4���
I��4����
��I)���
���)��
�
%M!
�)0�
��
����
���
���7
�
�
��H��
���
�������
���)�����
���J"
*
���4��
��������
��
��������
�
�����HI������)
�������7
�� Q���
�I��4���
�
������
����J
���
�)
�����
�����
���
�
���IJ�
��
����
�
��
������4�
�I��4�7
��
�
��I��
�"
��
���H���-���
��I��
�
�
��
����7
�����
���G����)
�����
�������
��Q��
��
���
����
��G����
�
�����
���
��
��J�
��
�����������
GJ
�����Q����
��I������
�I��4���
�
������
����J
���
�)"
*
���
� Q��
���)
�
�
��������
���)�� 7
�
�
�
�������)��
��H��)
����I����
��
'/
R�#S"
�����)
-�����
�������
������J)
)�
���)
�
�������)��
��H��)
����I����
��
'/
�
���
����
���7
��7��4���
��
����K�
%���0
R��
#S"
1�
������
��
U,,
�����N�
�����)����)�
�������
�
��
�4��7
��)
����
������
���
�)��
����� Q��
����
������
)����
�J)�
���I�)��
�
��N�
���
�)�
�����������
����
�������
��4�
��
���������
�
����������)��
�����N��"
P��
�)J
K��)�������
����
�������
��4�
�G����4���
��I�����
��
���
����
�����
�
������7
��
��O���
��*�
�K��������������
�
�
��
��I)�7
��)
�O���
�)"
,�4
��������
��
���������
�
��7
��J
��
��I��
�)
�����N��"
P
��)�QH
����
���
�7
�4�����
���
�)J
I�������
��4��
������ �)��
��)7
�H
���J)
������
���)
�I�G��N��� �
�����������7
���
���������
�
��I��
�
����I����
�
�JG���4��
�
���
��
�
���
�
��G��)��
���)�
����
��I�����)J�
���)��
��"
*
��4��
��
��I��
�
���G����
4��
�
�����H7
I�
(^^]"
��
������
)�
�����
�����HI��
�
�
����
���7
����
��
��J�
����4��
��I�����
�I�J����
��
����7
K��
%;:rm7@rr
LE@s>AA0
R�S"
2�
�
���
�����
����
)����
������
��I��
�
����������
�
I�
����
������
����
7
�������
��4��
�����
4���
��� �� �
�
�
���
��
�
��7
Q��
��)�4�����
������
��"
Y�
�)
����I���
���N7
�����
������
)�
����"
(��
�
�)
�
�)J
�
)������J
)�
����
���N�J
���
���
H
�
���������
�
�����N��
�
����������� ���)
�����������
O
4
�GJ
������
)�
����
K��)��������H
��H��
��
�����N��
�
�����
��I��
�����
)����
�
��
���������
�
��I��
�"
(����7
������J�
���)
�G��I�)
�
���
��J
��������
��7
)�4�����
�G��G�
��
�
��
����)
������4����)
���
��7
��
���"
$�
��-� �
������
)�
����
��
�����N��
��7
�
�� �
�������
�������������J�
�G���
��"
$�����J)
����N��� Q�)
K��
���)
���)�����
U,,
��
�I��
������
'/
�
������ �
)��������
���7
�I����
��
��
��
�
���J����
������
H
�G��G�
��
���7
��N��
G��H-���
���)�
��"
P
������
�
����J�
�
�
��7
������
�N�
-�����
���)�� �
�
�
�������)��
��H7
��)
����I����
��
'/�
4
�
���
��I)�N���
H
���
�7
�4��
�����
������
H
��
�
)�������
����I����
��"
\�I��
��)
U,,
�
���
�����7��4���
��
����K� "
(��)������
�
���
)�
���
��N�
��I)�N��
��
���7
����)��
��H����
�I��
������
'/
�
��G���
���J�
������ �
G�������
�J�����
��I��-� Q��
�����G7
���
�
O
��
��O��
�)
R��S"
$�����J)
�
��4��)
�
���
)�
���
�
U,,
�� �
�
���)������
��
���
�����
�)��
�
��
���
����
�����"
$
� ��
�����
�
��G�7
����
�
������
��
����
���������
����J)
��4��)�
4
�
���J-��
�
��)��
H
��)��
��
������"
/��)�
����
�������
���������
��H����
�������������
����J)
��4�)
��
��
�
���-��)
)������J)�
4
�
��N�
I�
���� �
���������
�����7��4����
��
����7
K��
�
)�������
����I����
��
'/"
c�H
����
���J�
)�
��
�I��
������
�����
���7
��
O
������4�
H
R�lS"
U
�
)�
��
�����HI�7
�
���J�
������J
�
�I��
�������
'/
O
4�����H��
��4�
H
�
�������
�
���)������)
-
�)���
��
����7
����
�������"
t�����H��
��4�
H
%����
��������
R�lS�
)�������7
��
��
��4�
H0
���
��
�
���������
4�����
��
���7
��N��
���
��)�Q�
����
�4����
-
�)��"
2������7
�J�
4������
�G��I�
��)����� ��4����
)���)�7
����� ���
�������
��
���
�����HI��
�
�
��4��
��
-�G����
���
���H���-�)
��������"
u
�)�
�I��
��7
����
�I
������)�
�������������
4������
O
�I
�7
���
���
���
����I����J�
R�S"
^�
��
4�����H���
��4�
�
�)��
� �
���N���
��"
*�7����J��
���
)�������
��)
�����HI������
����7
�4�J�
-
�)�J
)���
��I��4�
��H��
�I)��
H
����
��I)��J�
�
N�
���������
�
���
�I)������
�)��7
��
��J
����N� Q��
����J"
*
�� I�
�
�
�)
�����7
��
�
�)��
�
����-����
����
�4����
-
�)��
�����H7
I���
H
����
����
�4��
�������
���������
��
����J�
-
�)�"
*�7�
��J��
���
���
��
�
-
�)��
�
�����N���
���������
��KK�I������
��I)J
��
��7
������
��
����
���
�
�4��
���N��
������
����
� "
*7
��
H���
������H��
������
������
�
��
���H
-
�)��
��� 4�
�
G����J�
�
�����
�
�G��I��
�
��7
��
���
v-�������
��
Hw
��
��� �
�N�
�
��4�
����7
��
��������
�
��
���
�N���
�4���
�
���)��
��
��7
�����
���G����)�
�������
��H���
��������"
1��I���J�
�����
�
��
��I��� �
��������
H
�Q�
����
��I��������
H
��4�
�
O
��4�
H
�
����������7
�����)"
$�����J)
�
��4��)
��
�� �
�
���������
4�����
��
����I��
��H�J�
%�������
J�
���
���Q��7
�J�0
�������
�
�������
-
�)���
��
��
��
G����J�
�
����"
*
�
�)
���4��
-�������
��
H
���
��� �
)�7
���
�O��
�)�
4
�
������
�����
�)�
��
)�����
K�7
���J�
�
���
��
R�lS"
&���
������
�����HI��
�
�
�������"
P��4���
�����N���
����J
�
��I��
�)�
�������
��
�)��7
��
��J
��I) �4��� "
Y�
�)
����J�
-
�)�
�
���G��7
��)J)
�������)
���
��������)
�����
���
��
�
��7
Q��
�������
����G�����
�
��I��
�����
������"
(��
�
�)
-
�)�
����J��
�������H�J)
����������)�
4
�GJ
��
��
������
�
����)���"
$�
�
��
��I��
�
�J7
)J��
���
��)�4����)
��������
���
��������
�����������
���I)��"
*
��4��
��
��I��
�����
����7
��
�����HI�
��)�����
�4�����
����)��J�
I�4��7
�
(^^]"
Y�)�
��
����)�Q��
��
�
��
�����J
)�
����
��
�I��
������
'/
O
��
���G�
��
�
)������)
����I7
����
��"
$�����
���
��G�
���)�����
-
�)���
�
�J�����
��I��-� Q��
�����G���
H �
��
��J��
�
���
�4����H�
�I��
������
�
)�
���)
U,,
R�lS"
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
�!
��������� �
����
����
����������������
��
�I��
������
'/
4��
�
�����HI��
�
)�7
����� ���
�������� �
���������
��
��)�7
�G�����
�
���)������
������� Q��
I�����
���
)��7
��������
R�!S"
P��4���
���)�����
�����N��
���7
������
��������
R��
�"
MMS
��������)
�
���
����
����������
�����
J"
Y�
�)
K��)���
����������7
����
������
)���)������ ����
��Q��J
O
���)
�G��I�)�
4
�GJ
����
�����
)������
I������ ��
��
�����N���
�
������
�G��I��J���
����
���������
H"
U
�
������
�G��G�
J��
)�
���)
������� Q��
I��7
���
���
���
��)�Q�
�
�)����
��������
)�������7
��"
*
���H���-�)
��
����4���J�
�������
I������ 7
4��
��J
������� �
�J��-���
�
I�
�)
I������ 7
4��
��J
����� "
̂ �
����I��������
������
���7
N�
-�G����)
��
���H���-���
������� "
\���)�
��)
��
��H���
�G��G�
��
������
)�
���)
��
����K��
������� Q�)�
I����)�"
$�����J�
����7
���J
�
���
)�
���
�����J
�
U,,"
*
��4��
��
��I��
�
�����HI��
�
(^^]"
\������
����������
�
��
�7
��)
��I��������
�4�����
����
������
���Q��
�I
�7
4�4����
I����
%��I��������
�4�����
����
���J
��
��
����� ��
��
�����N��
�
��
��������
�
�7
��4�J�
����
�����0"
*�
���)
�����N����
I����
����
� ���
)�N��
��)
�
�����N���
��
��
�
���
�7
��J)�
��
�I)�� �
�
��N�
�
��
��
����
�����"
/��7
)�
����
I���J
�����HI�
��
)�����4������
K��7
)�������
�
���
��
�
������
��I��
�
���
��
�����7
��
)�
������
���������)"
(����
�������������
��I��
�
�
���)������)
I����
���G����)�
������� 7
Q��
��� ������
�
��������"
(�����H��
�������
��������
�������
�
���)�7
�����)
������
I����
���
�
�4��
)������J��
�
���7
)��
�������H�J�
��������
�
��
��J�
�GV������J
������H��
I�����"
��
����)��)��
������
�
����7
����
�������
����4��
��
I�����
�
�����
�������
���N��
���
���
H
���O��#
R��
�"
M�S�
���4�)
���G7
����)�
I�����
H
����N����
��N����
�I
���
�
����7
��H��
�����N��"
&�����
�)��
�
I�����
���)��
�
�)�J�
����7
���
)���������
��
��J�
��I��� �
����)�Q�
H
�
7
���H�J�
�
�)J�
"
�"
�IG�N�
H
�����-���
��
���
��7
I�����
�����
���
���
������H��
�������
'/
K��7
)����
�
��
�
�)����)
������"
��
���)���J�
'/
��I��G�
��J
����� Q��
��
������J�
)�
�����
R��S"
(���J�
������
���
��
�
��������)
����I����
���
���
��
���)
�
7
���H�J�
����)���J�
'/
����4�
���
��)�Q�
�GJ47
�J�
���������
��
����K��
�
������� �
�
��
�)
��
������
���)
�G��I�)�
4
�GJ
����4�
H
���G����7
)�
���)����
�
���
���"
*
����
������
�����������
���)������
)�
���
���������H���
��)��G�����
���
��
���)
)����H���
������
��4�����
�K��J�
�������N���J�
�
N�����
��
G�������
���������
�J)
����)
���������
�
�
���
������������)�
��������
���������)�
����
��7
��"
U
�
����
���J
)���
GJ
H
I�������J
��Q��
��)
�
�J����)
���KK�����
�)
�����)���� "
*��
�����
��Q��
��
�������4��H�J�
�K��J
���
���
� �
4
�7
GJ
�K��)�����
H
����
���J�
����G�J�
�����)�
�
���7
���
'YY"
���
��
������
���
��
�
���)������
�������K�7
4�����
��
����K���
��
���
�� �
�
��I��
��)
�)7
)���������"
T�������
��
��K�������
4�
J���
��7
I���J�
��4��
��
���
�4���
��
��H��)
����)���
��7
��4��
�
���G����)J�
�������"
(���J�
)�
��
����I)�N��
�����HI���
H
��
��7
����I)���J�
'/�
������H��
�����-���
H
���
�GV�7
�������
������H���
�����
�
��I)���)�
���)��
��
�������
���
��� �
���G��I�
��H��
���
�)"
*
����
�
��
��
)�
��J
-�����
���)��
�
���
�I��
��7
�����
���)���J�
'/"
&�
����)�Q��
��
���
��
�
��I)�N���
�
����4���
����4����
��I��H
�
�
I�
��7
G��H-��
���)�N�
��
���)���
R���
��S"
*
��4��
��
��H
����
������
)�
���
-������
��I7
��
��
����4���
�
������
����K� "
U
�
�����
����J�
)�
���
��I��� Q��
�����
�����
H
�
�I��
������
H
���)���J�
'/7�
���
��J
�
�����)
�����
R��S"
P��7
4���
)����H
�����
���
��
��)�H
���"
Y�
�)
���7
�J�
�
)�����
������
��
��I����
��
�������
��
�7
��
G���
K��)�����
H
��)�
��
����
��"
(��
��)�H7
����)
�����
��������
�
)����H
����
�������H7
�J�
����G�����
��
��J�
���I���J
�����
���Q�
H
���7
���������
)�����
�
���N�J�
�4��
����
�
�G���I�7
����
H
�J�
��J�
��
�J�
��� �
�
���
H
I���
����
�
���
K��)J�
��
��
����
G���
������
H�
I���
����
��
���)
���
�I�"
T�������
����G����)
)�N��
��N�
���
�I�����
H
���N�J�
)�����
��
4��
)"
]�����
)
���
�I�
)�����
�I�G��N��
��
����$"
"���#��
�����
������� ���$-��
���
�
"������������
�%�������
���
�����
����������������
����
��
����
&����
�������'�����������������������
������������������(����
)�����
������� ���$�
�������
��
��������������
�������
*������������+
���
,�
������
-�
�#
,�����
����
���.����
����
����+
,�
���
"��
��������������%�������/������
���
�����������
\��"
�"
]�����
)
�
������
����K�4������
���
�I�
)�����
��
��������� �
����
����
����������������
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
Y���
����
%K�
�4���
��
��H�J�
����)��0
�����7
N�
�
�������H��
�����
�
������)���I���������
N�����
H "
1�H
��K����
��J�
��I��
�J4��4����
������
��4����"
*
�)
)��
��
���
��I���J�
��4
��7
���
���
����)���)�
���������
�
��������
%����7
���H��
��� ��I��� 0
)�
������"
(����
�
���
I���7
����
������
�
���H�K
��
���������
�
I����� �
�
������)���I���������
N�����
H "
2������� Q��
��
����
��
���� �
�I��-��
N������
����)����
�
��7
I���J�
��4
�J4��4����
���J�
����"
(����
����
���
)����H
G���
������
H
�K��)��������
��
�����)�7
���
������)
N�����
��
�I��-��
N�����
�
�
���7
"
Y�
�)
)����H
��)�Q��
�
�
��4H
��
�������7
��H����
�
���N����
����)���
%
�)����
���
���hP0"
*�
���)
��������
)�N�
�I)���
H�
�GV�)
N����7
�
�
O
�I7I�
������
����)����
���
�)�
������H
N��7
���
�
������
����
� "
T�������
�
������
����K��
)�N��
K��)�����
H
���)���J�
'/�
�
4��
���
�
)���������J�
�
���
�7
�J
% ����%0
R��S"
/��)�
����
�����)���J�
��
����7
��
��I���
��
���
H
������J�
)�
�����
�
��)�7
QH
�
�����
�J�
������))�J�
����
���
�����)��
cFm@i9x"
/
������J)
�����
�
��)
)�
���
������
�
���
�
�J����
����4���
H
����)���
�
�����
�
��
4��
7
��
����J�
���
��H���
H
���
�G��G�
��
%�#
�
G����
4����0�
�J����
�
��)��
H
)�
�������
��
������
�
�G���N�����
��
������"
/
�����
�
��)
)�N��
�
7
���
�
��N�
���G����)��
H
����G�����
��
��J�
��7
���
���
�I�
)�����
��N��
����
H
)�����4����)
���7
��G�)"
�&'()&
*
���
� Q��
���)
���������
K�
���J�
����
��7
���
���������I���
�
����I����
��
���
����K�
��7
�J�
&^P�
��
�
�
���H�J�
��
����
�
��
������
'/�
I�
�������
�J����)�
��G����� )�
�
�4���
�
�J7
�������
���)��
���
������H��
�N�
��I��4�
��H�J�
�����-���
�
����-�
������
K��)�������
I�7
���Q���J�
I��"
/
����N��� Q�)
K��
���)
�
��7
�
�
��N�
���N�J�
������
�I��
������
�
��
�7
������
��J
�J�
��
����
��
�J����
�
��)��
H
���7
����)��
��
�
���
��H���
H
��������"
��
�I��
������
����)���J�
'/
�
��
����
�
��
��
������
)�N��
���)���
H
�
�����
��
������7
�� �
��������
�
R�S"
(��
�
�)
��
)��������
���7
�I����
��
��
����
��
�
��
��J�
��
���G����)��
�
��G� ��
H
������H��
�J����
�4���
H�
)�N��
���7
)��
H
�
��4��
��
���
�����
���
�I
��I����
K�IJ
�
�����HI������)
^$P"
+���
��G��
�
�J����
�47
���
H�
�
���G����)�
���)��
H
)������ ���7��4��7
��
���
���� "
*
��4��
��
��
����K��
���G����
���7
����
����
�����)��
��H
��K����
���
��
����K� �
��I��� Q�
����4�
H
�����
��
���)�
��I)���
���7
)��
�
)����
#�
�)"
���N�
)�N�
�����HI���
H�
�)7
)��������
��
����K�
O
���
��������
4
�
����
�
����G��
H
N�����
H�
�
��
����
��
��K����� Q��
��4�
��
G���
��������
H� "
/
�)�
N�
�
�
������7
���
�N�
������J
�
����I����
��
��������������7
�J�
&^P"
P�����
�
�������
�)�
H
�
�����
4
�
�
�
��7
�������
��
���
�
��
����I����
��
���)���J�
'/7
��
����
�
�
������
K�
�����
I����Q�����
I����"
T����
�KK��
�����
O
�
�4��
I����
���
�4���7
��
��
�
������
�
����I����
���
O
�� �
�
)���7
��� ���
�������� �
��
���
�������
�
��
���7
)���J�
'/"
$�����
)�
��
�� �
�
���)�I���)�
�
����
��
�������
��
���
��������
�
)�������
���7
�I����
��"
]�H
����
���J)
)�
���)
����I����
��
���)���J�
'/
)�N�
�
�
H
�
������
����K� �
��
�7
��
�N�
����-��
���)�� �
�
�
)�����������)
���7
�I����
��"
(��)J-������
��������
'/7��
����
�
�������7
��I���
��G��
Q�
��H���
K�I���7
����4������
���7
�
���
����7
��������4�����
�
������I�������7���7
��)�4�����
�����
����
����I����
��"
/��)�
����
��G��
�
��N�
I��4�
��H��
G��H-��
����4��
��
��I7
��G�
���J�
��
����
�
��
������
'/
���������I���"
&P($,yY$*]22[+
&P�$t2&/&
�"
z{@8LA@=
b"
c=
_=m>;
L>EAL>sm:|>
@=
A:;:s@=
=9=@>;>smE@=:s
aa
z>s{=@;@}~
9=x
f9=Fr9smFE:=}
bE@FL�
_=m>;"O
����"
�"
2����
+"
]"
1�
����
��
��
������
K�
���J�
����
�����
aa
���������
�
����
����������
�
����
������
������
���"O
����"O
�
M"O
P"
�lO��"
M"
�F8@=
"̀�
�@}9>EmA
�"�
�9=
i98L>={@Fm
�"
>m
9;"
�@�7;@AA
L{@m@=:s
�:E>A
9=x
s@8L9sm
E:=}
E>A@=9m@EA
:=
A:;:s@=7@=7:=AF;9m@E
aa
`E@s>>x:=}A
d~8L@A:F8
_666a�6ed"O
�>=>;FD
i{9Lm>E"O
���M"O
"̀
�Ol"
�" ���
����
]"
^"
�J�4�
J�
��������J
aa
1�����
K�I�4�7
����
����"O
����"O
�"
����
�
��"O
P"
���MO����"
�"
c;|9E9x@7�@xE:}F>�
_"
�9CE:s9m:@=
@r
m�@7x:8>=A:@=9;
L{@m@=:s
sE~Am9;
A:=};>7x>r>sm
s9|:m:>A
9=x
m{>:E
s{9E9sm>E:�9m:@=
C~
>;9Am:s
As9mm>E:=}
aa
c
x:AA>Em9m:@=
�
�@sm@E
@r
`{:;@A@L{~
:=
6;>smE:s9;
6=}:=>>E:=}"O
�@A
c=}>;>A�
�=:|>EA:m~
@r
i9;:r@E=:9"O
���M"
#"
�@=�ar f"�
�@;;
z"�
�F�kovic �"�
ds{>E>E
c"
�>A:}=
9=x
r9CE:s9m:@=
@r
A:;:s@=
L{@m@=:s
sE~Am9;
@Lm:s9;
�9|>}F:x>A
aa
�@FE=9;
@r
�:}{m�9|>
z>s{=@;@}~"O
����"O
�@;"
�l�
p
��"O
"̀
����O����"
�"
2�������
������"
*
M
4"
t"
�"
2���
��������
aa
*"
+"
T���������
]"
&"
*���GH���"O
^�"<
TX1&\�
���M"
l"
i9Em>E7i@89=
i"�
�E@�=
c"
d"�
�:s?=>;;7z9AA:FA
�"
>m
9;"
dmE9:=7
8@xF;9m>x
>L:m9D~<
8@x:r:s9m:@=
@r
}E@�m{
?:=>m:sA
|:9
L9mm>E=>x�
s@8L;:9=m
AFCAmE9m>A
aa
�"
�9s"
ds:"
z>s{=@;"O
�!!#"O
�@;"
�
��%M0"O
"̀
����O����"
!"
d8:m{
j"
c"�
�>C>Em
f"�
dm>E=C>E}
e"
�>A:}=
:=rE9E>x
r:;m>EA
FA:=}
Am9s?>x
8>m9;
;9mm:s>A
aa
cLL;"
`{~A"
�>mm"O
���M"O
�@;
l��
p
��"O
"̀
M#��OM#��"
��"
\J����
+"
]"�
/�����.�
T"
X"
P�G)������J�
��
�����H7
�J�
���)J<
���)��
��
G�I�
�
�����
��������"O
��������<
�\�1�
����"
��"
�@E@x@|A?~
�"�
ds{>=?>E
�"�
c;;>=
b"
>m
9;"
�:m{@}E9L{~
AmE9m>}~
r@E
#�
=8
=@x>
aa
{mmL<aa9LLA":=m>;"s@8
��"
6DmE>8>
F;mE9|:@;>m
;:m{@}E9L{~"
_89}:=}
m{>
�FmFE>
aa
6���
`E@}E>AA
�>L@Em
d�z�"O
�!!!"O
"̀
�O!"
�M"
`9E?
�"
j"
z{>
:=m>E9sm:@=
@r
F;mE97LFE>
�9m>E
9=x
L{@m@E>A:Am
:=
�!M
=8
:88>EA:@=
;:m{@}E9L{~aa
��=x
c==F9;
f:sE@>;>smE@=:s
6=}:=>>E:=}
i@=r>E>=s>"O
����"O
"̀
M�OM!"
\��"
#"
(��)��J
���)���J�
K�
���J�
����
�����
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
��
��������� �
����
����
����������������
��"
i9Em>E
�"
f"�
�;>8:=}
�"
i"�
d9|9A
z"
c"
>m
9;"
_=m>Er>E>=s>
;:m{@}E9L{~
aa
fz�
c==F9;
�>L@Em"O
���M"O
"̀
�l#O�ll"
��"
�EF>s?"
d"
�"
�"
eLm:s9;
9=x
:=m>Er>E@8>mE:s
;:m{@}E9L{~
O
=9=@m>s{=@;@}~
>=9C;>A
aa`E@s>>x:=}
@r
m{>
_666"O
����"O
�@;"
!M�
p
��"O
"̀
����O����"
�#"
�:|:;:9=A?~
_"�
f9~>E
z{"
d"�
j@;;:x9~
�"
d"
>m
9;"
�9CE:s9m:@=
@r
m{E>>7x:8>=A:@=9;
L@;~8>E
L{@m@=:s
sE~Am9;
AmEFsmFE>A
FA:=}
A:=};>
x:rrE9sm:@=
>;>8>=m
:=m>Er>E>=s>
;:m{@}E9L{~
aa
cLL;"
`{~A"
�>mm"O
���M"O
�@;
l��
p
��"O
"̀
�##�O�##!"
��"
*��G�����
*"
X"
&���J�
����
���������
�
����
����7
��"O
/"<
^(
,�� �
����"
�l"
�@}>EA
�"
c"
`{@m@=:s
9LL;:s9m:@=A
@r
LE:=m>x
9=x
8@;x>x
=9=@AmEFsmFE>Aaa
�>??>E
6=s~s;@L>x:9
@r
p9=@As:>=s>
9=x
p9=@7
m>s{=@;@}~"O
����"O
"̀
�l#!O�l�l"
�!"
�E~9=m
b"
�"�
d{:E;>~
6"
�"�
b@;x=>E
�"
d"
z{>@E~
@r
LE@C:=}
9
L{@m@=:s
sE~Am9;
�:m{
mE9=A8:AA:@=
=>9E7r:>;x
@Lm:s9;
8:sE@As@L~
aa
`{~A:s9;
�>|:>�
�"O
�!!l"O
�@;"
�l�
p
�"
��"
�@{=A@=
d"
b"�
�@9==@L@F;@A
�"
�"
_=mE@xFsm:@=
m@
L{@m@=:s
sE~Am9;A<
�;@s{�A
m{>@E>8�
C9=x
x:9}E98A
9=x
}9LA
%CFm
=@
x>r>smA0
aa
f_z"O
���M"
��"
f>:A>;
�"
i"�
�>}>=>E
f"�
�FAs{
�"
z{E>>7x:8>=A:@=9;
sE~Am9;A
C~
{@;@}E9L{:s
;:m{@}E9Lm{~
FA:=}
m{>
F8CE>;;9
s@=r:}FE9m:@=<
A~88>mE:>A
9=x
s@8L;>m>
L{@m@=:s
C9=x
}9LA
aa
`{~A:s9;
�>|:>�"O
����"O
�@;"
�
��"O
"̀
�#����7�O�#����7��"
��"
�>:=:=}
f"�
f>}>=A
f"�
dm>:={9Exm
"̀
�"
>m
9;"
6DL>E:8>=m9;
8>9AFE>8>=m
@r
m{>
L{@m@=:s
LE@L>Em:>A
@r
:s@A9{>xE9;
�F9A:sE~Am9;A
aa
p9mFE>"O
����"O
�@;"
�M#�
_AAF>
���M"O
"̀
!!MO!!#"
��
������������������
�*+,-�.,�.(/0* */1��
*.1�2���
9����!��� )�'%��%'��'���':����#$�)�������
�� &�&���
*.1�2� !�
;)��<�&%��� �� �)��%�(= �%�����#�� )����(
�#��� &�&���#
*.1�2� "�
���:�&&#� ������� ���!� )�������>� �����#
�� &)�&��#� �$� %����� !
*.1�2� #��9����!� �� )���%�����'���� �'��)�������� �
&�&���� ��������!� ��$'��<�&%�$� �� �<��
�� �'��)�����?���*
^����
���
��
�G��I�����
�
�����
1�����J
2�������H�J�
����4�����
��������
�
1�����J
v/�������
����
����4�����
���
�
�
w
%(��G����
���
��H�J�
K����H
�
0
u��
�
���4��7
����4����
���K������
3
������
�������4�
�
��5������
��
������6
��O��
�����
����
�"
�"
/����
1������
\�G�4��
IJ��
���K�������
O
�����������
�������
14��J�
�����
��H
�"
\"
/��4��
��"<
%���0
���7l#7��
>789:;<
?;@ms{?@BLAr"=mF7?L:"?:>|"F9
�����������
�
�
�
�
�
���
�
�
�
�
��������
��
����
���������������������������������
���
���������
��������������������
����������
���
�������� �����!""#
��$#"�%
�����������
����
������
���������������� ������
� �
���������� ����������
���
��
�����
� ���������
�
����� ������������������� ������� �����!������"��������
���
��
����������������������!���
��
�
�
���� ����"
���
�
�����#�����$�� ��
� ����
���
��
������
�
������
������������������ ����
������������
���������������
��
��
%� �������
�
�
�&�����
�
'���
������������ ��������������
��
����#��������
����
"
�������
�����
���� ����
�����
���������!������������������� ���
&��
�!��#��& ��
��������#
� �!����#��"
�������
��
��� �����'����
����� �����������
��������!����
�������
� �
� ����'����!�&�
��"
�
�������
����������� ����'�� �������
��
� �
������#���������
��
��������
�
�������
��
�(()������
*.1�2� $�
��' ���<�&%��� �� =%� ���<�&%��� )������(
&�������
*.1�2�%�
�������:��&%���)������&������������$�� ����
*.1�2� 7�
���'��+,'@?�*� %����� A>���$��<�&%'!� �
����:��&%'!� ��'���&��%'
*.1�2�8�
������#��� &�&���#� +<��'� �'&$��'� =�����(
��&��� �*
*.1�2� 9�
��"���':����#����$�� �������)������(>��'(
,���&�����������'��(>���%��)���%�����'���
*.1�2��:�
BCDEF-G� E2HDIJKL2DH� -2M� HNHDLKH
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52649 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-11-29T06:22:28Z |
| publishDate | 2007 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Березянский, Б.М. 2014-01-05T20:35:51Z 2014-01-05T20:35:51Z 2007 Технологии изготовления фотонных кристаллов / Б.М. Березянский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 1. — С. 45-51. — Бібліогр.: 22 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52649 Приведен обзор методов изготовления фотонных кристаллов для нанофотонных микросхем. Рассмотрены перспективы применения технологий в условиях промышленного производства таких устройств. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Технологические процессы и оборудование Технологии изготовления фотонных кристаллов Технології виготовлення фотонних кристалів Technologies of the fabrication of photonic crystals Article published earlier |
| spellingShingle | Технологии изготовления фотонных кристаллов Березянский, Б.М. Технологические процессы и оборудование |
| title | Технологии изготовления фотонных кристаллов |
| title_alt | Технології виготовлення фотонних кристалів Technologies of the fabrication of photonic crystals |
| title_full | Технологии изготовления фотонных кристаллов |
| title_fullStr | Технологии изготовления фотонных кристаллов |
| title_full_unstemmed | Технологии изготовления фотонных кристаллов |
| title_short | Технологии изготовления фотонных кристаллов |
| title_sort | технологии изготовления фотонных кристаллов |
| topic | Технологические процессы и оборудование |
| topic_facet | Технологические процессы и оборудование |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52649 |
| work_keys_str_mv | AT berezânskiibm tehnologiiizgotovleniâfotonnyhkristallov AT berezânskiibm tehnologíívigotovlennâfotonnihkristalív AT berezânskiibm technologiesofthefabricationofphotoniccrystals |