Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем

На основании проведенных исследований был спроектирован фотошаблон для отработки режимов фотолитографии и дальнейшего изучения влияния эффектов оптической близости....

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Datum:2007
Hauptverfasser: Родионов И.А., И.А., Макарчук, В.В.
Format: Artikel
Sprache:Russian
Veröffentlicht: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2007
Schlagworte:
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52809
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем / И.А. Родионов, В.В. Макарчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 30-32. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52809
record_format dspace
spelling Родионов И.А., И.А.
Макарчук, В.В.
2014-01-07T18:46:50Z
2014-01-07T18:46:50Z
2007
Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем / И.А. Родионов, В.В. Макарчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 30-32. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52809
На основании проведенных исследований был спроектирован фотошаблон для отработки режимов фотолитографии и дальнейшего изучения влияния эффектов оптической близости.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Электронные средства: исследования, разработки
Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем
Корекція оптичних ефектів близькості при проектуванні мікросхем
Optical proximity correction in IC production
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем
spellingShingle Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем
Родионов И.А., И.А.
Макарчук, В.В.
Электронные средства: исследования, разработки
title_short Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем
title_full Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем
title_fullStr Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем
title_full_unstemmed Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем
title_sort коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем
author Родионов И.А., И.А.
Макарчук, В.В.
author_facet Родионов И.А., И.А.
Макарчук, В.В.
topic Электронные средства: исследования, разработки
topic_facet Электронные средства: исследования, разработки
publishDate 2007
language Russian
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
format Article
title_alt Корекція оптичних ефектів близькості при проектуванні мікросхем
Optical proximity correction in IC production
description На основании проведенных исследований был спроектирован фотошаблон для отработки режимов фотолитографии и дальнейшего изучения влияния эффектов оптической близости.
issn 2225-5818
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52809
citation_txt Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем / И.А. Родионов, В.В. Макарчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 30-32. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT rodionoviaia korrekciâoptičeskihéffektovblizostipriproektirovaniimikroshem
AT makarčukvv korrekciâoptičeskihéffektovblizostipriproektirovaniimikroshem
AT rodionoviaia korekcíâoptičnihefektívblizʹkostípriproektuvannímíkroshem
AT makarčukvv korekcíâoptičnihefektívblizʹkostípriproektuvannímíkroshem
AT rodionoviaia opticalproximitycorrectioninicproduction
AT makarčukvv opticalproximitycorrectioninicproduction
first_indexed 2025-11-25T21:33:26Z
last_indexed 2025-11-25T21:33:26Z
_version_ 1850559230403149824
fulltext ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� � ������ �� ������� ����� ���������� �� � ��� ������ � �������� �� �� ���� � !������ ��������������� �� ��� ���� "#$$ %%� � ��&��' ������ � ���� ����������� �� ������ ��� (���� � � )������ )*�+ �& # , -��&��� ./01234 ilro@bk.ru %������ ����� ������� � ���5���6��� ����7���/ � �� �����&����� �� �����5��� ����������������� &�������&8 ����9�� � ��: 8� 9� � ������ +�/ ����� ��� &�;�� ��7���� 5 �� ��� �����8� 9�� � < �� ��7��:� �� � ����� �������� � �� ��������� ���/ �7���� �� =����� �:� � � 9�� � ����7�8��� �� 7�/ �8 < �&���� �������� ������� � � � ��� ����� ��7��:� 9���& ���6� ��5�8� � � ��:������ � ������9���� %���� �������� ���� � �� &����5��&� �������� < ������� ��7��:� 9���� ����� ���� � ���9��� ���� ��6�� ����9����� ���&�� 8 ">?@� ?@� ABC� BABC � � '� ������ �����57� � � ��::����� ��7��� � ����9����� ���&�� 8 :���� �8������ ����/ � "ABCD>�� BAE>�� FGD>H � � '� ����9���8� �����8 ���&�� �� �:I���� � � � :�:��� ��� $�/ ���57�� � �� ��78���&�� J����7���K ����� �����/ ���� ����� ��;�� 9���� �� ��5�� ����� ��� � ��/ :�� �������� " ��������9���� &����5'� �� � ��� / ������ � ����9����� � ���� ��9����� &���� &� L�;�� :�:��� ��� ��7��:� 8��� � ��� ������ / ��� ��������� (�7��:� �� ����:��� :�:��� ��� ��7&�;�� ��5�� ��� �9�� �� ��� ��7��:� 9����� �� � ��������� (�7��:� 9��� ������� � ������ ��/ :� 8� ���� �� ��� :���M�� &�������&8� 7���� ����/ ��9����� ����&� �8� � ��������� ��&�&� ��6��� ����� 7���9� �����&�� ��������� ������ �9�� �� � ����� �������� �������� =��&�� �� ��7��:� 8��/ � ������� ����� ������� � � �� ��8� ����8��� � ��7&�;��� � ��������� �� �������7������� ��7/ ��9�8� �������9����� ���� ������ � ������ � ��7/ ��9�8� ��������9����� ����� %���� ���������� :��5��� � � &�& � ��� ���:��/ ��&8& �9� 8�� 5 �� �9����� �NN�� 8� ��7�����M�� � ������ � ��:&������8� ��7&����� ����� ����� ����8 ����������M��� �7��9��� � ����� � ����/ � ���&�� � ��7&���&� ���&�� �� �� ���� ��� ���/ ������9����� O����8O � � �& ���9�� ��� ���� ��/ � ��� ������ �� � ��&����5���� ��7&��� P�Q =�M�� ��� ��� ����������5�� ��7��9�8� ���/ ��:�� ��7��� �M�� ������� ����� 5 � � ����84 < ���:�� ��������9����� ��;�&��R < �������� ��������� �� � ��� ����� ������� &�������& %���8� �����: ��� ����;� ��5�8� ��7��5 � 8 %����� �����7 ��������9����� ������ �� � ���� ����9��� ���8 ��� �7�:��;��� � ��M� ��7�� �� ��� ����� "����9��� �7�:��;��� �� N� ���7��/ L!((SLT$U !%�$VS=L$W ,XXSL�!Y -Z$[!=�$ %($ %(!SL�$(!Y\#$$ )$L(!=WS) ����� &����' � ������� "����9��� � ��� �� �� ���� ���'� &�;�� ����� 5 �8��� � ��:��&�& ��&�/ ���5��& ��7&��� �� N� �6�:���� �� ����9��� 7�/ ����8� ��7&���� �� ���� ��� #� ��� ��:� � � ��:/ &������8&� ��7&���&� � ����� � ��8& � ��9�� � �����:� �� N����8 ��� ��� ������8� ��7&����4 ���/ ��9�8� � ��� �����������8� � ��� �� "���� �' #� N� ����N� � � 9� ���� ����8 � � ��7��9� "��� ����� �������� � �� N� �6�:���� ��� � 5 ������/ ����� �&�� ��������8� ��&����5�8� ��7&��8' T�� ���5�8� ���������� � ��9��M�� ����&� ��& �����9��� � ��� ��8� �&�� :��56�� ��7&�� � ���� ������� :������ � ���� ���N�� ��7�� �� :����8� ���������� ��;� � ��M��8 �� J���:�����K � ���/ �8 %�� �&� �� �����9�8� � ��� �����������8� � ��� �� ���:����&8 ��7��9�8� ��;�&8 ��������/ 9����� �:��:� �� ����& �:��7�&� ���:����&� ��:� �:����9� 5 �����&����� ��� ��� 5 � ��� �� �� ���/ &� ���� ���� &�������&8� ��:� ����7��� � J ��/ ���K "�9��5 �9�8�' ���:�� ��������9����� ��;�/ &�� !:����9� 5 �����&����� ��� ��� 5 � ��� �� ��� ����� �������� ���� ���� &�������&8 ����7/ &�;�� �� ���� ��� %���:�� 5 ��������9����� ��/ ;�&8 < &�;��� � ����8� &� �� �����57�� � � 9�� / �8� ���9� �� �� � � �����&�9���� ���8����� � ��/ :�� :��56�� ���&���8� 7� �� � 9 � ��;� �������/ �&� � ������ � �����&������ �8��� Y ���� �����: < �������� ��������� �� � ��� ���/ �� ������� &�������& < �� � � ������8& � ��/ ���57�� � ���&� &����8&� ����7���� �� &� ����/ ������������� ����� ��� P�� �Q Y������� ������/ ��� �� � ��� ����� ������� ��7��� � 4 < �:����9� 5 7�����8� ����&� �8 ����9��&8� �� ���� ��� � ��� ��R < ���8�� 5 � �:��5��� 5 ��������9������ ���/ ����� "��'R �' :' (�� � %����:� �� N����8 ��� ��� ������8� ��7&����4 � < ��� ����� ��������� �� N� �6�:����R � < ����� N� ���/ ����N��� �� N� ���7�� ����� &���� ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� � ������ �� ������� ����� ���������� < ���8�� 5 ������ �8���� ����8� ���� ����� �� ���� ���R < �����9� 5 �7 ����7���� ������� ����� � ���� � ��:� �� �% ��� ������ �8� �� �7���� Y������� ��������� &�;� ���M�� �� 5� �7&�/ �����& :�:��� �9�8� ���&�� ��R � � �& ���9�� :�:/ ��� ��� ���&�� �� ��7��:� 8��� � N�:�����/����7/ ���� ���& "���' � ��� ��� � � ��7��:� 9���& &��/ �����& Y ��8& ������ �& ������� ��������� �/ � � � �����57������ ��������7�������8� =\%(� ��/ ��8� ��7��� � �:��:� 8�� 5 �������� ���� ���� &�������&8 ������&� �7&�� �� � ��� �� � ��� � ��:����� &� ��������� ]A^ PHQ Y ������ � � ��&� ��5�� �7&�� �M���� �8��� � �� ����� �����������8� &� ���� � ����7���� �� L)!% =-$=� �� ��8� ��7��:� 8��� � ��� �����/ &����� ��������� ���������� 9 �:8 ������ 5 ��/ �����M�� ��7���� � ����� ���� ]A^ ���;�� �:��/ �� 5 �� �&� �7��������� &��6 �:����&�� &����5/ ��� ��� �&�� ����� ������� � �� ������������ � ������� ����7���� �� ���� ��� �&� ���;�� ��7��/ � 5 ����� � � �;� 8� ����� ������ 5 ����������/ �8� ���� ��������� ����� �� �������� ����7���� ��� �����9� ��������9�8� � ��8 �� ������� ����� ������ � �������� ����7���� �� L)!% =-$= ��/ ��7&�;�� :�7 &����������� �% � �����57������& �������8� ������&& _AC � ̀ _AC Y ������ ��:� � &8 ���8 ����5 �����57��� 5 �������8� �86� ���/ ���4 �� �����& � ��� :8�� ��������� &������������ � ���:�� �����7&���� N���� ���������� 7� �& �� ��7��5 � �& &����������� :8� �8:��� �����7�� � �� N���� ���������� � �� 7����6��M�& � ��� ��/ 7��5 � 8 &����������� :8�� ��������8 �������&��/ �& X����8 ��������� ���7���8 �����9� 5 ��7��/ �� � �����:� �� �� ���� ��� ���&�� �� ��7/ ��9��� ��� ��� �� � ��;� ��&��������� 5 �NN�� �����9��� �������&����8� 7� ����� � �� ����� �:��� � ���7�� ���� 9 � &�;� ������ � � �NN�� � �����9��� ������� �����7&�;�8& � �9��&� �7&���/ ��� ���� ��9����� ����&� ��� ���7�� ���� � � Y �����& ���:��;���� �8��� � �� ���� N���� ���/ ������4 �' �7&������ ��&����5���� ��7&��� �� N� �6�:/ ���� �� ����9���� ������� �&�� ��������9����& �����& �� ������� � N� ��� ����N�� � ������� "�21a� ���� �� �'R �' �������� ������� ��5�8� ����� "1aa2ab 32cd ��� 1ef2321gh� ��� �� �'R �' �������� ������� ��5�8� N���� ��� adg2i� 1cb2 adg2i� j1ggd3� k100dgkd1l "��� �� ���' (���&� ��& �������8 ���� �� ���� �86�����/ 9������8� N���� ��������� ^21a \����7 ������ ��7&���� ����������� "��� �����9�8�� �� � � &������' � �������� ����7���/ � �� ��7��� � ����� 5 �8��� � �&� ����& ���;�� :8 5 ��&����5�8� ��7&�� ���������� �� N� �6�:/ ����� 9 �:8 �� ���� ��� ����9��� 7�����8� ��&�/ ���5�8� ��7&�� Aaa2ab 32cd ������� ��5�8� ����� ���� � � 9 �/ :8 ��7�� 5 �NN�� ��� �����������8� � ��� �� �� �����9���� ���������� (�7��9� � �����:� �� ���/ ��9�8� � ��� �����������8� ����������� ��7����/ � � ��7��5 � � ��N������ ��9�� ��� � �� �������� ������������ � ��7��5 � � � ��� ��� �����������8� � ��� ��8 7����9���� � :��56�� ��7�� �������/ ��5�8� ����� �&�� ��7&�� �m�<�m� � ����� ��� ���&8 [� �9� � ��� � � ����� �� �����:� 8��� � �� ���� ���� �� ��N����� ��9�� ��� � �� ��� ��� ;� ��������� R � ��7��5 � � �� ���� ��� ����9�� � ���/ ��9�8� ���������� �&��M�� ��7&���8� ����� ���/ � ��� ��� � ��� �������������� ndg2i L�� �7��� ��� ����������� �������;���8� ��� �� &8& ����&� �� �����:� 8��� � �� ���� �/ ��� ����� � ��� �NN�� ��������� L�� ����7��� �� ���� �� o/�:��7�� N����� ����;�� � 4 ��&�&� ��������� ������ ��;� ��������� �����9������ ����������� �� � ����8 J� ��8 ���K ����� V �:8 �7:�;� 5 � ��� �NN�� �� ����� ����M��� ���� N�/ ���8 ��������� ��� adg2i� 1cb2 adg2i� j1ggd3� k100dg/ kd1l� pqra � � �' :' ^21a Aaa2ab 32cd "1ef2321gh' �' �'ndg2i Acb2 adg2i ndg2i �' �' s100dgkd1l ^1ggd3 (�� � X����8 ��������� �� �9������ �NN�� � :��7�� � (�� � ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� � ������ �� ������� ����� ���������� Y ��&��� ��7��:� �� ��������9������ ������/ �� �� ����� ��� ���&� ���E &�& :8� �8���/ ��� � � ��:� �� ��7��:� �� ���8� ��������9����� ��������� N� ��� ����N�� *������ ���:����� 5� ����8� ��������� �� � � ��������� ����� :��/ 7�� 5 ������ �8� ��7&�;��� �� �����57��&��� �:�/ �������� � �����8� ����&� ��� � ��� ��� ����9��/ &8� � ��� �9�8� ��� � Y ��9�� �� N� ���7�� � �8/ ������ ��7��6��� :8�� �8:���� ��&��� �� N� �/ ��7�� �� G3bg1/2 ��� ��&����� @qk0ts11a �� ��&/ �������� �� �9������ �NN�� � :��7�� � :8�� ���/ ������ &������������ �������� N� ��� ����N�� #� ���� ����7�� ���&�� ����9���8� ��7��5 � �� �� � ���& &����������� �����9�8� 6�� � ���&8��/ ���& �� 8� )������������ ���&�� �� ��������� ��� Jadg2iK �� �����9�8� 6�� ��&����5�8& ��7&���& ���H &�& � ���&8�����& �� 8� ����7���� 9 � �� �&��5�8� ��7/ &�� ndg2i a2udv��� �&� ndg2i qiiadbv�� �& !����� �NN�� ����� � ���&�� �&8� &� ���� ���/ ������ < �M� ���� :��56� &� �&� �9���� 7���9�� � ����7&�;�� ����&/��:� �:��7�& ������ � ����/ ����� 7������ �������8� � ��� �� �� � ��� ���&�� ����9���8&� �� ���� ��� Y�7&�;�8&� &� ���&� ������ �NN�� ����� � &��� ���;� 54 < �� �9����� &� ��8 �������� R < &� �&� �9����� �����7 ����9���8� � ��� �� #����&��� � ���9�� �����7� o/�:��7���� ������/ ���� 7� �:��7 6��8 &�;�� ���� 5 ����� M�� ���/ ������� �� ���� � ��� "�w�'λ � ���� ������ ���/ ��� �� ��& �� &8�� ����9�& �� �� ������9���� �:/ ��7 o/����:���� ���������� )���&�& ��7��� � ���/ M��� �:��7� � ���M��� ����9����� � ��� ��8 "��/ ���� &�;�� ���9� � 5� �7 � �� �����' � ��� ���/ :���� �NN�� ���8� ��7��5 � (���&� ����� ��� ����� ������ �NN�� ����� � ������� N���� ��������� �� �9������ �NN�� � :��/ 7�� � �8���� 7� ��&�� ��� � M�� � � 5� L�� ���/ �& ��9�� �� �����:� �� �������� �� ������� ��� 6�� :8�� �8:���� �����9���� 6�� %�� 7������& �� 6�:���� ���� � ��� &�;�� �������;���8&� �� 8� �����9�8&� ����������&�� ����8& ���x &�&� �����9���� 6�� :�7 ���&�� �� ��������� ��� ����� �x� �& "���� !� �' �� 6�� � ���&�� �&� ��������� ��� Jadg2iK �����9���� ��� ����� H� �& """ %��������8� �������&�� ����7��� � �����& ���/ :��;����� ������M�� ��7��5 � 84 < ����9��8 ������� � ���� � �����7&���� N�/ ��� ��������� �� �9������ �NN�� � :��7�� � �� ���/ ��9�8� � ��� �����������8� � ��� ��R < ��������� &������������ ��������9������ �������� N� ��� ����N�� �� ��7��9�8� ���9�8� ����� ��������R < �8:���8 ����&� �8 N���� ���������R < �N��&������8 ��� ���� ������ �NN�� ����/ � � ������� N���� ��������� #� ��������� ���������8� ������������ :8� ������ ������ N� �6�:��� �� � ��:� �� ��;�&�� N� ��� ����N�� � ���5���6��� �7�9��� ��� �� �N/ N�� �� �� �9����� :��7�� � $=%!Zy[!Y\##zS $=�!V#$L$ � n2fb { ?|b2}13 |gqf202bh }qggd}b2qc "?{_' mm `d}kcq3qrh @d~2d� < ���� < �q3 � < �aaed � � nb2gc201c � { � @2drdg F o ]1ab |gqf202bh }qggd}b2qc �2bk uqcd a10|32cr mm {gq} n{�. F2}gq32bkqrg1|kh < ���H < B ���� < { ��H<��� � F1egdg � � �11a ̀� .2adc01cc s .~13e1b2qc qi 1 i1ab 1cl i3df2j3d ?{_ |1}�1rd mm ?{`�nn�F?� {gq} n{�. ̂ A_Gn < ���x < B �DDH < { H��<H�D H _e2 � � �1}k ] > � ̂ ebb n db 13 �a 0qld3/j1adl q|b2}13 |gqf202bh }qggd}b2qc gd1lh iqg 01cei1}beg2cr� nbelh qc ���� e0 1cl ����E e0 C@AF `d}kcq3qrh mm {gq} n{�. F2}gq32bkqrg1|kh < ���� < B Hx�� < { x�<�E �' :' (�� E %���9���8� �� ���� ��� �����9�8� 6��8 � ���&8�����& �� 8�4 � < :�7 ���&�� �� ���������R � < � ���&�� �&� ��������� ��� Oadg2iO (�� H )������������ �����9�8� 6�� � ���&8�����& �� 8� Serif Offset (nm) –40 –20 0 20 40 60 80 Serif Offset (nm) –40 –20 0 20 40 60 80 S er if S iz e (n m ) 190 180 170 160 150 140 130 120 110 S er if S iz e (n m ) 190 180 170 160 150 140 130 120 110