Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем
На основании проведенных исследований был спроектирован фотошаблон для отработки режимов фотолитографии и дальнейшего изучения влияния эффектов оптической близости....
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2007 |
| Main Authors: | , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2007
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52809 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем / И.А. Родионов, В.В. Макарчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 30-32. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862554391583653888 |
|---|---|
| author | Родионов И.А., И.А. Макарчук, В.В. |
| author_facet | Родионов И.А., И.А. Макарчук, В.В. |
| citation_txt | Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем / И.А. Родионов, В.В. Макарчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 30-32. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | На основании проведенных исследований был спроектирован фотошаблон для отработки режимов фотолитографии и дальнейшего изучения влияния эффектов оптической близости.
|
| first_indexed | 2025-11-25T21:33:26Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52809 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-11-25T21:33:26Z |
| publishDate | 2007 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Родионов И.А., И.А. Макарчук, В.В. 2014-01-07T18:46:50Z 2014-01-07T18:46:50Z 2007 Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем / И.А. Родионов, В.В. Макарчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 30-32. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52809 На основании проведенных исследований был спроектирован фотошаблон для отработки режимов фотолитографии и дальнейшего изучения влияния эффектов оптической близости. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Электронные средства: исследования, разработки Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем Корекція оптичних ефектів близькості при проектуванні мікросхем Optical proximity correction in IC production Article published earlier |
| spellingShingle | Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем Родионов И.А., И.А. Макарчук, В.В. Электронные средства: исследования, разработки |
| title | Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем |
| title_alt | Корекція оптичних ефектів близькості при проектуванні мікросхем Optical proximity correction in IC production |
| title_full | Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем |
| title_fullStr | Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем |
| title_full_unstemmed | Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем |
| title_short | Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем |
| title_sort | коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем |
| topic | Электронные средства: исследования, разработки |
| topic_facet | Электронные средства: исследования, разработки |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52809 |
| work_keys_str_mv | AT rodionoviaia korrekciâoptičeskihéffektovblizostipriproektirovaniimikroshem AT makarčukvv korrekciâoptičeskihéffektovblizostipriproektirovaniimikroshem AT rodionoviaia korekcíâoptičnihefektívblizʹkostípriproektuvannímíkroshem AT makarčukvv korekcíâoptičnihefektívblizʹkostípriproektuvannímíkroshem AT rodionoviaia opticalproximitycorrectioninicproduction AT makarčukvv opticalproximitycorrectioninicproduction |