Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем

На основании проведенных исследований был спроектирован фотошаблон для отработки режимов фотолитографии и дальнейшего изучения влияния эффектов оптической близости....

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Date:2007
Main Authors: Родионов И.А., И.А., Макарчук, В.В.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2007
Subjects:
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52809
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем / И.А. Родионов, В.В. Макарчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 30-32. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1859524576790183936
author Родионов И.А., И.А.
Макарчук, В.В.
author_facet Родионов И.А., И.А.
Макарчук, В.В.
citation_txt Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем / И.А. Родионов, В.В. Макарчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 30-32. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description На основании проведенных исследований был спроектирован фотошаблон для отработки режимов фотолитографии и дальнейшего изучения влияния эффектов оптической близости.
first_indexed 2025-11-25T21:33:26Z
format Article
fulltext ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� � ������ �� ������� ����� ���������� �� � ��� ������ � �������� �� �� ���� � !������ ��������������� �� ��� ���� "#$$ %%� � ��&��' ������ � ���� ����������� �� ������ ��� (���� � � )������ )*�+ �& # , -��&��� ./01234 ilro@bk.ru %������ ����� ������� � ���5���6��� ����7���/ � �� �����&����� �� �����5��� ����������������� &�������&8 ����9�� � ��: 8� 9� � ������ +�/ ����� ��� &�;�� ��7���� 5 �� ��� �����8� 9�� � < �� ��7��:� �� � ����� �������� � �� ��������� ���/ �7���� �� =����� �:� � � 9�� � ����7�8��� �� 7�/ �8 < �&���� �������� ������� � � � ��� ����� ��7��:� 9���& ���6� ��5�8� � � ��:������ � ������9���� %���� �������� ���� � �� &����5��&� �������� < ������� ��7��:� 9���� ����� ���� � ���9��� ���� ��6�� ����9����� ���&�� 8 ">?@� ?@� ABC� BABC � � '� ������ �����57� � � ��::����� ��7��� � ����9����� ���&�� 8 :���� �8������ ����/ � "ABCD>�� BAE>�� FGD>H � � '� ����9���8� �����8 ���&�� �� �:I���� � � � :�:��� ��� $�/ ���57�� � �� ��78���&�� J����7���K ����� �����/ ���� ����� ��;�� 9���� �� ��5�� ����� ��� � ��/ :�� �������� " ��������9���� &����5'� �� � ��� / ������ � ����9����� � ���� ��9����� &���� &� L�;�� :�:��� ��� ��7��:� 8��� � ��� ������ / ��� ��������� (�7��:� �� ����:��� :�:��� ��� ��7&�;�� ��5�� ��� �9�� �� ��� ��7��:� 9����� �� � ��������� (�7��:� 9��� ������� � ������ ��/ :� 8� ���� �� ��� :���M�� &�������&8� 7���� ����/ ��9����� ����&� �8� � ��������� ��&�&� ��6��� ����� 7���9� �����&�� ��������� ������ �9�� �� � ����� �������� �������� =��&�� �� ��7��:� 8��/ � ������� ����� ������� � � �� ��8� ����8��� � ��7&�;��� � ��������� �� �������7������� ��7/ ��9�8� �������9����� ���� ������ � ������ � ��7/ ��9�8� ��������9����� ����� %���� ���������� :��5��� � � &�& � ��� ���:��/ ��&8& �9� 8�� 5 �� �9����� �NN�� 8� ��7�����M�� � ������ � ��:&������8� ��7&����� ����� ����� ����8 ����������M��� �7��9��� � ����� � ����/ � ���&�� � ��7&���&� ���&�� �� �� ���� ��� ���/ ������9����� O����8O � � �& ���9�� ��� ���� ��/ � ��� ������ �� � ��&����5���� ��7&��� P�Q =�M�� ��� ��� ����������5�� ��7��9�8� ���/ ��:�� ��7��� �M�� ������� ����� 5 � � ����84 < ���:�� ��������9����� ��;�&��R < �������� ��������� �� � ��� ����� ������� &�������& %���8� �����: ��� ����;� ��5�8� ��7��5 � 8 %����� �����7 ��������9����� ������ �� � ���� ����9��� ���8 ��� �7�:��;��� � ��M� ��7�� �� ��� ����� "����9��� �7�:��;��� �� N� ���7��/ L!((SLT$U !%�$VS=L$W ,XXSL�!Y -Z$[!=�$ %($ %(!SL�$(!Y\#$$ )$L(!=WS) ����� &����' � ������� "����9��� � ��� �� �� ���� ���'� &�;�� ����� 5 �8��� � ��:��&�& ��&�/ ���5��& ��7&��� �� N� �6�:���� �� ����9��� 7�/ ����8� ��7&���� �� ���� ��� #� ��� ��:� � � ��:/ &������8&� ��7&���&� � ����� � ��8& � ��9�� � �����:� �� N����8 ��� ��� ������8� ��7&����4 ���/ ��9�8� � ��� �����������8� � ��� �� "���� �' #� N� ����N� � � 9� ���� ����8 � � ��7��9� "��� ����� �������� � �� N� �6�:���� ��� � 5 ������/ ����� �&�� ��������8� ��&����5�8� ��7&��8' T�� ���5�8� ���������� � ��9��M�� ����&� ��& �����9��� � ��� ��8� �&�� :��56�� ��7&�� � ���� ������� :������ � ���� ���N�� ��7�� �� :����8� ���������� ��;� � ��M��8 �� J���:�����K � ���/ �8 %�� �&� �� �����9�8� � ��� �����������8� � ��� �� ���:����&8 ��7��9�8� ��;�&8 ��������/ 9����� �:��:� �� ����& �:��7�&� ���:����&� ��:� �:����9� 5 �����&����� ��� ��� 5 � ��� �� �� ���/ &� ���� ���� &�������&8� ��:� ����7��� � J ��/ ���K "�9��5 �9�8�' ���:�� ��������9����� ��;�/ &�� !:����9� 5 �����&����� ��� ��� 5 � ��� �� ��� ����� �������� ���� ���� &�������&8 ����7/ &�;�� �� ���� ��� %���:�� 5 ��������9����� ��/ ;�&8 < &�;��� � ����8� &� �� �����57�� � � 9�� / �8� ���9� �� �� � � �����&�9���� ���8����� � ��/ :�� :��56�� ���&���8� 7� �� � 9 � ��;� �������/ �&� � ������ � �����&������ �8��� Y ���� �����: < �������� ��������� �� � ��� ���/ �� ������� &�������& < �� � � ������8& � ��/ ���57�� � ���&� &����8&� ����7���� �� &� ����/ ������������� ����� ��� P�� �Q Y������� ������/ ��� �� � ��� ����� ������� ��7��� � 4 < �:����9� 5 7�����8� ����&� �8 ����9��&8� �� ���� ��� � ��� ��R < ���8�� 5 � �:��5��� 5 ��������9������ ���/ ����� "��'R �' :' (�� � %����:� �� N����8 ��� ��� ������8� ��7&����4 � < ��� ����� ��������� �� N� �6�:����R � < ����� N� ���/ ����N��� �� N� ���7�� ����� &���� ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� � ������ �� ������� ����� ���������� < ���8�� 5 ������ �8���� ����8� ���� ����� �� ���� ���R < �����9� 5 �7 ����7���� ������� ����� � ���� � ��:� �� �% ��� ������ �8� �� �7���� Y������� ��������� &�;� ���M�� �� 5� �7&�/ �����& :�:��� �9�8� ���&�� ��R � � �& ���9�� :�:/ ��� ��� ���&�� �� ��7��:� 8��� � N�:�����/����7/ ���� ���& "���' � ��� ��� � � ��7��:� 9���& &��/ �����& Y ��8& ������ �& ������� ��������� �/ � � � �����57������ ��������7�������8� =\%(� ��/ ��8� ��7��� � �:��:� 8�� 5 �������� ���� ���� &�������&8 ������&� �7&�� �� � ��� �� � ��� � ��:����� &� ��������� ]A^ PHQ Y ������ � � ��&� ��5�� �7&�� �M���� �8��� � �� ����� �����������8� &� ���� � ����7���� �� L)!% =-$=� �� ��8� ��7��:� 8��� � ��� �����/ &����� ��������� ���������� 9 �:8 ������ 5 ��/ �����M�� ��7���� � ����� ���� ]A^ ���;�� �:��/ �� 5 �� �&� �7��������� &��6 �:����&�� &����5/ ��� ��� �&�� ����� ������� � �� ������������ � ������� ����7���� �� ���� ��� �&� ���;�� ��7��/ � 5 ����� � � �;� 8� ����� ������ 5 ����������/ �8� ���� ��������� ����� �� �������� ����7���� ��� �����9� ��������9�8� � ��8 �� ������� ����� ������ � �������� ����7���� �� L)!% =-$= ��/ ��7&�;�� :�7 &����������� �% � �����57������& �������8� ������&& _AC � ̀ _AC Y ������ ��:� � &8 ���8 ����5 �����57��� 5 �������8� �86� ���/ ���4 �� �����& � ��� :8�� ��������� &������������ � ���:�� �����7&���� N���� ���������� 7� �& �� ��7��5 � �& &����������� :8� �8:��� �����7�� � �� N���� ���������� � �� 7����6��M�& � ��� ��/ 7��5 � 8 &����������� :8�� ��������8 �������&��/ �& X����8 ��������� ���7���8 �����9� 5 ��7��/ �� � �����:� �� �� ���� ��� ���&�� �� ��7/ ��9��� ��� ��� �� � ��;� ��&��������� 5 �NN�� �����9��� �������&����8� 7� ����� � �� ����� �:��� � ���7�� ���� 9 � &�;� ������ � � �NN�� � �����9��� ������� �����7&�;�8& � �9��&� �7&���/ ��� ���� ��9����� ����&� ��� ���7�� ���� � � Y �����& ���:��;���� �8��� � �� ���� N���� ���/ ������4 �' �7&������ ��&����5���� ��7&��� �� N� �6�:/ ���� �� ����9���� ������� �&�� ��������9����& �����& �� ������� � N� ��� ����N�� � ������� "�21a� ���� �� �'R �' �������� ������� ��5�8� ����� "1aa2ab 32cd ��� 1ef2321gh� ��� �� �'R �' �������� ������� ��5�8� N���� ��� adg2i� 1cb2 adg2i� j1ggd3� k100dgkd1l "��� �� ���' (���&� ��& �������8 ���� �� ���� �86�����/ 9������8� N���� ��������� ^21a \����7 ������ ��7&���� ����������� "��� �����9�8�� �� � � &������' � �������� ����7���/ � �� ��7��� � ����� 5 �8��� � �&� ����& ���;�� :8 5 ��&����5�8� ��7&�� ���������� �� N� �6�:/ ����� 9 �:8 �� ���� ��� ����9��� 7�����8� ��&�/ ���5�8� ��7&�� Aaa2ab 32cd ������� ��5�8� ����� ���� � � 9 �/ :8 ��7�� 5 �NN�� ��� �����������8� � ��� �� �� �����9���� ���������� (�7��9� � �����:� �� ���/ ��9�8� � ��� �����������8� ����������� ��7����/ � � ��7��5 � � ��N������ ��9�� ��� � �� �������� ������������ � ��7��5 � � � ��� ��� �����������8� � ��� ��8 7����9���� � :��56�� ��7�� �������/ ��5�8� ����� �&�� ��7&�� �m�<�m� � ����� ��� ���&8 [� �9� � ��� � � ����� �� �����:� 8��� � �� ���� ���� �� ��N����� ��9�� ��� � �� ��� ��� ;� ��������� R � ��7��5 � � �� ���� ��� ����9�� � ���/ ��9�8� ���������� �&��M�� ��7&���8� ����� ���/ � ��� ��� � ��� �������������� ndg2i L�� �7��� ��� ����������� �������;���8� ��� �� &8& ����&� �� �����:� 8��� � �� ���� �/ ��� ����� � ��� �NN�� ��������� L�� ����7��� �� ���� �� o/�:��7�� N����� ����;�� � 4 ��&�&� ��������� ������ ��;� ��������� �����9������ ����������� �� � ����8 J� ��8 ���K ����� V �:8 �7:�;� 5 � ��� �NN�� �� ����� ����M��� ���� N�/ ���8 ��������� ��� adg2i� 1cb2 adg2i� j1ggd3� k100dg/ kd1l� pqra � � �' :' ^21a Aaa2ab 32cd "1ef2321gh' �' �'ndg2i Acb2 adg2i ndg2i �' �' s100dgkd1l ^1ggd3 (�� � X����8 ��������� �� �9������ �NN�� � :��7�� � (�� � ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� � ������ �� ������� ����� ���������� Y ��&��� ��7��:� �� ��������9������ ������/ �� �� ����� ��� ���&� ���E &�& :8� �8���/ ��� � � ��:� �� ��7��:� �� ���8� ��������9����� ��������� N� ��� ����N�� *������ ���:����� 5� ����8� ��������� �� � � ��������� ����� :��/ 7�� 5 ������ �8� ��7&�;��� �� �����57��&��� �:�/ �������� � �����8� ����&� ��� � ��� ��� ����9��/ &8� � ��� �9�8� ��� � Y ��9�� �� N� ���7�� � �8/ ������ ��7��6��� :8�� �8:���� ��&��� �� N� �/ ��7�� �� G3bg1/2 ��� ��&����� @qk0ts11a �� ��&/ �������� �� �9������ �NN�� � :��7�� � :8�� ���/ ������ &������������ �������� N� ��� ����N�� #� ���� ����7�� ���&�� ����9���8� ��7��5 � �� �� � ���& &����������� �����9�8� 6�� � ���&8��/ ���& �� 8� )������������ ���&�� �� ��������� ��� Jadg2iK �� �����9�8� 6�� ��&����5�8& ��7&���& ���H &�& � ���&8�����& �� 8� ����7���� 9 � �� �&��5�8� ��7/ &�� ndg2i a2udv��� �&� ndg2i qiiadbv�� �& !����� �NN�� ����� � ���&�� �&8� &� ���� ���/ ������ < �M� ���� :��56� &� �&� �9���� 7���9�� � ����7&�;�� ����&/��:� �:��7�& ������ � ����/ ����� 7������ �������8� � ��� �� �� � ��� ���&�� ����9���8&� �� ���� ��� Y�7&�;�8&� &� ���&� ������ �NN�� ����� � &��� ���;� 54 < �� �9����� &� ��8 �������� R < &� �&� �9����� �����7 ����9���8� � ��� �� #����&��� � ���9�� �����7� o/�:��7���� ������/ ���� 7� �:��7 6��8 &�;�� ���� 5 ����� M�� ���/ ������� �� ���� � ��� "�w�'λ � ���� ������ ���/ ��� �� ��& �� &8�� ����9�& �� �� ������9���� �:/ ��7 o/����:���� ���������� )���&�& ��7��� � ���/ M��� �:��7� � ���M��� ����9����� � ��� ��8 "��/ ���� &�;�� ���9� � 5� �7 � �� �����' � ��� ���/ :���� �NN�� ���8� ��7��5 � (���&� ����� ��� ����� ������ �NN�� ����� � ������� N���� ��������� �� �9������ �NN�� � :��/ 7�� � �8���� 7� ��&�� ��� � M�� � � 5� L�� ���/ �& ��9�� �� �����:� �� �������� �� ������� ��� 6�� :8�� �8:���� �����9���� 6�� %�� 7������& �� 6�:���� ���� � ��� &�;�� �������;���8&� �� 8� �����9�8&� ����������&�� ����8& ���x &�&� �����9���� 6�� :�7 ���&�� �� ��������� ��� ����� �x� �& "���� !� �' �� 6�� � ���&�� �&� ��������� ��� Jadg2iK �����9���� ��� ����� H� �& """ %��������8� �������&�� ����7��� � �����& ���/ :��;����� ������M�� ��7��5 � 84 < ����9��8 ������� � ���� � �����7&���� N�/ ��� ��������� �� �9������ �NN�� � :��7�� � �� ���/ ��9�8� � ��� �����������8� � ��� ��R < ��������� &������������ ��������9������ �������� N� ��� ����N�� �� ��7��9�8� ���9�8� ����� ��������R < �8:���8 ����&� �8 N���� ���������R < �N��&������8 ��� ���� ������ �NN�� ����/ � � ������� N���� ��������� #� ��������� ���������8� ������������ :8� ������ ������ N� �6�:��� �� � ��:� �� ��;�&�� N� ��� ����N�� � ���5���6��� �7�9��� ��� �� �N/ N�� �� �� �9����� :��7�� � $=%!Zy[!Y\##zS $=�!V#$L$ � n2fb { ?|b2}13 |gqf202bh }qggd}b2qc "?{_' mm `d}kcq3qrh @d~2d� < ���� < �q3 � < �aaed � � nb2gc201c � { � @2drdg F o ]1ab |gqf202bh }qggd}b2qc �2bk uqcd a10|32cr mm {gq} n{�. F2}gq32bkqrg1|kh < ���H < B ���� < { ��H<��� � F1egdg � � �11a ̀� .2adc01cc s .~13e1b2qc qi 1 i1ab 1cl i3df2j3d ?{_ |1}�1rd mm ?{`�nn�F?� {gq} n{�. ̂ A_Gn < ���x < B �DDH < { H��<H�D H _e2 � � �1}k ] > � ̂ ebb n db 13 �a 0qld3/j1adl q|b2}13 |gqf202bh }qggd}b2qc gd1lh iqg 01cei1}beg2cr� nbelh qc ���� e0 1cl ����E e0 C@AF `d}kcq3qrh mm {gq} n{�. F2}gq32bkqrg1|kh < ���� < B Hx�� < { x�<�E �' :' (�� E %���9���8� �� ���� ��� �����9�8� 6��8 � ���&8�����& �� 8�4 � < :�7 ���&�� �� ���������R � < � ���&�� �&� ��������� ��� Oadg2iO (�� H )������������ �����9�8� 6�� � ���&8�����& �� 8� Serif Offset (nm) –40 –20 0 20 40 60 80 Serif Offset (nm) –40 –20 0 20 40 60 80 S er if S iz e (n m ) 190 180 170 160 150 140 130 120 110 S er if S iz e (n m ) 190 180 170 160 150 140 130 120 110
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52809
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 2225-5818
language Russian
last_indexed 2025-11-25T21:33:26Z
publishDate 2007
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
record_format dspace
spelling Родионов И.А., И.А.
Макарчук, В.В.
2014-01-07T18:46:50Z
2014-01-07T18:46:50Z
2007
Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем / И.А. Родионов, В.В. Макарчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 30-32. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52809
На основании проведенных исследований был спроектирован фотошаблон для отработки режимов фотолитографии и дальнейшего изучения влияния эффектов оптической близости.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Электронные средства: исследования, разработки
Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем
Корекція оптичних ефектів близькості при проектуванні мікросхем
Optical proximity correction in IC production
Article
published earlier
spellingShingle Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем
Родионов И.А., И.А.
Макарчук, В.В.
Электронные средства: исследования, разработки
title Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем
title_alt Корекція оптичних ефектів близькості при проектуванні мікросхем
Optical proximity correction in IC production
title_full Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем
title_fullStr Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем
title_full_unstemmed Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем
title_short Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем
title_sort коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем
topic Электронные средства: исследования, разработки
topic_facet Электронные средства: исследования, разработки
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52809
work_keys_str_mv AT rodionoviaia korrekciâoptičeskihéffektovblizostipriproektirovaniimikroshem
AT makarčukvv korrekciâoptičeskihéffektovblizostipriproektirovaniimikroshem
AT rodionoviaia korekcíâoptičnihefektívblizʹkostípriproektuvannímíkroshem
AT makarčukvv korekcíâoptičnihefektívblizʹkostípriproektuvannímíkroshem
AT rodionoviaia opticalproximitycorrectioninicproduction
AT makarčukvv opticalproximitycorrectioninicproduction