Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем
На основании проведенных исследований был спроектирован фотошаблон для отработки режимов фотолитографии и дальнейшего изучения влияния эффектов оптической близости....
Saved in:
| Date: | 2007 |
|---|---|
| Main Authors: | , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2007
|
| Series: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52809 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем / И.А. Родионов, В.В. Макарчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 30-32. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52809 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| fulltext |
|
| spelling |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-528092025-02-09T11:27:31Z Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем Корекція оптичних ефектів близькості при проектуванні мікросхем Optical proximity correction in IC production Родионов И.А., И.А. Макарчук, В.В. Электронные средства: исследования, разработки На основании проведенных исследований был спроектирован фотошаблон для отработки режимов фотолитографии и дальнейшего изучения влияния эффектов оптической близости. 2007 Article Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем / И.А. Родионов, В.В. Макарчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 30-32. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52809 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре application/pdf Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Электронные средства: исследования, разработки Электронные средства: исследования, разработки |
| spellingShingle |
Электронные средства: исследования, разработки Электронные средства: исследования, разработки Родионов И.А., И.А. Макарчук, В.В. Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description |
На основании проведенных исследований был спроектирован фотошаблон для отработки режимов фотолитографии и дальнейшего изучения влияния эффектов оптической близости. |
| format |
Article |
| author |
Родионов И.А., И.А. Макарчук, В.В. |
| author_facet |
Родионов И.А., И.А. Макарчук, В.В. |
| author_sort |
Родионов И.А., И.А. |
| title |
Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем |
| title_short |
Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем |
| title_full |
Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем |
| title_fullStr |
Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем |
| title_full_unstemmed |
Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем |
| title_sort |
коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| publishDate |
2007 |
| topic_facet |
Электронные средства: исследования, разработки |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52809 |
| citation_txt |
Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем / И.А. Родионов, В.В. Макарчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 30-32. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. |
| series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| work_keys_str_mv |
AT rodionoviaia korrekciâoptičeskihéffektovblizostipriproektirovaniimikroshem AT makarčukvv korrekciâoptičeskihéffektovblizostipriproektirovaniimikroshem AT rodionoviaia korekcíâoptičnihefektívblizʹkostípriproektuvannímíkroshem AT makarčukvv korekcíâoptičnihefektívblizʹkostípriproektuvannímíkroshem AT rodionoviaia opticalproximitycorrectioninicproduction AT makarčukvv opticalproximitycorrectioninicproduction |
| first_indexed |
2025-11-25T21:33:26Z |
| last_indexed |
2025-11-25T21:33:26Z |
| _version_ |
1849799639155343361 |