Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем

• Published in: Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Date: 2007
• Main Authors: Родионов И.А., И.А., Макарчук, В.В.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2007
• Subjects: Электронные средства: исследования, разработки
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52809
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем / И.А. Родионов, В.В. Макарчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 30-32. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.

На основании проведенных исследований был спроектирован фотошаблон для отработки режимов фотолитографии и дальнейшего изучения влияния эффектов оптической близости....