Зображення обкладинки

Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем

На основании проведенных исследований был спроектирован фотошаблон для отработки режимов фотолитографии и дальнейшего изучения влияния эффектов оптической близости....

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Дата:	2007
Автори:	Родионов И.А., И.А., Макарчук, В.В.
Формат:	Стаття
Мова:	Російська
Опубліковано:	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2007
Теми:	Электронные средства: исследования, разработки
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52809
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем / И.А. Родионов, В.В. Макарчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 30-32. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем
за авторством: Rodionov, I. A., та інші
Опубліковано: (2007)

Исследование радиационной стойкости гибридных интегральных микросхем
за авторством: Мокрицкий, В.А., та інші
Опубліковано: (2008)

Моделирование зонда с запирающим потенциалом в проектировании устройств телеметрии и управления
за авторством: Николаенко, В.М., та інші
Опубліковано: (2007)

Исследование анизотропных оптикотермоэлементов в случае различных оптических и тепловых режимов
за авторством: Ащеулов, А.А., та інші
Опубліковано: (2005)

Физические основы проектирования зеркал оптических резонаторов полихромных лазеров
за авторством: Бондарчук, Я.М., та інші
Опубліковано: (2009)

Электрооптические модуляторы и фильтры на основе кольцевых микрорезонаторов для волоконно-оптических систем связи
за авторством: Берикашвили, В.Ш., та інші
Опубліковано: (2011)

Расчет электромагнитного поля в электронных модулях с использованием интеграла Зоммерфельда
за авторством: Конников, И.А.
Опубліковано: (2007)

Взаимовлияние объектов малых размеров в микросхеме
за авторством: Конников, И.А.
Опубліковано: (2006)

Емкость тонкого проводника прямоугольного сечения в микросхеме
за авторством: Конников, И.А.
Опубліковано: (2006)

Цифровой метод измерения коэффициента направленного отражения поверхности
за авторством: Иванченко, И.А., та інші
Опубліковано: (2010)

Топологическая обработка информации системами искусственного интеллекта при решении логических задач
за авторством: Демёхин, В.В., та інші
Опубліковано: (2008)

Применение технологии тонких пленок и наноструктурированных материалов при изготовлении теплонагруженных печатных плат
за авторством: Сахно, Э.А., та інші
Опубліковано: (2011)

Параметры поверхностных акустических волн в пьезокристаллах при высоких значениях температуры
за авторством: Двоешерстов, М.Ю., та інші
Опубліковано: (2008)

Исследование характеристик кремниевых фотоэлектрических преобразователей солнечных батарей при перегреве
за авторством: Иванченко, А.В., та інші
Опубліковано: (2018)

Тепловая математическая модель полупроводниковых приборов при измерении ВАХ импульсным способом
за авторством: Ермоленко, Е.А., та інші
Опубліковано: (2012)

Трендовые статистики при обработке данных в системах технической диагностики
за авторством: Миргород, В.Ф., та інші
Опубліковано: (2005)

Малогабаритный цифровой частотомер с высокой разрешающей способностью
за авторством: Криваль, И.И., та інші
Опубліковано: (2010)

Выбор оптимальных параметров некоторых узлов частотомеров СВЧ-диапазона
за авторством: Криваль, И.И., та інші
Опубліковано: (2011)

Конструкторские методы уменьшения шумов и помех в каналах с сосредоточенными параметрами при высокоскоростной обработке данных
за авторством: Тыныныка, А.Н.
Опубліковано: (2019)

Устройство формирования элементов оптоэлектронной акустооптической вычислительной среды
за авторством: Липинский, А.Ю., та інші
Опубліковано: (2010)

Оценка частотной границы допустимого использования приближенных моделей линий передачи при анализе цепей печатных плат
за авторством: Сиротко, В.К.
Опубліковано: (2010)

Уменьшение шумов и помех путем рационального выбора электронных компонентов в каналах с сосредоточенными параметрами при высокоскоростной обработке данных
за авторством: Тыныныка, А.Н.
Опубліковано: (2019)

Концепция построения радиотехнических систем охраны периметров крупных объектов
за авторством: Колесник, К.В., та інші
Опубліковано: (2008)

Проектирование многозондовых устройств для тестирования электронных компонентов с шариковыми выводами
за авторством: Невлюдов, И.Ш., та інші
Опубліковано: (2016)

К вопросу о минимизации числа межслойных переходов при трассировке печатных плат
за авторством: Лузин, С.Ю., та інші
Опубліковано: (2009)

Модульный спектрометр для оценки качества технологии твердотельных детекторов
за авторством: Перевертайло, В.Л., та інші
Опубліковано: (2013)

Распознавание зрительных образов на основе топологической обработки информации
за авторством: Демёхин, В.В., та інші
Опубліковано: (2007)

Электронные приборы на основе полуизоляторов
за авторством: Стафеев, В.И.
Опубліковано: (2007)

Классификация и синтез полиномиальных кодеков в системах автоматизированной обработки данных
за авторством: Иванова, И.В.
Опубліковано: (2005)

Алгоритм гибридного декодирования кодов Рида-Соломона без рекуррентных процедур
за авторством: Иванова, И.В.
Опубліковано: (2005)

Логические методы расчета надежности
за авторством: Левин, В.И.
Опубліковано: (2010)

Анализ методов синдромного декодирования кодов Рида-Соломона
за авторством: Иванова, И.В.
Опубліковано: (2005)

Цифровые генераторные преобразователи повышенной чувствительности для систем управления и контроля
за авторством: Шакурский, В.К., та інші
Опубліковано: (2008)

Тонкопленочные элементы кремниевых диодов Шоттки для высокотемпературного микромонтажа
за авторством: Баранов, В.В., та інші
Опубліковано: (2007)

PSpice-моделирование оптико-электронных локаторов
за авторством: Янко, В.В.
Опубліковано: (2006)

Моделирование технического ресурса радиоэлектронных средств
за авторством: Невлюдова, В.В.
Опубліковано: (2014)

Гибридный автодинный сенсор магнитного резонанса
за авторством: Браиловский, В.В., та інші
Опубліковано: (2009)

Экспериментальное исследование переходных процессов в программно-аппаратном устройстве цифровой фазовой автоподстройки частоты
за авторством: Бондарев, А П., та інші
Опубліковано: (2016)

Асимметрия электрических процессов в импульсных преобразователях постоянного напряжения модульной структуры
за авторством: Кадацкий, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2008)

Формализованные показатели для оценки качества радиотехнических систем охраны периметров объектов
за авторством: Колесник, К.В., та інші
Опубліковано: (2012)