Buchumschlag

Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем

На основании проведенных исследований был спроектирован фотошаблон для отработки режимов фотолитографии и дальнейшего изучения влияния эффектов оптической близости....

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Datum:	2007
Hauptverfasser:	Родионов И.А., И.А., Макарчук, В.В.
Format:	Artikel
Sprache:	Russisch
Veröffentlicht:	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2007
Schlagworte:	Электронные средства: исследования, разработки
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52809
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем / И.А. Родионов, В.В. Макарчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 30-32. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Ähnliche Einträge

Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем
von: Rodionov, I. A., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Исследование радиационной стойкости гибридных интегральных микросхем
von: Мокрицкий, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Моделирование зонда с запирающим потенциалом в проектировании устройств телеметрии и управления
von: Николаенко, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Исследование анизотропных оптикотермоэлементов в случае различных оптических и тепловых режимов
von: Ащеулов, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Физические основы проектирования зеркал оптических резонаторов полихромных лазеров
von: Бондарчук, Я.М., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Электрооптические модуляторы и фильтры на основе кольцевых микрорезонаторов для волоконно-оптических систем связи
von: Берикашвили, В.Ш., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Расчет электромагнитного поля в электронных модулях с использованием интеграла Зоммерфельда
von: Конников, И.А.
Veröffentlicht: (2007)

Взаимовлияние объектов малых размеров в микросхеме
von: Конников, И.А.
Veröffentlicht: (2006)

Емкость тонкого проводника прямоугольного сечения в микросхеме
von: Конников, И.А.
Veröffentlicht: (2006)

Цифровой метод измерения коэффициента направленного отражения поверхности
von: Иванченко, И.А., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Устройство для бесконтактного экспресс-измерения параметров термоэлектрических материалов
von: Ащеулов, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Экспериментальное исследование двойной дифракции электромагнитной волны на облучаемом объекте
von: Володин, И.А., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Параметры поверхностных акустических волн в пьезокристаллах при высоких значениях температуры
von: Двоешерстов, М.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Исследование характеристик кремниевых фотоэлектрических преобразователей солнечных батарей при перегреве
von: Иванченко, А.В., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Применение технологии тонких пленок и наноструктурированных материалов при изготовлении теплонагруженных печатных плат
von: Сахно, Э.А., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Тепловизор на основе матричного фотоприемного устройства из 128×128 CdHgTe-фотодиодов
von: Рева, В.П., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Тепловая математическая модель полупроводниковых приборов при измерении ВАХ импульсным способом
von: Ермоленко, Е.А., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Топологическая обработка информации системами искусственного интеллекта при решении логических задач
von: Демёхин, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Трендовые статистики при обработке данных в системах технической диагностики
von: Миргород, В.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Малогабаритный цифровой частотомер с высокой разрешающей способностью
von: Криваль, И.И., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Выбор оптимальных параметров некоторых узлов частотомеров СВЧ-диапазона
von: Криваль, И.И., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Конструкторские методы уменьшения шумов и помех в каналах с сосредоточенными параметрами при высокоскоростной обработке данных
von: Тыныныка, А.Н.
Veröffentlicht: (2019)

Оценка частотной границы допустимого использования приближенных моделей линий передачи при анализе цепей печатных плат
von: Сиротко, В.К.
Veröffentlicht: (2010)

Уменьшение шумов и помех путем рационального выбора электронных компонентов в каналах с сосредоточенными параметрами при высокоскоростной обработке данных
von: Тыныныка, А.Н.
Veröffentlicht: (2019)

К вопросу о минимизации числа межслойных переходов при трассировке печатных плат
von: Лузин, С.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Проектирование многозондовых устройств для тестирования электронных компонентов с шариковыми выводами
von: Невлюдов, И.Ш., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Анизотропный термоэлемент в режиме генерации эдс и тока
von: Анатычук, Л.И., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Модульный спектрометр для оценки качества технологии твердотельных детекторов
von: Перевертайло, В.Л., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Специализированное устройство электропитания
von: Гунченко, Ю.А., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Электронные приборы на основе полуизоляторов
von: Стафеев, В.И.
Veröffentlicht: (2007)

Анализ методов синдромного декодирования кодов Рида-Соломона
von: Иванова, И.В.
Veröffentlicht: (2005)

Логические методы расчета надежности
von: Левин, В.И.
Veröffentlicht: (2010)

Алгоритм гибридного декодирования кодов Рида-Соломона без рекуррентных процедур
von: Иванова, И.В.
Veröffentlicht: (2005)

Классификация и синтез полиномиальных кодеков в системах автоматизированной обработки данных
von: Иванова, И.В.
Veröffentlicht: (2005)

Устройство формирования элементов оптоэлектронной акустооптической вычислительной среды
von: Липинский, А.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Методика диагностики электронных пучков среднего уровня мощности по переходному излучению
von: Воробьев, Г.С., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Асимметрия электрических процессов в импульсных преобразователях постоянного напряжения модульной структуры
von: Кадацкий, А.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Экспериментальное исследование переходных процессов в программно-аппаратном устройстве цифровой фазовой автоподстройки частоты
von: Бондарев, А П., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Формализованные показатели для оценки качества радиотехнических систем охраны периметров объектов
von: Колесник, К.В., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Светодиодные показывающие электроизмерительные устройства на многопороговых компараторах
von: Оборский, Г.А., et al.
Veröffentlicht: (2012)