Формирование прозрачных омических контактов к р-GaN для светоизлучающих диодов

Получены омические контакты к p-GaN с удельным контактным сопротивлением (1...2)x10⁻³ Ом см² и коэффициентом прозрачности 78% на длине волны 460 нм.

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Date:2007
Main Authors: Босый, В.И., Данилов, Н.Г., Кохан, В.П., Новицкий, В.А., Семашко, Е.М., Ткаченко, В.В., Шпоняк, Т.А.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2007
Subjects:
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52813
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Формирование прозрачных омических контактов к р-GaN для светоизлучающих диодов / В.И. Босый, Н.Г. Данилов, В.П. Кохан, В.А. Новицкий, Е.М. Семашко, В.В. Ткаченко, Т.А. Шпоняк // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 43-45. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1860120632656658432
author Босый, В.И.
Данилов, Н.Г.
Кохан, В.П.
Новицкий, В.А.
Семашко, Е.М.
Ткаченко, В.В.
Шпоняк, Т.А.
author_facet Босый, В.И.
Данилов, Н.Г.
Кохан, В.П.
Новицкий, В.А.
Семашко, Е.М.
Ткаченко, В.В.
Шпоняк, Т.А.
citation_txt Формирование прозрачных омических контактов к р-GaN для светоизлучающих диодов / В.И. Босый, Н.Г. Данилов, В.П. Кохан, В.А. Новицкий, Е.М. Семашко, В.В. Ткаченко, Т.А. Шпоняк // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 43-45. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Получены омические контакты к p-GaN с удельным контактным сопротивлением (1...2)x10⁻³ Ом см² и коэффициентом прозрачности 78% на длине волны 460 нм.
first_indexed 2025-12-07T17:39:08Z
format Article
fulltext ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� ���� ������������� ��������� �� � ��� ������ � �������� �!�� ���� �! "������ ����������������� � � #$%% &"����&� �! '���( ���������������� ����������� ��� ���������� � �� ��� ��� �������������������������� �� �� ���������� ���� � ��� ���� ��� )������� �! '���� $��*��+����,���� ������ ������� �� &-� ���& .+/0123 45506789:;1<=!70 >"?@%?"AB$%C D?"E?BF$GH "@%FC-'%H '"$�B'�"A ' +I0J �KL -AC�"%EK)FBMN%H �%"�"A �!"#$%�&�!�'$%(�'%��!��)��&��� �*+, (�#-%".�&���!��)���&��(!/ !�'0"%�'� %��1234562789� �6(�4�'��!:��';'%��!� / !< )$�!(�'�=>?��)�-"'�%�0!"�&�@A7���� -�� ��,��*��O�� ����P #���( ����� ��� � ��Q�� ���������������P� ���Q��P� �� ��P� ����Q+ ��,�� ���� ��*����� ������� ��������� ����� � ��� ! D�� � �R �� ����*��� ���� ��R���� ���� �,+ ��*��� �����S,�� � �TT�� �,��*� ��S��� ����R+ Q������ � �� R� �R�O����R B�CU��������! A ��� �+ O�� ���R ���������������P� -%� �� ����R ��+ ��� ���� ���R ��������� ���������P� �� �*���� ��� �! "�� �V� ��*���� ,�R�� S ��R�P ��������+ �� � � *�� ��� � � �� ���*� �� ����� ��Q�� � ���+ ����*��� S� ��R��� ��� S� � �� � ��� ������� �W��� ������������ S #�����R�� ��� �T��P� �� �R�Q���� ������� � ! �!( X Y! �� �,�� ������ -%� �����S,�� � R��������+ �P� ��� ������S�P� �� ���� ��� ��P �� ������ Z�+ ����,���P� ���������������� � *�� ��� � �� ���� ����� ! )��*Z���� �� �*����� � ���� ��*����� ��+ ��� ���� �� ���� ���Q���� �� ,��� ��� � ���S���+ Z�R ��,�� ��R ��������� �P��O����� �������+ ��������P� �� ���� ��� ��� �� � � �����Z��� ��+ �����R ��������� �,�� ������ ���Q���! A�V��� ,��*���� �� ���*Z��� ����R� ��� -%� �R�� ���+ V���� ����� ������ �R�*����� ��� �� ��! %,��� ��� * � ��,����� �R�*����� ��� �� �� � C+�Q��� � ����� �� ����� ��� � ,��*� ��S�P� �����+ � �� X�� �Y! >��R�������� V� �R�*����� ��� �� �� � B+I0J � ��,��R ����S�PR ����� �������R � �P��+ ��� ���,��*��� S� � ��Q�*�� �Q��� � ���� �� [ ��+ � � �*�� ���V�� ,���*� �,+,� � �� � �� R� ���� � �P����� ��Q� �� �P���� � �,+,� ������*���� � ����+ ������� +�Q��� � I0J! $��R� � �� �� * � ������S+ �� ��� ����R�� S \] � I0J ��� ��� � ≈^_ � ` �RU�� ������ ���� ���� ���� ,�� �� � ��������� ��R ���� I0J �QP*�� �� ��� ��� ��� ��V� X�Y! '��R� ���� � ���V���� ������ ����� ���� ���� ,�� �� R�V� ���+ ���� S �� � �*�P� �������� ����������O��� � ��+ ������� ��R ���� B+I0J � �������� ��� ������S��+ �� �P��O����� ! A ��,��S � � � ��� ������ ���� ���Q���P� ���� ���� � ��������� ��R ���� ��V�� *�R � �Qa�R�! �� ����*��� �������,����RP� �R�*����� ���+ �� �� � ��Q��RPR� ����� ���� ���R� ����������� R��V�� �� ���R R� ����,����! bP�� ����������P ���� R� ���P ��� c7� J1� d1� ef� e6� c7WJ1� c7We6� c7Wg8� c7Wef� c7W\]Wc7� c7We6Wef� c7Wg8WJ1� c7We6WJ1� c7WJ1We6 � ��! $��Q���� Z����� �� �R�*����� ���+ �� �� � +I0J �����S,�� � ��� �R� J1Wc7� ���*�R �� ��S�� � ��� ��,��*��O�� ������� �� � � �����+ ��R�� ��S�P� �Q��,��� ��,���P� ������� � �� ��P� ��Q����� � �R�*����R ��� �� �R �O� Q���� V�� + ���! )���S��� ��� �� ��� ����� ������� �� R����� ��� �� �P� ��� �R �QP*�� ������ � � �������� �� _ �U�[`�h_ �U� "R_�R� X^[�Y! D�� � �R ������ � R� � S� * � ��,��S � P ������������ �R�*����� ���+ �� �� � B+I0J� ���Q��������P� ��,��*�PR� �� �+ ��R�� *�� � ���SR� ��� �����*��P! ?����V���� � ����*���P� ��,��S � �� R��� QP S �� ,��P � ��,��+ *� R� � ������ � �������R�� �! A ������ ��Q� � ��������P ��,��S � P �������+ ����� �R�*����� ��� �� �� �� ������ ������ J1Uc7 � +�Q��� � �� ���� ����� ! �� �,�*��� T�,���+ ��R�*����� ��������� � �� �R�,���� ��V�R�� T��+ R������� �R�*����� ��� �� �� ��������P �����+ ������ ��� �� ��O��P ����� J1 � c7� ������� �������� � T��R������� ��� �� � �� ����S��� ���+ �� ��� ����� ������� � �� �*����� ����� �� ���+ �� ��� ��� �RP! D�������P ��V� ����������� ���������������� ���R�� �� � � ��� ���� &R� ���[ �������������& � ��R�OS� R� ��� ���� ������ �V�+ ���� ��������! A ��*�� �� ������P� �Q��,��� �����S,����� ���+ ������S�P� � ��� ��P B+I0J ��O���� ≈� R�R � ������ ������ ���� ���� ,�� �� #^ih(_ � � �RU�� �P+ ��O���P� �� ���T����P� �����V���! >��R�������� �� ��P� � ��� �� �� ���������+ ��� �R�*����� ��� �� �� ��������� ���V�����R R� ����*����� ����� J1 � c7 � ��������O�� �,�P�+ ��� �� ����T���! $�������� ����� ����� ��������+ �R R� ����� ��������� S �������������� �Q��Q� P+ ���� � ��� ���� jg23j � kl 3 � �*���� ̂ R�� � ���S� ������� ��Q� ������� ������! D����� J1 � c7 ����+ ���� ��������� ��S�� R� ���R ���� �����+��*���+ �� �������� � �����R��� ��� �R� �� � �� ��PR ���+ �����R �� �PZ� �_ �Uh RR � ! � ! D���� R� ����,�+ ��� �Q��,�P ���������� ��R��Q��Q� �� � ��� ���S+ ��� ��� ������ ��S��� ����� ��� �R���� ���� � ��+ ���,��� �^�[^^�m-! �� ���������� ����S���� ��� �� ���� ����� ��+ ���� ρ n �R�*����� ��� �� �� �����S,����� R� �� ������� ������ �������P� � ��Q� � XoY! bP�� �,��+ �� ��������� ���� ������������� ��������� ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �����P �Q��,�P � �����PR� ��� �� �R� �������R� D � l �� R�R� D l ����p �o�^p ^o��p ho��p �o�� � oo�� R�R! ?������������ ���R�� �� � �Q��,��� ���������+ �� R� ���R ���� ������ �V�+���� �������� � ��R�+ OS� �����,� ��� ��������� � qcr+���� T��RP st1u<8v � �����S,������R ���� ��R� �� ��� s�����+ ���*����� ,������v! -��� �P ����� �������� � ����+ �� �*����R ��,��Z����R ��� �A! �� �,R������ ���TT����� � ���,��*��� � ����+ �� J1 � c7 ���P� �� �� � ���� �� T� ����� ���� � ����R ��������*����R ����� � �Q��,��R� �� ����+ ��T�,�*����� �,R������! '��TT����� ���,��*��+ � � R� ����*����� ����� �,R�� �� � ��R�OS� ����+ ��T� �R� �� ->+�h � �����,��� ���� ���� �^�[ ��� �R � �Q���� ��� �����Z��� S� �,R����� ���+ �P ����P �� Q���� ���^w! D���� T��R������� �� ��P� �Q��,��� ������+ � �� �� ���S +�R����P� ����� ���� ��� #���(! $�+ ������� ����� ����� ���V���� ������ J1Uc7 ABH �Q��,��� QP�� ��������PR�� * � ����� ��S� ��� � T��R�������� Q��S������ ��������! AP�� R� �O�� ����� �� ABH �� �,R�� �� � ����� ��R��Q��Q� �� � � R��T��� �,� � �� ���R �����,��� �R���� ��! "�+ ���� ABH � ��������S ������PR� ����� ��R��Q��+ Q� �� �� ��,���� � �����,��� �R���� �� ���[^^�m- � �*���� � R��! ABH �Q��,���� � �VV���P� �� ��,+ ���� ��� �R���� ��� ��V� ���m-� QP�� ��������P+ R�! D�� ��R��Q��Q� �� �� ��,���� R���� � R�� ���S +�R����P� ����� ���� ��� QP�� ��� �Q��S�P+ R�! D��*���� � ��� R���� QP S �������� ��� ����+ �������� ��������� J1! $��Q����R� � R� � S� * � ��� ���P����� ����� ��ZS ������ J1 � � V��� �� �� ��,���� ��� �R����+ ��� ^��m- ������ �, ������ O�� ������O����S � �,������O��� �� Q���� ���,��*���� * � ����� ��S+ � ��� �Q ��������� J1 � �Q��,������ J1"! B����+ ��*�P� ��,��S � P ����*��P � ��Q� � XhY! $� ������ ����� �����P ABH �Q��,��� � ��� �� �+ R� J1#^� Å(Wc7#^� Å( ����� ��R��Q��Q� �� �� ��,+ ����! A ����� ! ��������P ��,��S � P �,R������ ����S���� ��� �� ���� ����� ������ �����������P� �Q��,��� � ��,��� ��O���� ������ J1 � c7 � ��,�P+ R� ��V�R�R� ��R��Q��Q� ��! D��������P� ��,��S � P ����� ��S� ��� � ���S+ ��� ,�����R�� � ����S���� ����� ������ � � ��+ O��P ����� R� ������ � � �R���� ��P ��R��Q��+ Q� ��! @���R��S�P� ,��*��� ����S���� ��� �� ��+ �� ����� ������ # i�(_ �U� "R_�R� ����*��P �� �Q��,��� � ��O���� ����� J1 � c7 ^� Å � �� Å, ��+ � �� � ������ ����� � V��� �� ��,���� � �*���� � R�� ��� �R���� ��� ̂ ��m-! $� �����" � # ����� ������ ������������� ���+ R�� �� � �Q��,��� ��� �� �� c7#^� Å(WJ1#^� Å(W B+I0J ��������� ����� ����� ���P���� R� ����� � ����� ��R��Q��Q� ��! A �������R �Q��,�� #���! �( *� �� ����P ���� ,��� � � ����� � ���R�� P ����+ ������������� �����V��! D�� � �R ����*�� �� ���+ ������ � ��� � R���R��S��! ���R��Q��Q� �� #���! �( ������� � �� �������R� �,��R����� ��� � ��� �+ E� R�B ^� � U^� U �� U �� U��^ ��� ��^ ����������F� A � � � ?��! ! A�� ��� ��R��Q��Q� �� � � R��T��� ��,���� �� ABH �Q��,��� ��� �� �� J1#^� Å(Wc7#^� Å( � B+I0J3 2 [ ���m-p 4 [ �^�m-p 9 [ ^^�m-p @ [ ^��m- ������� ���� ��� ������Å) � ��� �� ������������� ��������� ����������� ����� ���� ��� ��⋅ �2 Ni/Au (100/100) 550°C, N2 ��� ���������� �� �������������� ��� ���������� Ni/Au (50/50) 550°!���� �"# ≈1,6⋅10–2 Ni/Au (100/50) 350°!���� �"# ��� ���������� Ni/Au (80/50) 500°!���� �"# ≈8⋅10–2 Ni/Au (50/50) 500°!���� �"# ≈9⋅10–3 Ni/Au (50/100) 500°!���� �"# ≈2⋅10–3 G%<#".�)�&�'(("%-!0)�'H�!�'$%(�'I��!��)��!0���B+*+, B � R � P � � � � � � � P o� h� �� �� � � � A��R ������� � R�� ?��! �! ?������������ ���R�� �� � �������� � ��� ��� #c7WJ1(WI0J� ����*����� R� ���R ���� ������ �V�+ ���� �������� � �������PR � ����������R - " c7 J1 I0 J � � �� �� � B � R � P � � � � � � � P o� h� �� �� � � � A��R ������� � R�� ?��! �! ?������������ ���R�� �� � �Q��,�� #c7WJ1(WI0J ����� ��R��Q��Q� �� �� ��,���� ��� �R���� ��� ^��m- � �*���� � R��� ����*����� R� ���R ���� ������ �V�+ ���� �������� � �������PR � ����������R - " c7 J1 I0 J ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �^ ��������� ���� ������������� ��������� R� &R� ���[�������������&! E��� � ��TT������� � ������� ��,���� &R� ���[�������������&� � ���+ ��� ��TT������� � ��������� � R� ����*������ ��� ! '��R� ���� ��V�� � R� � S� * � � ���������+ ��� ��R ���� �Q��,�� ��,�� �����*���� � �����V�+ ��� ���������! D�� � �R ���T��S ������������ ���+ ������ � ��*�� ���T��� ������������ ����� � * � ����� ��S� ��� �Q ��������� ����� � �������� ��+ R��Q��Q� ��! '�� QP�� ���,��� �PZ�� �R�*����� ��� �� P � +�Q��� � �� ��� ��,��*��O�� ������ ���V�P �Q+ ���� S �P����� �� �*����� ���,��*��� S� � ��Q�+ *�R �����,��� ���� ��! $� �����$ ��������P ,�����+ R�� � ���TT����� � ���������� � ����P ����P �� ��������� �Q��,�� #����� 2( � ����� � V��� ��� �R+ ���� ��� ^��m- � �*���� � R�� #����� 4(! '��T+ T����� ���,��*��� � R� ����*����� ����� J1Wc7 �� ����� ����P �h� �R ��������� ����� ����� ���P��+ �� R� ����*����� ����� ��� ��� � ≈��w � ��,���+ �� ����� � V��� �� ≈�ow� * � ���� �*���� �����+ ��� � ��,��S � �R�� ����*���PR� �����R� �� ���R� X^[�Y! ��*��� S �,R����� �� ��V� x w! -��V���� ����S���� ��� �� ���� ����� ������ �R�*����� ��� �� �� � �������� ��R��Q��Q� �� ��+ �� ��P� �� ��P �� ,P��� � T��R��������R � ��+ ������� ��R ���� B+I0J �������� ����� � �� ��P� ���� ��� ��� ����� ��P �� ������� ��S��� �����*�+ ��� ������ ����� ���� ���� ,�� �� �� ������� ��,+ ���� &R� ���[�������������& X^� ̀ Y! "����� �����+ ������ X �Y ����,���� * � �������� I0 � I0J + ��� ��� �Q��S�P! A�,R�V�� �Q��,������ ��R�����+ �P� ��T�� �� � ��������R #y I0 j � (� ��T�� �� ,�R�+ O��� J1 � c7 � I0J! '�R�����P ��T�� �� y I0 Uc7JU y J � J1 I0 Uy J �R�� ��� � �*�� ��,��� ������� T��+ R������� � ���� ��� � I0J ��� ���Q���� ����� �+ �P! D�� � �R ��� �� ��� ,�R� ���� ������ � ������+ ����� ���� ���� ,�� �� � +I0J� �� R��� ���� ��+ �� S ��� ��R��������O�� ��� �P � C+I0J! D�� �R� ���*Z���� ����� � �R�*����� ��� �� �� c7WJ1 � B+I0J �� R�V� QP S �Qa ����� �Q��,������R � �� ��R�������! )��*Z���� ����� � �R�*����� ��� �� �� �� ��+ ���� J1Wc7 ��� � V��� � ������ ��S��� ����� ��Q��+ ���� � ��Q� � XhY! A ��Q� � X�Y ����,���� * � � V�� � ������ ��S��� ����� ���V�� ��� �� ��� ����� ��+ ����� �� ��� ���! z � ��,��� � ��������V� S� * � ��,����� ��,���R���� ��� �� � �� ,��� � T��R���+ �����R +J{" � ����� � ��� c7! b�, ������ ,��� � ��� �� B+I0JWB+J1 ���R�*�����! )��*Z���� �������� � ABH � ���V���� ����S��+ �� ��� �� ���� ����� ������ � ��,��S � � ��R��Q+ ��Q� �� R��� QP S �Qa ����P T��R��������R Q�+ ��� ������ ��� �� � � �Q��,������R ���R�V� �*�P� T�, � Q���� �P����� ��Q� �� �P���� � ������� ��S+ �PR �����������R ������������ ���� ��� �������+ �������! B� ��P ��Q� P XhY ������� � * � � ������+ �� ��R��Q��Q� �� � ������ ��S��� ����� �Q��,�� + � �������P c7WB+J1k � B+J1kWB+I0J! ����� ������+ �P R��� �,R�� S ��� �� ������� � ������������ + ��� �Q��� � � ��� ��P � ����Q�����O�� R�����,R �������� ���! '��R� ���� c7 R�V� �����Q� ��+ �� S �R��SZ���� �Qa�R���� ����S���� ����� ����+ �� ��� �RP c7UJ1k! "����� �� ����*��� ���Q��+ ��RP� ����P� �� ��� ��� � � ������ �*����R� ���+ ���������� ��� � ��� � �� �����,� ,����� ���+ ���RRP ���� ��� �RP ���Q����RP ���S���Z�� ��+ ��������� ! %%% ����R �Q��,�R� ���������P� ����������� ����+ ,���� * � �� ������ ��� �RP J1Wc7 R�V�� ��,���� S �R�*����� ��� �� P � +�Q��� � I0J � ����R��RP+ R� �� ��,���� ��� ��,��*��O�� ������ ����� �+ ��� ���R�! " V�� �Q��,��� ��� �� �� +I0JW J1#^� Å(Wc7# �� Å( ��� �R���� ��� ^��m- � ����+ �� ��S��� ����� � �*���� � R�� ��,��� � ����+ *� S �R�*����� ��� �� P � ����S�PR ��� �� �PR ��+ ��� �������R ���R���� # i�(_ �U� "R_�R� � ���+ ,��*��� S� �ow �� ����� ����P �h� �R! %-D"K|E"AB$$GC %-�"F$%'% ! c2}<8~= ��! J~u<2 2<n678<W t<=1<�5 ~} \~f<89 e��51n5![ ����![ y~2! ��� J �! �! \~�0//0f r! J! g~960n6 /<n�0915/5 09f f<51]9 �819n1�2<5 }~8 022~�<f ~�/1n n~960n65 6~ C+I0J WW �! c��2! e��5![ ����![ y~2! `^� J �![ e! �`��[�`^�! �! \~60�<f c!� �0=�f~= c! y!� �~<6619]<8 �! �! <6 02! t<021�061~9 ~} 1/�8~=<f /<60221�061~9+d1Wc2Wd1W�Wc7 ~�/1n n~960n65 6~ C+I0J }~8 �1]� 6</�<80678< 0��21n061~9 WW e��5! r606! r~2![ ���^![ y~2! g�� J �![ e! �^�h[�^�`! �! �<9�0085 r! e! I02217/ 91681f< /06<81025 6<n�9~2~]� WW ���!�6<n!~8]W2~�~20W66<nW�6<�<W8<�~86W�6<+n�0��!�f} ^! �~9] �! �!� �79] j! �!� �~9]+q0/ q! <6 02! \1n8~5687n67802 19=<561]061~9 ~} J1Wc7 ~�/1n n~960n6 ~9 B+6��< I0J WW �! .2<n68~+ n�</! r~n![ ����![ y~2! ��� J �![ e! �h�^[�h^ ! h! J080�09 �!� �09] j!� k� d!+j! <6 02! �~8/061~9 ~} <�160�102 c7WJ1Wc7 ~�/1n n~960n65 6~ B+I0J WW c��2! e��5! q<66![ ����![ y~2! o � J o![ e! �`�o[�`o�! �! j~ �! �!� �~9]+q0/ q! d8095�08<96 ~�/1n n~960n65 ~} ~�1f1�<f t7 09f �8 ~9 B+6��< I0J WW �! c��2! e��5![ ����![ y~2! `�� J `![ e! ^� h[^�� ! o! \082~� I! r!� �05 \! �! d�< <}}<n65 ~} n~960n6 51�< 09f 9~9+ �<8~ /<602 8<515609n< ~9 6�< f<6<8/19061~9 ~} 5�<n1}1n n~960n6 8<515609n< WW r~21f+r606< .2<n68~91n5![ `o�![ y~2! �^� J �![ e! ` [`�! `! r<79] �09 g�0<� �~~9 r<~� ��0;� r7; �12 �~~9 <6! 02! g�080n6<81561n5 ~} ��f8~]<9 56~80]< 022~� B+I0J ~�/1n n~960n65 }~8 �9I0J q.�5 WW �~78902 ~} 6�< �~8<09 e��51n02 r~n1<6�![ ���h![ y~2! �`� J �![ ?! o``[`��! �! y~9 e<�~2f �~!� �8156~�< e! �! \<602 #J1� c7(+=0n09n� n~/+ �2<�<5 19 I0J WW ���!/5/!n0/!0n!7;W05]W/<602�=0n09n���gJr� �~56<8!�f} D � � ,� �* � � � S � w �� o� h� �� �� �^� ^�� ^^� h�� h^� ����� ����P� �R ?��! �! E�����R�� S ���TT����� � ���,��*��� � � ���+ �P ����P �� ��������� �Q��,�� #2( � ����� � V��� ��� �R���� ��� ^��m- � �*���� � R�� #4( �
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52813
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 2225-5818
language Russian
last_indexed 2025-12-07T17:39:08Z
publishDate 2007
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
record_format dspace
spelling Босый, В.И.
Данилов, Н.Г.
Кохан, В.П.
Новицкий, В.А.
Семашко, Е.М.
Ткаченко, В.В.
Шпоняк, Т.А.
2014-01-07T18:58:06Z
2014-01-07T18:58:06Z
2007
Формирование прозрачных омических контактов к р-GaN для светоизлучающих диодов / В.И. Босый, Н.Г. Данилов, В.П. Кохан, В.А. Новицкий, Е.М. Семашко, В.В. Ткаченко, Т.А. Шпоняк // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 43-45. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52813
Получены омические контакты к p-GaN с удельным контактным сопротивлением (1...2)x10⁻³ Ом см² и коэффициентом прозрачности 78% на длине волны 460 нм.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Функциональная микро- и наноэлектроника
Формирование прозрачных омических контактов к р-GaN для светоизлучающих диодов
Формування прозорих омічних контактів до р-GaN для світловипромінюючих діодів
Formation of transparent ohmic contacts to p-GaN for light emitting diodes
Article
published earlier
spellingShingle Формирование прозрачных омических контактов к р-GaN для светоизлучающих диодов
Босый, В.И.
Данилов, Н.Г.
Кохан, В.П.
Новицкий, В.А.
Семашко, Е.М.
Ткаченко, В.В.
Шпоняк, Т.А.
Функциональная микро- и наноэлектроника
title Формирование прозрачных омических контактов к р-GaN для светоизлучающих диодов
title_alt Формування прозорих омічних контактів до р-GaN для світловипромінюючих діодів
Formation of transparent ohmic contacts to p-GaN for light emitting diodes
title_full Формирование прозрачных омических контактов к р-GaN для светоизлучающих диодов
title_fullStr Формирование прозрачных омических контактов к р-GaN для светоизлучающих диодов
title_full_unstemmed Формирование прозрачных омических контактов к р-GaN для светоизлучающих диодов
title_short Формирование прозрачных омических контактов к р-GaN для светоизлучающих диодов
title_sort формирование прозрачных омических контактов к р-gan для светоизлучающих диодов
topic Функциональная микро- и наноэлектроника
topic_facet Функциональная микро- и наноэлектроника
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52813
work_keys_str_mv AT bosyivi formirovanieprozračnyhomičeskihkontaktovkrgandlâsvetoizlučaûŝihdiodov
AT danilovng formirovanieprozračnyhomičeskihkontaktovkrgandlâsvetoizlučaûŝihdiodov
AT kohanvp formirovanieprozračnyhomičeskihkontaktovkrgandlâsvetoizlučaûŝihdiodov
AT novickiiva formirovanieprozračnyhomičeskihkontaktovkrgandlâsvetoizlučaûŝihdiodov
AT semaškoem formirovanieprozračnyhomičeskihkontaktovkrgandlâsvetoizlučaûŝihdiodov
AT tkačenkovv formirovanieprozračnyhomičeskihkontaktovkrgandlâsvetoizlučaûŝihdiodov
AT šponâkta formirovanieprozračnyhomičeskihkontaktovkrgandlâsvetoizlučaûŝihdiodov
AT bosyivi formuvannâprozorihomíčnihkontaktívdorgandlâsvítlovipromínûûčihdíodív
AT danilovng formuvannâprozorihomíčnihkontaktívdorgandlâsvítlovipromínûûčihdíodív
AT kohanvp formuvannâprozorihomíčnihkontaktívdorgandlâsvítlovipromínûûčihdíodív
AT novickiiva formuvannâprozorihomíčnihkontaktívdorgandlâsvítlovipromínûûčihdíodív
AT semaškoem formuvannâprozorihomíčnihkontaktívdorgandlâsvítlovipromínûûčihdíodív
AT tkačenkovv formuvannâprozorihomíčnihkontaktívdorgandlâsvítlovipromínûûčihdíodív
AT šponâkta formuvannâprozorihomíčnihkontaktívdorgandlâsvítlovipromínûûčihdíodív
AT bosyivi formationoftransparentohmiccontactstopganforlightemittingdiodes
AT danilovng formationoftransparentohmiccontactstopganforlightemittingdiodes
AT kohanvp formationoftransparentohmiccontactstopganforlightemittingdiodes
AT novickiiva formationoftransparentohmiccontactstopganforlightemittingdiodes
AT semaškoem formationoftransparentohmiccontactstopganforlightemittingdiodes
AT tkačenkovv formationoftransparentohmiccontactstopganforlightemittingdiodes
AT šponâkta formationoftransparentohmiccontactstopganforlightemittingdiodes