Формирование прозрачных омических контактов к р-GaN для светоизлучающих диодов
Получены омические контакты к p-GaN с удельным контактным сопротивлением (1...2)x10⁻³ Ом см² и коэффициентом прозрачности 78% на длине волны 460 нм.
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2007 |
| Main Authors: | , , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2007
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52813 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Формирование прозрачных омических контактов к р-GaN для светоизлучающих диодов / В.И. Босый, Н.Г. Данилов, В.П. Кохан, В.А. Новицкий, Е.М. Семашко, В.В. Ткаченко, Т.А. Шпоняк // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 43-45. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1860120632656658432 |
|---|---|
| author | Босый, В.И. Данилов, Н.Г. Кохан, В.П. Новицкий, В.А. Семашко, Е.М. Ткаченко, В.В. Шпоняк, Т.А. |
| author_facet | Босый, В.И. Данилов, Н.Г. Кохан, В.П. Новицкий, В.А. Семашко, Е.М. Ткаченко, В.В. Шпоняк, Т.А. |
| citation_txt | Формирование прозрачных омических контактов к р-GaN для светоизлучающих диодов / В.И. Босый, Н.Г. Данилов, В.П. Кохан, В.А. Новицкий, Е.М. Семашко, В.В. Ткаченко, Т.А. Шпоняк // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 43-45. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Получены омические контакты к p-GaN с удельным контактным сопротивлением (1...2)x10⁻³ Ом см² и коэффициентом прозрачности 78% на длине волны 460 нм.
|
| first_indexed | 2025-12-07T17:39:08Z |
| format | Article |
| fulltext |
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
��
���������
����
������������� ���������
��
�
���
������
�
��������
�!��
����
�!
"������
����������������� �
�
#$%%
&"����&�
�!
'���(
����������������
����������� ���
����������
� ��
��� ���
��������������������������
�� ��
���������� ����
�
��� ����
���
)�������
�!
'����
$��*��+����,����
������
�������
��
&-�
���&
.+/0123
45506789:;1<=!70
>"?@%?"AB$%C
D?"E?BF$GH
"@%FC-'%H
'"$�B'�"A
'
+I0J
�KL
-AC�"%EK)FBMN%H
�%"�"A
�!"#$%�&�!�'$%(�'%��!��)��&��� �*+,
(�#-%".�&���!��)���&��(!/ !�'0"%�'�
%��1234562789�
�6(�4�'��!:��';'%��!�
/ !< )$�!(�'�=>?��)�-"'�%�0!"�&�@A7����
-��
��,��*��O��
����P
#���(
�����
��� �
��Q��
���������������P�
���Q��P�
��
��P�
����Q+
��,��
����
��*�����
�������
���������
�����
�
���
!
D��
�
�R
��
����*���
����
��R����
����
�,+
��*���
�����S,��
�
�TT��
�,��*�
��S���
����R+
Q������
�
�� R�
�R�O����R
B�CU��������!
A
���
�+
O��
���R
���������������P�
-%�
��
����R
��+
���
����
���R
���������
���������P�
��
�*����
���
�!
"��
�V�
��*����
,�R��
S
��R�P
��������+
�� �
�
*��
���
�
�
��
���*� ��
�����
��Q��
�
���+
����*���
S�
��R���
���
S�
�
��
�
���
�������
�W���
������������
S
#�����R��
���
�T��P�
��
�R�Q����
�������
�
!
�!(
X Y!
��
�,��
������
-%�
�����S,��
�
R��������+
�P�
���
������S�P�
��
����
���
��P
��
������
Z�+
����,���P�
����������������
�
*��
���
�
��
����
����� !
)��*Z����
��
�*�����
�
����
��*�����
��+
���
����
��
����
���Q����
�� ,���
���
�
���S���+
Z�R
��,��
��R
���������
�P��O�����
�������+
��������P�
��
����
���
���
��
�
�
�����Z���
��+
�����R
���������
�,��
������
���Q���!
A�V���
,��*����
��
���*Z���
����R�
���
-%�
�R��
���+
V����
�����
������
�R�*�����
���
��
��!
%,���
���
*
�
��,�����
�R�*�����
���
��
��
�
C+�Q���
�
�����
��
�����
��� �
,��*�
��S�P�
�����+
�
��
X��
�Y!
>��R��������
V�
�R�*�����
���
��
��
�
B+I0J
�
��,��R
����S�PR
�����
�������R
�
�P��+
���
���,��*���
S�
�
��Q�*��
�Q���
�
����
��
[
��+
�
�
�*��
���V��
,���*�
�,+,�
�
��
�
��
R�
����
�
�P�����
��Q�
��
�P����
�
�,+,�
������*����
�
����+
�������
+�Q���
�
I0J!
$��R�
�
��
��
*
�
������S+
��
���
����R��
S
\]
�
I0J
���
��� �
≈^_ � `
�RU��
������
����
����
����
,�� ��
�
���������
��R
����
I0J
�QP*��
��
���
��� ���
��V�
X�Y!
'��R�
����
�
���V����
������
�����
����
����
,�� ��
R�V�
���+
����
S
��
�
�*�P�
��������
����������O���
�
��+
�������
��R
����
B+I0J
�
��������
���
������S��+
��
�P��O����� !
A
��,��S
�
�
�
���
������
����
���Q���P�
����
����
�
���������
��R
����
��V��
*�R
�
�Qa�R�!
��
����*���
�������,����RP�
�R�*�����
���+
��
��
�
��Q��RPR�
�����
����
���R�
�����������
R��V��
��
���R
R�
����,����!
bP��
����������P
����
R�
���P
���
c7�
J1�
d1�
ef�
e6�
c7WJ1�
c7We6�
c7Wg8�
c7Wef�
c7W\]Wc7�
c7We6Wef�
c7Wg8WJ1�
c7We6WJ1�
c7WJ1We6
�
��!
$��Q����
Z�����
��
�R�*�����
���+
��
��
�
+I0J
�����S,��
�
���
�R�
J1Wc7�
���*�R
��
��S��
�
���
��,��*��O��
�������
��
�
�
�����+
��R��
��S�P�
�Q��,���
��,���P�
�������
�
��
��P�
��Q�����
�
�R�*����R
���
��
�R
�O�
Q����
V��
+
���!
)���S���
���
��
���
�����
�������
��
R�����
���
��
�P�
���
�R
�QP*��
������
�
�
��������
�� _ �U�[`�h_ �U�
"R_�R�
X^[�Y!
D��
�
�R
������
�
R�
�
S�
*
�
��,��S
�
P
������������
�R�*�����
���+
��
��
�
B+I0J�
���Q��������P�
��,��*�PR�
��
�+
��R��
*��
�
���SR�
���
�����*��P!
?����V����
�
����*���P�
��,��S
�
��
R���
QP
S
�� ,��P
�
��,��+
*� R�
�
������ �
�������R��
�!
A
������
��Q�
�
��������P
��,��S
�
P
�������+
�����
�R�*�����
���
��
��
��
������
������
J1Uc7
�
+�Q���
�
��
����
����� !
��
�,�*���
T�,���+
��R�*�����
���������
�
��
�R�,����
��V�R��
T��+
R�������
�R�*�����
���
��
��
��������P
�����+
������
��� ��
��O��P
�����
J1
�
c7�
�������
��������
�
T��R�������
���
��
�
��
����S���
���+
��
���
�����
�������
�
��
�*�����
�����
��
���+
��
���
���
�RP!
D�������P
��V�
�����������
����������������
���R��
��
�
�
���
����
&R�
���[
�������������&
�
��R�OS�
R�
���
����
������
�V�+
����
��������!
A
��*��
��
������P�
�Q��,���
�����S,�����
���+
������S�P�
�
���
��P
B+I0J
��O����
≈�
R�R
�
������
������
����
����
,�� ��
#^ih(_ � �
�RU��
�P+
��O���P�
��
���T����P�
�����V���!
>��R��������
��
��P�
�
���
��
��
���������+
���
�R�*�����
���
��
��
���������
���V�����R
R�
����*�����
�����
J1
�
c7
�
��������O��
�,�P�+
���
��
����T���!
$��������
�����
�����
��������+
�R
R�
�����
���������
S
��������������
�Q��Q�
P+
����
�
���
����
jg23j
�
kl 3
�
�*����
̂
R��
�
���S�
�������
��Q�
�������
������!
D�����
J1
�
c7
����+
����
���������
��S��
R�
���R
����
�����+��*���+
��
��������
�
�����R���
���
�R�
��
�
��
��PR
���+
�����R
��
�PZ�
�_ �Uh
RR
�
!
�
!
D����
R�
����,�+
���
�Q��,�P
����������
��R��Q��Q�
��
�
���
���S+
���
���
������
��S���
�����
���
�R����
����
�
��+
���,���
�^�[^^�m-!
��
����������
����S����
���
��
����
�����
��+
����
ρ
n
�R�*�����
���
��
��
�����S,�����
R�
��
�������
������
�������P�
�
��Q�
�
XoY!
bP��
�,��+
��
���������
����
������������� ���������
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
�����P
�Q��,�P
�
�����PR�
���
��
�R�
�������R�
D
�
l ��
R�R�
D
l ����p
�o�^p
^o��p
ho��p
�o��
�
oo��
R�R!
?������������
���R��
��
�
�Q��,���
���������+
��
R�
���R
����
������
�V�+����
��������
�
��R�+
OS�
�����,�
���
���������
�
qcr+����
T��RP
st1u<8v
�
�����S,������R
����
��R�
��
���
s�����+
���*�����
,������v!
-���
�P
�����
��������
�
����+
��
�*����R
��,��Z����R
���
�A!
��
�,R������
���TT�����
�
���,��*���
�
����+
��
J1
�
c7
���P� ��
��
�
����
��
T�
�����
����
�
����R
��������*����R
�����
�
�Q��,��R�
��
����+
��T�,�*�����
�,R������!
'��TT�����
���,��*��+
�
�
R�
����*�����
�����
�,R�� ��
�
��R�OS�
����+
��T�
�R�
��
->+�h
�
�����,���
����
����
�^�[
���
�R
�
�Q����
���
�����Z���
S�
�,R�����
���+
�P
����P
��
Q����
���^w!
D����
T��R�������
��
��P�
�Q��,���
������+
� ��
��
���S
+�R����P�
�����
����
���
#���(!
$�+
�������
�����
�����
���V����
������
J1Uc7
ABH
�Q��,���
QP��
��������PR��
*
�
�����
��S�
���
�
T��R��������
Q��S������
��������!
AP�� R� �O��
�����
��
ABH
��
�,R�� ��
�
�����
��R��Q��Q�
��
�
�
R��T���
�,�
�
��
���R
�����,���
�R����
��!
"�+
����
ABH
�
��������S
������PR�
�����
��R��Q��+
Q�
��
��
��,����
�
�����,���
�R����
��
���[^^�m-
�
�*����
�
R��!
ABH
�Q��,����
�
�VV���P�
��
��,+
����
���
�R����
���
��V�
���m-�
QP��
��������P+
R�!
D��
��R��Q��Q�
��
��
��,����
R����
�
R��
���S
+�R����P�
�����
����
���
QP��
���
�Q��S�P+
R�!
D��*����
�
���
R����
QP
S
��������
���
����+
��������
���������
J1!
$��Q����R�
�
R�
�
S�
*
�
���
���P�����
�����
��ZS
������
J1
�
�
V���
��
��
��,����
���
�R����+
���
^��m-
������
�,
������ O��
������O����S
�
�,������O���
��
Q����
���,��*����
*
�
�����
��S+
�
���
�Q
���������
J1
�
�Q��,������
J1"!
B����+
��*�P�
��,��S
�
P
����*��P
�
��Q�
�
XhY!
$�
������
�����
�����P
ABH
�Q��,���
�
���
��
�+
R�
J1#^�
Å(Wc7#^�
Å(
�����
��R��Q��Q�
��
��
��,+
����!
A
����� !
��������P
��,��S
�
P
�,R������
����S����
���
��
����
�����
������
�����������P�
�Q��,���
�
��,���
��O����
������
J1
�
c7
�
��,�P+
R�
��V�R�R�
��R��Q��Q�
��!
D��������P�
��,��S
�
P
�����
��S�
���
�
���S+
���
,�����R��
�
����S����
�����
������
�
�
��+
O��P
�����
R�
������
�
�
�R����
��P
��R��Q��+
Q�
��!
@���R��S�P�
,��*���
����S����
���
��
��+
��
�����
������
# i�(_ �U�
"R_�R�
����*��P
��
�Q��,���
�
��O����
�����
J1
�
c7
^�
Å
�
��
Å, ��+
�
��
�
������
�����
�
V���
��
��,����
�
�*����
�
R��
���
�R����
���
̂ ��m-!
$�
�����"
�
#
�����
������
�������������
���+
R��
��
�
�Q��,���
���
��
��
c7#^�
Å(WJ1#^�
Å(W
B+I0J
���������
�����
�����
���P����
R�
�����
�
�����
��R��Q��Q�
��!
A
�������R
�Q��,��
#���!
�(
*�
��
����P
����
,���
�
�
�����
�
���R��
P
����+
�������������
�����V��!
D��
�
�R
����*��
��
���+
������
�
��� �
R���R��S��!
���R��Q��Q�
��
#���!
�(
�������
�
��
�������R�
�,��R�����
���
�
���
�+
E�
R�B
^�
�
U^�
U ��
U ��
U��^
���
��^
����������F�
A
�
�
�
?��!
!
A�� ���
��R��Q��Q�
��
�
�
R��T���
��,����
��
ABH
�Q��,���
���
��
��
J1#^�
Å(Wc7#^�
Å(
�
B+I0J3
2
[
���m-p
4
[
�^�m-p
9
[
^^�m-p
@
[
^��m-
�������
����
���
������Å)
�
���
��
�������������
���������
�����������
�����
����
���
��⋅
�2
Ni/Au (100/100) 550°C, N2 ���
����������
�� ��������������
���
����������
Ni/Au (50/50)
550°!���� �"# ≈1,6⋅10–2
Ni/Au (100/50) 350°!���� �"# ���
����������
Ni/Au (80/50) 500°!���� �"# ≈8⋅10–2
Ni/Au (50/50) 500°!���� �"# ≈9⋅10–3
Ni/Au (50/100) 500°!���� �"# ≈2⋅10–3
G%<#".�)�&�'(("%-!0)�'H�!�'$%(�'I��!��)��!0���B+*+,
B
�
R
�
P
�
�
�
�
�
�
�
P
o�
h�
��
��
�
�
�
A��R
������� �
R��
?��!
�!
?������������
���R��
��
�
��������
�
���
���
#c7WJ1(WI0J�
����*�����
R�
���R
����
������
�V�+
����
��������
�
�������PR
�
����������R
-
"
c7
J1
I0
J
�
�
��
��
�
B
�
R
�
P
�
�
�
�
�
�
�
P
o�
h�
��
��
�
�
�
A��R
������� �
R��
?��!
�!
?������������
���R��
��
�
�Q��,��
#c7WJ1(WI0J
�����
��R��Q��Q�
��
��
��,����
���
�R����
���
^��m-
�
�*����
�
R���
����*�����
R�
���R
����
������
�V�+
����
��������
�
�������PR
�
����������R
-
"
c7
J1
I0
J
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
�^
���������
����
������������� ���������
R�
&R�
���[�������������&!
E���
�
��TT�������
�
�������
��,����
&R�
���[�������������&�
�
���+
���
��TT�������
�
���������
�
R�
����*������
��� !
'��R�
����
��V��
�
R�
�
S�
*
�
�
���������+
���
��R
����
�Q��,��
��,��
�����*����
�
�����V�+
���
���������!
D��
�
�R
���T��S
������������
���+
������
�
��*��
���T���
������������
����� �
*
�
�����
��S�
���
�Q
���������
�����
�
��������
��+
R��Q��Q�
��!
'��
QP��
���,���
�PZ��
�R�*�����
���
��
P
�
+�Q���
�
��
���
��,��*��O��
������
���V�P
�Q+
����
S
�P�����
��
�*�����
���,��*���
S�
�
��Q�+
*�R
�����,���
����
��!
$�
�����$
��������P
,�����+
R��
�
���TT�����
�
����������
�
����P
����P
��
���������
�Q��,��
#�����
2(
�
�����
�
V���
���
�R+
����
���
^��m-
�
�*����
�
R��
#�����
4(!
'��T+
T�����
���,��*���
�
R�
����*�����
�����
J1Wc7
��
�����
����P
�h�
�R
���������
�����
�����
���P��+
��
R�
����*�����
�����
���
��� �
≈��w
�
��,���+
��
�����
�
V���
��
≈�ow�
*
�
����
�*����
�����+
���
�
��,��S
�
�R��
����*���PR�
�����R�
��
���R�
X^[�Y!
��*���
S
�,R�����
��
��V�
x w!
-��V����
����S����
���
��
����
�����
������
�R�*�����
���
��
��
�
��������
��R��Q��Q�
��
��+
��
��P�
��
��P
�� ,P���
�
T��R��������R
�
��+
�������
��R
����
B+I0J
��������
����� �
��
��P�
����
���
���
�����
��P
��
�������
��S���
�����*�+
���
������
�����
����
����
,�� ��
��
�������
��,+
����
&R�
���[�������������&
X^�
̀ Y!
"�����
�����+
������
X �Y
����,����
*
�
��������
I0
�
I0J
+
���
���
�Q��S�P!
A�,R�V��
�Q��,������
��R�����+
�P�
��T��
��
�
��������R
#y
I0
j
�
(�
��T��
��
,�R�+
O���
J1
�
c7
�
I0J!
'�R�����P
��T��
��
y
I0
Uc7JU
y
J
�
J1
I0
Uy
J
�R��
���
�
�*��
��,���
�������
T��+
R�������
�
����
���
�
I0J
���
���Q����
�����
�+
�P!
D��
�
�R
���
��
���
,�R�
����
������
�
������+
�����
����
����
,�� ��
�
+I0J�
��
R���
����
��+
��
S
���
��R��������O��
���
�P
�
C+I0J!
D��
�R�
���*Z����
�����
�
�R�*�����
���
��
��
c7WJ1
�
B+I0J
��
R�V�
QP
S
�Qa �����
�Q��,������R
�
��
��R�������!
)��*Z����
�����
�
�R�*�����
���
��
��
��
��+
����
J1Wc7
���
�
V���
�
������
��S���
�����
��Q��+
����
�
��Q�
�
XhY!
A
��Q�
�
X�Y
����,����
*
�
�
V��
�
������
��S���
�����
���V��
���
��
���
�����
��+
�����
��
��� ���!
z
�
��,��� �
��������V�
S�
*
�
��,�����
��,���R����
���
��
�
�� ,���
�
T��R���+
�����R
+J{"
�
�����
�
���
c7!
b�,
������
,���
�
���
��
B+I0JWB+J1
���R�*�����!
)��*Z����
��������
�
ABH
�
���V����
����S��+
��
���
��
����
�����
������
�
��,��S
�
�
��R��Q+
��Q�
��
R���
QP
S
�Qa ����P
T��R��������R
Q�+
���
������
���
��
�
�
�Q��,������R
���R�V�
�*�P�
T�,
�
Q����
�P�����
��Q�
��
�P����
�
�������
��S+
�PR
�����������R
������������
����
���
�������+
�������!
B�
��P
��Q�
P
XhY
�������
�
*
�
�
������+
��
��R��Q��Q�
��
�
������
��S���
�����
�Q��,��
+
�
�������P
c7WB+J1k
�
B+J1kWB+I0J!
�����
������+
�P
R���
�,R��
S
���
��
�������
�
������������
+
���
�Q���
�
�
���
��P
�
����Q�����O��
R�����,R
��������
���!
'��R�
����
c7
R�V�
�����Q�
��+
��
S
�R��SZ����
�Qa�R����
����S����
�����
����+
��
���
�RP
c7UJ1k!
"�����
��
����*���
���Q��+
��RP�
����P�
��
���
���
�
�
������
�*����R�
���+
����������
���
� ���
�
��
�����,�
,�����
���+
���RRP
����
���
�RP
���Q����RP
���S���Z��
��+
��������� !
%%%
����R
�Q��,�R�
���������P�
�����������
����+
,����
*
�
��
������
���
�RP
J1Wc7
R�V��
��,����
S
�R�*�����
���
��
P
�
+�Q���
�
I0J
�
����R��RP+
R�
��
��,����
���
��,��*��O��
������
�����
�+
���
���R�!
"
V��
�Q��,���
���
��
��
+I0JW
J1#^�
Å(Wc7# ��
Å(
���
�R����
���
^��m-
�
����+
��
��S���
�����
�
�*����
�
R��
��,��� �
����+
*�
S
�R�*�����
���
��
P
�
����S�PR
���
��
�PR
��+
���
�������R
���R����
# i�(_ �U�
"R_�R�
�
���+
,��*���
S�
�ow
��
�����
����P
�h�
�R!
%-D"K|E"AB$$GC
%-�"F$%'%
!
c2}<8~=
��!
J~u<2
2<n678<W
t<=1<�5
~}
\~f<89
e��51n5![
����![
y~2!
���
J
�!
�!
\~�0//0f
r!
J!
g~960n6
/<n�0915/5
09f
f<51]9
�819n1�2<5
}~8
022~�<f
~�/1n
n~960n65
6~
C+I0J
WW
�!
c��2!
e��5![
����![
y~2!
`^�
J
�![
e!
�`��[�`^�!
�!
\~60�<f
c!�
�0=�f~=
c!
y!�
�~<6619]<8
�!
�!
<6
02!
t<021�061~9
~}
1/�8~=<f
/<60221�061~9+d1Wc2Wd1W�Wc7
~�/1n
n~960n65
6~
C+I0J
}~8
�1]�
6</�<80678<
0��21n061~9
WW
e��5!
r606!
r~2![
���^![
y~2!
g��
J
�![
e!
�^�h[�^�`!
�!
�<9�0085
r!
e!
I02217/
91681f<
/06<81025
6<n�9~2~]�
WW
���!�6<n!~8]W2~�~20W66<nW�6<�<W8<�~86W�6<+n�0��!�f}
^!
�~9]
�!
�!�
�79]
j!
�!�
�~9]+q0/
q!
<6
02!
\1n8~5687n67802
19=<561]061~9
~}
J1Wc7
~�/1n
n~960n6
~9
B+6��<
I0J
WW
�!
.2<n68~+
n�</!
r~n![
����![
y~2!
���
J
�![
e!
�h�^[�h^ !
h!
J080�09
�!�
�09]
j!�
k�
d!+j!
<6
02!
�~8/061~9
~}
<�160�102
c7WJ1Wc7
~�/1n
n~960n65
6~
B+I0J
WW
c��2!
e��5!
q<66![
����![
y~2!
o �
J
o![
e!
�`�o[�`o�!
�!
j~
�!
�!�
�~9]+q0/
q!
d8095�08<96
~�/1n
n~960n65
~}
~�1f1�<f
t7
09f
�8
~9
B+6��<
I0J
WW
�!
c��2!
e��5![
����![
y~2!
`��
J
`![
e!
^� h[^�� !
o!
\082~�
I!
r!�
�05
\!
�!
d�<
<}}<n65
~}
n~960n6
51�<
09f
9~9+
�<8~
/<602
8<515609n<
~9
6�<
f<6<8/19061~9
~}
5�<n1}1n
n~960n6
8<515609n<
WW
r~21f+r606<
.2<n68~91n5![
`o�![
y~2!
�^�
J
�![
e!
` [`�!
`!
r<79]
�09
g�0<�
�~~9
r<~�
��0;�
r7;
�12
�~~9
<6!
02!
g�080n6<81561n5
~}
��f8~]<9
56~80]<
022~�
B+I0J
~�/1n
n~960n65
}~8
�9I0J
q.�5
WW
�~78902
~}
6�<
�~8<09
e��51n02
r~n1<6�![
���h![
y~2!
�`�
J
�![
?!
o``[`��!
�!
y~9
e<�~2f
�~!�
�8156~�<
e!
�!
\<602
#J1�
c7(+=0n09n�
n~/+
�2<�<5
19
I0J
WW
���!/5/!n0/!0n!7;W05]W/<602�=0n09n���gJr�
�~56<8!�f}
D
�
�
,�
�*
�
�
�
S
�
w
��
o�
h�
��
��
�^�
^��
^^�
h��
h^�
�����
����P�
�R
?��!
�!
E�����R��
S
���TT�����
�
���,��*���
�
�
���+
�P
����P
��
���������
�Q��,��
#2(
�
�����
�
V���
���
�R����
���
^��m-
�
�*����
�
R��
#4(
�
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52813 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T17:39:08Z |
| publishDate | 2007 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Босый, В.И. Данилов, Н.Г. Кохан, В.П. Новицкий, В.А. Семашко, Е.М. Ткаченко, В.В. Шпоняк, Т.А. 2014-01-07T18:58:06Z 2014-01-07T18:58:06Z 2007 Формирование прозрачных омических контактов к р-GaN для светоизлучающих диодов / В.И. Босый, Н.Г. Данилов, В.П. Кохан, В.А. Новицкий, Е.М. Семашко, В.В. Ткаченко, Т.А. Шпоняк // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 43-45. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52813 Получены омические контакты к p-GaN с удельным контактным сопротивлением (1...2)x10⁻³ Ом см² и коэффициентом прозрачности 78% на длине волны 460 нм. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Функциональная микро- и наноэлектроника Формирование прозрачных омических контактов к р-GaN для светоизлучающих диодов Формування прозорих омічних контактів до р-GaN для світловипромінюючих діодів Formation of transparent ohmic contacts to p-GaN for light emitting diodes Article published earlier |
| spellingShingle | Формирование прозрачных омических контактов к р-GaN для светоизлучающих диодов Босый, В.И. Данилов, Н.Г. Кохан, В.П. Новицкий, В.А. Семашко, Е.М. Ткаченко, В.В. Шпоняк, Т.А. Функциональная микро- и наноэлектроника |
| title | Формирование прозрачных омических контактов к р-GaN для светоизлучающих диодов |
| title_alt | Формування прозорих омічних контактів до р-GaN для світловипромінюючих діодів Formation of transparent ohmic contacts to p-GaN for light emitting diodes |
| title_full | Формирование прозрачных омических контактов к р-GaN для светоизлучающих диодов |
| title_fullStr | Формирование прозрачных омических контактов к р-GaN для светоизлучающих диодов |
| title_full_unstemmed | Формирование прозрачных омических контактов к р-GaN для светоизлучающих диодов |
| title_short | Формирование прозрачных омических контактов к р-GaN для светоизлучающих диодов |
| title_sort | формирование прозрачных омических контактов к р-gan для светоизлучающих диодов |
| topic | Функциональная микро- и наноэлектроника |
| topic_facet | Функциональная микро- и наноэлектроника |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52813 |
| work_keys_str_mv | AT bosyivi formirovanieprozračnyhomičeskihkontaktovkrgandlâsvetoizlučaûŝihdiodov AT danilovng formirovanieprozračnyhomičeskihkontaktovkrgandlâsvetoizlučaûŝihdiodov AT kohanvp formirovanieprozračnyhomičeskihkontaktovkrgandlâsvetoizlučaûŝihdiodov AT novickiiva formirovanieprozračnyhomičeskihkontaktovkrgandlâsvetoizlučaûŝihdiodov AT semaškoem formirovanieprozračnyhomičeskihkontaktovkrgandlâsvetoizlučaûŝihdiodov AT tkačenkovv formirovanieprozračnyhomičeskihkontaktovkrgandlâsvetoizlučaûŝihdiodov AT šponâkta formirovanieprozračnyhomičeskihkontaktovkrgandlâsvetoizlučaûŝihdiodov AT bosyivi formuvannâprozorihomíčnihkontaktívdorgandlâsvítlovipromínûûčihdíodív AT danilovng formuvannâprozorihomíčnihkontaktívdorgandlâsvítlovipromínûûčihdíodív AT kohanvp formuvannâprozorihomíčnihkontaktívdorgandlâsvítlovipromínûûčihdíodív AT novickiiva formuvannâprozorihomíčnihkontaktívdorgandlâsvítlovipromínûûčihdíodív AT semaškoem formuvannâprozorihomíčnihkontaktívdorgandlâsvítlovipromínûûčihdíodív AT tkačenkovv formuvannâprozorihomíčnihkontaktívdorgandlâsvítlovipromínûûčihdíodív AT šponâkta formuvannâprozorihomíčnihkontaktívdorgandlâsvítlovipromínûûčihdíodív AT bosyivi formationoftransparentohmiccontactstopganforlightemittingdiodes AT danilovng formationoftransparentohmiccontactstopganforlightemittingdiodes AT kohanvp formationoftransparentohmiccontactstopganforlightemittingdiodes AT novickiiva formationoftransparentohmiccontactstopganforlightemittingdiodes AT semaškoem formationoftransparentohmiccontactstopganforlightemittingdiodes AT tkačenkovv formationoftransparentohmiccontactstopganforlightemittingdiodes AT šponâkta formationoftransparentohmiccontactstopganforlightemittingdiodes |