Автоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур
Описан автоматизированный спектрометр для исследования параметров примесных и дефектных глубоких центров, поверхностных состояний в полупроводниковых структурах методом релаксационной спектроскопии глубоких уровней....
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Datum: | 2007 |
| Hauptverfasser: | , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2007
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52818 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Автоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур / Ю.В. Бойко, Г.В. Кузнецов, С.М. Савицкий, О.В. Третяк // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 59-61. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862688210942951424 |
|---|---|
| author | Бойко, Ю.В. Кузнецов, Г.В. Савицкий, С.М. Третяк, О.В. |
| author_facet | Бойко, Ю.В. Кузнецов, Г.В. Савицкий, С.М. Третяк, О.В. |
| citation_txt | Автоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур / Ю.В. Бойко, Г.В. Кузнецов, С.М. Савицкий, О.В. Третяк // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 59-61. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Описан автоматизированный спектрометр для исследования параметров примесных и дефектных глубоких центров, поверхностных состояний в полупроводниковых структурах методом релаксационной спектроскопии глубоких уровней.
|
| first_indexed | 2025-12-07T16:08:19Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52818 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T16:08:19Z |
| publishDate | 2007 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Бойко, Ю.В. Кузнецов, Г.В. Савицкий, С.М. Третяк, О.В. 2014-01-07T19:17:54Z 2014-01-07T19:17:54Z 2007 Автоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур / Ю.В. Бойко, Г.В. Кузнецов, С.М. Савицкий, О.В. Третяк // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 59-61. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52818 Описан автоматизированный спектрометр для исследования параметров примесных и дефектных глубоких центров, поверхностных состояний в полупроводниковых структурах методом релаксационной спектроскопии глубоких уровней. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Технологические процессы и оборудование Автоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур Автоматизований спектрометр глибоких рівнів для дослідження напівпровідникових структур Automated spectrometer of deep levels for research semiconducting structures Article published earlier |
| spellingShingle | Автоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур Бойко, Ю.В. Кузнецов, Г.В. Савицкий, С.М. Третяк, О.В. Технологические процессы и оборудование |
| title | Автоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур |
| title_alt | Автоматизований спектрометр глибоких рівнів для дослідження напівпровідникових структур Automated spectrometer of deep levels for research semiconducting structures |
| title_full | Автоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур |
| title_fullStr | Автоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур |
| title_full_unstemmed | Автоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур |
| title_short | Автоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур |
| title_sort | автоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур |
| topic | Технологические процессы и оборудование |
| topic_facet | Технологические процессы и оборудование |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52818 |
| work_keys_str_mv | AT boikoûv avtomatizirovannyispektrometrglubokihurovneidlâissledovaniâpoluprovodnikovyhstruktur AT kuznecovgv avtomatizirovannyispektrometrglubokihurovneidlâissledovaniâpoluprovodnikovyhstruktur AT savickiism avtomatizirovannyispektrometrglubokihurovneidlâissledovaniâpoluprovodnikovyhstruktur AT tretâkov avtomatizirovannyispektrometrglubokihurovneidlâissledovaniâpoluprovodnikovyhstruktur AT boikoûv avtomatizovaniispektrometrglibokihrívnívdlâdoslídžennânapívprovídnikovihstruktur AT kuznecovgv avtomatizovaniispektrometrglibokihrívnívdlâdoslídžennânapívprovídnikovihstruktur AT savickiism avtomatizovaniispektrometrglibokihrívnívdlâdoslídžennânapívprovídnikovihstruktur AT tretâkov avtomatizovaniispektrometrglibokihrívnívdlâdoslídžennânapívprovídnikovihstruktur AT boikoûv automatedspectrometerofdeeplevelsforresearchsemiconductingstructures AT kuznecovgv automatedspectrometerofdeeplevelsforresearchsemiconductingstructures AT savickiism automatedspectrometerofdeeplevelsforresearchsemiconductingstructures AT tretâkov automatedspectrometerofdeeplevelsforresearchsemiconductingstructures |