Автоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур
Описан автоматизированный спектрометр для исследования параметров примесных и дефектных глубоких центров, поверхностных состояний в полупроводниковых структурах методом релаксационной спектроскопии глубоких уровней....
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Дата: | 2007 |
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2007
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52818 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Автоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур / Ю.В. Бойко, Г.В. Кузнецов, С.М. Савицкий, О.В. Третяк // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 59-61. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1859930749673668608 |
|---|---|
| author | Бойко, Ю.В. Кузнецов, Г.В. Савицкий, С.М. Третяк, О.В. |
| author_facet | Бойко, Ю.В. Кузнецов, Г.В. Савицкий, С.М. Третяк, О.В. |
| citation_txt | Автоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур / Ю.В. Бойко, Г.В. Кузнецов, С.М. Савицкий, О.В. Третяк // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 59-61. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Описан автоматизированный спектрометр для исследования параметров примесных и дефектных глубоких центров, поверхностных состояний в полупроводниковых структурах методом релаксационной спектроскопии глубоких уровней.
|
| first_indexed | 2025-12-07T16:08:19Z |
| format | Article |
| fulltext |
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
��
��������� �
����
����
����������������
��
�
���
������
�
�������
!�"��
����
�"
#������
��������������� ��
���
��� �
$%&'
�("
)"
*"
+�,���-���
�"
.���/
������������������
���������������������������������
��������� �� ���������������������������
0�������
.�������
��������1�2�
��������
�
�("
������
3��4����
*56789:
;<=>?@ABCD<>8>?@";8?C"<7
��� !�� !"#$�!#�%�&$"!��'(� �)*#&$�
�)#&��+,�� +)�$"!��,��!&!�)#&$"��&��
�) �'-����)�)*#�'-�.+/0$*�-�1)�#&$"�
�$")&-�$ #�'-� $ #$,��(�"��$+/�&$"$��
��*$"'-� #&/*#/&!-��)#$�$�� &)+!* !�
1�$��$(� �)*#&$ *$���� .+/0$*�-� /&$"�
�)(�
'��(���2�
�
��E��
�2�
���F����
���
�2
�
����5
����������
�
��
���
��������
��G����
��H��
�����
���
��
�����
����
���
F��1,���
��
����������5
�����2�
���F����"
#���(
�G
���F����
��E��(�
��5
�2�
�
4���
��
��1�2�
(�
����
���
���
����(�
���
���(���2�
�
��E��
�2�
���
���
�� �
�
(�
��
��5
������������
����
��������
���F����
�������
$�
��/�
��������2�
��
�G(������
�
�����
�����
�(5
����
�����
G�����(��
�
����������
�(���
�
������5
���
��5F��1�����
�
���
��2
�����
��G����
��
�(���1�����
�(�H���
I!�
�J"
K
�
(�
��
��G��� �
���������
1
�����
����
���
���F����
��������
�� 5
G���2�
�
����
��4����
��
���2(�
���
��(�
$������5
������5����(F��������2(�
���
��(��
����,��(�/
�
���������������2�
�
���
����
���
L&235�������L�
L(�
���M�������������L
$F��1��
3�
��/�
L(�5
���M������
���M�������������L"
��
�����������
�����
,�������
������
�FN��5
��
���F����(�
�F����4����
�������(��
��1���
4��5
��
���
��
�
�� H��
(�
�����
�����G�
�
�F��F�
��
��E��(����"
O�
���1���
�� �
�
G���4�
���,���5
��
��������(���
������
�4������
����
��
���F����
���
� ����
���2,���
4���
��
��1���
�
�
�4���
�
�G(������
I��
PJ"
����
���
������������
�
���
��
�
�G����� H�(�
������2(�
��� (�
$L(�
���M��5
���M�������������L�
���(���5��5�G��
���
�
"
�"/
��G����
���F��(2�
�� G���2�
�
��G�������(
����
���������
�2�
���
� ���
��
��������
��G����
�
���5
F����
�������
�
�FN�(�
��������������"
.
����Q����
��������
����
�E������
������2
���F����
�������
�������
����4��
�
����������5
����
���
Q���2�
�
���
���2�
��E��
��
$�������5
����
(�QE�G�2�
������/
I�J"
'��
Q���2�
���
��2�
�
���
���2�
��E��
2
����
��4����
��
���2�
��
5
�
(��
�(
��������
�4�4�2�
��E��
���
�2G2��
�F��G������
�����1�2�
�������
��E��(����
�
����5
��4�����
�����"
K
�
�������
�
�,�����
�����
�
����
��
RST0�
������E(�4�����
G�����(��
�
�(5
O)�#UO�%V%R#)OWWXY
S'*.�R#U*�R
T+0Z#.%[
0R#)W*Y
�+\
%SS+*�#)OW%\
'#+0'R#)#�W%.#)X[
S�R0.�0R
���
��2
�������
�
���
��1���
�
G����� H���
�(5
���1��"
'�
��������
�G(������
�(���
�
������������2�
����
��(�
�2
���
�
��
(��
��2�
$�
��(���������
�
����������
�(���
�
�����
�G(���
���(/
�
F�G
��(5
�����
���
I��
�"
�!M]�J"
W���4��
��(�����
���
��
�����
��G��� �
���,���
1
����(�4�����
�����G��
�G(�������
���2��
1
4���
��
��1���
1"
#�����
�5
���
����
��(�
�2
���Q�2
�
�������
�����
��G����5
���F��(2
�
����F������"
��
�����G�
�������5
��������
�������
���F����
4��
�
�����1G�
�
�
��5
F����(2�
��������2�
������(���
��2�
�2��� H��
������2
�
�����
���2(
���(���(
����������"
)
���
� H��
��F�
�
�������
��
�(�
�G��������
���
�(�
RST0
��
�������
���
���������������2�
�
���
���
��G��� H�
���2��
1
4���
��
��1���
1
�G(������
�
�����
�
1
��
�����
���
����2�"
%G5
(�����
������
�
(�
���(
�
��F�������
�
�����5
�����(
��G��1
�
��
�
��(�1
���
�
��(�H1
��F���
���
��
�
�� H��
������((
���������
�
�F��F�
��
����2�"
S���
��(�
�
��G��� �
�G(��
1
��������5
��
�
������������
���1
5E�����2�
�����
����
�5
���
������
����������
�(���
�
���
���
� ���(
��5
�� Q�����
�G(������
�������
����������
�(���
�
�
�(����
��2"
S���
��(�
�
�F����4����
��F�
�
�
����
��Q�5
(��"
#F24�2�
��Q�(
RST0
M
�����
�
���� Q����
�(�H��� �
�F����4��� H��
(����(��1���
�F����5
���
��������(���
��� "
S�����
RST0
�G(�� �
�
�����
����4�
G����� H���
�(���1��
���
�2F����
����
����
�
���F����
�������"
)
����
��Q�(
M
��5
���
�
�� (��
�(�H�����
���
��
���(
����,��
G�5
������2"
S�����
RST0
�G(�� �
�
�����
����4�
�(5
���1��
�F������
���
G���������
����,��"
�����5
G��
�G(�����
�(���
�
�
!
��
!��
�&
���
������15
��(
��G��,����
��� ���
!�^�
�&"
W�� ��
�
(�
������
�(����
������
���������5
��
���
E����������2�
G��4��� �
���(������
����
�����1G��
�
��G���
��
��
���(����(�
����
$�
!�^_
�
��
!�
�/"
0�
������
��G��� �
G�
����
�(����
��5
�2�
������
�
]�
��
���
.
G�����
1
����
�2
��
4�5
2���
����
������
�
�(�����"
)��(
����������
�(5
���
�
�G(�� �
�
�
��
������
PM���
��
���4�(
�
��G5
�2�
(�(��
2
����������
�(���
�
�������
�
����5
�����
��
�����1�2�
G�
����������2�
�
��G��
���(�5
��
�(���
��
�F��G��"
���
��1���
1
�(���1��
G����5
_�
��������� �
����
����
����������������
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
����
$`P
(�/
���
�
�4��
��
�F����4���
(����(��15
���
G���������
�
���F����
�������"
#FH�
F���5���(�
���������������
����
��(�
5
��
�����
������
��
������"
0�
������
���
��
�G
��(5
�1
���
$����H������
���
��
������
�FH���
���1G�5
����
�
(����E���������1���
���
��
RSa5!�!�bc/�
����������
4��
��
���1
(�
���
�
��
�4�����
��
��� �
��
��E������
4��
�
�
�����
�
�"
'��(������
�����5
���1����
��(�1
���
�
��(������
��
����
��(�
��(
���
��G(�Q���
1
��
�(�
�G�����
1
�������2
�G(�5
����
�
�F��F�
��
��G��1
�
���
�����
�
1
������
�����1G�����
��G�2�
(���E������
��������������
����
��������
���F����
�������
I_J"
%�
�4����
��
���
������
��Q�2�
���� Q���
$G�������� �
�(�H��� /
�
����������
4��
�
�
�
���5
��
�
�"
)��1
(�
�2
������G��4��2
��
�G(�����
��5
�� Q�����
������������1�2�
�(����
����
�(���
��
�������
����������
�(���
�"
'�������1�2�
��(5
�1
��
�2���� �
���1
���
�������
�
������G��4��
��
���������
�������(��
�("
R��1
���� Q���
(�Q��
��(�1
���(
�
��
�4����(�
��
���
�
���1
(�
��(
�2���� �
��
��E�����
4��
1
����
��(�
��"
.����
�
������G5
��4��
��
������Q���
�(����
��2
�
���
��
�
�� H�(
�����G���
$��MP��
./"
)
�����
�
�
������
�
�������
��1�
��
5
4��
�(����
��2�
�F��G��
�
��G������
��
��������
�"
'��
���2,����
4��
�
2
�G(���
��15
����
�������
���F����
���
�2
��
����5
��
����G�� Q�
1� �
4
�
��G��� �
���5
,���
1
��������(2�
�����G��
���
�5
��2�
���(���
�(�����
����
����"
S
������
�
����2�
���,��(
�2����
4�5
�
�
�
�G(���
��1����
�������
������2���
������5
4���
��
�����G��
��������(2�
�
���
��
�
����Q5
� �
�������
�G(����� "
#�
�(��1�2(�
��
RST05
�G(������
��
�
4��
�
2
��!M!��
UT�"
Z���5���(�
����������
4��
�
���������������
����
��(�
��
�����
������
��
����� �"
0�
����
��
E��(�������
��� 4��
G��� H��
������
���
E��5
(�����
���
�(���1����
��������
�
�G(���
��1����
���������
������ �(2�
��((�
���
�����
��1
�2��5
���
4��
�
2�
��������2�
��
��
���
������(���
��"
W�Q�
����4�����2
������2�
E������
���
��� H��
����������
4��
�
����
��(�
��"
�!�!45�(�.)�)&!#$&�
)
��4��
��
G��� H���
��5
����
���
�����1G�����
��G��4��
�
�2�
�����G���5
�2�
������
��
��������
���
T�5!��"
6$&��&$"!#)+7�$�$&�$.$� �.�!+!�
'�����G��4��
��
����4���
�2����4��
�
����
��������
���F����5
(���
��
��F�
2
�����������
��
��
���
���
�����5
�������
�(�������
�F��G��"
&��(�����
��1
������5
��
�������
���
��
�G
����������
������
����
E��5
(�����
��
�� (�����1�2�
�(���1���
�
����
�� �
E��(�����
��
�(���1���
�
G�����2(
������(
E�G2�
F�E������
�����
��
(�H���
�
�
��((�
�
���"
Z2�5
������
�� H��
(�������(2
E��(���
������2
�
E��(�
(������
��
������(
E�G
��
!]��
���"
'���2�
���
���� Q���
���
���
��
�����
��1
(�H���
�
�
��
�(
��
��������2�
��
��
��"
)
G�����(��
�
�
���
� ��
��((�
�
���
��
����
E��(�����
��
�G5
(���
��1����
�������
���
����
���� Q����
�
E�G��
!]��
��F�
���"
6$&��&$"!#)+7����/+7 $"�
'�����G��4��
��
��5
G����
��F���
�(���1����
���F����(2�
��
��F�
2
������ �(���
��((�
���
�
������(���
���"
Z���
��F���
��
������
�4�
4���
�(���1����
��,�E��
���
�
�����
����
(�H���
�"
6$&��&$"!#)+7��%�)&�#)+7�$.$� �.�!+!�
'���5
��G��4��
��
����F��G�����
�� (�����1����
���� 5
Q���
�
����������1���
�
������� H�(
��������(
�
��((��������(
�
���� Q��� (�
G��������
�
�(�5
H��� "
S��
��
�G
�����
��
����
E�G������� H��
����4���
�����
��
(�H���
�
�
������ �(���
��(5
(�
����
�
��
���(
�
���������
��((��������
�(5
���1�����
���� Q���
�
�2����4��
�
�2(
�������("
� �+�#)+7�"' $*$(�8! #$#'�
'�����G��4��
��
�������
�
����4���
�� (���
�
�����
����������
��������
��
��F�
2
�����������
��
��
���"
0����5
��1
�2������
��
���������1���
���(�
��
�����2�
���G��
����"
��
��������
� �
�����
� �������
��
��������
�����
��� �
�����
��� �
�����
��� �
������������
�����
����!�"��
�����
��������
�������
��������
�������
��������
�������
R��"
!"
#FH�
F���5���(�
��
�(�
�G����������
�����5
����������
����
��(�
��
���F����
�������
#���$%��
!��������
&��
���"�����
������!� ��!����
&��
���"�����
�
������"
'
�����
(�����
������
)��*������
��������
+�������� "������
�������
&��
���"�����
����-��!����
+���"���
��
��
����
R��"
�"
Z���5���(�
����������
4��
�
���������������
����
��(�
��
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
��
��������� �
����
����
����������������
��
�
���
������
�
�������
�!"��
����
�"
#������
���������������� �
���
$%&&
'�������(�����
�"
)���*
�����������
�����������������������������������
����������
�
+�������
#�������
��������,�-�
����
����.�����
��������
�
/012345
16783973:;1234"8<
������������ � ��!"�� �#��"�� � ��$
#����%�� �&� '!���%�� &�� ( �� ��#�� )
*���+��,���#� ��!%��,-�./� �/!"�� ��$
����)� "!!��#.��� !�&������!, �&�"!$
/�0���1' #��� � ���'���� �
=����'�����
����>����
��
��.��
����-�
��
��0
���,�-�
���'
�����������
���'������
���
�'
��
�0
'�
�>����������
��
�.������
���
���
$���*
��
� ��
�
�����
��.���
�
����>����
��
?�
�@�(�����
$��*"
A��,
���
�'-
B#)
�� �
�
�-�������
�
�����>
��?��
��
CD
�������
��'
��������
�
�
�����-'
CD"
��
�
���
���E��
(-
,
�(����.���
��>������0
F#G&A&#%&H#IB%&J
&G#KHBLJ%&M
C#�#DBKN#%#I
I
=&=�JOBP
BI�#OB�&G&H#IB%%#Q#
#F�&RJ=)#Q#
)#%�H#NS
�������
$�����
��� *
�>�(��E���
���
�������'���
CD�
"
�"
�����������
�
��������
����
��������
����0
���
�
�>'�����
'��@
�(�
�
����
��,��
�
�����"
F�>�������������
CD
�
�����'���-�
���
�'��
B#)
�-���� �
�
�
��
���0����
�����'
(����
�
��0
'�T,
���E���
�����>������
'�������
�
������0
�
� T��
����
�
��,���
������
��-"
=��E����
�����0
���'���
�
��������
B#)
�
��(������
�
����
�
��,0
��0?������� T��
������
���
'���
��>����
,
(�0
���
�����@���-�
'�
��-
�(��(�
��
�>�(��E����"
=
�
��
���,
���������
�
�������
,
�(����E����
�
�����>�������
������-�
>�����
$��*
���
�(��(�
��
�>�(��E����
�
��'�T,
���
�'-
��
�'�
�>������0
����
��
�.������
��>������������
CD"
�/����.1��!�!������=
��'�T,
�
���
(����
���T��
�� �
�
�-�������
���
� ����
�������
�
>�0
������
?�>��"
F����
��� �
��(��
�������
(�����0
�-�
�'���
��,�
�-�������-�
��
������
D�
��"
��� " ������
%��(����'
��
�-������
���0
�������
��
��-�
��������
�
>�������
���
� ����
���'���"
K���
���
��
�>
�� .��
��
�����-�
���>�0
�
����"
%�
>�
���-
�����-�
���>��
����
����
�
�'���,�-
�>
?��'�����
��
�'���,���"
%�
�-����
������'���
���
����.��'
�������
������������,�-�
��>���
�
�������
����.��
�������
>�
���
��>�-�
�
0
��>��
���'���"
&�
��?�����
.��
,
����
��'�
��
(-��
�������,0
��
��>��(�
���
��
������������
�
��'�,
���
.�0
��>
�����
������
�(T���
���,>����� �
�
��E�
�����
'����?���������,���
���
-
H=U0����VW
���,
'�
0
��
I�0�XB
�
(�����
��
���
���0��0��B"
&�
��?���
���
��
�>
����� T��
�>���5
(�?��
@��-�
������-
�����
���
������
�
��@�?��
���
���
���
(����
��0
��������
(�?���
������ T��
���������
(�����
�� 0
>��
'����?���������,���
���
-
H=U0����VW"
=�����
����������
�'���
�
����(��>��
�
�����0
��0��?���-'
����(��>���
���'
�
�
��?����'
����
�������
�
�
��'�,
���
���
������''��
����>��0
��
�
���
����������
�
���,
�����.���
�
��@���
������Y@�'"
I��'����
>�����'��
,
�'���
�
�����0
���'��
�
���
��-
2$3*
�
>������'
�'����
����'
��0
���>���
>����-���
�
�
��'
,
��'�,
����
�
�����
��
�
�����
���
'�
�����
Z��
�"
��[��\
�������
0
�
����'�
�-
���(����
�������"
F�����''��
�����>���
������
'�
�����
��>��0
� �
����.�
,
��>��,
�
-
>�
����
�'����
���-�
�����
.
�
��T��
�����
�����T��
���'
�>'������"
F��0
'������
������''�-�
'�
����
�(��(�
��
�������0
�����-�
��������
��E�
���
��>'�E���
,
�(��(�0
-��
,
��>��,
�
-
��
���-'
'�
�����'
�
������'0
'�'�
��
��-�
��>���
�����.�
,
�.���
,
�
���
�0
������
,
����.��'-�
��>��,
�
��"
����'
�(��>�'�
���'������
���������'-�
'�
�0
���
�����>�
�
������''���
�(��(�
��
��?��'����
��>��� �
���-��
,
�.���
,
�
.���
��
��,���
,
�>0
'������
������������-�
���������
���@���
,
���0
��>��
��������'-�
������
�.�����
����
���
���(�0
���
���
� ���
�
���������������-�
�
���
�����
�����.�
,
���
�������
,
����.��'-�
��>��,
�
��"
&=F#N]G#IB%%^J
&=�#R%&)&
�"
_2`a
b"
c"
bdde04dfd4
g82`hid`g
hed9g86h96e:5
�
`dj
1dgk6l
g6
9k2829gd8imd
g82eh
i`
hd1i96`l<9g68h
YY
n"
oee4"
pk:h"[�!�X"[
c64"
Xq�
r
�"[
p"
����[����"
�"
K��'��
N"
="�
N�(����
B"
B"
J'���
��
����
�������
���0
(����
���
���
�
���������������"[
N"5
%������!s�"
�"
K����
t"
I"�
U�,.����
I"
I"�
���
�
#"
I"�
Gi�.��
I"
O"
����i�E���
����'�
�i�
���(����
�i��i�
�
���i�����i������
�
�
���
����
��
u�
�����i
YY
%���"
>��"
)�u��,�"
���"
��i�����
�
�
i'"
������
D��.����"[
���X"[
v"
!"[
w"
�qX[���"
X"
Ix
���
#"
F"�
)�>�����
Q"
I"
y'�i����
����
��'�
�
���(�0
���
�i��i�
YY
Ii����
)�u��,����
��i�����
�
�"
=��"
Ci>"0'�
"
��0
���"[
�!!X"[
�
�"[
="
�!�[���"
q"
v8dg:27
z"
c"�
{78:hkdfh7:
c"
o"�
c37<46f
c"
o"
dg
24"
{<8|29d
d4d9g86`39
hg2gdh
3`
1dg240e686<h
h34396`
[
h34396`
hg8<9g<8dh
YY
vk3`
{643l
}341h"[
����"[
c64"
XXq"[
p"
�XX[�q�"
�"
ofi42
o"�
~d:dh
o"
w61e<gd8imdl
b_v{
h:hgd1
g6
9k2829gd8imd
ldde
4dfd4h
i`
hd1i96`l<9g68h
YY
~df"
�d�"
}ih"[
����"[
c64"
Xs
$�*"[
p"
q�![qX�"
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52818 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T16:08:19Z |
| publishDate | 2007 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Бойко, Ю.В. Кузнецов, Г.В. Савицкий, С.М. Третяк, О.В. 2014-01-07T19:17:54Z 2014-01-07T19:17:54Z 2007 Автоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур / Ю.В. Бойко, Г.В. Кузнецов, С.М. Савицкий, О.В. Третяк // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 59-61. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52818 Описан автоматизированный спектрометр для исследования параметров примесных и дефектных глубоких центров, поверхностных состояний в полупроводниковых структурах методом релаксационной спектроскопии глубоких уровней. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Технологические процессы и оборудование Автоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур Автоматизований спектрометр глибоких рівнів для дослідження напівпровідникових структур Automated spectrometer of deep levels for research semiconducting structures Article published earlier |
| spellingShingle | Автоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур Бойко, Ю.В. Кузнецов, Г.В. Савицкий, С.М. Третяк, О.В. Технологические процессы и оборудование |
| title | Автоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур |
| title_alt | Автоматизований спектрометр глибоких рівнів для дослідження напівпровідникових структур Automated spectrometer of deep levels for research semiconducting structures |
| title_full | Автоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур |
| title_fullStr | Автоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур |
| title_full_unstemmed | Автоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур |
| title_short | Автоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур |
| title_sort | автоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур |
| topic | Технологические процессы и оборудование |
| topic_facet | Технологические процессы и оборудование |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52818 |
| work_keys_str_mv | AT boikoûv avtomatizirovannyispektrometrglubokihurovneidlâissledovaniâpoluprovodnikovyhstruktur AT kuznecovgv avtomatizirovannyispektrometrglubokihurovneidlâissledovaniâpoluprovodnikovyhstruktur AT savickiism avtomatizirovannyispektrometrglubokihurovneidlâissledovaniâpoluprovodnikovyhstruktur AT tretâkov avtomatizirovannyispektrometrglubokihurovneidlâissledovaniâpoluprovodnikovyhstruktur AT boikoûv avtomatizovaniispektrometrglibokihrívnívdlâdoslídžennânapívprovídnikovihstruktur AT kuznecovgv avtomatizovaniispektrometrglibokihrívnívdlâdoslídžennânapívprovídnikovihstruktur AT savickiism avtomatizovaniispektrometrglibokihrívnívdlâdoslídžennânapívprovídnikovihstruktur AT tretâkov avtomatizovaniispektrometrglibokihrívnívdlâdoslídžennânapívprovídnikovihstruktur AT boikoûv automatedspectrometerofdeeplevelsforresearchsemiconductingstructures AT kuznecovgv automatedspectrometerofdeeplevelsforresearchsemiconductingstructures AT savickiism automatedspectrometerofdeeplevelsforresearchsemiconductingstructures AT tretâkov automatedspectrometerofdeeplevelsforresearchsemiconductingstructures |