Автоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур
Описан автоматизированный спектрометр для исследования параметров примесных и дефектных глубоких центров, поверхностных состояний в полупроводниковых структурах методом релаксационной спектроскопии глубоких уровней....
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Дата: | 2007 |
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2007
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52818 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Автоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур / Ю.В. Бойко, Г.В. Кузнецов, С.М. Савицкий, О.В. Третяк // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 59-61. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52818 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Бойко, Ю.В. Кузнецов, Г.В. Савицкий, С.М. Третяк, О.В. 2014-01-07T19:17:54Z 2014-01-07T19:17:54Z 2007 Автоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур / Ю.В. Бойко, Г.В. Кузнецов, С.М. Савицкий, О.В. Третяк // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 59-61. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52818 Описан автоматизированный спектрометр для исследования параметров примесных и дефектных глубоких центров, поверхностных состояний в полупроводниковых структурах методом релаксационной спектроскопии глубоких уровней. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Технологические процессы и оборудование Автоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур Автоматизований спектрометр глибоких рівнів для дослідження напівпровідникових структур Automated spectrometer of deep levels for research semiconducting structures Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Автоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур |
| spellingShingle |
Автоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур Бойко, Ю.В. Кузнецов, Г.В. Савицкий, С.М. Третяк, О.В. Технологические процессы и оборудование |
| title_short |
Автоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур |
| title_full |
Автоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур |
| title_fullStr |
Автоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур |
| title_full_unstemmed |
Автоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур |
| title_sort |
автоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур |
| author |
Бойко, Ю.В. Кузнецов, Г.В. Савицкий, С.М. Третяк, О.В. |
| author_facet |
Бойко, Ю.В. Кузнецов, Г.В. Савицкий, С.М. Третяк, О.В. |
| topic |
Технологические процессы и оборудование |
| topic_facet |
Технологические процессы и оборудование |
| publishDate |
2007 |
| language |
Russian |
| container_title |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Автоматизований спектрометр глибоких рівнів для дослідження напівпровідникових структур Automated spectrometer of deep levels for research semiconducting structures |
| description |
Описан автоматизированный спектрометр для исследования параметров примесных и дефектных глубоких центров, поверхностных состояний в полупроводниковых структурах методом релаксационной спектроскопии глубоких уровней.
|
| issn |
2225-5818 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52818 |
| citation_txt |
Автоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур / Ю.В. Бойко, Г.В. Кузнецов, С.М. Савицкий, О.В. Третяк // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 59-61. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT boikoûv avtomatizirovannyispektrometrglubokihurovneidlâissledovaniâpoluprovodnikovyhstruktur AT kuznecovgv avtomatizirovannyispektrometrglubokihurovneidlâissledovaniâpoluprovodnikovyhstruktur AT savickiism avtomatizirovannyispektrometrglubokihurovneidlâissledovaniâpoluprovodnikovyhstruktur AT tretâkov avtomatizirovannyispektrometrglubokihurovneidlâissledovaniâpoluprovodnikovyhstruktur AT boikoûv avtomatizovaniispektrometrglibokihrívnívdlâdoslídžennânapívprovídnikovihstruktur AT kuznecovgv avtomatizovaniispektrometrglibokihrívnívdlâdoslídžennânapívprovídnikovihstruktur AT savickiism avtomatizovaniispektrometrglibokihrívnívdlâdoslídžennânapívprovídnikovihstruktur AT tretâkov avtomatizovaniispektrometrglibokihrívnívdlâdoslídžennânapívprovídnikovihstruktur AT boikoûv automatedspectrometerofdeeplevelsforresearchsemiconductingstructures AT kuznecovgv automatedspectrometerofdeeplevelsforresearchsemiconductingstructures AT savickiism automatedspectrometerofdeeplevelsforresearchsemiconductingstructures AT tretâkov automatedspectrometerofdeeplevelsforresearchsemiconductingstructures |
| first_indexed |
2025-12-07T16:08:19Z |
| last_indexed |
2025-12-07T16:08:19Z |
| _version_ |
1850866348703350784 |