Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля
Разработана система автоматизированного оптического позиционирования фотошаблонов интегральных схем, которая имеет высокие показатели помехоустойчивости и точности....
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2007 |
| Main Authors: | , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2007
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52819 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля / В.Н. Крылов, Г.Ю. Щербакова, Ю.Ю. Козина // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 61-64. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52819 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Крылов, В.Н. Щербакова, Г.Ю. Козина, Ю.Ю. 2014-01-07T19:20:12Z 2014-01-07T19:20:12Z 2007 Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля / В.Н. Крылов, Г.Ю. Щербакова, Ю.Ю. Козина // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 61-64. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52819 Разработана система автоматизированного оптического позиционирования фотошаблонов интегральных схем, которая имеет высокие показатели помехоустойчивости и точности. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Технологические процессы и оборудование Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля Позиціонування зображень фотошаблонів у системах автоматизованого оптичного контролю Circuits masks images alignment for automatic optical inspection systems Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля |
| spellingShingle |
Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля Крылов, В.Н. Щербакова, Г.Ю. Козина, Ю.Ю. Технологические процессы и оборудование |
| title_short |
Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля |
| title_full |
Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля |
| title_fullStr |
Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля |
| title_full_unstemmed |
Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля |
| title_sort |
позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля |
| author |
Крылов, В.Н. Щербакова, Г.Ю. Козина, Ю.Ю. |
| author_facet |
Крылов, В.Н. Щербакова, Г.Ю. Козина, Ю.Ю. |
| topic |
Технологические процессы и оборудование |
| topic_facet |
Технологические процессы и оборудование |
| publishDate |
2007 |
| language |
Russian |
| container_title |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Позиціонування зображень фотошаблонів у системах автоматизованого оптичного контролю Circuits masks images alignment for automatic optical inspection systems |
| description |
Разработана система автоматизированного оптического позиционирования фотошаблонов интегральных схем, которая имеет высокие показатели помехоустойчивости и точности.
|
| issn |
2225-5818 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52819 |
| citation_txt |
Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля / В.Н. Крылов, Г.Ю. Щербакова, Ю.Ю. Козина // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 61-64. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT krylovvn pozicionirovanieizobraženiifotošablonovvsistemahavtomatizirovannogooptičeskogokontrolâ AT ŝerbakovagû pozicionirovanieizobraženiifotošablonovvsistemahavtomatizirovannogooptičeskogokontrolâ AT kozinaûû pozicionirovanieizobraženiifotošablonovvsistemahavtomatizirovannogooptičeskogokontrolâ AT krylovvn pozicíonuvannâzobraženʹfotošablonívusistemahavtomatizovanogooptičnogokontrolû AT ŝerbakovagû pozicíonuvannâzobraženʹfotošablonívusistemahavtomatizovanogooptičnogokontrolû AT kozinaûû pozicíonuvannâzobraženʹfotošablonívusistemahavtomatizovanogooptičnogokontrolû AT krylovvn circuitsmasksimagesalignmentforautomaticopticalinspectionsystems AT ŝerbakovagû circuitsmasksimagesalignmentforautomaticopticalinspectionsystems AT kozinaûû circuitsmasksimagesalignmentforautomaticopticalinspectionsystems |
| first_indexed |
2025-12-07T19:46:40Z |
| last_indexed |
2025-12-07T19:46:40Z |
| _version_ |
1850880085570093056 |