Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля

Разработана система автоматизированного оптического позиционирования фотошаблонов интегральных схем, которая имеет высокие показатели помехоустойчивости и точности....

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Date:2007
Main Authors: Крылов, В.Н., Щербакова, Г.Ю., Козина, Ю.Ю.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2007
Subjects:
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52819
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля / В.Н. Крылов, Г.Ю. Щербакова, Ю.Ю. Козина // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 61-64. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1862735126659596288
author Крылов, В.Н.
Щербакова, Г.Ю.
Козина, Ю.Ю.
author_facet Крылов, В.Н.
Щербакова, Г.Ю.
Козина, Ю.Ю.
citation_txt Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля / В.Н. Крылов, Г.Ю. Щербакова, Ю.Ю. Козина // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 61-64. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Разработана система автоматизированного оптического позиционирования фотошаблонов интегральных схем, которая имеет высокие показатели помехоустойчивости и точности.
first_indexed 2025-12-07T19:46:40Z
format Article
fulltext
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52819
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 2225-5818
language Russian
last_indexed 2025-12-07T19:46:40Z
publishDate 2007
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
record_format dspace
spelling Крылов, В.Н.
Щербакова, Г.Ю.
Козина, Ю.Ю.
2014-01-07T19:20:12Z
2014-01-07T19:20:12Z
2007
Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля / В.Н. Крылов, Г.Ю. Щербакова, Ю.Ю. Козина // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 61-64. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52819
Разработана система автоматизированного оптического позиционирования фотошаблонов интегральных схем, которая имеет высокие показатели помехоустойчивости и точности.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Технологические процессы и оборудование
Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля
Позиціонування зображень фотошаблонів у системах автоматизованого оптичного контролю
Circuits masks images alignment for automatic optical inspection systems
Article
published earlier
spellingShingle Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля
Крылов, В.Н.
Щербакова, Г.Ю.
Козина, Ю.Ю.
Технологические процессы и оборудование
title Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля
title_alt Позиціонування зображень фотошаблонів у системах автоматизованого оптичного контролю
Circuits masks images alignment for automatic optical inspection systems
title_full Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля
title_fullStr Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля
title_full_unstemmed Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля
title_short Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля
title_sort позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля
topic Технологические процессы и оборудование
topic_facet Технологические процессы и оборудование
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52819
work_keys_str_mv AT krylovvn pozicionirovanieizobraženiifotošablonovvsistemahavtomatizirovannogooptičeskogokontrolâ
AT ŝerbakovagû pozicionirovanieizobraženiifotošablonovvsistemahavtomatizirovannogooptičeskogokontrolâ
AT kozinaûû pozicionirovanieizobraženiifotošablonovvsistemahavtomatizirovannogooptičeskogokontrolâ
AT krylovvn pozicíonuvannâzobraženʹfotošablonívusistemahavtomatizovanogooptičnogokontrolû
AT ŝerbakovagû pozicíonuvannâzobraženʹfotošablonívusistemahavtomatizovanogooptičnogokontrolû
AT kozinaûû pozicíonuvannâzobraženʹfotošablonívusistemahavtomatizovanogooptičnogokontrolû
AT krylovvn circuitsmasksimagesalignmentforautomaticopticalinspectionsystems
AT ŝerbakovagû circuitsmasksimagesalignmentforautomaticopticalinspectionsystems
AT kozinaûû circuitsmasksimagesalignmentforautomaticopticalinspectionsystems