Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля
Разработана система автоматизированного оптического позиционирования фотошаблонов интегральных схем, которая имеет высокие показатели помехоустойчивости и точности....
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Datum: | 2007 |
| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2007
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52819 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля / В.Н. Крылов, Г.Ю. Щербакова, Ю.Ю. Козина // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 61-64. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862735126659596288 |
|---|---|
| author | Крылов, В.Н. Щербакова, Г.Ю. Козина, Ю.Ю. |
| author_facet | Крылов, В.Н. Щербакова, Г.Ю. Козина, Ю.Ю. |
| citation_txt | Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля / В.Н. Крылов, Г.Ю. Щербакова, Ю.Ю. Козина // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 61-64. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Разработана система автоматизированного оптического позиционирования фотошаблонов интегральных схем, которая имеет высокие показатели помехоустойчивости и точности.
|
| first_indexed | 2025-12-07T19:46:40Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52819 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T19:46:40Z |
| publishDate | 2007 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Крылов, В.Н. Щербакова, Г.Ю. Козина, Ю.Ю. 2014-01-07T19:20:12Z 2014-01-07T19:20:12Z 2007 Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля / В.Н. Крылов, Г.Ю. Щербакова, Ю.Ю. Козина // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 61-64. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52819 Разработана система автоматизированного оптического позиционирования фотошаблонов интегральных схем, которая имеет высокие показатели помехоустойчивости и точности. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Технологические процессы и оборудование Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля Позиціонування зображень фотошаблонів у системах автоматизованого оптичного контролю Circuits masks images alignment for automatic optical inspection systems Article published earlier |
| spellingShingle | Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля Крылов, В.Н. Щербакова, Г.Ю. Козина, Ю.Ю. Технологические процессы и оборудование |
| title | Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля |
| title_alt | Позиціонування зображень фотошаблонів у системах автоматизованого оптичного контролю Circuits masks images alignment for automatic optical inspection systems |
| title_full | Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля |
| title_fullStr | Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля |
| title_full_unstemmed | Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля |
| title_short | Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля |
| title_sort | позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля |
| topic | Технологические процессы и оборудование |
| topic_facet | Технологические процессы и оборудование |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52819 |
| work_keys_str_mv | AT krylovvn pozicionirovanieizobraženiifotošablonovvsistemahavtomatizirovannogooptičeskogokontrolâ AT ŝerbakovagû pozicionirovanieizobraženiifotošablonovvsistemahavtomatizirovannogooptičeskogokontrolâ AT kozinaûû pozicionirovanieizobraženiifotošablonovvsistemahavtomatizirovannogooptičeskogokontrolâ AT krylovvn pozicíonuvannâzobraženʹfotošablonívusistemahavtomatizovanogooptičnogokontrolû AT ŝerbakovagû pozicíonuvannâzobraženʹfotošablonívusistemahavtomatizovanogooptičnogokontrolû AT kozinaûû pozicíonuvannâzobraženʹfotošablonívusistemahavtomatizovanogooptičnogokontrolû AT krylovvn circuitsmasksimagesalignmentforautomaticopticalinspectionsystems AT ŝerbakovagû circuitsmasksimagesalignmentforautomaticopticalinspectionsystems AT kozinaûû circuitsmasksimagesalignmentforautomaticopticalinspectionsystems |