Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля

Разработана система автоматизированного оптического позиционирования фотошаблонов интегральных схем, которая имеет высокие показатели помехоустойчивости и точности....

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Date:2007
Main Authors: Крылов, В.Н., Щербакова, Г.Ю., Козина, Ю.Ю.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2007
Subjects:
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52819
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля / В.Н. Крылов, Г.Ю. Щербакова, Ю.Ю. Козина // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 61-64. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52819
record_format dspace
spelling Крылов, В.Н.
Щербакова, Г.Ю.
Козина, Ю.Ю.
2014-01-07T19:20:12Z
2014-01-07T19:20:12Z
2007
Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля / В.Н. Крылов, Г.Ю. Щербакова, Ю.Ю. Козина // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 61-64. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52819
Разработана система автоматизированного оптического позиционирования фотошаблонов интегральных схем, которая имеет высокие показатели помехоустойчивости и точности.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Технологические процессы и оборудование
Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля
Позиціонування зображень фотошаблонів у системах автоматизованого оптичного контролю
Circuits masks images alignment for automatic optical inspection systems
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля
spellingShingle Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля
Крылов, В.Н.
Щербакова, Г.Ю.
Козина, Ю.Ю.
Технологические процессы и оборудование
title_short Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля
title_full Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля
title_fullStr Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля
title_full_unstemmed Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля
title_sort позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля
author Крылов, В.Н.
Щербакова, Г.Ю.
Козина, Ю.Ю.
author_facet Крылов, В.Н.
Щербакова, Г.Ю.
Козина, Ю.Ю.
topic Технологические процессы и оборудование
topic_facet Технологические процессы и оборудование
publishDate 2007
language Russian
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
format Article
title_alt Позиціонування зображень фотошаблонів у системах автоматизованого оптичного контролю
Circuits masks images alignment for automatic optical inspection systems
description Разработана система автоматизированного оптического позиционирования фотошаблонов интегральных схем, которая имеет высокие показатели помехоустойчивости и точности.
issn 2225-5818
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52819
citation_txt Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля / В.Н. Крылов, Г.Ю. Щербакова, Ю.Ю. Козина // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 61-64. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT krylovvn pozicionirovanieizobraženiifotošablonovvsistemahavtomatizirovannogooptičeskogokontrolâ
AT ŝerbakovagû pozicionirovanieizobraženiifotošablonovvsistemahavtomatizirovannogooptičeskogokontrolâ
AT kozinaûû pozicionirovanieizobraženiifotošablonovvsistemahavtomatizirovannogooptičeskogokontrolâ
AT krylovvn pozicíonuvannâzobraženʹfotošablonívusistemahavtomatizovanogooptičnogokontrolû
AT ŝerbakovagû pozicíonuvannâzobraženʹfotošablonívusistemahavtomatizovanogooptičnogokontrolû
AT kozinaûû pozicíonuvannâzobraženʹfotošablonívusistemahavtomatizovanogooptičnogokontrolû
AT krylovvn circuitsmasksimagesalignmentforautomaticopticalinspectionsystems
AT ŝerbakovagû circuitsmasksimagesalignmentforautomaticopticalinspectionsystems
AT kozinaûû circuitsmasksimagesalignmentforautomaticopticalinspectionsystems
first_indexed 2025-12-07T19:46:40Z
last_indexed 2025-12-07T19:46:40Z
_version_ 1850880085570093056