Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля - Крылов, В.Н.; Щербакова, Г.Ю.; Козина, Ю.Ю. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2007)
Разработана система автоматизированного оптического позиционирования фотошаблонов интегральных схем, которая имеет высокие показатели помехоустойчивости и точности.