Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля

• Published in: Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Date: 2007
• Main Authors: Крылов, В.Н., Щербакова, Г.Ю., Козина, Ю.Ю.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2007
• Subjects: Технологические процессы и оборудование
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52819
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля / В.Н. Крылов, Г.Ю. Щербакова, Ю.Ю. Козина // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 61-64. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.

Разработана система автоматизированного оптического позиционирования фотошаблонов интегральных схем, которая имеет высокие показатели помехоустойчивости и точности....