Трехкоординатный пьезокерамический сканер на биморфных пьезо-элементах для зондового наномикроскопа - Шарапов, В.М.; Гуржий, А.Н.; Филимонов, С.А. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2007)
Предложена и исследована конструкция пьезокерамического сканера для наномикроскопов на основе диморфных пьезоэлементов. Построена и исследована модель сканера при помощи программы MicroCap 7.0.