Оптический датчик температуры на основе нанокристаллической пленки SiC

На основе нанокристаллических пленок кубического политипа карбида кремния, полученных прямым ионным осаждением на подложке из лейкосапфира, разработан интерференционный датчик температуры....

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Дата:2007
Автори: Лопин, А.В., Семёнов, А.В., Пузиков, В.М.
Формат: Стаття
Мова:Російська
Опубліковано: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2007
Теми:
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52827
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Оптический датчик температуры на основе нанокристаллической пленки SiC / А.В. Лопин, А.В. Семёнов, В.М. Пузиков // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 4. — С. 19-22. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1860244809477783552
author Лопин, А.В.
Семёнов, А.В.
Пузиков, В.М.
author_facet Лопин, А.В.
Семёнов, А.В.
Пузиков, В.М.
citation_txt Оптический датчик температуры на основе нанокристаллической пленки SiC / А.В. Лопин, А.В. Семёнов, В.М. Пузиков // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 4. — С. 19-22. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description На основе нанокристаллических пленок кубического политипа карбида кремния, полученных прямым ионным осаждением на подложке из лейкосапфира, разработан интерференционный датчик температуры.
first_indexed 2025-12-07T18:35:02Z
format Article
fulltext ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ���������� �� �� �� � ��� ������ � ������� ��!�" ���� �! #������ ����������������� �� $%&' ()� *(� �! +������,- �������������������������������������������������� ���������������������� �� .������� �! /��0���� 1�� � � *������� ����� 2345678 9:4:;<=>69?!@A5B@<=!C5 #D�1+EF&1G �H�+1& �EIDE)H�.)J KH #FK#LE KHK#&)1F�HMM1+EF&#G DMEK&1 N6O ������� !� �����"#���$$#%!��#&� '$!��� �()#%!���*��'�$#�#'����")#����"!��#+� '�$(%!��,&�'"+�,��#���,�����-�!�#� !�� ��� '��$�-�!� #.� $!/����'�#"��� "�.� "�)����� #��!"�!"!�0#���,/� ���%#� �!�'!"��(",� L �� P� � Q���,* ��P�� ��* �� �*� �P�������,� ��� �* ��� ��� � ��������� � ��������* � ��Q��* �� �*� �P�������,* ����P���� ��* � ��*� ��0�� ��� � �� ��Q��� 0 � ����R�,� �� S���� ��P��S�,� T�P�S����� ����S��� � S�� ��� �� �� S���� �*����3 ��, � U�����* �����P���* �P*������! D�*�*� �,����� *� ������S����� ����� ���� ��� �� S��� ���R�, �Q���� 0 �,����� � �Q��0��� 0 � ����R3 ��� 0 ! V �* ��Q����� * *����*��0�� ������ ��3 � ���������3�� �S����� �� S��� �*���� ��, W�X� ������,* �P��* �� ��,� �� � � ��*�S��� �� ��03 �,� ���*�� � ������� Y�� ������� ������,� ��3 ��� ���� ��� �� S���! L ��Q� � W�X ����P���� S � ���Q���� S��� �� ��03 �,* � ��*���P�Y�Y���,* �� � � *� �� ��P����� �� ��T����������� ��*�*� ��� ���P��S�,� ��� �������P��S�,� ���� ��� ������ Y�� ���0 � ���3 �� Z�Q��[D��� �� P������ Y��� �P��S��� ! ��� ��� ��� ���������� �P*�� � ����P� ��0 �����*3 ���� � ��Y��� ���� ����� ���Y� �*���� ��� ����3 ��� � � �� �P*����� T�P, ����, �� �S����� ��3 P������� ��Q� �� �P*����� ��� ��� � �� ��T����3 �����,� �����! L ��Q� � W"X ��������� �P�S���� ��3 P������� � ������ Z�Q��[D���� ��� � Y�� �P � ��3 � ��,� � ���*����,� ���� ����! ',�� ����P���� S � �� S��� �� ��0��� � � � *� �� �� "\� ��� ��� ���3 ������� ������ *� ��, ��*�*� ��� � �*�� �����03 �� U������ �����P�� �P*�� �*,� �*���� ��! D�� �����0P������ ���������������,� �����,� ��P���� � ���������3�� �S����� ����� �� P� *� �� ��� ���3 � �,����� ����R��� � ��� *���� *���� � �Q]�*� �� S���! &��*� ���� ���� ��� �*, �� ��S��, � ����3 ��*���� �,* �������*� S � �Q����S���� ��Q� � �� 3 S��� � ������ � ��P���� �� *�Y���� ���� ��*��3 �� ���� �P��S��� � ���� ��*���� �,� ��*��! �� ���U����� �,���� �*���� ����� ������, �����P��� �P*������ ���Q����*� ���*������ Q���� U�����P���,� � ��*�� ����� ��������������� � ������ �����! L ��S�� �� �,���� �*���� ���,� ��3 ��T���*� ��� Z�Q��[D��� *��� Q, 0 �����0P���3 �, ������ ���Q��� ���*�� N6O� ���R����,� �� ���3 � ��, �P ��������T��� $^7�_"-! 1P��� ��� S � N6O �*�� �� �������� � ���*��3 �* Q��0U� U����� P����Y����� P��, � Q���� �,3 ���� �*���� ��� ��Q� ! V � �Q����S���� �����3 S���� �Q��� � ��Q�S�� �*���� �� � �,���� ��*�3 S���� � �Q��0��� 0 *� ������! &��Q�� ���*�� �Q3 ����� ��R� Q��0U�� ������������ � ��*�S����� � ����� 0 ! L � R� ���* �,����� �*���� ��, ��3 �������,� ��������� �,��Y����� ���� ����S�3 ���� ������ ���Q��� ���*�� ��Y�� ����� ������S�3 �� ��P*�R��� � ��� ���*������ � �������,� �� ���� ���! L,����* �P � ��� ����R��� *�R� Q, 0 �����0P������ �������� ����S����� ������ ���Q�3 �� ���*�� � �*���� ��� ����S��� �� ��,� P��S�3 ��0�� ��R�! #��� �P *� ���� ����S��� ��������3 ����S����� ������ N6O $� ����- Q,� ��P��Q� �� ��3 ���*� � ������ � W�X! %��0 ��� � Y�� ��Q� , �� � � �P�S���� ��P3 *�R��� � ��� ����� �� Q�P� � ��� ��, (;?3N6O3 ������`��������T��( ���������3�� �S������ �� S�3 �� �� �P*����� �*���� ��, � U�����* �����P���! ������������������� �������!�"#�$��% �� ����� ������ �������� ����S����� ������ �P ���Q��� ���*�� �� ������ ��S����� �����R��� �����0P���� ��P��Q� ���,� � 1�� � � � *�������3 ����� KHK. *� �� �� *��� ������� ���R���� � ���P*���,* �� �S����* ������ � �� ���* �����0P�3 ��� �� �� �P ���Q��� ���*�� ! I� �� ��P��� � ������ 0 �������� ����� � �*���� ���� �����R�� � ���R�� 0 ���� ����S����� ������ ���Q��� ���*�� � ��P��S�,* ���� ���,* ��� ���* WaX! I, �����03 P����� ;?3N6O3������ ��Q�S����� *���T������ "O[ N6O� ���R����,� �� �����R�� �P ������������� ���3 �����T��� $�,��Y������ ��R� � 1�� � � � *���3 ���� �����- ��� �*���� ��� �����R�� 1�b�"�cF � ������� ����� �� �L WdX! K� ���&�' ����� �����, ���� �, ��� ��������� ��T������ ;?3N6O3������ ��Y���� ���*���� " *�*! ������ �������� ����S����� ������� ���R����,� ��� �*���� ���� �����R�� ea�� e�� � �"�cF� ��*��� ��3 ������ ���� ��� ��������� ��T������� ��� �� � ��3 Y�� ������,* � ��R��� * � ������� �� $���- *�3 ��T������ "O[N6O $��� ��� ���� "a�ac- � ����U���3 ��*� ����� ����c� ��dc � ��ac� ��� �� � �����! K��Q�3 ��� �� ������,� ��T���� �� ��� �� � ������ ���*��03 U� ����U����� Q,�� ����S��, �� 1�b�"�f�a�cF! ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ���������� �� �� &��*� ������,� *����*�*��� �*� � �����0�� ���3 Q,� ���� � ��R���� � ������� �� $���- "O[N6O� S � ����� ��0� ��� � ��P*�R��� ��� ��� ����� N6O� ! �! ������� � $���- ��������0�, ������� � �����R3 ��! L ����,� ������ � Q,�� ���R���, ;?3N6O3����3 �� ��P��S��� ��Y��, �� ��������T����,� ���3 ��R��! #� �S����� ����� �� ���R����,� N6O3������ �P3 �S����0 �� �* �P*������ � �����P� ���� ��� � ��R�3 �� � ���������� �� ���� ��T� �*� �� g54hi5 "a T��*, j:B@6; 274:B � ���� ����� � ��R��� ��� ���3 *��0��* ������� ��� � � ���� ���0��* �����P��� ���\���� �*! K� ���&�( ����� �����, ���� �, � ��3 R��� ;?3N6O3������ ��P��S��� ��Y��, �� �����R3 ��� �P ��������T��� � ���� ���0��* �����P��� a��\ ���� �*! D�� ��Y���� ������ ��� ��� ����, ����, �P��S��� Q,�� ����S��� �� ��S��� �� ��T������3 ���� ��� ����! V � ����� ��0� ��� � S � ������� � ��R��� ��������� � ;?3N6O3������ �� � P����3 ��*� �� ��T���*� �� Z�Q��[D���� �� ��,� ���*�3 �S�� �P�Q��R�� �� ���&�)! k���0 2 \ ���� ��*� � g54hi5 "al 3 \ �������,� ��� ����,l 4 \ �������3 Y�� ���P,l 5 \ P������ �������l 6 \ T��0 �� � 3 ��P� Y�� 1&3�P��S����l 7 \ T� �����*��� �� ���3 � ��l 8 \ ��*�0 ��l 9 \ �� ��T���*� � Z�Q��[ D���l : \ ������� ��0l 2;�\ ��*����� �� ��� ��3 � �*���� ��,l θ� � θm� \ ���, ������ � � ��R��� l θ� \ ���� �����*���� l < \ ����P� ��0 �����*��3 �� ! �� ���� �������� ��S��� ������� ��� Y��� *�R�� P������*� �� ��T���*� �� ��� ����* θ� �� �3 S���� ��P��� 0 ���� ����� P���� Y� � �*���� �3 �,� ������� � � ��� ��U����* W�X ∆b�<$λ�1-n=$1-n?<9θ>� $�- #� �S����� ��P��� � ���� ��� �� � ��� �P*���3 ��� ��P��� � T�P ����8 ∆?b�πn<$λ�1-n=$1-`λ� $�- ��� θ>b�� ?<9θ>b�! #� �S���� ������ � ��R���� � ���������S��3 �� ;?3N6O3�� ��T���*� �� Z�Q��[D���� ���0*� S��3 � �� ��0�� � ��P*�Y��� * ���U���� T�P�S������ ����*� �� \ �P*����� �*���� ��, ����,� �� �3 �� ��� � �� �� �S���� ��P��� 0 ���� � ��R���,� ��� ��,� ��S���! )�U�� �Q�� �� P���S� �� ������3 ���� �P*������ �� �S����� ��P��� � ���� ������� 3 �,� ��� ��,� ��S���� *�R�� �������� 0 �P*����� �*���� ��, �� ��T���*� �� Z�Q��[D���! L ��Q� � W�X �*���� ���� S��� �� ��0��� 0 �P*����� T�P, Q,�� ���������� ��� � � " � a d � e � �� �- <N5o≈���d <N6O≈��df��� <^6B≈��� = θ� θm� θ� Q- )��! "! F��*� ���� ���0��� �� �S����� ��� �*, �� �P3 *����� �*���� ��, � ��*�Y0 �����S���� �� ��3 T���*� �� Z�Q��[D���� �P�� ��������� �P ;?3N6O $�-� � T��*�������� �� ��T������� � �� ��T���*� �� Z�Q3 ��[D��� $)- ��� <b@ $λ�1- \ = \ θ> \ ����P� ��0 �����*���� ������ N6O� �� Y��� T������� ����, ����, ��� � λ � �*���� ��, 1l ���� � ��� *�R�� P������*� �� ��T���*� �� $ ��Y��� ;?3N6O3������-� P���� Y�� � �*����3 ��,l ���� �����*���� ��� ����� ��S� � ;?3N6O3������! )��! �! )�� �������� ��T����� � ������ NpF� ����S��3 �,� ��� ��P��S�,� �*���� ���� �����R��8 2 \ ��T��������� ����� �� ������� ���R������ ��� �*��3 �� ��� �����R�� ea�cFl 3�\ � R� �� e��cFl 4 \ � R� �� �"�cF 1 � �� �� �� �� 0 � �T �� �� �� � � ! �� ! a�� ��� "�� ��� ��� � "��� "��a "a�� "a�a "d�� "d�a "��� .��� �θ, c � � " "O3N6O $���- & �� T T �� �� � � � �R �� � A � � �! � �! ��� e� d� �� �� � d�� e�� ���� ���� � � " � ����� ����,� �* )��! �! F��� � � ��R��� � ������ ;?3N6O ��P��S��� ��Y��, =� ���R����,� ��� �*���� ��� �����R�� 1�b�"�cF8 2�\ =b��d *�*l 3 \ =b��� *�*l 4 \ =b� *�*l 5 \ "�"� *�* ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ���������� �� �� ∆?/∆1 b �π<=�T`λ. $"- k���0 �Tb�<q�=l �< \ ��*��� �S����� ���TT���3 �� N6O3�� ��T���*� ��� �� ��,� ����� $�`<-n$∆<`∆1-� � �=b$�`=-n$∆=`∆1- \ �*���� ���,� ���TT����� ���U����� $�� - ������! 1P T��*��, $"- ������ S � �P*������ T�P, ���3 �, � �*���� ��, �� *� ������������0�� ��Y��� � ����P� �� �����*���� N6O3������� � ��R� ��*3 *� ��*��� �S������ ���TT����� � N6O3������ � �� �*���� ������ ���TT����� � ���U����� ! ����* �Q3 ��P�*� �����S���� �*���� ����� S��� �� ��0��� � �P*����� T�P, *�R�� ����S� 0 ��� ���R����� Q�3 ��� ��� ,� ������� �����*�� *����*� ���,� ��3 Y��! #����� *, �Q����R���� S � ��� ��Y���� ;?3 N6O3������� Q��0U�� S�* � *�*� ��P���� ����R�3 �� �� ��T����������� ������! H� ��, ������ � S � ���S���� � ��� �TT�� � *��� Q, 0 �� � �S�,� ��3 �� R��� � ������ ;?3N6O� �� P���,� � ��P��S��* � �*���� ���,� ���TT����� �� ���U����� N6O3����3 �� � �����R�� �P ̂ 7�_"� �� ��� ����� ���� �� ������ �� �S����� ������������ � � � ��� ���� ������ Y�� � ��P*, � ��� *���� ��� �� ��T�������! )�P��03 � , ������������ ������ ��P��� ��Y��, $���! �- ����P,�� � S � ���Q���� �� �*��0�,*� �� � ��Y��, � ��a �� � *�*! �� ���Q��� ���*�� �*� � ��� � �S�� ����R3 �,� ����,�� ���� Y��� ����S�� �< � �=� ���� Y�� � T��*��� $"-! L ��Q� � W�X Q,�� ����P���� S � �� ������ N6O ����U� �,���� � � ������� �<rr�=! D�� � �* T��*��� $"- *�R� Q, 0 ����Q��P����� � T��3 *��� W�� eX ∆?`∆1b$�πn=`λB$1�--ns$�`λB$1�--n$∆λB`∆1-t! $�- k���0 λB$1�- \ ����� ����, *����*�*� �� ��3 T������� ��� �������� �*���� ��� 1�� ∆λB \ �P3 *������ ����, ����, ��� ������� �� ��T���*� ��! ����* �Q��P�*� �P*������ ����P� �� �����*��3 �� � ��Y��, ������ � �P*������* �*���� ��, �Q���������� �P*������ ����, ����, �� ��T����3 �����,� ��� ��*�*��! 1P T��*��, $�- ������ S � �P*������ T�P, � ��R����� ����, ������������03 �� ������ *����*�*�� ��� *���*�*�� �� ��T����3 ��� ��� �P*������ �*���� ��, ������! �� �� 0 ��� ������� ������ �� ��T���������,� ���� �, � ��R�3 �� ���R�, ��*��� ������ 0 ����� ����� ��� ��*�3 *�� ����0 ��� ���� ����! F��*� �� ������ �� �P�S��� ��P������� � �3 ���� Z�Q��[D���� ��� � Y��� �P ;?3N6O3������� ���R������ �� ���T����� �����R��� ����P��� �� ���! "� �! k����������� �Q��P��� ��������� *���3 ���*� �S����* �P��S����* � �����P��� a��\���� �* � ��*�Y0 �� ���3���������� ���� ����! �� T�3 ��������� ��S�� �� ��������� 0 ���� �� ���*�� �� ���P, � T�����,* ���� � ���* ��\�d **� ���*� � ��S�� �� ��������� � �� ��T���*� �� ��� �� � ��3 ��� ��� ���*� ���*� �� �� �S������ �������! �� � ��� ���, ��� ������ � �Q��P�� �� ���������� �� ������* T������* ���� � ��� ���P! D��*������ ���P ��P��� �� �� ��0�� ��������� 0 �� �S����� ��� �� ��� �����*�� �� � ������� 0 *������*� �3 S����� �P��S���� �� ��������*,� �Q��P�� ��� ��3 ��*� *��0U�* e\��c� S � ��� ��P*�R��� 0 �����3 Q���� 0 ��� ��P������,*� ��� ��� Y�*� � ��R��3 ���� ��� �! # ��R���,� � �� ��T���*� ��S����� ��� �*, ��� ���� �� �� � ��*�Y0 �� �S������ ��3 ����� � �������S��� ���P���� ��� �*, T�������3 ���� �� T� �����*��� ���� ��T� �*� ��� ����� �������� ��0�� S���P T��0 � 6� �� ��,� � ��P�� ��3 ��P� ��� ��T��������� �P��S����� ���Y�� � �����3 ��� �� ��T���*� ��! ��*���� ��� �Q��P�� ���,U��� � ��*�Y0 ��3 ����� �� � �a �� d��cF S���P ��R�,� �a\a�cF! V � ��P������ ����� ������ 0 �P*����� �� ������03 ��� �������� �� ��T������**,� �� �� ��,* *�R�� �������� 0 ����� ��� ��*�*��! &��*� ���� �� �P�3 S��� � � �� ��� T�P��,� �P*������ �� ��R��* �Q3 ��P�� P���������� �� �S��� �������R���,� ����0 ����P���0�� �,Q������ ����� �� ���� � ��� ��a\ ��� ** ���� � �����! 1������ �� ��T������**� �P3 *�� ���0 ��� ��*�� ��� �*���� ��� 1�� � �������3 Y�� �� ��T������**, \ ��� ������� �� S��� �� �*���� �� 1�r1�! ��*���� ��� �� ��T���*� �� ���3 �����������0 � ��*�Y0 ���*��03�� *������ ��3 *����,! F����� T� �����*���� ���� ��T� �*� �� ����� ������� ����� �������� � �Q��Q� ,���� � ��*�Y0 ��*�0 ���! K� ���&�* ����P��, ��� �� ��T���������,� ���3 �,� � ��R��� ��� ��P�,� �*���� ���� �������3 ��S���� �� ��T���*� ��! ',�� �� ��������� S � ����� �� ��T���������,� *����*�*�� �����S����3 � � �*��0U����* ��� ��� �� ��T�������! D�� ��� �� ��T������� Q,� ����S� �� �� ���� *����*�*�� �� *� ������ ��������� � ��Q� � WaX! )��S� �*��3 �� ������ �P*����� T�P, �� T��*��� $�- ����P��� S � ∆?`∆1 �� �� ��T���������,� *����*�*�� � �����*� ���� λu��� �* ��Y�� ����� � ��S�� � $���*���� �� d�v- � �,S������� �P*����� T�P, �� ������ λB! V � �� P��� � �� ������* � � �� ����3 ���0��� �Q��� � P�*� ���� �����Y��� ��� ��� � ��� ��� B *����*�*� ���TT����� � � ��R��� $�� � �� ������ ���� �R� �� �� � � ���� T����*��3 ��0��� �����, �����Y��� ������ N6O-� S � � ���3 ���� � �U�Q�� � ����������� *�� �����R��� ��3 ��T������������ *����*�*� � ��� ������! D�� �*� �� ���������� ���� ���0���� ������ �� ��T����3 A � v a� �� "� �� �� e�� ea� ��� �a� ���� ����� ����,� �* λB$1b�acO- λB$1b"��cO- ∆λB )��! �! F���� �� ��T������������ *����*�*� ��� ��3 �������� ;?3N6O3�����S���� �� ��T���*� �� � ��*�� 3 ��� �*���� ��, $�acF- �� �*���� ��, "��cF! ���Y��� ;?3N6O3������ � *�* ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ���������� �� �� �������� *����*�*� Q,�� �,Q���� ���� ���0�� �Q3 ��� 0� ��� ∆?`∆1 ���������! �� � �Q����,� ��*� ������ � � ������ �,���� � � ���� ���0��* �����P��� d��\���� �*� ��� � ��������� �P*���3 �� ! K� ���! � ���� �, � ��R��� P������, � �� ����3 ��* ���� ���� ��*! I����*�* � ��R��� �� 1b�acF ������ � �� ����� ����, λ�bee� �*! D�� ������� �� "��cF � � *����*�* ������� � � � ����� Q���� �����,� ���� � �*�� λ�b��� �*! F���� *����*�*� ������ � ��� R� ��� ��� ��� ���������� ��� ��� � ∆λb�" �*! #����� ���� ������� ����� ���� ��� ∆λb@$∆1- ��� P��S���� ∆λ45w`∆145wb������ �*`cF � ��� �� 3 � ��� �,S������ * �� *����*�*�� λ�b��� �* � λ�b��� �*! �� �,Q������� �Q��P�� ��Y���� ��� *�* Q,�� ��� ����� P�����*�� 0 ∆λ45w`∆145w � �*���� ��, ������� �� ��T���*� ��� ���������� �� ���&�+! 1P ���T��� ������ S � ���� ���0�,� ����� *����*�*�� ��� ������� *�R� Q, 0 ��� � �S�� ����U� ������3 ��*������ �������� T�������� S � �� � � ��R�,* �� ����Q����� �� S���! H� ��, � *�S� � S � ���������� ���*� ����3 �����3�� �S������ �� S��� �*���� ��, �� ������ N6O`���T��3�� ��T���*� �� �� � � ��*��� ������3 ���� ���� ����� ��Q�S��� ������ � �� S��� ���R�� �*� 0 Q���� ���� � � ����R�� ���*� �P*����� ! ,-%� - D���S���,� *� ���* �� *��� ������� ���R���� ������ ;?3N6O ��Q�S������ ���� ��� "F[N6O �Q����3 �� ����U�� �� �S����� ���������� 0 � �*����3 ����� � �Q��0��� 0 �� d��cF! D���P���� S � ;?3 N6O3������ �� �����R�� �P ��������T��� *��� Q, 0 �����0P����, � ��S�� �� �� ��T���*� �� Z�Q��[D��� �� ��� ���������� �P*����� �*���� ��,! I��� �� S��� �����*��� ������� ����U� ��� �P�� �*3 ���� ����� S��� �� ��0��� � ������� �� ��T������3 ���,� *����*�*�� � *���*�*�� � ��R����� ����, \ ∆λ45w`∆145wb������ �*`cF! L,���� �*���� ���� � �Q��0��� 0 ������ N6O � ��������T��� ��P��� �����0P��� 0 ���������*,� �� S�� �� ��� ���������� �P*����� �*���� ��, ��P��S�,� ���� �� ����cF � ������ � ���������3 �,� � ���� ��*���� �,� ��P���� ���! 1FD#Mxk#LHKKJE 1F�#+K1&1 �! y:A:64 z!� {B6|9?A }!� ^;|A5; ~! �! {6h:B3<o|6? |:4o:B5|CB: 9:;9<B C96;� 5 9o:?|BC434<iC75|6;� 9:46?<;iC?|<B :|57<; ` �^N^ �:?A;6?57 �:4<B5;iC4 ����a"� ��e�! �! �5�7<B �! {! {6h:B <o|6? 9:;9<B9 h59:i Co<; |A: {5hB�3j:B<| 6;|:B�:B<4:|:B ` �;8 {6h:B _o|6? N:;9<B9 ` 2i9!8 {! �! N! �C� N! �6;!\ �! �!8 �5B?:7 ~:@@:B� �;?!� ����!\ j! ��\��! "! I������ H! K!� I������� F! L! H*��� ��� � T��*� ��P�3 ������ Z�Q��[D��� � ��P����� �� ��T����������� ��*�*� 3 ��� ��������������� � ������ ����� `` ��Z!\ ����!\ �! ��� �,�! �!\ F! ae\d"! �! N:4:;<= ^! �!� g<o6; ^! �!� jC�6@<= �! �!� �C|< NA! �<; o75945 i:o<96|6<; 5;i <o|6?57 oB<o:B|6:9 <� N6O �6749 `` {C;?|6<;57 �5|:B6579!\ ���a!\ �<7! ��� � �!\ j! ��d\��"! a! g<o6; ^! �!� N:4:;<= ^! �!� jC�6@<= �! �!� �BC9A@<=9@� ^! z! _o|6?57 oB<o:B|6:9 <� 9676?<; ?5Bh6i: <h|56;:i h� i6B:?| 6<; i:o<96|6<; `` �h6i!\ ���d!\ �<7! �"� � �!\ j! d"�\d"d! d! F�*���� H! L!� D�P���� L! I!� ��Q�� ������ I! L!� Z���3 ��� H! �! K������� ����S����� ������ N6O� ����S���,� *� ���* �� *��� ������� ���R���� `` �3 IKD& (F����*���,� ��T��3 *������,� � ���� ����,� ��������� \ F1V�3���d(!\ #���3 ��� .������!\ ���d!\ �! ��!\ F! ���! �! �5< �! �!� �5?@9<; ~! ^! jB6;?6o7:9 <� �6h:B3<o|6? 6;|:B�:B<3 4:|B� ̀ ` �;8 _o|6?57 {6h:B N:;9<B �:?A;<7<��!\ 2i9!8 }! �! �! zB5||5;� y! �! �:��6||!\ ~<BiB:?A|� �:|A:B75;i98 }7C�:B ̂ ?5i:46? jCh769A:B9� ����!\ j! �d�\���! e! g6; OA:;�! N6O |A6;3�6749 <; 6;9C75|6;� 9Ch9|B5|:9 �<B B<hC9| �2�N `` jA! ~! |A:969� |A: �;6=:B96|� <� O6;?6;;5|6� ^oB67 �"� ���"! F �� �� * �� �� * �* �� � * a� �� "� �� �� � ��� ��� "�� ��� a�� d�� 1P*�� �*� �*���� ��� � cF ∆λB`∆1Bb������ �*`cO )��! a! F���� �� ��T������������ *����*�*� ��� T���3 �� �P*�� �*�� �*���� ��, $ \ �������*�� ��0�,� �S��l ����U�� ���� \ ������� ��������*��� - ��,.���� / � � , . � ��� � / �������� ����� ����������� ��� ������������������ ��� !�" ���������� ��� ��������������� � ��������� � ��������� �� �� � ����� �� ����� ��� ����������������������� ��� ����� ���� ��� � ����� � ������� ����������������� �������� ��������������� ���� ���� ����� ����� � ����� ����� ���!� ���������� "� �� ���� ���� ��� ���� ������������� �! ��������� ������� ����� � ����#����$�������������� �$����� ���� ���# �������� ��%& #� ���������#�� ����� ������� �� �#���������������� ! �� � � #� ���� !� � � ����� ����������� ������������ �������� #����! � � �����$� ���� ������ �� �� � � � �� �� ���� �������
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52827
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 2225-5818
language Russian
last_indexed 2025-12-07T18:35:02Z
publishDate 2007
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
record_format dspace
spelling Лопин, А.В.
Семёнов, А.В.
Пузиков, В.М.
2014-01-07T23:04:21Z
2014-01-07T23:04:21Z
2007
Оптический датчик температуры на основе нанокристаллической пленки SiC / А.В. Лопин, А.В. Семёнов, В.М. Пузиков // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 4. — С. 19-22. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52827
На основе нанокристаллических пленок кубического политипа карбида кремния, полученных прямым ионным осаждением на подложке из лейкосапфира, разработан интерференционный датчик температуры.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Сенсоэлектроника
Оптический датчик температуры на основе нанокристаллической пленки SiC
Оптичний датчик температури на основі нанокристаліч¬ної плівки SiC
Optical temperature sensor based on the nanocrystalline silicon carbide film
Article
published earlier
spellingShingle Оптический датчик температуры на основе нанокристаллической пленки SiC
Лопин, А.В.
Семёнов, А.В.
Пузиков, В.М.
Сенсоэлектроника
title Оптический датчик температуры на основе нанокристаллической пленки SiC
title_alt Оптичний датчик температури на основі нанокристаліч¬ної плівки SiC
Optical temperature sensor based on the nanocrystalline silicon carbide film
title_full Оптический датчик температуры на основе нанокристаллической пленки SiC
title_fullStr Оптический датчик температуры на основе нанокристаллической пленки SiC
title_full_unstemmed Оптический датчик температуры на основе нанокристаллической пленки SiC
title_short Оптический датчик температуры на основе нанокристаллической пленки SiC
title_sort оптический датчик температуры на основе нанокристаллической пленки sic
topic Сенсоэлектроника
topic_facet Сенсоэлектроника
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52827
work_keys_str_mv AT lopinav optičeskiidatčiktemperaturynaosnovenanokristalličeskoiplenkisic
AT semenovav optičeskiidatčiktemperaturynaosnovenanokristalličeskoiplenkisic
AT puzikovvm optičeskiidatčiktemperaturynaosnovenanokristalličeskoiplenkisic
AT lopinav optičniidatčiktemperaturinaosnovínanokristalíčnoíplívkisic
AT semenovav optičniidatčiktemperaturinaosnovínanokristalíčnoíplívkisic
AT puzikovvm optičniidatčiktemperaturinaosnovínanokristalíčnoíplívkisic
AT lopinav opticaltemperaturesensorbasedonthenanocrystallinesiliconcarbidefilm
AT semenovav opticaltemperaturesensorbasedonthenanocrystallinesiliconcarbidefilm
AT puzikovvm opticaltemperaturesensorbasedonthenanocrystallinesiliconcarbidefilm