Оптический датчик температуры на основе нанокристаллической пленки SiC
На основе нанокристаллических пленок кубического политипа карбида кремния, полученных прямым ионным осаждением на подложке из лейкосапфира, разработан интерференционный датчик температуры....
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Datum: | 2007 |
| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2007
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52827 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Оптический датчик температуры на основе нанокристаллической пленки SiC / А.В. Лопин, А.В. Семёнов, В.М. Пузиков // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 4. — С. 19-22. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862722265199673344 |
|---|---|
| author | Лопин, А.В. Семёнов, А.В. Пузиков, В.М. |
| author_facet | Лопин, А.В. Семёнов, А.В. Пузиков, В.М. |
| citation_txt | Оптический датчик температуры на основе нанокристаллической пленки SiC / А.В. Лопин, А.В. Семёнов, В.М. Пузиков // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 4. — С. 19-22. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | На основе нанокристаллических пленок кубического политипа карбида кремния, полученных прямым ионным осаждением на подложке из лейкосапфира, разработан интерференционный датчик температуры.
|
| first_indexed | 2025-12-07T18:35:02Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52827 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T18:35:02Z |
| publishDate | 2007 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Лопин, А.В. Семёнов, А.В. Пузиков, В.М. 2014-01-07T23:04:21Z 2014-01-07T23:04:21Z 2007 Оптический датчик температуры на основе нанокристаллической пленки SiC / А.В. Лопин, А.В. Семёнов, В.М. Пузиков // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 4. — С. 19-22. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52827 На основе нанокристаллических пленок кубического политипа карбида кремния, полученных прямым ионным осаждением на подложке из лейкосапфира, разработан интерференционный датчик температуры. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Сенсоэлектроника Оптический датчик температуры на основе нанокристаллической пленки SiC Оптичний датчик температури на основі нанокристаліч¬ної плівки SiC Optical temperature sensor based on the nanocrystalline silicon carbide film Article published earlier |
| spellingShingle | Оптический датчик температуры на основе нанокристаллической пленки SiC Лопин, А.В. Семёнов, А.В. Пузиков, В.М. Сенсоэлектроника |
| title | Оптический датчик температуры на основе нанокристаллической пленки SiC |
| title_alt | Оптичний датчик температури на основі нанокристаліч¬ної плівки SiC Optical temperature sensor based on the nanocrystalline silicon carbide film |
| title_full | Оптический датчик температуры на основе нанокристаллической пленки SiC |
| title_fullStr | Оптический датчик температуры на основе нанокристаллической пленки SiC |
| title_full_unstemmed | Оптический датчик температуры на основе нанокристаллической пленки SiC |
| title_short | Оптический датчик температуры на основе нанокристаллической пленки SiC |
| title_sort | оптический датчик температуры на основе нанокристаллической пленки sic |
| topic | Сенсоэлектроника |
| topic_facet | Сенсоэлектроника |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52827 |
| work_keys_str_mv | AT lopinav optičeskiidatčiktemperaturynaosnovenanokristalličeskoiplenkisic AT semenovav optičeskiidatčiktemperaturynaosnovenanokristalličeskoiplenkisic AT puzikovvm optičeskiidatčiktemperaturynaosnovenanokristalličeskoiplenkisic AT lopinav optičniidatčiktemperaturinaosnovínanokristalíčnoíplívkisic AT semenovav optičniidatčiktemperaturinaosnovínanokristalíčnoíplívkisic AT puzikovvm optičniidatčiktemperaturinaosnovínanokristalíčnoíplívkisic AT lopinav opticaltemperaturesensorbasedonthenanocrystallinesiliconcarbidefilm AT semenovav opticaltemperaturesensorbasedonthenanocrystallinesiliconcarbidefilm AT puzikovvm opticaltemperaturesensorbasedonthenanocrystallinesiliconcarbidefilm |