Алмазные фотоприемники ультрафиолетового диапазона

Изготовлены и исследованы планарные алмазные «солнечно-слепые» фотоприемники УФ-диапазона. Приведено теоретическое обоснование принципов работы и экспериментальные параметры фотоприемников в фоторезистивном и фотодиодном режимах....

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Datum:2007
Hauptverfasser: Алтухов, А.А., Митягин, А.Ю., Горохов, Е.В., Фещенко, В.С., Талипов, Н.Х.
Format: Artikel
Sprache:Russian
Veröffentlicht: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2007
Schlagworte:
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52829
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Алмазные фотоприемники ультрафиолетового диапазона / А.А. Алтухов, А.Ю. Митягин, Е.В. Горохов, В.С. Фещенко, Н.Х. Талипов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 4. — С. 29-31. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52829
record_format dspace
spelling Алтухов, А.А.
Митягин, А.Ю.
Горохов, Е.В.
Фещенко, В.С.
Талипов, Н.Х.
2014-01-07T23:13:46Z
2014-01-07T23:13:46Z
2007
Алмазные фотоприемники ультрафиолетового диапазона / А.А. Алтухов, А.Ю. Митягин, Е.В. Горохов, В.С. Фещенко, Н.Х. Талипов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 4. — С. 29-31. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52829
Изготовлены и исследованы планарные алмазные «солнечно-слепые» фотоприемники УФ-диапазона. Приведено теоретическое обоснование принципов работы и экспериментальные параметры фотоприемников в фоторезистивном и фотодиодном режимах.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Функциональная микро- и наноэлектроника
Алмазные фотоприемники ультрафиолетового диапазона
Алмазні фотоприймачі ультрафіолетового діапазону
Diamond ultra-violet photoreceivers
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Алмазные фотоприемники ультрафиолетового диапазона
spellingShingle Алмазные фотоприемники ультрафиолетового диапазона
Алтухов, А.А.
Митягин, А.Ю.
Горохов, Е.В.
Фещенко, В.С.
Талипов, Н.Х.
Функциональная микро- и наноэлектроника
title_short Алмазные фотоприемники ультрафиолетового диапазона
title_full Алмазные фотоприемники ультрафиолетового диапазона
title_fullStr Алмазные фотоприемники ультрафиолетового диапазона
title_full_unstemmed Алмазные фотоприемники ультрафиолетового диапазона
title_sort алмазные фотоприемники ультрафиолетового диапазона
author Алтухов, А.А.
Митягин, А.Ю.
Горохов, Е.В.
Фещенко, В.С.
Талипов, Н.Х.
author_facet Алтухов, А.А.
Митягин, А.Ю.
Горохов, Е.В.
Фещенко, В.С.
Талипов, Н.Х.
topic Функциональная микро- и наноэлектроника
topic_facet Функциональная микро- и наноэлектроника
publishDate 2007
language Russian
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
format Article
title_alt Алмазні фотоприймачі ультрафіолетового діапазону
Diamond ultra-violet photoreceivers
description Изготовлены и исследованы планарные алмазные «солнечно-слепые» фотоприемники УФ-диапазона. Приведено теоретическое обоснование принципов работы и экспериментальные параметры фотоприемников в фоторезистивном и фотодиодном режимах.
issn 2225-5818
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52829
citation_txt Алмазные фотоприемники ультрафиолетового диапазона / А.А. Алтухов, А.Ю. Митягин, Е.В. Горохов, В.С. Фещенко, Н.Х. Талипов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 4. — С. 29-31. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT altuhovaa almaznyefotopriemnikiulʹtrafioletovogodiapazona
AT mitâginaû almaznyefotopriemnikiulʹtrafioletovogodiapazona
AT gorohovev almaznyefotopriemnikiulʹtrafioletovogodiapazona
AT feŝenkovs almaznyefotopriemnikiulʹtrafioletovogodiapazona
AT talipovnh almaznyefotopriemnikiulʹtrafioletovogodiapazona
AT altuhovaa almaznífotopriimačíulʹtrafíoletovogodíapazonu
AT mitâginaû almaznífotopriimačíulʹtrafíoletovogodíapazonu
AT gorohovev almaznífotopriimačíulʹtrafíoletovogodíapazonu
AT feŝenkovs almaznífotopriimačíulʹtrafíoletovogodíapazonu
AT talipovnh almaznífotopriimačíulʹtrafíoletovogodíapazonu
AT altuhovaa diamondultravioletphotoreceivers
AT mitâginaû diamondultravioletphotoreceivers
AT gorohovev diamondultravioletphotoreceivers
AT feŝenkovs diamondultravioletphotoreceivers
AT talipovnh diamondultravioletphotoreceivers
first_indexed 2025-11-25T03:41:20Z
last_indexed 2025-11-25T03:41:20Z
_version_ 1850505349590679552
fulltext ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� ���� ������������� ��������� �� � ��� ������ � �������� �!�" ���� �! #������ ����������������� �� $%&' ()� *(� �! +������,- ���������������� � ������������������������ ����� ���������� ��������������������������� �� ��������������� �� ������ )���� � �! .������ ### /0���1�*�23���� 45 �! 6� 2���� 3�� � � ����� ������ � ���� ������ 789:;<= ;>?@ABC:<8:<9:D!CB� :<EF:>GC89;HI:J;>AI:>GEF!CB �� !�!"#$�%�&� &''#$�!"(�%�)#(�(*�%$ (#�(��%$� +'!#�$,�!�'#$)%$-��!�!)*&� $��&�&�����&()(�!�(���*&"$�$�!��$!� *$�&,$'�!$� !.!'�!"(�&$� )*&�/&)!"� *(� .!�%�&�0�')$*&�$��(#1�%$�)(*(�$�*% �!�!)*&$��&�!"� "��!�!*$�&'�&"�!��& �!�!�&!��!�� *$2&�(3� K������ ���� �����*���,� ����L����� 2���L ��� �� ���M����*�� N ��� ����� ������ ��� *��8 ������ ���N�,� ��*���2�O�O���,� �� ����� ���8 �,� ��� �* � ������N�,*� �M����P� ��N�,*� ��8 ��� ���� ���*� � ��N ��Q���� ���� �M��� � ����8 ��! #������ �� ����� ������ ��� �*, �� � � Q�8 �����*���! '��NR�� ������� ��, � ��2�� �� Q� �����*��8 ��� ��N ��Q���� ����� $��- �����2��� �� 2��, � ��*�2�,*� *� ������*� S M������� �� ������N8 �,* ����� ��*! T��M���� 2��L�*,*� � ��*�2�,� Q�8 �����*����� U V �� � � = ��2*�P��� N ��� ����� ������ N� (�����L��8�������( Q� �����*���� S � L��� �� ��N��� N� � �M��� � P�� ���� 068�2��L�8 �� $W��" *�*-5 ����� ��N�� �,���� ���� ���N�� ����� ����� N Q� �����*����� �� ������ �����R��8 �,� � L�� ,� ���� ����� ��8 ���� �� �� ��,� ���� 8 � ������ N L��� �� ��N��� N � ����*�� �M��� � ���� �� $���S��� *�*- M���� L�* �� �� ��� ��� �� � ��R���� � *����*�*� L��� �� ��N��� � � �����8 2��� 068X5 ��2*�P��� N ��������� ����* �2 ��P8 �,� ����*� ��� S �M��� N� ���� ���N��� L��� ��8 ��N��� � ��*�2� �� �* ���� ��� � M��� �� �� ���8 �,� ���� ����� � ��2��L��� ������ ������ ���*��� $��Q�� ��-! Y ������ ��M� � ��������, ��2��N � , �������8 ���� ��*�2�,� 068Q� �����*����� � ��������� � (������L(8*���� *� �������P��� ���� ����� �� ��8 ���� ���������� ��*�2� �:8 ���! �� ��� ����� Q�2�L����� *����� � ������8 ��� ��� ���*,� �� �����2� *�����2*�� Q�8 ��QQ�� �� � ��*�2�,� Q� �����*����� M,�� �2��8 �����, � ����������, L� ,�� ��� � ��� ��! X ��� ��� 6Z8 ��� (������L(= [<\��*�2\[< � ������ ������ ���*���,� � �*�� �2� � 4 1 ] ]^�_` � � � !a�*"! T� ������* ���� ���� ��*�2� ��28 *���*� ����×��"^×���� ** ������ � ���2� $�� ��8 ������� � ��"^×���� **- ���������N ���*�����,� ��� �� , ��O���� ���" *�*! 1b.1cTde 6#�#Z)3e.T3&3 0bf�)163#be�#Y#g# �31Z1c#T1 X ��� ��� 6Z8� ���������� ���= [<\��*�2\[<� 4 1 ]��h_` � _ � !a�*"! T� ������* ���� ���� $����×"�h�×��� **- ��� ���*�����,� ���� ���� � ���� ���� ��������N�,� ����� �2�� ���������N �� ����� ��������� � ���� ���� $"�h�×��� **-! c�2�� *�P�� ���*�����,*� ������*� ��� ��� � ��h **� ��O��� ��� S h *�*! X ��� ��� 6Z8" ����� ��� �� ��M�� � ����� �,� ��*�2�,� Q� �����*��� 6Zi8 � ��"= jH\��*�2\[<� 4 1 ] ��h` � � � !a�*"! T� �������� �M��L��*�� ������8 ��� � Q��*������� �������2��L�,� jH8��� �� ��8 O���� ���" *�*� � �� ��P���� ������O��*�� ������8 ��� � �2�� �������� ���*�����,� ���� ���! X ��� ��� 6Z8� ��**� ��L�� � ���� � ���� ��8 *�2�= jH\��*�2\jH� 4 1 ]����` � _ � !a�*"! #M��2�� � 8 ��L��� � � ����� ��� � ��� ��, 6Z8" �*� L � �� ��N�� �� �������� �� � �� ��P��� $������O��*��- ��������� N ������ � ��� ����,� ����! ��� ��� ��*�2 � �2�� ������,� � ��� ���� �*�� ��O��� ���S��" **� � ��� �Mk�*��� ����� ����8 ��� � ��������� ��� ���*� Q� �����*���� ����L�8 �� ��������� ��N�� � *�P� ��O�� ����� ��� N �� ����*� �, ���M���! + �M, ����� N � � ����� ����8 ���� M,�� ���������, ���N 8�*����,� ����� ���� �8 �� $���- Q� �����*����� U�V! #M����P���� L � Y1l Q� �����*���� 6Z8 $� (������L(8���� ����*�- ��8 �������! T����� Y1l � �M�� ��* ����������� $��� ����L� ����P� ��N���� �*�O��� �� ��P��� ��� �� - ���*���� � ��� ��� ��2� M��NR�� L�* � �� *�*! Y � P� ���* �� 6Z8� $� �������,* �������P����* ���� �����- Y1l ���� �L���� ������� � �����2��� ���� P��� m h� Y! T��������� N Y1l Q� �����*���� 6Z8 *�P� ����� ��N� ���� N �M ���**� ��� ���*�����,� ���8 �� �� ������ � ��� ��,! )��L� ����2��� L � ����N8 �� �������*�� N Q� �����*���� 6Z8� ���*���� �� ��� ��� �,R�� L�* � 6Z8 ! n � *�P� �Mk �� N� ��2��L�,* ������* ���������� �2� �*= �� � ���* Q� �����*���� ������ ���� �2� � � ��*�2� �,R�� �� ��N�� �� ������ ���! .�P�� ���������� N� L � � �M8 O�� �������*�� N ���������� Q� �����*���� 6Z8� ����� ���� ����� ��������� �� �������*�� N! )�28 �,� ��*�L����� �� 2�� �� ��������� � ��*�2� *�8 P� ������� N � �M��2������ ��������� �,� ��� �8 ���! Z�� ��� N � �� ��� � ��� *�P� M, N ��� �8 �L��� �� ��2��������� ��,P������ *�����2*� �������� ���� ���� �� ��������� �,* ������2����8 �,* ��� � �� *! )�2��L�� � �������*�� � *�P� "� ��������� ���� ������������� ��������� ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � M, N �� 2��� ��P� � ������ ������ �����*�������8 ����,� ���� ���� $4 G \4 : � ��� 4 G � 4 : S ������ ��8 ��� ��� �� � ����� ������� � ����� ����- ��� � �8 ���N� �� �2��*��� ��*��������! Y ���* ���L�� *�P�� ��� ��O�� �����* ��2��L�� � ������ ���� � �2� � � �M��2��� ��*�2� ����L� N ���*���� �������8 ��� �������*�� N! �� ����������� Q� ����� ��L����� ����� ���8 � �� Q� �����*���� � ��� ��, ����O����N ��� �* ��� ������� ��*�, b�8^'� �����O���,* L���2 *�8 �����*� �� .�)8�"� ��� � �,��� ���N �2��L���� ��P��� ����, ����,! T� ������ ��������� Y1l Q� �����*���� 6Z8" ��� �M��L���� ��� �* � ������ ����, � � �*! Y1l �*�� ��� �,��P����� ���������� N! ���P� ������ � *� � N� L � ��� ������* ���� P���� �*�8 O��� ��M����� � ��M��NR�� Q� � ��� L � ���L�� �� ������L����� 567� � K� ��8M��N���,� Q� ���8 ����! n � �� �L� � �M�� ��* ������������ �� L � ��*�2 ��� �� � � � � �* �QQ�� � ��� ����������8 ��� �,��L���� ��� �������*�� �! c��� Q� � ��� �M���������� �2��M 2��� ����� ���,� �� �,��L��8 �� ��������������� � �M��2������ �M��� � ���� ���8 � ������� 2�� �� � ��������� � ��*�2� �� ������� � jH8���� ����* ��� ��� ����O����! Y � P� ���* � � �� � ��� ����O��� Y1l 6Z8" �� �� � ��**� 8 ��L��� � ��������� L � ����� ��N� ��� �M � �� � ��� K� ��8M��N���� ! �! ��*�2 ���� ��M ��� ������8 L����� ������ ���! X ��N M��NR� ����**� ��L��� N Y1l �M��L��8 *��� Q� �����*���� �� *�P� M, N �Mk ����� ��N8 �� ���,R����* �QQ�� ����� � ��2������ 2�� ��� �� M��N��� K� ��� ! �! ��� ��M����� � $�� N � � *��NR�� � �����- � ��� �*�L����� ���*�����,� ���8 �� ��! X ������ � ����,� � � ����**� ��L��� N *�P8 �� �Mk ��� N ��2�,* ���*���* P�2�� ���� ���� 2�8 � ��! &�� �2��� �� U"V� ��L � ������ �����O���� ��� � � ������ ����, � � �* ��������� � ��*�2� �� ���8 M��� "S� *�*! Y ���L�� ���� *, �������,���* ��8 ��P� ��N�,� �� ������ �� ��P��� ���� ���� �,��� ����Q�� � ������*� ���� ����� � ���� ���, S � ��P��*�! Z�� �����L���� �� ������� ��� M��NR�� ����L�� �� �,��� �, ����� � �2 ��*�2�� � ��� �8 ��� *�*�� � ����� ���� �, ����� ��� 2�� �, �2 ����O����� �M��� �� � ��������� ���,O���� Y1l� ����� ����� �� ��P�������,� ����� ������L���,� �Mk�*�,* 2�� ��* U�V! Z�� �*��� ��� ���� � ���,O���� ��������� ��8 ��2�� ���NR� � �� 2� � �*� L � �,��� ����*M�����8 � � �Mk�*� ��*�2�� �� ����� �� ��� �������P��8 �� ���� ����� � ���N �� ������� � � ���� ����*�! X ��N ��2��L��� ���* P�2�� ���� ���� �� 2��� �� � ��� ���� ���*���,� ������� � 2����O����� 2��� 8 9 ��*�2� $������-! Y �� 2� � �*� L � ���*���,� ������ � ��*�2� 2������ ���M���� � ��� ��*�� ��� �*���� ��� ��� �� ���2,��� �������� ��� �� �� �*����� �� � �� � � ���� �L���� ������2����,*�! X ������ � ����,� ����*M����� 2�� ��� � R�����2����* ��8 ������������ ��� � �������* L���2 ������N� ���8 ����P���,� �M��2� ����� 6��*� UhV! �� �,��� � �� �L������� ������,� ������N 8 : \! �� ���� ��8 ��� ���� ������ � �� � ��� � L � ���N�2�� 2� ���8 � � ����*M������ � �����L���� ���* �� P�2��! T� ������ ����� �����, ���N 8�*����,� ����� �8 ��� ��� �� �M��2�� 6Z8�! Y � �� � ��� ��� �M� �� 8 �� S �� *� � �M�� �� S ��L � ������,� ���L�* � �M�� ��* �*�O���� Q� �L��� �� ��N��� N ����� �,R�� L�* � �� *�*! Y��N 8�*��� �,� ����� ���� ��� �$;- ��*�2�,� Q� �����*����� �2*�� ���N *�� ��,* *� ���*! e*��� N �M��2��� � ���� �L���� �� 2������� � ��8 �� P��� � L � ����� ��N� ������ � �*� L � � � �� 8 � ��� �M��L��� ��*�2 ���� ��M ��� ������L����� �2�� ��� � M��N�� K� �� �� �M��2�� � ! Z�� �2*����� � L�� � �,� 2�����*�� �� �*��� � �� ���* �����2��� L�� � $<] �� g� o �� �g�- �2*�8 �� ��N�,� *�� ����2,��� ������� 2��L���� �� ��8 ��� �������*�� �� L � ����� ��N� ������ � L�� � �*8 ��� ��* ����� ��� �������*�� � Q� �����*���� �� ����*����* �������! 6 � � � � � � 1 h� �� h� � \h� \ �� \ h� \��� \ �� � �� ��� T��� P����� Y )��! ! Y��N 8�*����� ����� ���� ��� ��*�2���� Q� �8 ����*���� 6Z8" ��� �M��L���� ��� �* � ������ ����, � � �* g h ∆ 8 � 8 9 8 : 8 4 8 : \8 < 8 : 8 =� 8 > 8 = g �h � ? 2� a $ ��- )��! �! )������P���� ���*���,� ������� � 2����O��8 ��� 2��� ��*�2�� �������� U"V= � 4 � 8 : \� 8 � S ������,� ������5 8 : S ��� ���N�� ������� 5 8 =� � 8 = S ����� ���,� ������5 8 < S ������N 6��*�5 g h� g�h S ����� ���,� *���*�*,8*����*�*, �� 2����� ������**� ��*�8 2�5 8 p S ������N 2��, �������*�� �5 ∆ S �*��NR���� �� ��8 ����N���� M��N��� �� ������� ���� *��� ��������5 ? S�����8 ��� ��� ��5 ( S ��� � ��� ��R� �� ��*�2� ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � " ��������� ���� ������������� ��������� 0� ��������� L � ���N 8�� �,� ����� ���� ��� ��*�2�,� Q� �����*����� ������, � �����2��� �28 *����� �M��L����� � �� L� ,�� ��� ���! T� �������*�� ��N�,� ���� ���N�,� ����� ����8 ���� *����*�* L��� �� ��N��� � ���� �2*�����,� �M��2��� ��P�� ���� �L���� �� ����� ����� ����, $λ]��� o��� h *�*-� ��� � �* ������������� ���8 ���� L��� �� ��N��� � *��� ���� �*�O�� � ������ � ��� �� � ���O�* �����L����* ������ ����� �2�8 � � ��*�2�! n�������� �� ���*� ��*�2���� Q� �����*���� ����� ��� � ��M�� ��������N�� ���������,� ������8 �� �� � ������ �� Q� � ���! #��M����� N� ��*�2��8 �� ����*���� �� � � ��O�� ����� 2�����*�� N L��� �� ��N��� � � ���� P��� ! Y ���" �! �� �������*� /0���1�*�23���� 4 �����,� M,� ��2��M� �� � 2��� �� ���� 068 Q� �����*��� �� ��������* ��*�2� ��� �� � *����8 *�*�* L��� �� ��N��� � �� ����� ����, ��� *�*! # ��R���� ������aR�* ������� Q� �����*���� �� *������������* �� ��� �2��L��� ��� ���� ��� �8 �� �h! 6� �� ���� ��M����� � ��N�� � �M��� � ��M8 � ������� �����O��� ��*�2� $� 9 ]h�h �Y5 λ 9�� ]� � �*-! Y ����*�* �����2��� Q� �L��� �� ��N��� N � �� 8 � ��� �� ����O����� � �\" Y a�*� $Q� �� ���� �� ��� �� � /*� ���S�������������4-! 6� �����*���� �2�� ������� � �������� ���*�8 �2������, � *� ��������*�L����� �������= � ����8 ����� ���* �� M�2� *���R�* O�� *�������*, &���0� �8 � ������� ��� qrj8�� $6Z18 - � M�2 ����� �� � ������� qrj8 ^ $6Zi8 -! )�2*��, ��8 *�2�,� Q� �L��� �� ��N�,� ���*�� �� *��� �2*�8 � N� � �� � **�! 6� �����*���� 6Z18 � 6Zi8 ������Q������ � ��� �����L��8����,�! 3� ����8 ���N�,� ����� ���� ��� ��2��� � M�2 ��O�� ���8 ���� ���P��� ���� ����� �,���� �� �� ����� N ����8 ��*���� ��� �2��L���� ���� N �� �� �* $* ���� ��� ���-! #�� L��2�,L���� �� ��L��, � ����2����8 O�*� �2��L���� � �����M�, ��M� � N � � ��, �* ���*���! Y �� ��Q�2��� ���� Q� �����*���� *�P8 �� �����N2��� N � ���M���� ����� ���� �� X������ ������� N ��N ��Q���� ���� ��� ��� �O�� ���� �� 2��2� � ! �! T� ������ ����� ����� ���R��� ��� Q� �����*8 ����� 6Z18 � 6Zi8 � � ��� �!"���������, �� Q�8 ����� ��L����� ����*� �,! �#$%&# 32�� ������,� � �����������,� 068Q� �����*8 ���� �� ������ ���������� ��*�2� �� � ��2��L�,* �����P����* �2� � �����*��� �������� ��2*�P8 ��� N �����2���� ��� Q� ���2�� ������� �� � Q� �8 �������� ��������� ��M� , ��*�2�,� 068Q� ����8 �*�����! 3����N2������ �������,� ��*�2�� ��2��8 ���� ��2�� N ������N�,� /�����L��8����,�4 068Q�8 �����*���� � *����*�*�* L��� �� ��N��� � �� ����� ����, ��� *�*! 3XZ#bfc#Y1TTde 3X�#+T3&3 ! g�� �� s! Y!� 1� ���� 1! 1!� .� ��� 1! s! 6� �����*8 ���� ��N ��Q���� ����� �����2��� �� ������ ��*�2� �� ��� �� ������ �������� ������ ��, ��M������ � �����2������ �Mk�� �� aa T���� � ��������� � ���*,R������ �!S ���^!S � � $ -!S X! �"S�^! �! 1� ���� 1! 1!� &����� Y! 1!� &������ T! .! � ��! 6� ����8 �*���� �� �� ����� ����,� ��� �* 068�����2��� �� ������8 �,� ��*�2�� aa )���� ������ � ���� ������!S ���^!S �! h � � �!S X! h�^S h��! "! &������ Y! '! Z������,� ��*�2, )�����!S .!= Z�� ���� ���! �! t:9uECH v! [!� v:Cw j! xBCCE>H ;>yEpH;@> ;> z@<;Gz!S {E| }@Cw= [p:GE9;p jCEzz� ���! h! )��2 1! #����, ����� Q� ��������*�� �!S .!= .��� �^^! � � � � � 1 �� �� � \�� \�� \^� \_� \��� \ �� � �� ��� T��� P����� Y � )��! "! Y��N 8�*����,� ����� ���� ��� � ��� ��, 6Z8�= @ S � � �� � ��� �M��L��� 5 A S ��� �M��L���� ����������� ��� � � � ���� ������ ������ �� ��� �������� � ���� �������� ���������� � � !"#$!� � !"#$!� % ��� � ��� ��� ������ �������� ��������λ& '��� � #�!� #�!� % ��� � ��� ��� ������ ��� ������������� �������� λ& '��� � � ��(!� ����)��������� ������������λ& '�� *�+,-�+#� .�/#01�!2�(� .�/#01�!2�(� ����� 3��������� ��������������� λ& '���+*�� � !��$� *������ 3��������� ����������� ����λ& '��*+*�� #�(1�!4� !��$� 5 � �������������� ������ ���6 ����� #��� �7�� � �"�!� �"�!� 8 ��39 �� �� 6 ��3+��� ��3��*� $"4!� $"�!!� :�� �� ������� � ���� ��� ��������*�+� #� �!;� �!;� 8 ��39 �� �<� ��*+,-�+#� "� #�$1�!2=� �����3�� 3��� ��� ����������� �������� #$!1�!24� �!!1�!24� �!�!0#$��*&,$'�&$� )(*(�$�*%��!�!)*&$��&�!" ����@�&�����@ �- M- )��! �! Y��R��� ��� Q� �����*����� 6Z18 $(- � 6Zi8 $.-