Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD

Рассмотрены особенности технологических процессов изготовления субмикронных КМОП СБИС и их моделирования. Особое внимание уделено моделированию примесного профиля....

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Date:2007
Main Authors: Глушко, А.А., Родионов, И.А., Макарчук, В.В.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2007
Subjects:
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52830
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD / А.А. Глушко, И.А. Родионов, В.В. Макарчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 4. — С. 32-34. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1859560532049133568
author Глушко, А.А.
Родионов, И.А.
Макарчук, В.В.
author_facet Глушко, А.А.
Родионов, И.А.
Макарчук, В.В.
citation_txt Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD / А.А. Глушко, И.А. Родионов, В.В. Макарчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 4. — С. 32-34. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Рассмотрены особенности технологических процессов изготовления субмикронных КМОП СБИС и их моделирования. Особое внимание уделено моделированию примесного профиля.
first_indexed 2025-11-26T16:07:51Z
format Article
fulltext �� ��������� � ���� ���� ���������������� ������� �� � ������ ����� ������� ����������������������������� �������������� �������� � � � !��� ����� ! "������������������������� � �� #$%&'(�� !�) �� * ������� ������������ ���� ����������������������� ��� (��� ��� !�)�� ����)%�&� +!�,!�-!�$��+��� ./01234� 531675829�!:06;9!<9 )"�=>'("?@,'=��=A,">"%''�'B%"�"?>=,'C D&$)'E(",,FA�E)"G�D$'D D�G")"HIJ�D'D�=)�KLMN ����������� �������������� ��!�"�# $���� � %��&����'� �("���'!���)� �*����# ����� ����+�,��,��� � �����!���'�# ��)��������� '�������� *��!��������!�# ��'���-� %�������"�� %��.�!)� )���+�� O�� ���+���� ����� �� ���������P��Q/ R������Q���+ ����� ���� �����O������� ���� � S/ ������� ���P+ ����T��D$'D�������� ������� �/ ��� +�����Q��+���������� ���� + S�� � ������ / � ����+������D$'D�+�����+����P� ��R P� !�)���/ � ����� ��������� O�� ��������������U�������� �+��QR����S�����T����� ���� +�����Q�T����P��T! "��� ���� �+���+�� O�� �+�+���� ����� ���P+ / ����T��D$'D����������O �T���Q����P������ � �� S/ ������� ��V ���W!�-��+���T�D$'D� +������P+ / ����T������ ����T����S+��T������ ����XY���X�+ +� �����U �T������� � ��P �T��������������������� � ������ �+ +! )��R���� S ������� ����P+ ����T��D$'D����/ Z���������������Q�������U +�O��T��+�������T+ ���P���� �+! G�����!�G������T����Z�T������� �Q����� ���+/ �������������S�����U ������� � �+ � +�+��� [/ [�S ���� ���U ���� +������� �� S�����Q��+� ���� ��Q��+���������� ��!�-�� ��+�Z�����P �Q��� ����QS����P��P�� ���� ��T�� ����+�����������O��Q ��� ����+�������!��!���������PT���T�����+ O�� � � �[�����T����Z ! ?��������Z�������P���� ��Y�����+��T�������/ � ���� �!�G���S ��T�������� ���� �� ��+ ��� �+�/ ����� ��� �Q� ���U��������+���� Z�� ��PT����/ ������ ��D$'D!�D����� ���� ������Z� � � ���� ��� ����P+ ����T+ ���S+���+ �+�Z���PT�Q��+��QR�/ �������+����� � ��� ���T��U ��� �� ����Z��� ����/ ����� ��+�������������� ��+� ��T��S�����T��� �� Z����� ��� � ���� �����������U +� ��� � � / � ����� �+!�'����QS���� ��� � � ������ ���� �/ ���� ��+�������� � ����� ����� ���� ����Q[��+���/ S���������U�������T+��P��S�+��� S �Q��TR�� �S��/ �T�������� ���� �! ����Q�����P���� ���� � S ������� ����� ����� ��P+ ����T+ ���S+���+ �Y� ���� ���� �������Q ���������� � � �����������Q�����P��� +����������/ ��+�������+��� O ��+!�?�/����T��������� ���O��PT �� ���� O�� �+�� ���� ����� ������� O�� ��� / ���� �PT�������� S��������O���#��� O ��������� ��U���������S�����������T������ �������S���O *!�?�/ ����T��� S+���� ������ ��[ �����Z����� �P�S��� � �O��Q���������S���O��[� �� ����� ��� ���� ���/ U� �������������#��������*���� ��U���� ��P ���[�/ ����� ����������Q���� �+��QR����R � ���������/ ��� ��� ������S��O ��������� ������P �Q���� ������/ �� O�� � ����������� �S�O������ �����S+�Z���� �T������ �����P���� ���������Z���� � ����� ��T+ ���+�+!�?/����Q �������������Q����P��� +�������P��/ ��O�� ������R� ������ �T� ��������� ���+��������/ ����������+�Z���� ��� �� � ���� ��+! '�� �� ������ O��������!�����D$'D��� ��S+���+ ���� ������ ���ST���+� ��\ ��P� � ����P+ ����] #�X���+� �+����*���������������������S+�Z�T+���S/ �����Q�������� ����� S��������D$'D� � ������ / � ����� ��V����W!������� ������ ������Z����O �T/ ���Q���U������������ ����� �� ��+��� O�� ���[��/ +T�����O������+�� ������� S�P��Z�� �����[���/ R�P����!�-����� ����� ���TST�����������T������/ � ��� ��� ��� ��� ����T� S��O�� ��� ����QS��+� � ��������+������� +���� ��+��� O�� + ���S+���+ ����O��+������� ���T! ������ ��D$'D� S+����������+������� �����Z/ �T�� ���O� �������U�� ��������� ��[ ��� ���� / � ��[[� ����P� S��� ���O��������O��+� �����Q�[� ���������� � � ���������[[� ���P��QR ������������/ ���� � ���������U +���������+�[���� �� ��[ �������� �� ���� �������O������S� O�T��������� / O�� ��^������^�VXW! ?����� ����T�� ���� � ��� ������� �����S/ +�Z�������� ��+� � O�� +�����+��������� �������/ P������Q� PT� �� R �+�+�� �� ���+�� !�G����+�� ����QS����������P�����+�U�T�����������+���� / ����� �� ������� O�� � ����������� ��� S������� D$'D�� � ����T+������������ ���+T�KLMN! ,��P��� +����+�� �Q��O�����������U������+����/ U����������� ��Q ��+�U�T��� ���+�KLMN��� �� ���� +����[ �+� � �K_M�̀ ab!�#Dc@*��̀ d.�̀ a;ef<1;eg dh6;e06�.af2aee<2af�Mi�#c������ �*��dha7j6h6�`ab! �d2351b7� `a;e<a1;27a13� #Dc@*!�-� �� ���+T�KLMN �P����O �������S+�Z����Q�� ��S�� ��+���� ����/ � ��������� O�� � ����������� S ������� ��D$'D! D�� +���Q�����P�T����� ��++�T���������� �O �/ ������������+ ��T��O����������S��� ���S ������ �/ ������Z������� +��� ���� ���� ����� �� ���������/ ��P�T�� ��+����� �� ����QS����Q!�?�������U������/ �Q����OQ����������+�������� ����QS��+T���� �� � � ���+���������� O�� � ��+���� ����� �! ������� �� � ������ ����� ������� ����������������������������� �� ��������� � ���� ���� ���������������� ,���������������������� � O�T��������� O�� � +��R���� S ������� ��E)"G�D$'D! G�����O������O�� ������ S��+���E)"G/���� ��/ �T��� �S�������������! G� ���S��P�� ��������� O�� � ��+��R�����[��/ + ����� ����P+ ����T��E)"G�D$'D� �� ��+���/ � ����� ���� ���+���KLMN�������������Q������/ ���������O�� ��S������ ���� +���� �����[ ���� �/ ���T�����������O����Q�����������������������+���/ � ����� ����� �� O�� ������ ��� �� !�'S��� ��/ ����T������ �!� �������� O�� �������� �������/ �������Q���[��+ ����� ��� +���� �����[ ��� / ������������T� ������ +������� � ���������U�/ ����Z �! '+������� ���P����O �����O��S�TO������������/ �T�� ������� S��� +T�����[ � � ��������� ��S�/ �����+T������������+��������� ���� �+� ������� ���+����������!�E��+���� ���� � ��T����� �� ����Q/ S��+T���� �O������+��� ��� �� [[�S ��+�Z����� / +����Q� �����+�� ����� ���������R�� �� � ����+� ��O �!�'������ +������� ������������ S ���+����/ ����T+���������+�� ���� �� ���� �� � ����� S�� �����Z��� ����R�� � �� � � ����� ���� +�����#��/ ��+�U�� �����+����� +�� � S�+�Z���S� �����S�T ��R�� *����P��������������U ����Z ! �������O���� +������� ���� ���� +���� �����/ [ ������ ���+��KLMN��� +������������ � O�� � +����T����������� ����T����Z���[�� � ���������/ ��� ��%������ � �G �����!�?��� ��+������������ �/ ������ O��� �Z�T����O� � +����� ������T�� ���� �TST�������������������� �� ������������ �������/ �������� ��������������T+ ������������ �+ �%�/ ����� �G �����!���������O�� ���������� ���������/ ��� �� ����������� ����O ���� +�������� �� ����/ �����S � ! E��+�� �� ��� ����+���� ����� ������������� � +����� ������T�� ����� � +������� ���T����[� / ������ +��������+�����)����/E����!�D���+�UQ�����/ ��+������+���� �������[ S O�� ����PT� ������/ �����U ���� ����+�Z�� ������Q�T��O��� �!�'��T ���+�S������� ������T������ ����� ��� �����S��Q��/ ������ ������ ������ �!�C����T������ ����� ���� / �T�������[��+�����> �������!�)��������Z�� � ����� ���U �����+���+ R�� ��O ����������O���T+! G�� +�U������+������)����/E�����S� ��O����� ���� ��U�+��+�����+�+����������� �����Q�T+�[ / S O�� +���PT� �+���������������������� �Y���O��S/ +���T��S��������+�R ��� �����+�� �����P��� +� � ��������O�� ������ �� O�� �����Z�T����S��Q�����! E� ���+�O����Q��TR��������� ������ +������� ���P��� +�������� �Q���Z !�)����Q���Z ����� �/ ��+���KLMN������Q������Z��� ��O �T����� � �� [/ [�S ���T���������T�� �� � ��������T�� + O�� � ������U�� ��������������� ������ �T!�=�� ���Z ������ ����S�� ���� �����+�Z��� ����+�� �� S+�/ ���+T���� ����+ ����� S+���� �� ��������� ���� � ���[ �������S��Q������ [[�S ���S��O ���Q��!�=�� Z����Z ������� ������ ���Q�������+������ ���� � S��O ���Q������������������� ���� +�� ! ?��������+���� ����� ��� [[�S ���� ���� +��/ �� �����[ �����Z ��� [[�S ������������� �!�G�/ � ��Q ������������O��������������� ����� ������# �� +����� ��� �� [[�S ����� ���� ���� � �T�� �� ��������� � +����� ����������� +�� *��������P/ ��� +�����QS����Q���O �����T+ �+�����+ ���R�� � � [[����� ��Q�T��������� �! G������T����Z��� �� �������� ��+�Z�������+��/ � ���Q� � �����+� ����Q�T�������������� ������ / � ������ [[�S � � +������� !���O����Q��������/ � ���� �������������� ������� �O����������O����� ������ � � ��������O��������� �������P�������Z/ �T+��� ����� � ����� ���P+ ����T������ ���! "��Z��� �� �������� ���������+��� P� Z�� +�Z�������+��� ���Q� � ��������T�� ������ ���+T� � �����Q���������������� ��� � !�E�Z���� ��O � ���������� �����+��� ������� � �P�� ���O���+��T� ���O� �%�� �������������� ��U ���� �������� ���+����������������P��� ��+��� O�� ���+�������/ O� � ���� ��������+ ��[���+ ��� �� ���� �� ���O/ � ��!������T������ ����O�T�� ��[[� � ��T�����/ O��������� �� �+������P��� +���O �T���Q����P����/ �� �+���� ���+T������������ � ������������U � ��� O�T������� �! '��� ��������S��P��O ��������� O�� � �����/ ��������Z���S���Q�� � ��� �� S������� ���+��+���/ �������� �� ���������� � ��� ��� �������� ����������� ����� �� �������� �������� p- � n- ��� �� �� ������ ������ ���� �������� ����� ������� ������ � �������� ����������� �������� �� ���� � � ���� �� �� ������ ������ ���� ������������ �������� ������������ �� ��� ���� �������� �� ��������� � �������� �������������� ( �!k !�������� O�� ��+��R���� S ������� ��E)"G/ ���� ��� )����� S�� � )�Z�����T� � ��� �� G�� ��+� � G��S������T� � ��� �� D � � � /l /l 0l0l �/ ��+�� %/ ��+�� �/�����Z � G��� � ����� � ( �!k�!�G�����O���� ��O�� ��E)"G/���� ���T �� ��������� � ���� ���� ���������������� ������� �� � ������ ����� ������� ����������������������������� � ����� �!�E� �� ���� S��������� ������� ��++�T� �+������T�� ���+�KLMN�+�Z�������������SP �Q ����� � ����T!�G������ ��������� ��++�������S��/ O����������� ���� ������T��[�����!�����T�������/ ���� O�� �+���������� S ������� ��D$'D��������/ �� ����� � ���+���D$'D������������� + ������/ ��++�T�� ��T!�?������ ��������� ��++�Y���P�����/ ������ ��++T�+���� ����� �!�"� �� � ����� ������ +������S� �� �� ��[ O�� � �� ����[����������� � G���+���T� ������� O�� � � ���������� ������ � ?����T��[���T ?����T��[���T G� +���T�����[ � �� ��[ ��� �� O�� ������ ��� �� G�� ���� �������T� [����� ����+���� ����� � )���� ����� � �� +���T�����[ ���� ��� �� O�� ������ ��/ � �� ? S���Q��� ���P��Z�� � �T����T��[����� ( �!k�!�D��� ������ ���+�KLMN ��+�UQ����������������O��T����S��Q���T� ����T����/ �������������T����T��[������+���� ����� �!�G��/ �+�����Q���S��Q���T�+���� ����� ��+�Z�������+�/ UQ������Q��� ����T���� ��++�Y���� ��++�� S�/ ��Q�� �����P��Z�� ����S��Q������+���� ����� �! ,��������� ���+�KLMN�S������������+���T����/ ���� O�� � �����������#������������Q����Q��T���/ ��� �������� �� ��� �� ����P��� +T������T����� ���T������ �*������ Z�������� �!�,���T���������/ O���������[ � ������������ ���� +������� ��+� �/ ��������� ���� ����T��� �� ������O����Q�� �������� �����T+ �����T+ �������������U� ��+���� ��/ ��� ����� �� O�� ������ ��� �� ! D���+�UQ��� ���+�KLMN������� ������S+�Z�T+ ������Q ������ � �����Q�������� O�� ���������� ��� ������Z ���Q�� ������� Z����� ��S �����Q��� �/ � �������Q�T������+������������� O�� � ���������� ��� �O����������O��+T��D$'D! 'DG">IB"?@,,F=�'D�"m,'E' !�)"G�D$'D!�)���� ����� �� ���+������ � ������� O�/ � �� ���������� n� G��� ���!� G!�@������� �� �!�@���� �� ��� (!����������&!�"�����+�!Y�)!4�(�� �� ����SQ�� opp! �!�q��� ��!��-� ����>!��%� � O�-!�-�� ���� ����Q���P��Q/ R �� ��� ���Q�T�����+!Y�)!4�) ��� oo ! �!�reeag<2bs� `<!�t!� u!�_!�Neej/69:02b<7a�L_vd�`L6!Y�wex y7<s4�z39xe<�1b1ge02b�j9:326{e<6������! �!�zeaae3�t!�|!��Le1�d!�_!��}231s�M!�N!� e;� 13!�_7ge32af� 7~ 93;<1{2f{3h�g7jeg�6{1337x��9ab;27a6�~7<�1ff<e6625e3h�6b13eg�L_vd�nn `a;e<a1;27a13�.3eb;<7a�Ne52be6�_ee;2af!Y�d1a��<1ab26b7��LM!Y ����!Y��!� p�XYp�p! X!� d2�;� �!�vj;2b13� j<7�202;h� b7<<eb;27a� #v�L*� nn� Keb{a737fh �e52ex!Y�����!Y�r73!� ��2669e��!Y��!� Yp! ����������� � � � � � ��� � � � � ��������� � ��� ������� � � ���������������������������� � ��� ����� ����������� �� ��!� "�� #������ � !���� $��%����!� &�� '� '�����()�*!�������+������!�������,� ���-���.� ����� �/ �)�! 0112�-�013�(� �������� ����� � � �� ��� �� ������ ������������ � � �������� ��������� � ������ ���� � � � ���� � ��������������� ����� ��� ����� ��� ��� �� ������� � �� �� ���� ����! � ������� �� � �"����� ������ ������� � ������� ��� � ���� �� ����#� ��������� �� �#��� � � �� � $��� ���#�� ��� � $���� �"����� �� �� ����� "�� � �� ������������ � ����������� ��� �������� � � �� �� ����� � ��������"����� � ��� ����� ����� ������ ���� "�� � �� �� ��� � �� ���� ���� ������� �"����� ������� � ��$��� �"����� � ��� ����� ���� � �� � �#�� ���� �� ��� �! � ��� ������ �� ��� ���� ��� �� ��� ��� �� �� � �� ��%��� ��� � �� ��� �� �� � �������� � �������� � ������ ������ � �� � ���� ��� ���� � & '� ���(����� ��� ������%���� �� ��� ��� �������� � ������ ���� � � � ���� � ��������������& )��� �� � ������� ���� �� �� � � ���� �� � � *�� �� ��� ���� ����"����� +����� � ��& 4�* ����5�6 ��������) � �)��-���.�7�/ �(6� �!�0118�-�980�(� � ���#� *�# �� *�#�� ��� ���� � �� (�+ ���� $��� ������ �� �������� �� � � �#��� ����� �� ������& , � �������� �"������ �� � ����������� ���� ����*�� ��� � ������� ������� �� ������ �& )� � ��� ������� ���������� ����� � ��� ��� ��"��� � �����& ��� ������ �� � � ��� ����� � ����"��� � ���(� ������ #���� ������ % � ��� � � ��������� � �������#� �� � ����! � ���(� �"������ � ������� �*��� & ���#� � �������"��� �� � ���� �� $��� � ����"����� � ��*���� �� ������ ���(������� ��� ������ ���� �� ����� �������� � ���� ����� � � �� � ���� � ��� ������� (�+ ���� �������&
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52830
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 2225-5818
language Russian
last_indexed 2025-11-26T16:07:51Z
publishDate 2007
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
record_format dspace
spelling Глушко, А.А.
Родионов, И.А.
Макарчук, В.В.
2014-01-07T23:16:03Z
2014-01-07T23:16:03Z
2007
Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD / А.А. Глушко, И.А. Родионов, В.В. Макарчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 4. — С. 32-34. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52830
Рассмотрены особенности технологических процессов изготовления субмикронных КМОП СБИС и их моделирования. Особое внимание уделено моделированию примесного профиля.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Технологические процессы и оборудование
Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD
Моделювання технології виготовлення субмікронних КМОН НВІС за допомогою систем TCAD
Technological processes modelling of submicron CMOS VLSI producing with the modern TCAD systems
Article
published earlier
spellingShingle Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD
Глушко, А.А.
Родионов, И.А.
Макарчук, В.В.
Технологические процессы и оборудование
title Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD
title_alt Моделювання технології виготовлення субмікронних КМОН НВІС за допомогою систем TCAD
Technological processes modelling of submicron CMOS VLSI producing with the modern TCAD systems
title_full Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD
title_fullStr Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD
title_full_unstemmed Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD
title_short Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD
title_sort моделирование технологии изготовления субмикронных кмоп сбис с помощью систем tcad
topic Технологические процессы и оборудование
topic_facet Технологические процессы и оборудование
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52830
work_keys_str_mv AT gluškoaa modelirovanietehnologiiizgotovleniâsubmikronnyhkmopsbisspomoŝʹûsistemtcad
AT rodionovia modelirovanietehnologiiizgotovleniâsubmikronnyhkmopsbisspomoŝʹûsistemtcad
AT makarčukvv modelirovanietehnologiiizgotovleniâsubmikronnyhkmopsbisspomoŝʹûsistemtcad
AT gluškoaa modelûvannâtehnologíívigotovlennâsubmíkronnihkmonnvíszadopomogoûsistemtcad
AT rodionovia modelûvannâtehnologíívigotovlennâsubmíkronnihkmonnvíszadopomogoûsistemtcad
AT makarčukvv modelûvannâtehnologíívigotovlennâsubmíkronnihkmonnvíszadopomogoûsistemtcad
AT gluškoaa technologicalprocessesmodellingofsubmicroncmosvlsiproducingwiththemoderntcadsystems
AT rodionovia technologicalprocessesmodellingofsubmicroncmosvlsiproducingwiththemoderntcadsystems
AT makarčukvv technologicalprocessesmodellingofsubmicroncmosvlsiproducingwiththemoderntcadsystems