Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD

Рассмотрены особенности технологических процессов изготовления субмикронных КМОП СБИС и их моделирования. Особое внимание уделено моделированию примесного профиля....

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Datum:2007
Hauptverfasser: Глушко, А.А., Родионов, И.А., Макарчук, В.В.
Format: Artikel
Sprache:Russian
Veröffentlicht: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2007
Schriftenreihe:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Schlagworte:
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52830
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD / А.А. Глушко, И.А. Родионов, В.В. Макарчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 4. — С. 32-34. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52830
record_format dspace
spelling nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-528302025-02-09T14:03:25Z Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD Моделювання технології виготовлення субмікронних КМОН НВІС за допомогою систем TCAD Technological processes modelling of submicron CMOS VLSI producing with the modern TCAD systems Глушко, А.А. Родионов, И.А. Макарчук, В.В. Технологические процессы и оборудование Рассмотрены особенности технологических процессов изготовления субмикронных КМОП СБИС и их моделирования. Особое внимание уделено моделированию примесного профиля. 2007 Article Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD / А.А. Глушко, И.А. Родионов, В.В. Макарчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 4. — С. 32-34. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52830 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре application/pdf Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
topic Технологические процессы и оборудование
Технологические процессы и оборудование
spellingShingle Технологические процессы и оборудование
Технологические процессы и оборудование
Глушко, А.А.
Родионов, И.А.
Макарчук, В.В.
Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Рассмотрены особенности технологических процессов изготовления субмикронных КМОП СБИС и их моделирования. Особое внимание уделено моделированию примесного профиля.
format Article
author Глушко, А.А.
Родионов, И.А.
Макарчук, В.В.
author_facet Глушко, А.А.
Родионов, И.А.
Макарчук, В.В.
author_sort Глушко, А.А.
title Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD
title_short Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD
title_full Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD
title_fullStr Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD
title_full_unstemmed Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD
title_sort моделирование технологии изготовления субмикронных кмоп сбис с помощью систем tcad
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
publishDate 2007
topic_facet Технологические процессы и оборудование
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52830
citation_txt Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD / А.А. Глушко, И.А. Родионов, В.В. Макарчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 4. — С. 32-34. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.
series Технология и конструирование в электронной аппаратуре
work_keys_str_mv AT gluškoaa modelirovanietehnologiiizgotovleniâsubmikronnyhkmopsbisspomoŝʹûsistemtcad
AT rodionovia modelirovanietehnologiiizgotovleniâsubmikronnyhkmopsbisspomoŝʹûsistemtcad
AT makarčukvv modelirovanietehnologiiizgotovleniâsubmikronnyhkmopsbisspomoŝʹûsistemtcad
AT gluškoaa modelûvannâtehnologíívigotovlennâsubmíkronnihkmonnvíszadopomogoûsistemtcad
AT rodionovia modelûvannâtehnologíívigotovlennâsubmíkronnihkmonnvíszadopomogoûsistemtcad
AT makarčukvv modelûvannâtehnologíívigotovlennâsubmíkronnihkmonnvíszadopomogoûsistemtcad
AT gluškoaa technologicalprocessesmodellingofsubmicroncmosvlsiproducingwiththemoderntcadsystems
AT rodionovia technologicalprocessesmodellingofsubmicroncmosvlsiproducingwiththemoderntcadsystems
AT makarčukvv technologicalprocessesmodellingofsubmicroncmosvlsiproducingwiththemoderntcadsystems
first_indexed 2025-11-26T16:07:51Z
last_indexed 2025-11-26T16:07:51Z
_version_ 1849869756626108416
fulltext �� ��������� � ���� ���� ���������������� ������� �� � ������ ����� ������� ����������������������������� �������������� �������� � � � !��� ����� ! "������������������������� � �� #$%&'(�� !�) �� * ������� ������������ ���� ����������������������� ��� (��� ��� !�)�� ����)%�&� +!�,!�-!�$��+��� ./01234� 531675829�!:06;9!<9 )"�=>'("?@,'=��=A,">"%''�'B%"�"?>=,'C D&$)'E(",,FA�E)"G�D$'D D�G")"HIJ�D'D�=)�KLMN ����������� �������������� ��!�"�# $���� � %��&����'� �("���'!���)� �*����# ����� ����+�,��,��� � �����!���'�# ��)��������� '�������� *��!��������!�# ��'���-� %�������"�� %��.�!)� )���+�� O�� ���+���� ����� �� ���������P��Q/ R������Q���+ ����� ���� �����O������� ���� � S/ ������� ���P+ ����T��D$'D�������� ������� �/ ��� +�����Q��+���������� ���� + S�� � ������ / � ����+������D$'D�+�����+����P� ��R P� !�)���/ � ����� ��������� O�� ��������������U�������� �+��QR����S�����T����� ���� +�����Q�T����P��T! "��� ���� �+���+�� O�� �+�+���� ����� ���P+ / ����T��D$'D����������O �T���Q����P������ � �� S/ ������� ��V ���W!�-��+���T�D$'D� +������P+ / ����T������ ����T����S+��T������ ����XY���X�+ +� �����U �T������� � ��P �T��������������������� � ������ �+ +! )��R���� S ������� ����P+ ����T��D$'D����/ Z���������������Q�������U +�O��T��+�������T+ ���P���� �+! G�����!�G������T����Z�T������� �Q����� ���+/ �������������S�����U ������� � �+ � +�+��� [/ [�S ���� ���U ���� +������� �� S�����Q��+� ���� ��Q��+���������� ��!�-�� ��+�Z�����P �Q��� ����QS����P��P�� ���� ��T�� ����+�����������O��Q ��� ����+�������!��!���������PT���T�����+ O�� � � �[�����T����Z ! ?��������Z�������P���� ��Y�����+��T�������/ � ���� �!�G���S ��T�������� ���� �� ��+ ��� �+�/ ����� ��� �Q� ���U��������+���� Z�� ��PT����/ ������ ��D$'D!�D����� ���� ������Z� � � ���� ��� ����P+ ����T+ ���S+���+ �+�Z���PT�Q��+��QR�/ �������+����� � ��� ���T��U ��� �� ����Z��� ����/ ����� ��+�������������� ��+� ��T��S�����T��� �� Z����� ��� � ���� �����������U +� ��� � � / � ����� �+!�'����QS���� ��� � � ������ ���� �/ ���� ��+�������� � ����� ����� ���� ����Q[��+���/ S���������U�������T+��P��S�+��� S �Q��TR�� �S��/ �T�������� ���� �! ����Q�����P���� ���� � S ������� ����� ����� ��P+ ����T+ ���S+���+ �Y� ���� ���� �������Q ���������� � � �����������Q�����P��� +����������/ ��+�������+��� O ��+!�?�/����T��������� ���O��PT �� ���� O�� �+�� ���� ����� ������� O�� ��� / ���� �PT�������� S��������O���#��� O ��������� ��U���������S�����������T������ �������S���O *!�?�/ ����T��� S+���� ������ ��[ �����Z����� �P�S��� � �O��Q���������S���O��[� �� ����� ��� ���� ���/ U� �������������#��������*���� ��U���� ��P ���[�/ ����� ����������Q���� �+��QR����R � ���������/ ��� ��� ������S��O ��������� ������P �Q���� ������/ �� O�� � ����������� �S�O������ �����S+�Z���� �T������ �����P���� ���������Z���� � ����� ��T+ ���+�+!�?/����Q �������������Q����P��� +�������P��/ ��O�� ������R� ������ �T� ��������� ���+��������/ ����������+�Z���� ��� �� � ���� ��+! '�� �� ������ O��������!�����D$'D��� ��S+���+ ���� ������ ���ST���+� ��\ ��P� � ����P+ ����] #�X���+� �+����*���������������������S+�Z�T+���S/ �����Q�������� ����� S��������D$'D� � ������ / � ����� ��V����W!������� ������ ������Z����O �T/ ���Q���U������������ ����� �� ��+��� O�� ���[��/ +T�����O������+�� ������� S�P��Z�� �����[���/ R�P����!�-����� ����� ���TST�����������T������/ � ��� ��� ��� ��� ����T� S��O�� ��� ����QS��+� � ��������+������� +���� ��+��� O�� + ���S+���+ ����O��+������� ���T! ������ ��D$'D� S+����������+������� �����Z/ �T�� ���O� �������U�� ��������� ��[ ��� ���� / � ��[[� ����P� S��� ���O��������O��+� �����Q�[� ���������� � � ���������[[� ���P��QR ������������/ ���� � ���������U +���������+�[���� �� ��[ �������� �� ���� �������O������S� O�T��������� / O�� ��^������^�VXW! ?����� ����T�� ���� � ��� ������� �����S/ +�Z�������� ��+� � O�� +�����+��������� �������/ P������Q� PT� �� R �+�+�� �� ���+�� !�G����+�� ����QS����������P�����+�U�T�����������+���� / ����� �� ������� O�� � ����������� ��� S������� D$'D�� � ����T+������������ ���+T�KLMN! ,��P��� +����+�� �Q��O�����������U������+����/ U����������� ��Q ��+�U�T��� ���+�KLMN��� �� ���� +����[ �+� � �K_M�̀ ab!�#Dc@*��̀ d.�̀ a;ef<1;eg dh6;e06�.af2aee<2af�Mi�#c������ �*��dha7j6h6�`ab! �d2351b7� `a;e<a1;27a13� #Dc@*!�-� �� ���+T�KLMN �P����O �������S+�Z����Q�� ��S�� ��+���� ����/ � ��������� O�� � ����������� S ������� ��D$'D! D�� +���Q�����P�T����� ��++�T���������� �O �/ ������������+ ��T��O����������S��� ���S ������ �/ ������Z������� +��� ���� ���� ����� �� ���������/ ��P�T�� ��+����� �� ����QS����Q!�?�������U������/ �Q����OQ����������+�������� ����QS��+T���� �� � � ���+���������� O�� � ��+���� ����� �! ������� �� � ������ ����� ������� ����������������������������� �� ��������� � ���� ���� ���������������� ,���������������������� � O�T��������� O�� � +��R���� S ������� ��E)"G�D$'D! G�����O������O�� ������ S��+���E)"G/���� ��/ �T��� �S�������������! G� ���S��P�� ��������� O�� � ��+��R�����[��/ + ����� ����P+ ����T��E)"G�D$'D� �� ��+���/ � ����� ���� ���+���KLMN�������������Q������/ ���������O�� ��S������ ���� +���� �����[ ���� �/ ���T�����������O����Q�����������������������+���/ � ����� ����� �� O�� ������ ��� �� !�'S��� ��/ ����T������ �!� �������� O�� �������� �������/ �������Q���[��+ ����� ��� +���� �����[ ��� / ������������T� ������ +������� � ���������U�/ ����Z �! '+������� ���P����O �����O��S�TO������������/ �T�� ������� S��� +T�����[ � � ��������� ��S�/ �����+T������������+��������� ���� �+� ������� ���+����������!�E��+���� ���� � ��T����� �� ����Q/ S��+T���� �O������+��� ��� �� [[�S ��+�Z����� / +����Q� �����+�� ����� ���������R�� �� � ����+� ��O �!�'������ +������� ������������ S ���+����/ ����T+���������+�� ���� �� ���� �� � ����� S�� �����Z��� ����R�� � �� � � ����� ���� +�����#��/ ��+�U�� �����+����� +�� � S�+�Z���S� �����S�T ��R�� *����P��������������U ����Z ! �������O���� +������� ���� ���� +���� �����/ [ ������ ���+��KLMN��� +������������ � O�� � +����T����������� ����T����Z���[�� � ���������/ ��� ��%������ � �G �����!�?��� ��+������������ �/ ������ O��� �Z�T����O� � +����� ������T�� ���� �TST�������������������� �� ������������ �������/ �������� ��������������T+ ������������ �+ �%�/ ����� �G �����!���������O�� ���������� ���������/ ��� �� ����������� ����O ���� +�������� �� ����/ �����S � ! E��+�� �� ��� ����+���� ����� ������������� � +����� ������T�� ����� � +������� ���T����[� / ������ +��������+�����)����/E����!�D���+�UQ�����/ ��+������+���� �������[ S O�� ����PT� ������/ �����U ���� ����+�Z�� ������Q�T��O��� �!�'��T ���+�S������� ������T������ ����� ��� �����S��Q��/ ������ ������ ������ �!�C����T������ ����� ���� / �T�������[��+�����> �������!�)��������Z�� � ����� ���U �����+���+ R�� ��O ����������O���T+! G�� +�U������+������)����/E�����S� ��O����� ���� ��U�+��+�����+�+����������� �����Q�T+�[ / S O�� +���PT� �+���������������������� �Y���O��S/ +���T��S��������+�R ��� �����+�� �����P��� +� � ��������O�� ������ �� O�� �����Z�T����S��Q�����! E� ���+�O����Q��TR��������� ������ +������� ���P��� +�������� �Q���Z !�)����Q���Z ����� �/ ��+���KLMN������Q������Z��� ��O �T����� � �� [/ [�S ���T���������T�� �� � ��������T�� + O�� � ������U�� ��������������� ������ �T!�=�� ���Z ������ ����S�� ���� �����+�Z��� ����+�� �� S+�/ ���+T���� ����+ ����� S+���� �� ��������� ���� � ���[ �������S��Q������ [[�S ���S��O ���Q��!�=�� Z����Z ������� ������ ���Q�������+������ ���� � S��O ���Q������������������� ���� +�� ! ?��������+���� ����� ��� [[�S ���� ���� +��/ �� �����[ �����Z ��� [[�S ������������� �!�G�/ � ��Q ������������O��������������� ����� ������# �� +����� ��� �� [[�S ����� ���� ���� � �T�� �� ��������� � +����� ����������� +�� *��������P/ ��� +�����QS����Q���O �����T+ �+�����+ ���R�� � � [[����� ��Q�T��������� �! G������T����Z��� �� �������� ��+�Z�������+��/ � ���Q� � �����+� ����Q�T�������������� ������ / � ������ [[�S � � +������� !���O����Q��������/ � ���� �������������� ������� �O����������O����� ������ � � ��������O��������� �������P�������Z/ �T+��� ����� � ����� ���P+ ����T������ ���! "��Z��� �� �������� ���������+��� P� Z�� +�Z�������+��� ���Q� � ��������T�� ������ ���+T� � �����Q���������������� ��� � !�E�Z���� ��O � ���������� �����+��� ������� � �P�� ���O���+��T� ���O� �%�� �������������� ��U ���� �������� ���+����������������P��� ��+��� O�� ���+�������/ O� � ���� ��������+ ��[���+ ��� �� ���� �� ���O/ � ��!������T������ ����O�T�� ��[[� � ��T�����/ O��������� �� �+������P��� +���O �T���Q����P����/ �� �+���� ���+T������������ � ������������U � ��� O�T������� �! '��� ��������S��P��O ��������� O�� � �����/ ��������Z���S���Q�� � ��� �� S������� ���+��+���/ �������� �� ���������� � ��� ��� �������� ����������� ����� �� �������� �������� p- � n- ��� �� �� ������ ������ ���� �������� ����� ������� ������ � �������� ����������� �������� �� ���� � � ���� �� �� ������ ������ ���� ������������ �������� ������������ �� ��� ���� �������� �� ��������� � �������� �������������� ( �!k !�������� O�� ��+��R���� S ������� ��E)"G/ ���� ��� )����� S�� � )�Z�����T� � ��� �� G�� ��+� � G��S������T� � ��� �� D � � � /l /l 0l0l �/ ��+�� %/ ��+�� �/�����Z � G��� � ����� � ( �!k�!�G�����O���� ��O�� ��E)"G/���� ���T �� ��������� � ���� ���� ���������������� ������� �� � ������ ����� ������� ����������������������������� � ����� �!�E� �� ���� S��������� ������� ��++�T� �+������T�� ���+�KLMN�+�Z�������������SP �Q ����� � ����T!�G������ ��������� ��++�������S��/ O����������� ���� ������T��[�����!�����T�������/ ���� O�� �+���������� S ������� ��D$'D��������/ �� ����� � ���+���D$'D������������� + ������/ ��++�T�� ��T!�?������ ��������� ��++�Y���P�����/ ������ ��++T�+���� ����� �!�"� �� � ����� ������ +������S� �� �� ��[ O�� � �� ����[����������� � G���+���T� ������� O�� � � ���������� ������ � ?����T��[���T ?����T��[���T G� +���T�����[ � �� ��[ ��� �� O�� ������ ��� �� G�� ���� �������T� [����� ����+���� ����� � )���� ����� � �� +���T�����[ ���� ��� �� O�� ������ ��/ � �� ? S���Q��� ���P��Z�� � �T����T��[����� ( �!k�!�D��� ������ ���+�KLMN ��+�UQ����������������O��T����S��Q���T� ����T����/ �������������T����T��[������+���� ����� �!�G��/ �+�����Q���S��Q���T�+���� ����� ��+�Z�������+�/ UQ������Q��� ����T���� ��++�Y���� ��++�� S�/ ��Q�� �����P��Z�� ����S��Q������+���� ����� �! ,��������� ���+�KLMN�S������������+���T����/ ���� O�� � �����������#������������Q����Q��T���/ ��� �������� �� ��� �� ����P��� +T������T����� ���T������ �*������ Z�������� �!�,���T���������/ O���������[ � ������������ ���� +������� ��+� �/ ��������� ���� ����T��� �� ������O����Q�� �������� �����T+ �����T+ �������������U� ��+���� ��/ ��� ����� �� O�� ������ ��� �� ! D���+�UQ��� ���+�KLMN������� ������S+�Z�T+ ������Q ������ � �����Q�������� O�� ���������� ��� ������Z ���Q�� ������� Z����� ��S �����Q��� �/ � �������Q�T������+������������� O�� � ���������� ��� �O����������O��+T��D$'D! 'DG">IB"?@,,F=�'D�"m,'E' !�)"G�D$'D!�)���� ����� �� ���+������ � ������� O�/ � �� ���������� n� G��� ���!� G!�@������� �� �!�@���� �� ��� (!����������&!�"�����+�!Y�)!4�(�� �� ����SQ�� opp! �!�q��� ��!��-� ����>!��%� � O�-!�-�� ���� ����Q���P��Q/ R �� ��� ���Q�T�����+!Y�)!4�) ��� oo ! �!�reeag<2bs� `<!�t!� u!�_!�Neej/69:02b<7a�L_vd�`L6!Y�wex y7<s4�z39xe<�1b1ge02b�j9:326{e<6������! �!�zeaae3�t!�|!��Le1�d!�_!��}231s�M!�N!� e;� 13!�_7ge32af� 7~ 93;<1{2f{3h�g7jeg�6{1337x��9ab;27a6�~7<�1ff<e6625e3h�6b13eg�L_vd�nn `a;e<a1;27a13�.3eb;<7a�Ne52be6�_ee;2af!Y�d1a��<1ab26b7��LM!Y ����!Y��!� p�XYp�p! X!� d2�;� �!�vj;2b13� j<7�202;h� b7<<eb;27a� #v�L*� nn� Keb{a737fh �e52ex!Y�����!Y�r73!� ��2669e��!Y��!� Yp! ����������� � � � � � ��� � � � � ��������� � ��� ������� � � ���������������������������� � ��� ����� ����������� �� ��!� "�� #������ � !���� $��%����!� &�� '� '�����()�*!�������+������!�������,� ���-���.� ����� �/ �)�! 0112�-�013�(� �������� ����� � � �� ��� �� ������ ������������ � � �������� ��������� � ������ ���� � � � ���� � ��������������� ����� ��� ����� ��� ��� �� ������� � �� �� ���� ����! � ������� �� � �"����� ������ ������� � ������� ��� � ���� �� ����#� ��������� �� �#��� � � �� � $��� ���#�� ��� � $���� �"����� �� �� ����� "�� � �� ������������ � ����������� ��� �������� � � �� �� ����� � ��������"����� � ��� ����� ����� ������ ���� "�� � �� �� ��� � �� ���� ���� ������� �"����� ������� � ��$��� �"����� � ��� ����� ���� � �� � �#�� ���� �� ��� �! � ��� ������ �� ��� ���� ��� �� ��� ��� �� �� � �� ��%��� ��� � �� ��� �� �� � �������� � �������� � ������ ������ � �� � ���� ��� ���� � & '� ���(����� ��� ������%���� �� ��� ��� �������� � ������ ���� � � � ���� � ��������������& )��� �� � ������� ���� �� �� � � ���� �� � � *�� �� ��� ���� ����"����� +����� � ��& 4�* ����5�6 ��������) � �)��-���.�7�/ �(6� �!�0118�-�980�(� � ���#� *�# �� *�#�� ��� ���� � �� (�+ ���� $��� ������ �� �������� �� � � �#��� ����� �� ������& , � �������� �"������ �� � ����������� ���� ����*�� ��� � ������� ������� �� ������ �& )� � ��� ������� ���������� ����� � ��� ��� ��"��� � �����& ��� ������ �� � � ��� ����� � ����"��� � ���(� ������ #���� ������ % � ��� � � ��������� � �������#� �� � ����! � ���(� �"������ � ������� �*��� & ���#� � �������"��� �� � ���� �� $��� � ����"����� � ��*���� �� ������ ���(������� ��� ������ ���� �� ����� �������� � ���� ����� � � �� � ���� � ��� ������� (�+ ���� �������&