Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD

Рассмотрены особенности технологических процессов изготовления субмикронных КМОП СБИС и их моделирования. Особое внимание уделено моделированию примесного профиля....

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Дата:2007
Автори: Глушко, А.А., Родионов, И.А., Макарчук, В.В.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2007
Теми:
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52830
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD / А.А. Глушко, И.А. Родионов, В.В. Макарчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 4. — С. 32-34. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52830
record_format dspace
spelling Глушко, А.А.
Родионов, И.А.
Макарчук, В.В.
2014-01-07T23:16:03Z
2014-01-07T23:16:03Z
2007
Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD / А.А. Глушко, И.А. Родионов, В.В. Макарчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 4. — С. 32-34. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52830
Рассмотрены особенности технологических процессов изготовления субмикронных КМОП СБИС и их моделирования. Особое внимание уделено моделированию примесного профиля.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Технологические процессы и оборудование
Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD
Моделювання технології виготовлення субмікронних КМОН НВІС за допомогою систем TCAD
Technological processes modelling of submicron CMOS VLSI producing with the modern TCAD systems
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD
spellingShingle Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD
Глушко, А.А.
Родионов, И.А.
Макарчук, В.В.
Технологические процессы и оборудование
title_short Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD
title_full Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD
title_fullStr Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD
title_full_unstemmed Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD
title_sort моделирование технологии изготовления субмикронных кмоп сбис с помощью систем tcad
author Глушко, А.А.
Родионов, И.А.
Макарчук, В.В.
author_facet Глушко, А.А.
Родионов, И.А.
Макарчук, В.В.
topic Технологические процессы и оборудование
topic_facet Технологические процессы и оборудование
publishDate 2007
language Russian
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
format Article
title_alt Моделювання технології виготовлення субмікронних КМОН НВІС за допомогою систем TCAD
Technological processes modelling of submicron CMOS VLSI producing with the modern TCAD systems
description Рассмотрены особенности технологических процессов изготовления субмикронных КМОП СБИС и их моделирования. Особое внимание уделено моделированию примесного профиля.
issn 2225-5818
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52830
citation_txt Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD / А.А. Глушко, И.А. Родионов, В.В. Макарчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 4. — С. 32-34. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT gluškoaa modelirovanietehnologiiizgotovleniâsubmikronnyhkmopsbisspomoŝʹûsistemtcad
AT rodionovia modelirovanietehnologiiizgotovleniâsubmikronnyhkmopsbisspomoŝʹûsistemtcad
AT makarčukvv modelirovanietehnologiiizgotovleniâsubmikronnyhkmopsbisspomoŝʹûsistemtcad
AT gluškoaa modelûvannâtehnologíívigotovlennâsubmíkronnihkmonnvíszadopomogoûsistemtcad
AT rodionovia modelûvannâtehnologíívigotovlennâsubmíkronnihkmonnvíszadopomogoûsistemtcad
AT makarčukvv modelûvannâtehnologíívigotovlennâsubmíkronnihkmonnvíszadopomogoûsistemtcad
AT gluškoaa technologicalprocessesmodellingofsubmicroncmosvlsiproducingwiththemoderntcadsystems
AT rodionovia technologicalprocessesmodellingofsubmicroncmosvlsiproducingwiththemoderntcadsystems
AT makarčukvv technologicalprocessesmodellingofsubmicroncmosvlsiproducingwiththemoderntcadsystems
first_indexed 2025-11-26T16:07:51Z
last_indexed 2025-11-26T16:07:51Z
_version_ 1850627330848849920
fulltext �� ��������� � ���� ���� ���������������� ������� �� � ������ ����� ������� ����������������������������� �������������� �������� � � � !��� ����� ! "������������������������� � �� #$%&'(�� !�) �� * ������� ������������ ���� ����������������������� ��� (��� ��� !�)�� ����)%�&� +!�,!�-!�$��+��� ./01234� 531675829�!:06;9!<9 )"�=>'("?@,'=��=A,">"%''�'B%"�"?>=,'C D&$)'E(",,FA�E)"G�D$'D D�G")"HIJ�D'D�=)�KLMN ����������� �������������� ��!�"�# $���� � %��&����'� �("���'!���)� �*����# ����� ����+�,��,��� � �����!���'�# ��)��������� '�������� *��!��������!�# ��'���-� %�������"�� %��.�!)� )���+�� O�� ���+���� ����� �� ���������P��Q/ R������Q���+ ����� ���� �����O������� ���� � S/ ������� ���P+ ����T��D$'D�������� ������� �/ ��� +�����Q��+���������� ���� + S�� � ������ / � ����+������D$'D�+�����+����P� ��R P� !�)���/ � ����� ��������� O�� ��������������U�������� �+��QR����S�����T����� ���� +�����Q�T����P��T! "��� ���� �+���+�� O�� �+�+���� ����� ���P+ / ����T��D$'D����������O �T���Q����P������ � �� S/ ������� ��V ���W!�-��+���T�D$'D� +������P+ / ����T������ ����T����S+��T������ ����XY���X�+ +� �����U �T������� � ��P �T��������������������� � ������ �+ +! )��R���� S ������� ����P+ ����T��D$'D����/ Z���������������Q�������U +�O��T��+�������T+ ���P���� �+! G�����!�G������T����Z�T������� �Q����� ���+/ �������������S�����U ������� � �+ � +�+��� [/ [�S ���� ���U ���� +������� �� S�����Q��+� ���� ��Q��+���������� ��!�-�� ��+�Z�����P �Q��� ����QS����P��P�� ���� ��T�� ����+�����������O��Q ��� ����+�������!��!���������PT���T�����+ O�� � � �[�����T����Z ! ?��������Z�������P���� ��Y�����+��T�������/ � ���� �!�G���S ��T�������� ���� �� ��+ ��� �+�/ ����� ��� �Q� ���U��������+���� Z�� ��PT����/ ������ ��D$'D!�D����� ���� ������Z� � � ���� ��� ����P+ ����T+ ���S+���+ �+�Z���PT�Q��+��QR�/ �������+����� � ��� ���T��U ��� �� ����Z��� ����/ ����� ��+�������������� ��+� ��T��S�����T��� �� Z����� ��� � ���� �����������U +� ��� � � / � ����� �+!�'����QS���� ��� � � ������ ���� �/ ���� ��+�������� � ����� ����� ���� ����Q[��+���/ S���������U�������T+��P��S�+��� S �Q��TR�� �S��/ �T�������� ���� �! ����Q�����P���� ���� � S ������� ����� ����� ��P+ ����T+ ���S+���+ �Y� ���� ���� �������Q ���������� � � �����������Q�����P��� +����������/ ��+�������+��� O ��+!�?�/����T��������� ���O��PT �� ���� O�� �+�� ���� ����� ������� O�� ��� / ���� �PT�������� S��������O���#��� O ��������� ��U���������S�����������T������ �������S���O *!�?�/ ����T��� S+���� ������ ��[ �����Z����� �P�S��� � �O��Q���������S���O��[� �� ����� ��� ���� ���/ U� �������������#��������*���� ��U���� ��P ���[�/ ����� ����������Q���� �+��QR����R � ���������/ ��� ��� ������S��O ��������� ������P �Q���� ������/ �� O�� � ����������� �S�O������ �����S+�Z���� �T������ �����P���� ���������Z���� � ����� ��T+ ���+�+!�?/����Q �������������Q����P��� +�������P��/ ��O�� ������R� ������ �T� ��������� ���+��������/ ����������+�Z���� ��� �� � ���� ��+! '�� �� ������ O��������!�����D$'D��� ��S+���+ ���� ������ ���ST���+� ��\ ��P� � ����P+ ����] #�X���+� �+����*���������������������S+�Z�T+���S/ �����Q�������� ����� S��������D$'D� � ������ / � ����� ��V����W!������� ������ ������Z����O �T/ ���Q���U������������ ����� �� ��+��� O�� ���[��/ +T�����O������+�� ������� S�P��Z�� �����[���/ R�P����!�-����� ����� ���TST�����������T������/ � ��� ��� ��� ��� ����T� S��O�� ��� ����QS��+� � ��������+������� +���� ��+��� O�� + ���S+���+ ����O��+������� ���T! ������ ��D$'D� S+����������+������� �����Z/ �T�� ���O� �������U�� ��������� ��[ ��� ���� / � ��[[� ����P� S��� ���O��������O��+� �����Q�[� ���������� � � ���������[[� ���P��QR ������������/ ���� � ���������U +���������+�[���� �� ��[ �������� �� ���� �������O������S� O�T��������� / O�� ��^������^�VXW! ?����� ����T�� ���� � ��� ������� �����S/ +�Z�������� ��+� � O�� +�����+��������� �������/ P������Q� PT� �� R �+�+�� �� ���+�� !�G����+�� ����QS����������P�����+�U�T�����������+���� / ����� �� ������� O�� � ����������� ��� S������� D$'D�� � ����T+������������ ���+T�KLMN! ,��P��� +����+�� �Q��O�����������U������+����/ U����������� ��Q ��+�U�T��� ���+�KLMN��� �� ���� +����[ �+� � �K_M�̀ ab!�#Dc@*��̀ d.�̀ a;ef<1;eg dh6;e06�.af2aee<2af�Mi�#c������ �*��dha7j6h6�`ab! �d2351b7� `a;e<a1;27a13� #Dc@*!�-� �� ���+T�KLMN �P����O �������S+�Z����Q�� ��S�� ��+���� ����/ � ��������� O�� � ����������� S ������� ��D$'D! D�� +���Q�����P�T����� ��++�T���������� �O �/ ������������+ ��T��O����������S��� ���S ������ �/ ������Z������� +��� ���� ���� ����� �� ���������/ ��P�T�� ��+����� �� ����QS����Q!�?�������U������/ �Q����OQ����������+�������� ����QS��+T���� �� � � ���+���������� O�� � ��+���� ����� �! ������� �� � ������ ����� ������� ����������������������������� �� ��������� � ���� ���� ���������������� ,���������������������� � O�T��������� O�� � +��R���� S ������� ��E)"G�D$'D! G�����O������O�� ������ S��+���E)"G/���� ��/ �T��� �S�������������! G� ���S��P�� ��������� O�� � ��+��R�����[��/ + ����� ����P+ ����T��E)"G�D$'D� �� ��+���/ � ����� ���� ���+���KLMN�������������Q������/ ���������O�� ��S������ ���� +���� �����[ ���� �/ ���T�����������O����Q�����������������������+���/ � ����� ����� �� O�� ������ ��� �� !�'S��� ��/ ����T������ �!� �������� O�� �������� �������/ �������Q���[��+ ����� ��� +���� �����[ ��� / ������������T� ������ +������� � ���������U�/ ����Z �! '+������� ���P����O �����O��S�TO������������/ �T�� ������� S��� +T�����[ � � ��������� ��S�/ �����+T������������+��������� ���� �+� ������� ���+����������!�E��+���� ���� � ��T����� �� ����Q/ S��+T���� �O������+��� ��� �� [[�S ��+�Z����� / +����Q� �����+�� ����� ���������R�� �� � ����+� ��O �!�'������ +������� ������������ S ���+����/ ����T+���������+�� ���� �� ���� �� � ����� S�� �����Z��� ����R�� � �� � � ����� ���� +�����#��/ ��+�U�� �����+����� +�� � S�+�Z���S� �����S�T ��R�� *����P��������������U ����Z ! �������O���� +������� ���� ���� +���� �����/ [ ������ ���+��KLMN��� +������������ � O�� � +����T����������� ����T����Z���[�� � ���������/ ��� ��%������ � �G �����!�?��� ��+������������ �/ ������ O��� �Z�T����O� � +����� ������T�� ���� �TST�������������������� �� ������������ �������/ �������� ��������������T+ ������������ �+ �%�/ ����� �G �����!���������O�� ���������� ���������/ ��� �� ����������� ����O ���� +�������� �� ����/ �����S � ! E��+�� �� ��� ����+���� ����� ������������� � +����� ������T�� ����� � +������� ���T����[� / ������ +��������+�����)����/E����!�D���+�UQ�����/ ��+������+���� �������[ S O�� ����PT� ������/ �����U ���� ����+�Z�� ������Q�T��O��� �!�'��T ���+�S������� ������T������ ����� ��� �����S��Q��/ ������ ������ ������ �!�C����T������ ����� ���� / �T�������[��+�����> �������!�)��������Z�� � ����� ���U �����+���+ R�� ��O ����������O���T+! G�� +�U������+������)����/E�����S� ��O����� ���� ��U�+��+�����+�+����������� �����Q�T+�[ / S O�� +���PT� �+���������������������� �Y���O��S/ +���T��S��������+�R ��� �����+�� �����P��� +� � ��������O�� ������ �� O�� �����Z�T����S��Q�����! E� ���+�O����Q��TR��������� ������ +������� ���P��� +�������� �Q���Z !�)����Q���Z ����� �/ ��+���KLMN������Q������Z��� ��O �T����� � �� [/ [�S ���T���������T�� �� � ��������T�� + O�� � ������U�� ��������������� ������ �T!�=�� ���Z ������ ����S�� ���� �����+�Z��� ����+�� �� S+�/ ���+T���� ����+ ����� S+���� �� ��������� ���� � ���[ �������S��Q������ [[�S ���S��O ���Q��!�=�� Z����Z ������� ������ ���Q�������+������ ���� � S��O ���Q������������������� ���� +�� ! ?��������+���� ����� ��� [[�S ���� ���� +��/ �� �����[ �����Z ��� [[�S ������������� �!�G�/ � ��Q ������������O��������������� ����� ������# �� +����� ��� �� [[�S ����� ���� ���� � �T�� �� ��������� � +����� ����������� +�� *��������P/ ��� +�����QS����Q���O �����T+ �+�����+ ���R�� � � [[����� ��Q�T��������� �! G������T����Z��� �� �������� ��+�Z�������+��/ � ���Q� � �����+� ����Q�T�������������� ������ / � ������ [[�S � � +������� !���O����Q��������/ � ���� �������������� ������� �O����������O����� ������ � � ��������O��������� �������P�������Z/ �T+��� ����� � ����� ���P+ ����T������ ���! "��Z��� �� �������� ���������+��� P� Z�� +�Z�������+��� ���Q� � ��������T�� ������ ���+T� � �����Q���������������� ��� � !�E�Z���� ��O � ���������� �����+��� ������� � �P�� ���O���+��T� ���O� �%�� �������������� ��U ���� �������� ���+����������������P��� ��+��� O�� ���+�������/ O� � ���� ��������+ ��[���+ ��� �� ���� �� ���O/ � ��!������T������ ����O�T�� ��[[� � ��T�����/ O��������� �� �+������P��� +���O �T���Q����P����/ �� �+���� ���+T������������ � ������������U � ��� O�T������� �! '��� ��������S��P��O ��������� O�� � �����/ ��������Z���S���Q�� � ��� �� S������� ���+��+���/ �������� �� ���������� � ��� ��� �������� ����������� ����� �� �������� �������� p- � n- ��� �� �� ������ ������ ���� �������� ����� ������� ������ � �������� ����������� �������� �� ���� � � ���� �� �� ������ ������ ���� ������������ �������� ������������ �� ��� ���� �������� �� ��������� � �������� �������������� ( �!k !�������� O�� ��+��R���� S ������� ��E)"G/ ���� ��� )����� S�� � )�Z�����T� � ��� �� G�� ��+� � G��S������T� � ��� �� D � � � /l /l 0l0l �/ ��+�� %/ ��+�� �/�����Z � G��� � ����� � ( �!k�!�G�����O���� ��O�� ��E)"G/���� ���T �� ��������� � ���� ���� ���������������� ������� �� � ������ ����� ������� ����������������������������� � ����� �!�E� �� ���� S��������� ������� ��++�T� �+������T�� ���+�KLMN�+�Z�������������SP �Q ����� � ����T!�G������ ��������� ��++�������S��/ O����������� ���� ������T��[�����!�����T�������/ ���� O�� �+���������� S ������� ��D$'D��������/ �� ����� � ���+���D$'D������������� + ������/ ��++�T�� ��T!�?������ ��������� ��++�Y���P�����/ ������ ��++T�+���� ����� �!�"� �� � ����� ������ +������S� �� �� ��[ O�� � �� ����[����������� � G���+���T� ������� O�� � � ���������� ������ � ?����T��[���T ?����T��[���T G� +���T�����[ � �� ��[ ��� �� O�� ������ ��� �� G�� ���� �������T� [����� ����+���� ����� � )���� ����� � �� +���T�����[ ���� ��� �� O�� ������ ��/ � �� ? S���Q��� ���P��Z�� � �T����T��[����� ( �!k�!�D��� ������ ���+�KLMN ��+�UQ����������������O��T����S��Q���T� ����T����/ �������������T����T��[������+���� ����� �!�G��/ �+�����Q���S��Q���T�+���� ����� ��+�Z�������+�/ UQ������Q��� ����T���� ��++�Y���� ��++�� S�/ ��Q�� �����P��Z�� ����S��Q������+���� ����� �! ,��������� ���+�KLMN�S������������+���T����/ ���� O�� � �����������#������������Q����Q��T���/ ��� �������� �� ��� �� ����P��� +T������T����� ���T������ �*������ Z�������� �!�,���T���������/ O���������[ � ������������ ���� +������� ��+� �/ ��������� ���� ����T��� �� ������O����Q�� �������� �����T+ �����T+ �������������U� ��+���� ��/ ��� ����� �� O�� ������ ��� �� ! D���+�UQ��� ���+�KLMN������� ������S+�Z�T+ ������Q ������ � �����Q�������� O�� ���������� ��� ������Z ���Q�� ������� Z����� ��S �����Q��� �/ � �������Q�T������+������������� O�� � ���������� ��� �O����������O��+T��D$'D! 'DG">IB"?@,,F=�'D�"m,'E' !�)"G�D$'D!�)���� ����� �� ���+������ � ������� O�/ � �� ���������� n� G��� ���!� G!�@������� �� �!�@���� �� ��� (!����������&!�"�����+�!Y�)!4�(�� �� ����SQ�� opp! �!�q��� ��!��-� ����>!��%� � O�-!�-�� ���� ����Q���P��Q/ R �� ��� ���Q�T�����+!Y�)!4�) ��� oo ! �!�reeag<2bs� `<!�t!� u!�_!�Neej/69:02b<7a�L_vd�`L6!Y�wex y7<s4�z39xe<�1b1ge02b�j9:326{e<6������! �!�zeaae3�t!�|!��Le1�d!�_!��}231s�M!�N!� e;� 13!�_7ge32af� 7~ 93;<1{2f{3h�g7jeg�6{1337x��9ab;27a6�~7<�1ff<e6625e3h�6b13eg�L_vd�nn `a;e<a1;27a13�.3eb;<7a�Ne52be6�_ee;2af!Y�d1a��<1ab26b7��LM!Y ����!Y��!� p�XYp�p! X!� d2�;� �!�vj;2b13� j<7�202;h� b7<<eb;27a� #v�L*� nn� Keb{a737fh �e52ex!Y�����!Y�r73!� ��2669e��!Y��!� Yp! ����������� � � � � � ��� � � � � ��������� � ��� ������� � � ���������������������������� � ��� ����� ����������� �� ��!� "�� #������ � !���� $��%����!� &�� '� '�����()�*!�������+������!�������,� ���-���.� ����� �/ �)�! 0112�-�013�(� �������� ����� � � �� ��� �� ������ ������������ � � �������� ��������� � ������ ���� � � � ���� � ��������������� ����� ��� ����� ��� ��� �� ������� � �� �� ���� ����! � ������� �� � �"����� ������ ������� � ������� ��� � ���� �� ����#� ��������� �� �#��� � � �� � $��� ���#�� ��� � $���� �"����� �� �� ����� "�� � �� ������������ � ����������� ��� �������� � � �� �� ����� � ��������"����� � ��� ����� ����� ������ ���� "�� � �� �� ��� � �� ���� ���� ������� �"����� ������� � ��$��� �"����� � ��� ����� ���� � �� � �#�� ���� �� ��� �! � ��� ������ �� ��� ���� ��� �� ��� ��� �� �� � �� ��%��� ��� � �� ��� �� �� � �������� � �������� � ������ ������ � �� � ���� ��� ���� � & '� ���(����� ��� ������%���� �� ��� ��� �������� � ������ ���� � � � ���� � ��������������& )��� �� � ������� ���� �� �� � � ���� �� � � *�� �� ��� ���� ����"����� +����� � ��& 4�* ����5�6 ��������) � �)��-���.�7�/ �(6� �!�0118�-�980�(� � ���#� *�# �� *�#�� ��� ���� � �� (�+ ���� $��� ������ �� �������� �� � � �#��� ����� �� ������& , � �������� �"������ �� � ����������� ���� ����*�� ��� � ������� ������� �� ������ �& )� � ��� ������� ���������� ����� � ��� ��� ��"��� � �����& ��� ������ �� � � ��� ����� � ����"��� � ���(� ������ #���� ������ % � ��� � � ��������� � �������#� �� � ����! � ���(� �"������ � ������� �*��� & ���#� � �������"��� �� � ���� �� $��� � ����"����� � ��*���� �� ������ ���(������� ��� ������ ���� �� ����� �������� � ���� ����� � � �� � ���� � ��� ������� (�+ ���� �������&