Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD
Рассмотрены особенности технологических процессов изготовления субмикронных КМОП СБИС и их моделирования. Особое внимание уделено моделированию примесного профиля....
Gespeichert in:
| Datum: | 2007 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2007
|
| Schriftenreihe: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52830 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD / А.А. Глушко, И.А. Родионов, В.В. Макарчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 4. — С. 32-34. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52830 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-528302025-02-09T14:03:25Z Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD Моделювання технології виготовлення субмікронних КМОН НВІС за допомогою систем TCAD Technological processes modelling of submicron CMOS VLSI producing with the modern TCAD systems Глушко, А.А. Родионов, И.А. Макарчук, В.В. Технологические процессы и оборудование Рассмотрены особенности технологических процессов изготовления субмикронных КМОП СБИС и их моделирования. Особое внимание уделено моделированию примесного профиля. 2007 Article Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD / А.А. Глушко, И.А. Родионов, В.В. Макарчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 4. — С. 32-34. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52830 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре application/pdf Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Технологические процессы и оборудование Технологические процессы и оборудование |
| spellingShingle |
Технологические процессы и оборудование Технологические процессы и оборудование Глушко, А.А. Родионов, И.А. Макарчук, В.В. Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description |
Рассмотрены особенности технологических процессов изготовления субмикронных КМОП СБИС и их моделирования. Особое внимание уделено моделированию примесного профиля. |
| format |
Article |
| author |
Глушко, А.А. Родионов, И.А. Макарчук, В.В. |
| author_facet |
Глушко, А.А. Родионов, И.А. Макарчук, В.В. |
| author_sort |
Глушко, А.А. |
| title |
Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD |
| title_short |
Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD |
| title_full |
Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD |
| title_fullStr |
Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD |
| title_full_unstemmed |
Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD |
| title_sort |
моделирование технологии изготовления субмикронных кмоп сбис с помощью систем tcad |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| publishDate |
2007 |
| topic_facet |
Технологические процессы и оборудование |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52830 |
| citation_txt |
Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD / А.А. Глушко, И.А. Родионов, В.В. Макарчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 4. — С. 32-34. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
| series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| work_keys_str_mv |
AT gluškoaa modelirovanietehnologiiizgotovleniâsubmikronnyhkmopsbisspomoŝʹûsistemtcad AT rodionovia modelirovanietehnologiiizgotovleniâsubmikronnyhkmopsbisspomoŝʹûsistemtcad AT makarčukvv modelirovanietehnologiiizgotovleniâsubmikronnyhkmopsbisspomoŝʹûsistemtcad AT gluškoaa modelûvannâtehnologíívigotovlennâsubmíkronnihkmonnvíszadopomogoûsistemtcad AT rodionovia modelûvannâtehnologíívigotovlennâsubmíkronnihkmonnvíszadopomogoûsistemtcad AT makarčukvv modelûvannâtehnologíívigotovlennâsubmíkronnihkmonnvíszadopomogoûsistemtcad AT gluškoaa technologicalprocessesmodellingofsubmicroncmosvlsiproducingwiththemoderntcadsystems AT rodionovia technologicalprocessesmodellingofsubmicroncmosvlsiproducingwiththemoderntcadsystems AT makarčukvv technologicalprocessesmodellingofsubmicroncmosvlsiproducingwiththemoderntcadsystems |
| first_indexed |
2025-11-26T16:07:51Z |
| last_indexed |
2025-11-26T16:07:51Z |
| _version_ |
1849869756626108416 |
| fulltext |
��
��������� �
����
����
����������������
�������
��
�
������
�����
�������
�����������������������������
��������������
��������
�
�
� !��� ����� !
"������������������������� �
��
#$%&'(�� !�)
��
*
�������
������������ ����
����������������������� ���
(���
��� !�)��
����)%�&�
+!�,!�-!�$��+���
./01234� 531675829�!:06;9!<9
)"�=>'("?@,'=��=A,">"%''�'B%"�"?>=,'C
D&$)'E(",,FA�E)"G�D$'D
D�G")"HIJ�D'D�=)�KLMN
����������� �������������� ��!�"�#
$���� � %��&����'� �("���'!���)� �*����#
����� ����+�,��,��� � �����!���'�#
��)��������� '�������� *��!��������!�#
��'���-� %�������"�� %��.�!)�
)���+��
O��
���+����
�����
��
���������P��Q/
R������Q���+
�����
����
�����O�������
����
�
S/
�������
���P+
����T��D$'D��������
�������
�/
���
+�����Q��+����������
����
+
S��
�
������
/
�
����+������D$'D�+�����+����P�
��R
P�
!�)���/
�
�����
���������
O��
��������������U��������
�+��QR����S�����T�����
����
+�����Q�T����P��T!
"���
����
�+���+��
O��
�+�+����
�����
���P+
/
����T��D$'D����������O
�T���Q����P������
�
��
S/
�������
��V ���W!�-��+���T�D$'D�
+������P+
/
����T������
����T����S+��T������
����XY���X�+
+�
�����U
�T�������
� ��P
�T���������������������
�
������ �+
+!
)��R����
S �������
����P+
����T��D$'D����/
Z���������������Q�������U
+�O��T��+�������T+
���P����
�+!
G�����!�G������T����Z�T�������
�Q�����
���+/
�������������S�����U
�������
�
�+
�
+�+���
[/
[�S
����
���U
����
+������� ��
S�����Q��+�
����
��Q��+����������
��!�-�� ��+�Z�����P
�Q���
����QS����P��P��
����
��T��
����+�����������O��Q
���
����+�������!��!���������PT���T�����+
O��
�
�
�[�����T����Z
!
?��������Z�������P����
��Y�����+��T�������/
�
����
�!�G���S
��T��������
����
��
��+
���
�+�/
�����
���
�Q�
���U��������+����
Z��
��PT����/
������
��D$'D!�D�����
����
������Z�
�
�
����
���
����P+
����T+
���S+���+
�+�Z���PT�Q��+��QR�/
�������+�����
�
��� ���T��U
���
��
����Z���
����/
�����
��+��������������
��+�
��T��S�����T���
��
Z�����
���
�
����
�����������U
+�
���
�
�
/
�
�����
�+!�'����QS����
���
�
�
������
���� �/
����
��+��������
�
�����
�����
����
����Q[��+���/
S���������U�������T+��P��S�+���
S
�Q��TR��
�S��/
�T��������
����
�!
����Q�����P����
����
�
S �������
�����
�����
��P+
����T+
���S+���+
�Y� ���� ����
�������Q
����������
�
�
�����������Q�����P���
+����������/
��+�������+���
O
��+!�?�/����T��������� ���O��PT
��
����
O��
�+��
����
�����
�������
O��
���
/
����
�PT��������
S��������O���#���
O
���������
��U���������S�����������T������
�������S���O
*!�?�/
����T���
S+����
������ ��[
�����Z�����
�P�S��� �
�O��Q���������S���O��[�
��
�����
���
����
���/
U� �������������#��������*����
��U���� ��P
���[�/
����� ����������Q���� �+��QR����R
�
���������/
��� ���
������S��O
���������
������P
�Q����
������/
��
O��
� �����������
�S�O������
�����S+�Z����
�T������
�����P����
���������Z����
�
�����
��T+
���+�+!�?/����Q
�������������Q����P���
+�������P��/
��O��
������R� ������
�T�
���������
���+��������/
����������+�Z����
���
��
�
����
��+!
'�� ��
������ O��������!�����D$'D��� ��S+���+
����
������
���ST���+� ��\ ��P�
� ����P+
����]
#�X���+�
�+����*���������������������S+�Z�T+���S/
�����Q��������
�����
S��������D$'D�
�
������
/
�
�����
��V����W!�������
������
������Z����O
�T/
���Q���U������������
�����
�� ��+���
O��
���[��/
+T�����O������+��
�������
S�P��Z��
�����[���/
R�P����!�-�����
�����
���TST�����������T������/
�
��� ���
���
��� ����T�
S��O��
���
����QS��+� �
��������+�������
+���� ��+���
O��
+
���S+���+
����O��+�������
���T!
������
��D$'D�
S+����������+�������
�����Z/
�T��
���O�
�������U��
���������
��[
���
����
/
�
��[[�
����P�
S���
���O��������O��+� �����Q�[�
����������
�
�
���������[[�
���P��QR
������������/
����
�
���������U
+���������+�[����
�� ��[
��������
��
����
�������O������S�
O�T���������
/
O��
��^������^�VXW!
?�����
����T��
����
�
���
�������
�����S/
+�Z��������
��+�
�
O��
+�����+��������� �������/
P������Q� PT� ��
R
�+�+�� �� ���+��
!�G����+��
����QS����������P�����+�U�T�����������+����
/
�����
�� �������
O��
� ����������� ���
S�������
D$'D��
�
����T+������������
���+T�KLMN!
,��P���
+����+��
�Q��O�����������U������+����/
U�����������
��Q
��+�U�T���
���+�KLMN���
��
����
+����[
�+�
�
�K_M�̀ ab!�#Dc@*��̀ d.�̀ a;ef<1;eg
dh6;e06�.af2aee<2af�Mi�#c������
�*��dha7j6h6�`ab!
�d2351b7� `a;e<a1;27a13� #Dc@*!�-�
��
���+T�KLMN
�P����O
�������S+�Z����Q��
��S�� ��+����
����/
�
���������
O��
� �����������
S �������
��D$'D!
D��
+���Q�����P�T����� ��++�T����������
�O
�/
������������+
��T��O����������S���
���S
������ �/
������Z�������
+���
���� ����
�����
��
���������/
��P�T�� ��+�����
��
����QS����Q!�?�������U������/
�Q����OQ����������+��������
����QS��+T���� ��
�
�
���+����������
O��
� ��+����
�����
�!
�������
��
�
������
�����
�������
�����������������������������
��
��������� �
����
����
����������������
,����������������������
�
O�T���������
O��
�
+��R����
S �������
��E)"G�D$'D!
G�����O������O��
������
S��+���E)"G/����
��/
�T���
�S�������������!
G�
���S��P��
���������
O��
� ��+��R�����[��/
+
�����
����P+
����T��E)"G�D$'D�
�� ��+���/
�
�����
����
���+���KLMN�������������Q������/
���������O��
��S������ ����
+���� �����[
����
�/
���T�����������O����Q�����������������������+���/
�
�����
�����
��
O��
������
���
��
!�'S���
��/
����T������
�!� ��������
O��
��������
�������/
�������Q���[��+
�����
���
+���� �����[
���
/
������������T�
������
+�������
�
���������U�/
����Z
�!
'+�������
���P����O
�����O��S�TO������������/
�T��
�������
S���
+T�����[
�
�
���������
��S�/
�����+T������������+���������
����
�+�
�������
���+����������!�E��+���� ����
�
��T�����
��
����Q/
S��+T����
�O������+���
���
��
[[�S
��+�Z�����
/
+����Q�
�����+��
�����
���������R��
��
�
����+�
��O
�!�'������
+�������
������������
S
���+����/
����T+���������+�� ����
�� ���� ��
�
�����
S��
�����Z���
����R��
�
��
�
�
�����
����
+�����#��/
��+�U��
�����+�����
+��
�
S�+�Z���S�
�����S�T
��R��
*����P��������������U
����Z
!
�������O����
+�������
���� ����
+���� �����/
[
������
���+��KLMN���
+������������
�
O��
�
+����T�����������
����T����Z���[��
�
���������/
���
��%������
�
�G
�����!�?���
��+������������
�/
������ O���
�Z�T����O�
�
+�����
������T��
����
�TST��������������������
��
������������
�������/
��������
��������������T+
������������
�+
�%�/
�����
�G
�����!���������O��
����������
���������/
���
��
����������� ����O
����
+��������
��
����/
�����S
�
!
E��+�� �� ��� ����+����
�����
�������������
�
+�����
������T��
�����
�
+�������
���T����[�
/
������
+��������+�����)����/E����!�D���+�UQ�����/
��+������+����
�������[
S
O��
����PT�
������/
�����U
����
����+�Z��
������Q�T��O���
�!�'��T
���+�S�������
������T������
�����
���
�����S��Q��/
������
������ ������
�!�C����T������
�����
����
/
�T�������[��+�����>
�������!�)��������Z��
�
�����
���U
�����+���+
R��
��O
����������O���T+!
G��
+�U������+������)����/E�����S�
��O�����
����
��U�+��+�����+�+�����������
�����Q�T+�[
/
S
O��
+���PT�
�+����������������������
�Y���O��S/
+���T��S��������+�R
��� �����+��
�����P���
+� �
��������O��
������
��
O��
�����Z�T����S��Q�����!
E�
���+�O����Q��TR���������
������
+�������
���P���
+��������
�Q���Z
!�)����Q���Z
�����
�/
��+���KLMN������Q������Z���
��O
�T�����
�
��
[/
[�S
���T���������T�� ��
�
��������T��
+
O��
�
������U��
���������������
������
�T!�=��
���Z
������
����S��
����
�����+�Z���
����+��
��
S+�/
���+T����
����+
�����
S+����
��
���������
���� �
���[
�������S��Q������
[[�S
���S��O
���Q��!�=��
Z����Z
�������
������
���Q�������+������
����
�
S��O
���Q�������������������
����
+��
!
?��������+����
�����
���
[[�S
���� ����
+��/
�� �����[
�����Z
���
[[�S
�������������
�!�G�/
�
��Q
������������O���������������
�����
������#
��
+����� ���
��
[[�S
�����
����
����
� �T��
��
���������
�
+�����
�����������
+��
*��������P/
���
+�����QS����Q���O
�����T+
�+�����+
���R��
�
�
[[�����
��Q�T���������
�!
G������T����Z���
��
��������
��+�Z�������+��/
�
���Q�
�
�����+� ����Q�T��������������
������
/
�
������
[[�S
�
�
+�������
!���O����Q��������/
�
����
��������������
�������
�O����������O�����
������
�
�
��������O���������
�������P�������Z/
�T+���
�����
�
�����
���P+
����T������
���!
"��Z���
��
��������
���������+���
P�
Z��
+�Z�������+���
���Q�
�
��������T��
������
���+T�
�
�����Q���������������� ���
�
!�E�Z���� ��O
�
����������
�����+���
�������
�
�P��
���O���+��T�
���O�
�%�� ��������������
��U
����
��������
���+����������������P��� ��+���
O��
���+�������/
O�
�
����
��������+
��[���+
���
��
����
��
���O/
�
��!������T������
����O�T��
��[[�
�
��T�����/
O��������� ��
�+������P���
+���O
�T���Q����P����/
��
�+����
���+T������������
� ������������U
�
���
O�T�������
�!
'���
��������S��P��O
���������
O��
� �����/
��������Z���S���Q��
�
��� ��
S�������
���+��+���/
��������
��
���������� �
���
���
�������� ����������� �����
��
�������� �������� p- � n-
��� ��
�� ������
������
����
�������� �����
������� ������ �
��������
�����������
�������� ��
���� � �
���� ��
�� ������
������
����
������������ ��������
������������ ��
���
����
�������� ��
��������� �
��������
��������������
(
�!k !��������
O��
��+��R����
S �������
��E)"G/
����
���
)�����
S��
�
)�Z�����T�
�
���
��
G��
��+�
�
G��S������T�
�
���
��
D
�
�
�
/l /l 0l0l
�/
��+�� %/
��+��
�/�����Z
�
G���
�
�����
�
(
�!k�!�G�����O���� ��O��
��E)"G/����
���T
��
��������� �
����
����
����������������
�������
��
�
������
�����
�������
�����������������������������
�
�����
�!�E�
��
����
S��������� ������� ��++�T�
�+������T��
���+�KLMN�+�Z�������������SP
�Q
�����
� ����T!�G������ ��������� ��++�������S��/
O����������� ����
������T��[�����!�����T�������/
����
O��
�+����������
S �������
��D$'D��������/
��
�����
�
���+���D$'D�������������
+
������/
��++�T��
��T!�?������ ��������� ��++�Y���P�����/
������ ��++T�+����
�����
�!�"�
��
�
�����
������
+������S�
�� �� ��[
O��
� ��
����[�����������
�
G���+���T� �������
O��
� �
���������� ������
�
?����T��[���T
?����T��[���T
G�
+���T�����[
�
�� ��[
���
��
O��
������
���
��
G�� ����
�������T�
[�����
����+����
�����
�
)����
�����
�
��
+���T�����[
����
���
��
O��
������
��/
�
��
?
S���Q���
���P��Z��
�
�T����T��[�����
(
�!k�!�D���
������
���+�KLMN
��+�UQ����������������O��T����S��Q���T�
����T����/
�������������T����T��[������+����
�����
�!�G��/
�+�����Q���S��Q���T�+����
�����
��+�Z�������+�/
UQ������Q��� ����T���� ��++�Y���� ��++��
S�/
��Q�� �����P��Z��
����S��Q������+����
�����
�!
,���������
���+�KLMN�S������������+���T����/
����
O��
� �����������#������������Q����Q��T���/
���
��������
��
���
��
����P���
+T������T�����
���T������
�*������
Z��������
�!�,���T���������/
O���������[
�
������������
����
+�������
��+�
�/
���������
����
����T��� �� ������O����Q�� ��������
�����T+
�����T+
�������������U� ��+����
��/
���
�����
��
O��
������
���
��
!
D���+�UQ���
���+�KLMN�������
������S+�Z�T+
������Q
������
�
�����Q��������
O��
����������
���
������Z
���Q�� �������
Z����� ��S
�����Q���
�/
�
�������Q�T������+�������������
O��
� ����������
���
�O����������O��+T��D$'D!
'DG">IB"?@,,F=�'D�"m,'E'
!�)"G�D$'D!�)����
�����
�� ���+������
� �������
O�/
�
�� ���������� n� G��� ���!� G!�@�������
�� �!�@����
��
���
(!����������&!�"�����+�!Y�)!4�(��
��
����SQ�� opp!
�!�q���
��!��-�
����>!��%�
�
O�-!�-��
����
����Q���P��Q/
R
��
��� ���Q�T�����+!Y�)!4�)
��� oo !
�!�reeag<2bs� `<!�t!� u!�_!�Neej/69:02b<7a�L_vd�`L6!Y�wex
y7<s4�z39xe<�1b1ge02b�j9:326{e<6������!
�!�zeaae3�t!�|!��Le1�d!�_!��}231s�M!�N!� e;� 13!�_7ge32af� 7~
93;<1{2f{3h�g7jeg�6{1337x��9ab;27a6�~7<�1ff<e6625e3h�6b13eg�L_vd�nn
`a;e<a1;27a13�.3eb;<7a�Ne52be6�_ee;2af!Y�d1a��<1ab26b7��LM!Y
����!Y��!� p�XYp�p!
X!� d2�;� �!�vj;2b13� j<7�202;h� b7<<eb;27a� #v�L*� nn� Keb{a737fh
�e52ex!Y�����!Y�r73!� ��2669e��!Y��!� Yp!
�����������
�
�
�
�
�
���
�
�
�
�
��������� �
���
������� �
� ����������������������������
�
��� ����� ����������� �� ��!� "�� #������
� !���� $��%����!� &�� '�
'�����()�*!�������+������!�������,�
���-���.� �����
�/
�)�!
0112�-�013�(�
��������
�����
�
�
��
���
�� ������ ������������ �
� ��������
���������
�
������ ����
�
�
� ���� � ���������������
�����
��� ����� ���
��� ��
������� � ��
��
���� ����! �
�������
��
�
�"����� ������ ������� � �������
���
� ����
��
����#� ��������� ��
�#���
�
�
�� � $���
���#��
��� � $����
�"����� ��
��
����� "��
�
�� ������������ � ����������� ���
�������� �
�
��
��
����� �
��������"����� �
���
�����
����� ������
���� "��
�
�� ��
���
�
�� ����
����
�������
�"����� �������
�
��$���
�"����� �
���
�����
���� �
��
�
�#��
���� ��
���
�! �
���
������ ��
��� ����
��� ��
���
��� ��
��
�
��
��%���
���
� ��
���
�� �� �
�������� �
��������
�
������
������ � ��
�
����
���
����
� &
'� ���(�����
��� ������%����
��
���
���
��������
�
������ ����
�
�
�
���� � ��������������& )���
��
� ������� ����
��
�� � �
����
�� �
�
*��
��
���
����
����"����� +�����
�
��&
4�*
����5�6 ��������)
�
�)��-���.�7�/
�(6� �!�0118�-�980�(�
� ���#� *�# �� *�#��
���
����
� ��
(�+
���� $���
������ �� �������� ��
� �
�#��� �����
��
������& ,
� �������� �"������ ��
�
����������� ����
����*�� ���
�
�������
������� ��
������
�& )�
�
��� ������� ����������
����� � ���
��� ��"��� � �����& ���
������
��
� � ���
����� � ����"���
� ���(� ������ #���� ������ %
�
���
�
� ��������� �
�������#� ��
�
����!
� ���(� �"������ �
�������
�*��� &
���#� �
�������"��� �� �
����
�� $���
�
����"����� � ��*����
��
������
���(�������
��� ������
����
��
�����
�������� �
���� ����� �
� ��
�
����
�
���
������� (�+
����
�������&
|