Вычисление дифракционной составляющей глубины резко изображаемого пространства в оптическом микроскопе

Предложен математический аппарат для вычисления дифракционной составляющей глубины резко изображаемого пространства в оптическом микроскопе по критериям Рэлея и Марешаля....

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Date:2007
Main Author: Боровицкий, В.Н.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2007
Subjects:
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52832
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Вычисление дифракционной составляющей глубины резко изображаемого пространства в оптическом микроскопе / В.Н. Боровицкий // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 4. — С. 38-47. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1860265147125202944
author Боровицкий, В.Н.
author_facet Боровицкий, В.Н.
citation_txt Вычисление дифракционной составляющей глубины резко изображаемого пространства в оптическом микроскопе / В.Н. Боровицкий // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 4. — С. 38-47. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Предложен математический аппарат для вычисления дифракционной составляющей глубины резко изображаемого пространства в оптическом микроскопе по критериям Рэлея и Марешаля.
first_indexed 2025-12-07T18:59:49Z
format Article
fulltext ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� � ���� ���� ���������������� �� � ��� ������ � ������� �!"�� ���� �" #������ ����������� �� $%&' ()������*� �" &���+ ����������� ��������� �� ,������� �" &���� ### (-�.��/������0� ������//�0� ��� �/0* 1234567 8969:;3;<=>9<98;?@A;B5@@"9<C"D4 ������������������������� � ���� ��!�"#�������!���$���%������������"�!& '(���)�*+��#���,����,�+�������)�� ��& �������"��"�� ����������������� �� � �������!���-��!���.���/��!� E ��� � F�� ���/ �� �G����� /��������0 ��2 ���HI� � ��� ����I���� �� � ��� ���� �I����� /�������� ������ JKL!M" �� �N����G��� /����2 /��H��� ���� ���� ������ ��I��O� F�� �����N��2 � � �����/���0� /��������0 ����F� � �0����2 ���� ���0/� /�����NP�� ���/�� ������ ��� G��� � /���������� ��F�� ����� �/��HO�� � ���N��� ��I2 �� �I�N��Q��/��� ���� ���� �� JR� �M" S��N��� ��I2 �� �I�N��Q��/��� ���� ���� �� I���� � /����/��H2 ��� ����G���� �/�F��� ����H �� �G����� ��� /��2 ������� � ��������� � ��N� ���/��� �N��I�� �� ����Q��� ������� � ����/� �� ��� �� ���/ �����2 /0� � �I�N��Q���� ����Q��� �� � �����N��2 Q�/� /��0/� JRLTM" U������� ����Q��� / ����2 ��G����� ����� /��������� ���N��� ��I�� �I�N��2 Q��/��� ���� ���� �� $��� + �����Q� �� ��� ��2 � F�� JRL�M7 K" )���/��������� ��� ��� F� SV-W �N�����2 ���� �����N��� H G�����G������ ���I� �I/�� H ��� �� �G���� ���� � �����������/ �����I��� JR� �M" �" S��/� ��G���� ��� ��� F� SV-W �� � � ����� ���/ ������G������ ���� ���� ������� ��I��2 O��� ����/���� �I�N��Q��� JR� �M" X��� ����Q�2 �� �I�N��Q��� � �N���������0� �/�F����/ ��N� 2 ���/��� �N��I��� �� ����0� ������� ���� ���� ���2 ���� ��I��O��� � � ���� �/�F���� � N��� ������2 � H ����G��� ���/� ��G����� ��� ��� F�� SV-W J�M" E ���G�� �� �G������ /��������� �� ��I���H��2 �� ��N� ���� ���/� ��G���� ��� ��� F� SV-W N��� ������� H� �������/ ���� ���� ������� ��I2 ��O��� G�����G������ ���I� J�� TM" �" ��.��������� ��� ��� F� SV-W /�Q� N0 H �NP ����� �/� G � ��� /��0� �/�F��� � �/�2 /�� � �����N��Q�/� /��0� �N������� ��.���2 ������� JR� �� K�� KKM" -/���� � � ��� ��� F� N��� ���� H ��F�� ����� ���H � �0�������� ����� ��2 �G����� ��� �/� /��������� ��I�����/� � �����2 N� ��N� ���� L ��I���H���� ��� ��� ��/�F� ��.2 ���0� ��/�� J�M" -I��� �0� .��/��0 �� �0G������ ��.�����2 ����� ��� ��� F�� SV-W N0�� ����G��0 N���� EYZ-U[X\-X �-]V)&%-#\\#^ U#U�)E[_`aX^ S[,'-\Y VXb&# -b#'V)c)Xd#S# WV#U�V)\U�E) E #W�-ZXU&#d d-&V#U&#WX !�L�� �� ��I�� JR� KKM" E � ���/ �� N0�� ���N��2 ��/�� � � �N����G���� �0����� �G��� � �0G����2 �� ��.���������� ��� ��� F�� SV-W� " �" ��2 N� ����� � /�������� N0�� ����/�F�� ����� ��2 I���H�0/ JR� K�M" E ��� � F�� ���/ � /��������2 ������ ���/0O������ � ��� N��HO�� ������� ��2 ����� ����G� /��������0� �����N�0� � �� �/�2 �G����/ ��Q�/� ����I���� H �P�/�� �N��I��� � ������� F�� ��.����� �N��N� ��� �I�N��Q���� ��� ��/�F� ��/�H ���� JKL!� K�M" E � �/ ���G�� �����HI� � ������//0 G�������� �����G��� SV-W� �� ��� ����� ���� ��F�� ����� ���0O� � ��N����� � �G��� � ���������� ��.���������� ��� ��� F�� SV-W JK�M" W�� �/� I���G� �G���� �0G������ ��.���������� ��� ��� F�� SV-W � ����� � �� ���H��� ��� � �� �G����� /�������2 ���� �� � � �� �G����� �� ����.�� JK� �M" %��H ������ ��N� 0 �� � � ��I����� /� �/�2 �G������ ������ � �� �G���� �0G������ ��.���2 ������� ��� ��� F�� SV-W� �� ��0� ��������2 � ����� �����0��� � �� ��� ��� � ��G�� �� �� �2 G������ �I�N��Q��� " e � ��I���� �N����G� H /��2 ��/��H�� �..�� ����� H ��.���0� /� ���� ���2 ��G��� ���N��0 ��I�� �I�N��Q��/��� ���� ���� �� � �� �G����� /���������� JK�M" ����������� ������!�"��#$#��#%��$�����& $�'��()�#��# �*#*����&+,� ���� \��N���� ������� ������� .��/��� �� ���G�2 � ��.���������� ��� ��� F�� SV-W �/�� ���2 �� F�� ��� JRLKKM7 1 2 , 2 n Z NA λ∆ = $K+ ]��/��� $K+ ����G��� �� ����0/ � ���/����/ ������������� ������� � �I�N��Q���� �G�G���� �� �G����� ��I�����/�/ ��.���������2������G��2 ��� �� �G����� ��� �/�� JR� �� KKM" W�� �� �0���� �/�� /�� � �/����G����� ���N�� ���..����� �� G �N0 ����G���� .��/��� �����GO�/ �N��I�/ ��2 � �� � ������ �������/�� ��H�0/ ����0/ JR� �" ��M" ��� ∆0K L λ L 1 L 23 L σ L ����G��� ��.���������� ��� ��� F�� SV-Wf ����� ����0f ����I� ��H �����/���� ����0 /�Q�� ����/� �/ � ������ ��������� H �� �G����� ��� �/0 $��*-�.+f G������ ���� ��� �� �G����� ��� �/0 /���������� 23g1h@5i$σ+f ���� ���0� ���� � ���� ���� �� ����/� � $���" K+" ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �T ��������� � ���� ���� ���������������� W�I���� ���������/����H ������H�� ���0 �� ��2 ���/� �� .��/��0 $K+" W�����Q���0� ���� .��/�2 �0 �/��� ����� F�� ���7 2 2 ; 4 1 1 Z NA n n λ∆ =    − −      $�+ 2 3 1 tg arcsin Z NA n      ∆ = λ =            2 2 2 cos arcsin 1 sin arcsin sin arcsin sin arcsin NA NA n n NA NA n n        −              = λ = λ =                        2 2 2 2 1 1 , NA nn NANA n  −     = λ = λ −         $�+ ��� ∆0�� ∆0� L ����G��0 ��.���������� ��� ��� 2 F�� SV-W �������� JK�� K!M� ��� �� � �����" ]��/��� $�+ �� � � ����� �I ��/0� ���0�� ��� �0������ � �����HI������/ ��� ��� V��� �� /��2 ��/��H�� ����F������ ���G� ������� �������� �N������� ��.���������� JK�M" ]��/��� $�+ �����2 �� � � JK!M �� ��0���� �� N���� ������ ��N� 0" E0������ � � ����N��I������� � � .��/��� /�Q�� ������ � � N���� ���� �/� ����" # /� �/� G � ��2 I��H � 0 ���G� �� ����G��0 ��.���������� ��2 � ��� F��� ����G���0� �� .��/���/ $K+L$�+� �/�2 � ��G� � �� ��0� I���� � G������� ���� ��0 �� �G����� ��� �/0" U������ ��H��� � ��� � F�� ���/ �/�� /�� � ������I��G��� H � ����������� ����G��0 ��.���������� ��� ��� F�� SV-W" �#/����'#�"0���$�&���*/����$�'��()�#��# *#*����&+,� ���� &�� N0�� ����I��� �0O�� ��.��������� ��� ��2 � F� SV-W ������� � � /����/��H��� ����G�2 ��� �/�F��� � ��� �� ���/ ��� ��� �N������� ��2 .���������� �� � � �����N��Q�/� /��0/ JR� �� KKM" )N������� ��.���������� ���N���� G�� � ���2 ���� � ����I� �� /�� ����� ���I� F�/� �����2 �0� �N�������� L /����/��H�0/ ��� ����������2 �� �G����/ � ��������/ ��������� .��� � � ����2 ��� � �0������� I��G�� JKKM" ���� �������� ��� ��� V��� � �� ����G��� ��G�� ������� �� �G������ �I�N��Q��� ���Q�� �0���� H� ������� L /��2 ��/��H��� � �������� ��������� .��� � � �N��� � �� ���Q�� ����0O� H G� ��� � ����0 ����0 �I��2 G��� J!� KKM" &�� ���� d���O�� ��N�� �0���2 ���� ������� ������ L ������������ �G����� � 2 �������� ��������� .��� � �� ���Q�� ����0O� H ����I������ ����0 ����0 �I��G��� �� ���..�2 ���� K� JKKM" &��/� ����I� ���� � ������� ���2 ������ .��� �� �N������� ��.���������� /��� ���2 ���� H� ����/� ��/� .������ ����� �� �G��� .������ ������G� /���� ��� � ��" J�M" #����� ��2 ���HI������ ����I� ���� � ������� ��������� .��� � �� � � ������G � ��H�0/� ������H�� �� �� IH � ����G���� �/�F��� /�Q� N0 H �� ������2 �� � ����� �G����/ ���� N�I ���Q�0� �0G������� JR� �M" ��� ��� ������� � �������� � �0������� I��G�� �� � �� �G���� ���� Q���0/�� � ������0� �N������� � ������� � �0������� I��G�� /��� N0 H �����G� ��0 � ��������0 � ��������� �0/ �����2 �0/ �N������ / � ������� � �������� I��G�� �� �2 G����� ��� �/0 /��������� J�M" ����� ��� �0G����2 �� N��� ������� H� �� ������� � �������� I��G2 �� �� �G����� ��� �/0� G � ��F�� ����� ����� � /� �/� �G����� ������ " W�� �������� �N�������� ��.���������� ����2 /�� � .����� � ����0�� F� � �������� �����2 ���� .��� � � �G�G���� �� �G����� �/�F������ � ������� � ����/� ��� �� ��������� .��� � � �G�G2 ���� �� �G���� �I��G��� � ������� � ����/� �� $���" K+" #N� ������0� .��� � ��� � �/ �� � �.���G����/�� �� �� ������0 � ��G� � � � �� �N2 F�� ��H ��//� ��� �� � � �� �G���� ��H" ,����� ����G��� ��G�� ������� �I�N��Q��� � �� ���� I���� � ����I� �� /� ������0� �N�������� /��� N0 H I������0 � ����� F�/ �N�NF����/ ����7 ( ) ( )( )R R R R R, max , ,W W Z W Z k∆ = ∆ ∆ σ = ∆ ∆ α ≤ λ [ ]0, ;α∈ σ )��� ���0� ���� /�����NP2 �� ��� σ � α 0K 0j ∆0 4k∆0 4 jK 3K 3j #�H 5 E������ �N������ ∆6g∆6$∆0� α+� �N���������� ��.��������2 ��� ∆0 #� �G���� ��H 0 U.���G����� �������� .��� �������/ 4 E������ I��G�� /�����NP�� ��� U.���G����� �������� .��� ��� ��.�����2 ����� k∆0 �������/ 4k∆0 V��" K" E������ �N������ ��� ��.���������� E $�+ ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� � ���� ���� ���������������� ( )M M M ,W W Z= ∆ σ = ( )( ) ( ) ( ) 2 M 0 M 0 , sin d , sin d W Z W k σ σ ∆ ∆ α − ⋅ α ⋅ α = = λ α ⋅ α ∫ ∫ $!+ #�������/ �� IH ����/� ��� �������� �N������� ∆6l� 6d $�/" $�+� $!++ � ����G���� �/�F��� �2 G�G���� �I��G� �� ����H �� �G����� ��� ∆0" �� � ��� ��N�� � ����G� � H ����� � ��I�� # K� ��2 ��0� ��Q� �� ������ ������ F�� G���I ����� �G�� ������� � ����/� � # $���" K+" ��G�� )# ���2 �����Q� �.��� � ��� ��/ � �G�� # � �������/ 4� �G�� K ��������Q� �.��� � �������/ 4k∆0" -I �� /�����H���� ������H���� � K� ����G��� � ���2 ���� ��������� .��� � /�Q� N0 H ����G� ��� ����� F�/ �N��I�/7 ( ) ( ) 0 1 0 1, , cos Z Z W Z A A n − ∆ ∆ α = = α $R+ ��� α L ���� ������� ��G� # K" #N�I��G�/ G���I 0K� 0� �������� 0 �G�� ����2 ��G��� ��G� # K � ������0/� .��� �/�� �� ��0� ��� �� � �� ���/�F����/� � �/�F����/� �� ��2 ��G��� ∆0 ����Q��� / �G�G���� �I��G� �� � ��� 2 �� � �����7 ( )1 cos .Z R= ⋅ α $�+ #G������� G � ����G��� 0� /�Q�� �0G���� H �� �������� �/ �G�� ������G��� ��G� # K � �.���2 G������ ��������� .��� � � �������/ 4k∆0" �� �� H ����G��� 0� /�Q� N0 H ������� ��� �����H �����2 F�� ��� �/0 ��������� $�/" ���" K+7 ( )( ) ( ) ( ) ( ) 2 22 ; tg . y Z R Z R Z y Z R  + + − ∆ = − ∆  = + ⋅ α $�+ V�O���� � �� ��� �/0 ��������� ��������� � ���#1�����.� ����/0� �����H �/�� ��� ( )( )( ) ( ) 2 2 2 tg 1 tg 1 R Z Z − α − + ∆ = + α + ( )( )( ) ( )( ) ( ) ( ) 2 2 2 2 2 2 tg 1 tg 1 tg . tg 1 R Z Rα − + ∆ − α + ⋅ α + α + $T+ W���� ���� ������ ����G���0� �0��Q���� $�+� $T+ � .��/��� $R+ .����� � �� ��� ����0��� �I��2 /��� IH /�Q�� �������� �N�������� � ����G���� �/�F��� � ���/� ��� ( ) ( ) 0 1, cos Z Z W Z n − ∆ ∆ α = = α ( )( ) ( )( 2tg cosn R R R Z= − ⋅ α − + ∆ ⋅ α − ( )( ) ( ) ( )( )2 22 2tg cos tg .R R Z R − ⋅ α − +∆ ⋅ α − α ⋅  $K�+ E0��Q���� �� ���G� � ����G�� ��.��������0� ��� ��� F�� SV-W �� ��� ��� / V��� � d���2 O�� /�Q� N0 H I������� ����� F�/ �N��I�/7 ( )R R R R: , ;Z W Z k∆ ∆ ∆ σ = λ $KK+ ( )M M M M: , .Z W Z k∆ ∆ σ = λ $K�+ E0��Q���� $K�+ ������ ���� ��� H � .��/��0 $�+� $!+ � ��O� H �������� $KK+� $K�+ �� ��������2 �� �G�0� I��G���� ��.���������� ��� ��� F��" $U����� ���G����� H� G � ������Q���0� �0��Q�2 �� ����������0 ��H�� �� ��.���������2������2 G���0� �� �G����� ��� �/ JKK� �" ���M+" &�G�� ���2 �0� /�����NP�� ��0� ���� ��� ������/� 0� ����2 ����/� 0� �N���� /��0/� �N������ /� J�� �M" e � /��0� �N������� /��� N0 H ������0 ��� �������2 ��H�0� ������/0� ��� �0G������� �������� �N��2 ����� 6$∆0� α+� G � ��I���� ����� H �����I ��I2 /�Q�0� � �������� ����/0� ����G�� ∆0l� ∆0d $�+� $!+" & ��Q����� � ���G� 0 �� �G�0/ .��/���/ $KK+� $K�+ �� � �����/��/� � ���Q�0/�� ��� ��N�2 �0G������� �� �������� ����Q���� ������ ��2 ������0� �������� � " �" e � ��F�� ����� ����2 ��G���� ��I/�Q��� � ���/����� ������Q���0� .��/�� $KK+� $K�+ � ��Q������� ���� ���" W�� �/� �������N��I�� ��� � N���� ���� 0� .��/��0 �� �0G������ ��.���������� ��� ��� F�� SV-W" ��2��1������'#�"0���$�&���*/��� $�'��()�#��# �*#*����&+,� ���� �� ����F��� .��/�� $KK+� $K�+ ���/�/ ����2 F���� � �/� G � ������� �N������ �� /� ������2 ������H�� ����G��� ���� ������� ��G� α � �� /� ������������H�� ����G��� ��.���������� ∆0" ��2 ��� ����F���� /�Q� N0 H ��������� �� ��������� ���� ��������" E�2����0�� ��������� .����� 6$∆0� α+ /�Q� N0 H ��I��Q��� � � � ������� JKRM" W�� /��0� ����G���� ∆0 ������/0� � �� �� � �2 ���H �0O� ������ /��� N0 H � N��O��0� " �" .���2 �� 6$∆0� α+ N��� ��������� � �������� .������" E�2� ��0�� �I ���/� ��G����� ��� ��O���� /�Q�� ��������Q� H� G � ��� /��0� ��.����������� ∆0� ����� ������ ��������� .��� � 4 ��F�� ����� N��H2 O� ∆0� ������� �N������ N��� �/� H ���� N��I��� � �������� .������ � ����G��0 ���� α $��*-� 3+" ������ ����F���� �� � � ����������0/7 � �� �2 G����� /���������� ������ ��������� .��� � ����2 ��� � � ����G���/� ��� ��� /����/� ��� � ��2 ��� �/� ����G��� ��.���������� L � � ����G��0 ��� 6$∆0� α+� W L ∆6l� 6d L ∆0l� ∆0d L 7l� 7d L ������� �N������ ��� �����//� ��G�� .���2 �� ������� ��G� ��� ����/ α � ��.��������2 �� ∆0 � �� ������� I��G���� � �������� ����2 ������ ����� ��� �� � �����f /����/��H��� � ������������ �G����� � ���2 ���� ��������� .��� �� ����� ���I� F�� ���2 ���� �N������ � ��� �� � �����f ��.��������0� ��� ��� F�� SV-W �� ���2 ��� / V��� � d���O�� � ��� �� � �����f ���..����� 0 V��� � 7lgKm�� � d���O�� � 7dgKmK�� ��� �� � �����" ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �K ��������� � ���� ���� ���������������� -I .��/��0 $K�+ ������ 7 R RA 1 2 arcsinW k Z NAk NA n λπ∆ = =      R , 2 arcsinW k NAk NA n  π λ=      ⋅    $K!+ #N�� �/ ���/���� �� �� ������ /��Q� �� @5i$σ+ � .��/��� $K�+" e � /��Q� ��H � ��Q�� ��Q2 �0� .�� 7 ������� ��.���������� ∆0 � ��������2 ��� ��G� ��� ����/ σ� ������ F��� G���I ���� ����2 ����� ���.���/0� ������� � � ����G���� @5i$σ+" e � ������� ������� � ���� � ��� /�Q�� ��G�/�� �� ��0� �0O�� �I �G�� # � #K � ���O�� G���I ���� ���� ����� ���.���/0 $���" K+" )������G�� /�Q� N0 H I������� ����F���� .��/��� �� ���G� � ��.���������� ��� ��� F�� SV-W �� ��� ��� d���O�� " E � �/ ���G�� ����2 ��G���� ������0��� � �� ����G��� ������������2 �G������ � ������� ��������� .��� �7 M MAW W≈ = ( )( ) ( ) ( ) 2 A MA A 0 M 0 , sin d , sin d W Z W k σ σ ∆ ∆ α − ⋅ α ⋅ α = = λ α ⋅ α ∫ ∫ $KR+ )��� ���0� ���� /�����NP�� ��� σ 4 #�H 5 #� �2 G���� ��H 0 U.���G����� �������� .��� �������/ 4 E������ I��G�� /�����NP�� ��� U.���G����� �������� .��� ��� ��.�����2 ����� k∆0 �������/ 4k∆0 E# k�∆0 �$4k�∆0+ �4 V��" �" [������ ��������/��� �������� �N������� ��� ��.���������� ��� ��� /����/� �� J�� �" ���f �� �" KK�M" -I ���/� 2 ��G����� ��� ��O���� ������ � G � �I/������ ��2 ����� ��������� .��� � �� ����G��� ∆0 ������� � �������� �N������� ∆0 ��� αgπm� $�/" ���" �+" E ���� � ��� �0��Q���� �� ���G� � �������� �N������� $K�+ /�Q� N0 H ����F���� I������� � ����� F�/ ����7 ( ) ( )A, , , / 2 Wk W Z W Z n Z  ∆ ∆ α ≈ ∆ ∆ α = ⋅ ∆ α π  $K�+ U �G� �/ ����G���0� ��I��H � �� ����F���� .��/��� �� ���G� � ��.���������� ��� ��� F�� SV-W �������� ��� ��� V��� /�Q� N0 H I�����2 �� � �����HI������/ $K�+ � ����� F�/ ����7 ( )( ) ( )R RA A RAmax , sinW W W Z∆ ≈ ∆ = ∆ ∆ α ⋅ σ = ( )RAmax sin / 2 Wk n Z  = α ⋅ ∆ σ = π  ( )RA 2 sinWk n Z = σ ⋅ ∆ σ = π  RA R 2 arcsin .W NA k Z NA k n  = ⋅ ∆ ⋅ = λ π   $K�+ ��� ∆6)$∆0� α+ L 76 L ������� ��������/��� .������ ∆6$∆0� α+ $K�+� ��� ������� �� ������ ���� ��� ����F��� � �������� � ����G�� ∆0 � α $��*-�4+f ���..����� �G� � ���������� � �������� �N�������� �� ��0� /�Q� N0 H ����G� �� ��� G �N0 ���N��Q���� ������� .����� ∆6)$∆0� α+ ���N��Q����H � ���������� .���2 ��� ∆6$∆0� α+ �� ��� ��� /���/�/� ����2 �������� �G������ � ������� $���" �+" ∆6� /�/ ��K! ��K ���! � K� �� �� �� !� R� �� α� n � � K V��" �" S��.�� I�����/�� � �������� �N������� � ����2 G��0 ���� ������� ��G� �� /�����NP�� ��� K��×m��T! ��� ��.���������� ∆0g∆0Kg���K /�/7 8 L ������� �N������ ∆6 $∆0� α+f 9 L ������� ��������/�2 �� �������� �N������� ��� 76gKf : L ������� ��������/�2 �� �������� �N������� ∆6)$∆0� α+ ��� 76� ����G� ����/ �� ��� ��� /���/�/� ������������ �G������ � ������� ��� 6lo L ∆0lo L /����/��H��� I��G���� �������� ��������/���� �������� �N������� $� �����/ ���G�� � � ������� �N������ �� ��� I��G�� /�����NP�� ��� $���" K+� �� ��� �� ��� ��� V��� ������G��� I��G����/ 7lλ+f ���N��Q����� I��G���� ��.���������� ��� ��� 2 F�� SV-W �� ��� ��� V��� " ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� � ���� ���� ���������������� ( ) ( ) ( ) A 0 A 0 , sin d , sin d W Z W σ σ ∆ ∆ α ⋅ α ⋅ α = α ⋅ α ∫ ∫ $K�+ ��� ∆0d) L ���N��Q����� I��G���� ��.�������2 ��� ��� ��� F�� SV-W �� ��� ��� d���O�� � ����G����� � �����HI������/ �������� ��������2 /���� �������� �N������� $K�+" -I �0��Q���� $KR+� $K�+ /�Q� N0 H ����G��� .��/��� �� ���G� � ���N��Q������ I��G��� ��.2 ���������� ��� ��� F�� SV-W �� ��� ��� d�2 ��O�� � ����� �G����/ ����" E���� ���/�I���� � �0��� �������� � ���#1�����3� � ����G� ��H��� �0��Q���� �/�� ����� F�� ���7 M MA 2 W k Z k n  π λ∆ = ×    2 2 2 2 arcsin 1 2 arcsin 2 1 1 NA NA NA NA n n n n NA n        − − + ⋅ −             × −   − −    0.52 2 2 arcsin 1 . 1 1 NA NA NA n n n NA n −       − −        −     − −       $K�+ W���G���0� �0��Q��� $K�+L$K�+ ������� ���N��Q���0� I��G��� ��.���������� ��� ��� 2 F�� SV-W �� ��� ��� / ��G�� �� �I�N��Q��� � �� ��0� �������0 �� �����I� �������� �N������� ��� ��.����������" #N�� �/ ���/����� G � ����2 G���0� �0��Q��� ��F�� ����� � ��G� � � �I2 ��� �0� .��/�� $K+L$�+" ����������� ������! �!��*���5���%��$�#1����5�'#�"0��$�&���*/��� $�'��()�#��# �*#*����&+,� ���� �� �������� �I��� �0� � ������Q���0� .��2 /�� N0�� �0������0 ���G� 0 ��.���������� ��2 � ��� F�� SV-W �� ����0� /�����NP�� ���� �� �G������ /���������� � ��Q� �� ��H ��.����2 ��0� /�����NP�� ����� �� ��0� �����HI� � �� ��� ��� �I����� /�������� ������ � ��������G�2 ���/� ���/�/� ���T�L��K! /�/ JKL!M" W�� ���G� � ��.���������� ��� ��� F�� SV-W �� ��� ��� V��� ����G���0� I��G��� � 2 ��G� � � ��I��H � �� ���G� � �� .��/���/ $K+� $�+ $��2�-�.+" W�� /��0� G�����0� ���� ���� $/���� ��R!+ � � ��I��G�� ��� � �G�� /��� L ��!L�p� � ��� G�����0� ���� ���� N���� ��R! L � ��G�� ��I2 ��� �� �� ��p $ �N�" K� ��*-�6+" q���� ����� ���2 N����� H ��I��H � ��� ����G���0� �� ��� ��� V��� � �� � � �� G � ����G� ���� ��.�������2 �� ��� ��� F� ���I����H /��HO�� G�/ ����G� ��2 �� �� .��/��� $K+" e � /�Q� N0 H �N��������� �/� G � ��� ���� V��� ������0��� Q�� ��� ������G�2 �� �� ����� �/�� /����/��H��� � �������� ���2 ������ .��� � �� �������� � �/� ������G��� 2 /�� G � I���Q��0 � .��/���� $K+� $�+" ���Q� ������ � /� � H� G � �� /�����NP�� ���� � /��0/� G��2 ���0/� ���� ���/� .��/��0 $K+� $�+ ������ ��� ��� ��� ��G�� �� �I�N��Q��� V��� " U���� �� .��/�� $KK+� $K�+ � .��/��0 $�+ /�Q�� �NP ��� H �/� G � .��/��� $�+ ��Q� ����G��� � �����HI���2 ���/ ��� ��� V��� � �� ������� ���� ��� �/0 ����2 ����� $�+ JK�M" -����HI������ ���N��Q����� .��2 /��0 $K�+ ��I��� � ����I���� H �0G������ � � 2 ���� ��H��� �O�N��� �� N���� Rp $ �N�" K+" W�� ���G� � ��.���������� ��� ��� F�� SV-W �� ��� ��� d���O�� ����G���0� I��G��� ��Q� � ��G� � � ��I��H � �� ���G� � �� .��/�2 ��/ $K+� $�+ $��2�-�3+" W�� G�����0� ���� ���� /�2 ��� ��R! � � ��I��G�� ��� ��� � �L!p� � ��� G��2 ���0� ���� ���� N���� ��R! L K�L�Rp" U����� ���G����� H� G � ����/0� ����G��0� ����G� ���0� �� ��� ��� V��� � ��G � ������� �� I��G��� /� �� ��� ��� d���O�� " ���� � ���� ��H�� �O�N2 �� ��� �����HI������ �G�0� .��/�� �� ��� ���2 �� V��� � d���O�� $KK+� $K�+ ��� ��� � �p� � ��� �����HI������ ���N��Q���0� .��/�� $K!+� $K�+ �� ����0O�� R�!p �� ���� /����NP�� ����� �� ��0� ��������0 � �N�" K� �" e � .�� � ��Q�� ��� ��Q2 �0� I�����/����� � ����G���0� .��/��" E�2���2 �0�� �� ������0� �N������� ��.���������� ���2 ���� ��G�� �� �I�N��Q��� V��� � d���O�� �2 � � ������ H ��������� �0/� � �I��/�I�/�2 � �/0/� � �G�� I���� ���G� � ��.���������� ��� ��� F�� SV-W $���" �+" �� ��Q������� ����2 ��� �����HI������ ��� ��� V��� � � �/ G���� �G2 ��� � ���N��Q����� .��/�� $KK+� $K!+� �� � � ������G � ��H�0/ � �G�� I���� ���� � 0 ����2 G��� ��I��H � �" E�2� ��0�� � ���G�� �����HI���2 �� �0�������� ���0� �� �G����� ��� �/ � 23r��R! �I�N��Q��� � �0����/ ��G�� ��/� �� ���� ������2 � � � ��� ��� /� V��� � d���O�� � /��� N0 H ����G��0 ��� �/�F��� � ∆0� I��G� ��H�� /��HO�� ����G��0 ∆0K $K+" #N��� H ���/����� ������Q����� /� ����� ������ ������G� H �� �G����/� ��� �/�/� � �02 ����� G������� ���� ���� $23r��R!+" W�� /��0� G�����0� ���� ���� O����� ������� ������� .��2 /��� $K+ �N����G���� ��N��/� �G��� H L �O�N2 ��� 6ld L AW L ������������ �G���� ����G��� �������� �N������� $�� ��� �������� ��� ��� d���O�� ������G��� I��G����/ 7lλ+� � G���� ��� L �� ����� �� ���G�2 � ������ �G������ I��G��� � � I��/��� ��� L ��2 ����� �� ���G� � ���F��� ��������� .��� � � ���2 ����� �������� ���� ������ ���� $���" K+f ������� I��G���� �������� �N������� � �������� ���� ������ ���� $�G� 0�� ����� �� ������ ��//� 2 ���� ������ I��G���� /�Q� N0 H ������� ��� � ��2 O���� ����� F�� �� ������� L � G���� ��� �� ��2 ��� �� �0G������ ��//����� �������� �N�������� � I��/��� ��� L �� ����� �� ���G� � ���F��� ���2 ������ .��� � � �������� �������� ���� ������ ����" ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� � ���� ���� ���������������� �������� ���� � ��������������� ���� �������������������� ��� ���� ���� ���� �β��� � ∆�!"� ���� ∆�!#"� ���� M MA M 100% Z Z Z ∆ − ∆ × ∆ � 1 M 1 100% Z Z Z ∆ − ∆ × ∆ � $ %������ � ��� &�� �����'(������� ���� ������)* � +×���,"*� -."/0� -0"12� 3-"*� -"1� ,"00/� *,×���,"-� .".0� ."0+� 3*"*� 2"*� ,"0//� -,×���,"1� *".1� *".*� *"/� 1"0� ,"/,.� 1,×���,".+� ,"+.� ,"+0� 3*"/� *2"/� ,"/2,� +,×���,"/� ,"21� ,"2+� 3-"4� -,"4� ,"/11� .2×���,"/+� ,"-4� ,"2,� 32"1� -2"0� ,"/+/� *,,×���,"4+� ,"-,� ,"-*+� 30"+� 2+"+� ,"/+/� &�� �������� ���� ����������� 5���������5�� -+×���,".+� ,"4*� ,"4,� *"*� /"*� ,"/-1� +,×���*",� ,"2.� ,"2+� -"/� *1"2� ,"/12� *,,×���*"2� ,"*/� ,"*/� ,� -/",� ,"/+4� 6�7 ���� �� �������� ���� ������'(�������� 8� 5���������5 "�λ),"2.+����� *,,×���,"4+� ,"*-2� ,"*-+� 3*".� 24"*� ,"/+/� *,,×���*"-+� ,"-**� ,"-,-� 1"+� -*".� ,"/.2� 6�7 ���� �� �������� ���� ������'(�������� 8� 5���������5 "�λ),"-1/����� *,,×���,"4,� ,",/1� ,",/+� 3*".� 2/"0� ,"/+/� -,,×���*"-,� ,",..� ,".1� -"*� 2/"/� ,"//.� ��N���� � ��,*�;���#�����������$���%������������"�!'(���<���� ���������'�.���/��! �9��� ���� ��'���8������:� �� 8������� 5��� � �������5� ����� �������� ���� � �������������� � ���� ������%���������� ��� ���� ���� ���� �β��� � ∆�*�"� ���� ∆�-�"� ���� ∆�2�"� ���� ∆�;�"� ���� ∆�;#�"� ���� R RA R 100% Z Z Z ∆ − ∆ × ∆ � 1 R 1 100% Z Z Z ∆ − ∆ × ∆ � &�� �����'(������� ���� ������)* "�λ),"++����� +×���,"*� -0"+,� -0"12� +1"1+� -0"1*� -0"0*� 3*"*� ,"2� *,×���,"-� ."//� ."/*� *2"-� ."/,� ."/*� 3,"*1� *",� -,×���,"1� *"0-� *".+� -"/4� *".+� *".2� *"-� 1"-� 1,×���,".+� ,".+� ,"+0� ,"0+-� ,"+0� ,"+0� ,� *-",� +,×���,"/� ,"12� ,"21� ,"2*� ,"21� ,"2+� 3-"4� -,",� .2×���,"/+� ,"2/� ,"-4� ,"-*� ,"-4� ,"2,� 32"+� -2"0� *,,×���,"4+� ,"2*� ,"-,� ,",+4� ,"-� ,"-*� 3+",� 21"1� &�� �������� ���� ����������� 5���������5"�λ),"++����� -+×���,".+� ,"44� ,"41� -"1+� ,"41� ,"4*� 2"-� 31"4� +,×���*",� ,"1-� ,"20� ,"0-� ,"20� ,"2.� -"0� 3*-"1� *,,×���*"2� ,"-+� ,"*4� ,"-,� ,"*4� ,"*4� ,� 3-1"-� 6�7 ���� �� ��������� ���� ������'(�������� 8� 5���������5 "�λ),"2.+����� *,,×���,"4+� ,"-,-� ,"*22� ,",24� ,"*22� ,"*1� 3+"/� 321"2� *,,×���*"-+� ,"-.4� ,"--4� ,"-2� ,"--4� ,"--*� 2"-� 3*+",� 6�7 ���� �� ��������� ���� ������'(�������� 8� 5���������5 "�λ),"-1/����� *,,×���,"4,� ,"*20� ,",4� ,",-0� ,",4� ,",4+� 3+"/� 321"1� -,,×���*"-,� ,"*,.� ,",0*� ,",22� ,",0*� ,",0-� 3*"0� 32-"4� ��N���� K ��,*�;���#�����������$���%������������"�!'(���<���� ���,"����#��$���*������ �� ���������#��$���*��� �������"���������!��-��! ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� � ���� ���� ���������������� �� �0G������ �� ����0O�� !p $ �N�" K� �+" E �02 ������� ���0� �� �G����� ��� �/�� �����HI������ .��/��0 $K+ I��G� ��H�� ���Q�� �G��� H �0G��2 ����� L �O�N�� ��I��� �� �� ����G�� ��L��p $ �N�" K� �+" W�� �/� ��� ����� �������� �� ���� � �� �/� �G����� .����������� ������// ��.������ �����G��� ���N��0 ��I�� �I�N��Q��/��� ���� ���2 � �� � ��� �/ �� �G����� �� ����.�� �� /��������2 ������ ���/0O������ � ������ �����HI��� H ������Q���0� .��/��0� �� ��0� ����� ��� ��2 ��G���� �0������G�� ����0� �I�N��Q����" ���#$� K" W�����Q�� /� �/� �G����� ������ �� ����2 ������ ��.���������� ��� ��� F�� ���N��0 ��I2 �� �I�N��Q��/��� ���� ���� �� �� ��� ��� / ��G�2 � �� �I�N��Q��� V��� � d���O�� " ��.�������2 �� ��� ��� F� ����G� 0��� � ����� �I ���2 ���H�� ����� �/0� /����/��H���� � ������������2 �G������ � �������� ��������� .��� � ��� ��.�2 ���������" �� ��Q������� ���� ��� ������Q��0 ����F���0� .��/��0� ����G���0� /� ���/ �����2 ��I���� �G�0� .��/�� �� ���G� � ��.���������� ��� ��� F�� SV-W" �" W�� �����HI������ �� �G����� ��� �/ /����2 ������ ��� �� ������ �� .� ��� ����.�� � G����2 ��� ���� ����� N��HO�� ��R!� �� �G���� �0G����2 �� ��.���������� ��� ��� F�� SV-W ���N����2 /� �����HI��� H ������Q���0� .��/��0" #�� ��2 I��� ����G� � H ����� �/�� �/�F���� ����H �� �G����� ���� �� ���� ����� ���� � G � ����G��2 �0� �I�N��Q��� N��� ������ ��� H �� ��G�� �� ��� ��� / V��� � d���O�� " W�� � �/ ��.�����2 ���� ��� ��� F� SV-W N��� �� K�L��p /��H2 O� ����G��0� ����G� ����� �� O����� ������� ��2 ������ .��/��� $K+" ���#1�����.- V�O���� ��� �/0 ��������� � ����2 G���� �G���� �0��Q��� �� ���G� � �������� �N����2 ��� ��� ��.����������" ( )( ) ( ) ( ) ( ) 2 22 ; tg ; Y Z R Z R Z Y Z R  + + − ∆ = − ∆  = + ⋅ α ( ) ( )( ) ( ) ( ) 222 22 2 ; tg . Y R Z Z R Z Y Z R  = − ∆ − + − ∆   = + ⋅ α W���G��/ ������ ��� ���������� ����/ �I ������ ��2 ����� �� � � ����/�� I��G���� 07 ( ) ( )( ) ( ) ( )22 2 2tg ;R Z Z R Z Z R− ∆ − + − ∆ = + ⋅ α ( ) ( ) ( )2 22 2R Z Z R Z Z R Z− ∆ − + − ∆ − − ∆ = ( ) ( ) ( )2 2 2 2 2tg 2 tg tg ;Z ZR R= ⋅ α + ⋅ α + ⋅ α ( ) ( ) ( )2 2 2 22 tg 2 tgZ R Z Z Z ZR− + − ∆ = ⋅ α + ⋅ α + ( )2 2tg ;R+ ⋅ α ( ) ( ) ( )2 2 2 2 2 2tg 2 tg tgZ ZR R Z⋅ α + ⋅ α + ⋅ α + − ( )2 0;R Z Z− − ∆ = ( )( ) ( )( ) ( )2 2 2 2 2tg 1 2 tg tg 0;Z R R Z Z Rα + + ⋅ α − +∆ + ⋅ α = ( )( ) ( )( )( ) ( )2 2 2 2 2tg 1 2 tg 1 tg 0;Z R Z Z Rα + + α − +∆ + ⋅ α = ( )( )( ) ( )( ) 2 2 2 tg 1 2 tg 1 R Z Z − α − + ∆ = ± α + ( )( )( ) ( )( ) ( ) ( )( ) 2 2 2 2 2 2 4 tg 1 4 tg 1 tg ; 2 tg 1 R Z Rα − + ∆ − α + ⋅ α ± α + ( )( )( ) ( ) 2 2 tg 1 tg 1 R Z Z − α − + ∆ = ± α + ( )( )( ) ( )( ) ( ) ( ) 2 2 2 2 2 2 tg 1 tg 1 tg . tg 1 R Z Rα − + ∆ − α + ⋅ α ± α + -I ���� ������ �0N����/ N��HO��� �� ��0� ��� �� 2 � ��� �G�� )� ���N���� N��I��� � ��� #, $���" K+7 ( )( )( ) ( ) 2 2 tg 1 tg 1 R Z Z − α − + ∆ = + α + ( )( )( ) ( )( ) ( ) ( ) 2 2 2 2 2 2 tg 1 tg 1 tg tg 1 R Z Rα − + ∆ − α + ⋅ α + = α + ∆0� /�/ K��! K�! K��! K ���! ��! ���! � ��� ��! ��R ��� ��� ��T �����23 ! � � � K V��" �" b�����/�� � ��.���������� ��� ��� F�� SV-W � ����G��0 G������� ���� ��0 ������ /�����NP�� ��� $1gK��+� ����G� ���0� �� ����� F�/ .��/���/7 8 L ∆0Kg∆0K$23+ $K+f 9 L ∆0�g∆0�$23+ $�+f : L ∆0�g∆0�$23+ $�+f = L 0log∆0lo$23+ $K!+f > L ∆0sog∆0so$23+ $K�+ ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �! ��������� � ���� ���� ���������������� ( ) ( )( )( )( 2 2 1 tg 1 tg 1 R Z= − α − + ∆ + α + ( )( )( ) ( )( ) ( ) 2 2 2 2 2tg 1 tg 1 tgR Z R + α − + ∆ − α + ⋅ α =  ( ) ( )( )( )(2 2cos tg 1R Z= α − α − + ∆ + ( )( )( ) ( ) ( ) 2 2 2 tg tg 1 . cos R Z R  α + α − + ∆ −    α    E�����HI��/� ����� F�� �I��� ��� .��/����7 ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) 2 2 2 2 2 2 2 sin sin cos 1 tg 1 1 . cos cos cos α α + α α + = + = = α α α W���G�/ �0��Q���� �� �G���� ���G� � �������� �N������� ��� ��.���������� ��� �0�������� ������ t9@$σ+≠�7 ( ) ( ) ( ) ( ) 0 1 cos , cos cos RZ Z W Z n n  ⋅ α−∆ ∆ α = = −α α ( ) ( )( )( )( ( ) 2 2cos tg 1 cos R Zα − α − + ∆ − + α ( )( )( ) ( ) ( ) ( ) 2 2 2 tg tg 1 cos cos R Z R  α α − + ∆ −    α   + =α    ( ) ( )( )( )(( 2cos tg 1n R R Z= − α − α − + ∆ + ( )( )( ) ( ) ( ) 2 2 2 tg tg 1 cos R Z R  α + α − + ∆ − =    α    ( )( ) ( )( 2tg cosn R R R Z= − ⋅ α − + ∆ α − ( )( ) ( ) ( )( )2 22 2tg cos tg .R R Z R − ⋅ α − + ∆ ⋅ α − α  ���#1�����3- E0��� .��/��0 �� ���G� � ���N��2 Q������ I��G��� ��.���������� ��� ��� F�� SV-W �� ��� ��� d���O�� � �����HI������/ �������� ������2 ��/���� �������� �N�������" U��G��� �0�����/ ���G� �������� I��G��� �������� �N�������7 ( ) ( ) ( ) A MA 0 A 0 , sin d sin d W Z W σ σ ∆ ∆ α ⋅ α ⋅ α = = α ⋅ α ∫ ∫ ( ) ( ) MA 0 sin d / 2 1 cos Wk n Z σ  ⋅ ∆ α ⋅ α ⋅ α π = = − σ ∫ ( ) ( ) 0 MA sin d 2 1 cos Wk n Z σ α ⋅ α ⋅ α  = ⋅∆ = π − σ  ∫ ( ) ( ) ( ) ( )MA MA sin cos2 2 . 1 cos W Wk k n Z n Z f σ −σ ⋅ σ   = ⋅ ∆ = ⋅∆ ⋅ σ   π − σ π    �� ����F��� �0���� N0�� ������� �N�I��G����7 ( ) ( ) ( ) ( ) sin cos const. 1 cos f σ −σ ⋅ σ σ = = − σ #N�� �/ ���/����� G � ��� �0G������� ����������2 �� �G������ I��G��� �������� �N������� /0 �����HI��/ �� ������� ��������/��� �� /���/�/� ������������2 �G������ � ������� � �������� �N�������� � �� ���N�2 F� $���" �+" e �/ �NP �� � � � �� � ��� � .��/���� ���..����� � 76� �� ��0� � �����/ ���G�� �G� ��� ���2 �0/ ������� $76≡K+7 ( )( ) ( ) ( ) 2 A MA A 0 MA 0 , sin d sin d W Z W W σ σ ∆ ∆ α − ⋅ α ⋅ α = = α ⋅ α ∫ ∫ ( ) ( ) ( ) 2 MA MA 0 sin d /2 / 2 1 cos W Wk k n Z n Z f σ     ⋅∆ α− ⋅∆ ⋅ σ ⋅ α ⋅ α    π π   = = − σ ∫ ( )( ) ( ) ( ) 2 0 MA sin d 2 1 cosW f k n Z σ α − σ ⋅ α ⋅ α  = ⋅∆ ⋅ = π − σ  ∫ MA 2 n Z  = ⋅∆ × π  ( ) ( ) ( ) ( ) ( )( ) ( ) 22 0 sin 2 sin sin d 1 cos f f σ α ⋅ α − α ⋅ σ ⋅ α + σ ⋅ α ⋅ α × = − σ ∫ MA 2 Wk n Z  = ⋅∆ × π  ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) 2 2 0 0 0 sin d 2 sin d sin d . 1 cos f f σ σ σ α ⋅ α ⋅ α − σ α ⋅ α ⋅ α + σ α ⋅ α × − σ ∫ ∫ ∫ -� �����0 � ����������/ �0��Q���� /��� N0 H �I 2 0 ����� �G���� JKK� �" !TM7 ( ) ( ) ( )2 2 0 sin d cos 2 sin σ α ⋅ α ⋅ α = −σ ⋅ σ + σ ⋅ σ +∫ ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �R ��������� � ���� ���� ���������������� ( )2cos 2;+ σ − ( ) ( ) ( ) ( ) ( )0 sin cos 2 sin d 2 1 cos f σ  σ − σ ⋅ σ σ α ⋅ α ⋅ α = ×  − σ  ∫ ( ) ( )( ) ( ) ( )( ) ( ) 2 sin cos sin cos 2 ; 1 cos σ −σ ⋅ σ × σ − σ ⋅ σ = − σ ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) 2 2 0 sin cos sin d 1 cos f σ  σ −σ ⋅ σ σ α ⋅ α = ×  − σ  ∫ ( )( ) ( ) ( )( ) ( ) 2 sin cos 1 cos . 1 cos σ −σ ⋅ σ × − σ = − σ b���O�/ .��/��� �� ���G� � ������������ �G������ I��G��� �������� �N������� � ����� �G����/ ����7 MA MA 2 WW k n Z  = ⋅∆ × π  ( )( ) ( )2 0 1 sin d 1 cos σ × ⋅ α ⋅ α ⋅ α − − σ ∫ ( ) ( ) ( ) ( ) 0,5 2 0 0 2 sin d sin df f σ σ  − σ α ⋅ α ⋅ α + σ ⋅ α ⋅ α =  ∫ ∫ MA 2 n Z  = ⋅∆ × π  ( ) ( ) ( )( ) ( ) 2 cos 2 sin 2 cos 2 1 cos  −σ ⋅ σ + σ ⋅ σ + ⋅ σ − × − − σ ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) 0,52 2 sin cos sin cos 2 1 cos 1 cos    σ − σ ⋅ σ σ − σ ⋅ σ − + =      − σ − σ      MA 2 Wk n Z  = ⋅∆ × π  ( ) ( ) ( )( ) ( ) 2 cos 2 sin 2 cos 2 1 cos  −σ ⋅ σ + σ ⋅ σ + ⋅ σ − × − − σ ( ) ( ) ( ) 0,52 M sin cos . 1 cos k  σ − σ ⋅ σ − = λ  − σ    -I ������������ �0O� ������ �� /�Q� N0 H ����G�2 �� .��/��� �� ���N��Q������ ���G� � ����G��0 ��.���2 ������� ��� ��� F�� SV-W �� ��� ��� d���O�� 7 MAZ∆ = ( ) ( ) ( )( ) ( ) 2 M cos 2 sin 2cos 2 2 1 cosW k nk  −σ ⋅ σ + σ ⋅ σ + σ −λ = × −   − σ π  ( ) ( ) ( ) 0,52 sin cos 1 cos −  σ − σ ⋅ σ − =  − σ    ( ) ( ) ( )( ) ( ) ( ) ( ) ( ) 2 M 0,52 cos 2 sin 2cos 2 2 1 cos sin cos 1 cos W k nk −  −σ ⋅ σ + σ ⋅ σ + σ −π λ = − − σ  σ − σ ⋅ σ − =  − σ    ( ) ( ) ( )( )2 M 2 0,52 2 2 2 cos 2 sin 2 2 1 1 arcsin 1 1 1 W k nk NA n NA NA NA n n n NA n −   − σ ⋅ σ + σ ⋅ σ −π λ = −   − −           − −        − =    − −        M 2 W k k n  π λ= ×    2 2 2 2 arcsin 1 2arcsin 2 1 1 NA NA NA NA n n n n NA n         − − + −               × −   − −    0.52 2 2 arcsin 1 . 1 1 NA NA NA n n n NA n −       − −        −     − −        �� ��� G �N0 I����� H ����G� ��H��� �0��Q����� ����������� �0O�� ���� ���0� ���� � ��� ������/� ��2 G����� .������ �0��Q��0 G���I G������ ���� ��� � ��2 ��I� ��H �����/���� 7 arcsin ; NA n  σ =    ( )sin ; NA n σ = ( ) 2 cos 1 . NA n  σ = −    -UW#[ub#E)\\YX -U�#Z\-&- K" vw5t4 xwwy2z{ |wt}i969C;" ~5C}2<w@96D?59i 534C5iC � :w�wt? <w85w�"L �w?�64<7 vw5t42s5t<9@;@?w3@ �w?�64< �3>~� ���K" �" o�59 �34Cw<" s5t<9@t9y; �<93 �4<6 �w5@@" �<9:Dt? :w@t<5y2 ?59i"L �9??5iCwi7 �4<6 �w5@@ s5t<9�34C5iC �3>~� ���R" �" �ii984?58w �<9:Dt?@ 4i: �96D?59i@7 s5t<9@t9yw@" �4?469CDw 9� vw5t42s5t<9@;@?w3@ y<9:Dt?@"L �w?�64<7 vw5t42s5t<9@;@?w3@� ���!" �" j6;3yD@ <w@w4<t} @;@?w3 35t<9@t9yw o���2s4t<9" �<9:Dt? :w@t<5y?59i"L |9A;97 j6;3yD@ jy?5t46 �9" v?:� ����" !" �5A9i �i:D@?<546 s5t<9@t9yw@ 1t65y@w vK!�� vK!�o� s1R��v" �<9:Dt? :w@t<5y?59i"L |9A;97 �5A9i �9� ����" ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� � ���� ���� ���������������� R" d����H &" #����0 ����� /���������"L d"7 d�O���� ��2 ����� KT!!" �" U������� S" X"� W���� E" )"� W�� ��� \" -"� ]���� [" )" d��������0"L ["7 d�O���� ������� KTR�" �" W���� E" )"� )������ [" \" #� ��� /����������" V��G� � ����� ��������"L ["7 d�O���� ������� KT�R" T" '������ '" \"� b���I��� \" W" ����� �� �G����� ��� �/"L d"7 d�O���� ������� KT��" K�" '����� -"� S��HN�� &"� d���� S" W��� �G���� /����.�2 ����.� "L d"7 d��� KT��" KK" '��� d"� E��H. e" #����0 �� ���"L d"7 \����� KT��" K�" '��������� E" \" E0N�� ��.����� ��/��0 �� �� �G�2 ����� /��������� mm ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ��� $�&e)+"L ����"L � K"L U" �KL�R" K�" '��������� E" \" #� �/�I��� ��.������ .��H �� �� ��������� .���������� �I�N��Q���� � ��.����� �� �G����� /���������� mm ��/ Q�"L ���!"L � �"L U" ��L��" K�" �9iC �" |"� �4Cw<@ l"� 84i {65w? v" �" w? 46" xwy?}29�2�9tD@ 5i 35t<9@t9y; mm �<9t" �� ?}w � �t4i:5i4854i �9i�w<witw 9i �34Cw oi46;@5@"L |<93@9� �9<�4;"LKTT�"L �" �T�L�T�" K!" �96:@35?} �" |" xwwy �9tD@7 4 :5C5?46 534Cw y<9tw@@5iC ?wt}i5�Dw@ ?9 y<9:Dtw 53y<98w: �9t46 :wy?} 5i 65C}? 35t<9@t9y; mm �34Cw oi46;@5@ 4i: �?w<w969C;"L ����"L � KT"L �" KR�LKR�" KR" %0���� )" S"� %0���� S" S" d� �/� �G����� .��/��0" )���N��" S��/� �� " d� �/� �G����� �����I7 U�����G���"L d"7 \����� KT�!" ����������� � � � � � �� � � � � � ���������� ���� ����������� ������� ������������������� ����� ���������������������� ��� ������������������!����"���# �$��%�%�������&'�(����)�%�(���*�+� ��(,�-��� ��"��-���� ����# �������.���/�0���'��������1���������2334��1�546�%� ��������� ��� �� ������ ����������� ������������� ���������������� ������� ���� ���� ������������ ���������������� ��� �������������������������� ���� ���� ��������������������� ��������������� ��� ������������� ��������������� ���� ����� ������ ������������������ ���������������� ������������������ �� �� �����������!"��� ������� �������� ������� ���������� ��������� ������ ������������#������������ ������������� ����� ������������������� ���� �� � ��������������������������� ������������� $ ������ ���� % ������� ������������ ���!"�������������� $ �����&' #������� ��� ������� ���$��� ������ ������ ��������(�� ������� �� ������� ������ ���!"������� ����� � ���� &)� ������ ������(� �� &�������� ���(�� �� ������ ������ � �% # � � ' �� �� � �$ � ( ) � � �� �% # � � ' �� �� � �$ � ( ) � � � � � � ���������� ��� ���� ����� ��� ����� ����� ��� �� ������� ������������� !���� ������ ����� " �� �"#�� " ������ ����� ! ���� � �������� ������ ����� ������ � �������! $���� �� %&'(� ����� ��� �� )�� � �� �������� *�!���� � �� ��� ���� " � ����� � ���� �� �� ��� �! ! +���� +������� ���� ����� ��� �� , ��� - ���� � � ! ��. ��� �" ��� ������� " ���.�����. ��� ���� � ���/ �� 0 ���� ������ ����� ������ ����� �� 1�2����� 3���� ������ � �������������� ������ �"#�� � 4413�56� ����� ��� �� 7�����.�� -�� ��� !��� ��� ��+ ������ � 89:; 6 <9 = ������� ������ �� ��� ������� ����� ��� �� 7�����.�� >���� ��! ����. ��! ����+����� +���� ������� � ������� ������ -�7� �!�� ���"� �� ������ ?�3� ����� ��� �� )�� � �� �������� ��%#��'������$�()������%#��'������$�()������%#��'������$�()������%#��'������$�()�� ��%#��'������$�()��� ���%#��'������$�()�����%#��'������$�()��� ���%#��'������$�()�� � � � � �% # � � ' �� �� � �$ � ( ) � � �� �% # � � ' �� �� � �$ � ( ) � �
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52832
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 2225-5818
language Russian
last_indexed 2025-12-07T18:59:49Z
publishDate 2007
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
record_format dspace
spelling Боровицкий, В.Н.
2014-01-07T23:20:56Z
2014-01-07T23:20:56Z
2007
Вычисление дифракционной составляющей глубины резко изображаемого пространства в оптическом микроскопе / В.Н. Боровицкий // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 4. — С. 38-47. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52832
Предложен математический аппарат для вычисления дифракционной составляющей глубины резко изображаемого пространства в оптическом микроскопе по критериям Рэлея и Марешаля.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Технологические процессы и оборудование
Вычисление дифракционной составляющей глубины резко изображаемого пространства в оптическом микроскопе
Вичислювання дифракційної складової глибини різко зображувального простору у оптичному мікроскопі
Calculation of the diffraction part of focus depth in a light microscope
Article
published earlier
spellingShingle Вычисление дифракционной составляющей глубины резко изображаемого пространства в оптическом микроскопе
Боровицкий, В.Н.
Технологические процессы и оборудование
title Вычисление дифракционной составляющей глубины резко изображаемого пространства в оптическом микроскопе
title_alt Вичислювання дифракційної складової глибини різко зображувального простору у оптичному мікроскопі
Calculation of the diffraction part of focus depth in a light microscope
title_full Вычисление дифракционной составляющей глубины резко изображаемого пространства в оптическом микроскопе
title_fullStr Вычисление дифракционной составляющей глубины резко изображаемого пространства в оптическом микроскопе
title_full_unstemmed Вычисление дифракционной составляющей глубины резко изображаемого пространства в оптическом микроскопе
title_short Вычисление дифракционной составляющей глубины резко изображаемого пространства в оптическом микроскопе
title_sort вычисление дифракционной составляющей глубины резко изображаемого пространства в оптическом микроскопе
topic Технологические процессы и оборудование
topic_facet Технологические процессы и оборудование
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52832
work_keys_str_mv AT borovickiivn vyčisleniedifrakcionnoisostavlâûŝeiglubinyrezkoizobražaemogoprostranstvavoptičeskommikroskope
AT borovickiivn vičislûvannâdifrakcíinoískladovoíglibinirízkozobražuvalʹnogoprostoruuoptičnomumíkroskopí
AT borovickiivn calculationofthediffractionpartoffocusdepthinalightmicroscope