Электронные приборы на основе полуизоляторов

Рассмотрены физические явления в полуизоляторах и приборы на их основе. Проведен анализ работ в этой области за последние сорок лет.

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Дата:2007
Автор: Стафеев, В.И.
Формат: Стаття
Мова:Російська
Опубліковано: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2007
Теми:
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52867
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Электронные приборы на основе полуизоляторов / В.И. Стафеев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 5. — С. 3-13. — Бібліогр.: 80 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1859649106240077824
author Стафеев, В.И.
author_facet Стафеев, В.И.
citation_txt Электронные приборы на основе полуизоляторов / В.И. Стафеев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 5. — С. 3-13. — Бібліогр.: 80 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Рассмотрены физические явления в полуизоляторах и приборы на их основе. Проведен анализ работ в этой области за последние сорок лет.
first_indexed 2025-12-07T13:32:03Z
format Article
fulltext Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2007, ¹ 5 3 ÝËÅÊÒÐÎÍÍÛÅ ÑÐÅÄÑÒÂÀ: ÈÑÑËÅÄÎÂÀÍÈß, ÐÀÇÐÀÁÎÒÊÈ Äàòà ïîñòóïëåíèÿ â ðåäàêöèþ 07.05 2007 ã. Ä. ô.-ì. í. Â. È. ÑÒÀÔÅÅ Ðîññèÿ, ã. Ìîñêâà, Íàó÷íî-ïðîèçâîäñòâåííîå îáúåäèíåíèå «Îðèîí» E-mail: root@orion.extech.ru Ðàññìîòðåíû ôèçè÷åñêèå ÿâëåíèÿ â ïîëó- èçîëÿòîðàõ è ïðèáîðû íà èõ îñíîâå. Ïðî- âåäåí àíàëèç ðàáîò â ýòîé îáëàñòè çà ïî- ñëåäíèå ñîðîê ëåò. Ñîâðåìåííûå ìàòåðèàëû ýëåêòðîííîé òåõíèêè ìîæíî óñëîâíî ðàçäåëèòü íà ïÿòü ãðóïï: � ñâåðõïðîâîäíèêè � ìàòåðèàëû ñ íóëåâûì ýëåêòðè÷åñêèì ñîïðîòèâëåíèåì â êðèîãåííîé îáëà- ñòè òåìïåðàòóð.  íàñòîÿùåå âðåìÿ îíè åùå íå ïî- ëó÷èëè áîëüøîãî ïðèìåíåíèÿ â ýëåêòðîíèêå, õîòÿ íà èõ îñíîâå óæå ñîçäàí ðÿä èíòåðåñíûõ ïðèáîðîâ; � ïðîâîäíèêè � ìàòåðèàëû ñ âûñîêîé ýëåêòðî- ïðîâîäíîñòüþ (íî îòëè÷íîé îò íóëåâîãî ýëåêòðîñî- ïðîòèâëåíèÿ) â ðàáî÷åé îáëàñòè òåìïåðàòóð. Çàâèñè- ìîñòü ýëåêòðîïðîâîäíîñòè îò òåìïåðàòóðû â ýòèõ ìà- òåðèàëàõ èñïîëüçóåòñÿ äëÿ ñîçäàíèÿ èçìåðèòåëåé òåìïåðàòóðû è â ðÿäå äðóãèõ ýëåêòðîííûõ ïðèáî- ðîâ. Îäíàêî îñíîâíîå èõ ïðèìåíåíèå � ñîçäàíèå ëèíèé ñâÿçè è ïåðåäà÷è ýíåðãèè, îðãàíèçàöèÿ òîêî- ïðîâîäÿùèõ ñîåäèíåíèé ìåæäó àêòèâíûìè ýëåìåí- òàìè â ýëåêòðîííûõ ñõåìàõ; � ïîëóïðîâîäíèêè � ïðîâîäíèêè ñ ñóùåñòâåí- íî ìåíüøåé ýëåêòðîïðîâîäíîñòüþ, îòëè÷àþùèåñÿ òåì, ÷òî â íèõ äâà òèïà íîñèòåëåé ýëåêòðè÷åñêîãî çàðÿäà, ïðè÷åì èõ êîíöåíòðàöèÿ ìîæåò èçìåíÿòüñÿ â øèðîêèõ ïðåäåëàõ ïîä âîçäåéñòâèåì âíåøíèõ ôàê- òîðîâ (îáëó÷åíèå, ýëåêòðè÷åñêèé òîê è äðóãèå). Íà èõ áàçå ñîçäàíû îñíîâíûå ïðèáîðû ñîâðåìåííîé ìèêðî- è íàíîýëåêòðîíèêè; � èçîëÿòîðû � ìàòåðèàëû ñ î÷åíü âûñîêèì óäåëüíûì ýëåêòðè÷åñêèì ñîïðîòèâëåíèåì. Îñíîâíàÿ ñôåðà èõ ïðèìåíåíèÿ â ýëåêòðîíèêå � ñîçäàíèå èçî- ëèðóþùèõ, çàùèòíûõ è äèýëåêòðè÷åñêèõ ñëîåâ â ýëåêòðîííûõ ñõåìàõ. Ðàçðàáîòàííûå íà èçîëÿòîðàõ àêòèâíûå ýëåêòðîííûå ýëåìåíòû åùå íå ïîëó÷èëè øèðîêîãî ïðèìåíåíèÿ; � ïîëóèçîëÿòîðû � ìàòåðèàëû ñî ñðåäíåé ìåæ- äó ïîëóïðîâîäíèêàìè è èçîëÿòîðàìè ýëåêòðîïðîâîä- íîñòüþ.  íèõ, êàê è â ïîëóïðîâîäíèêàõ, êîíöåí- òðàöèÿ íîñèòåëåé çàðÿäà ìîæåò èçìåíÿòüñÿ â øèðî- êèõ ïðåäåëàõ ïîä âîçäåéñòâèåì âíåøíèõ ôàêòîðîâ, ïðè÷åì êîíöåíòðàöèÿ íåðàâíîâåñíûõ íåîñíîâíûõ íîñèòåëåé ìîæåò ñóùåñòâåííî ïðåâûñèòü êîíöåí- òðàöèþ ðàâíîâåñíûõ îñíîâíûõ. Ê ýòîìó êëàññó ìà- òåðèàëîâ îòíîñÿòñÿ âûñîêî÷èñòûå ïîëóïðîâîäíèêè ñ áîëüøîé øèðèíîé çàïðåùåííîé çîíû. Äðóãèå òèïû ÝËÅÊÒÐÎÍÍÛÅ ÏÐÈÁÎÐÛ ÍÀ ÎÑÍÎÂÅ ÏÎËÓÈÇÎËßÒÎÐΠïîëóïðîâîäíèêîâ òàêæå ìîãóò ïåðåéòè â ðàçðÿä ïî- ëóèçîëÿòîðîâ ïðè ïîíèæåííûõ òåìïåðàòóðàõ. Èññëåäîâàíèÿ ïîëóèçîëÿòîðîâ è ñòðóêòóð íà èõ îñíîâå ïðèâåëè ê îòêðûòèþ ðÿäà íîâûõ ôèçè÷åñêèõ ÿâëåíèé. Íà èõ îñíîâå ñîçäàí ðÿä ïðèíöèïèàëüíî íîâûõ ýëåêòðîííûõ ïðèáîðîâ [1�8 è äð.]. Íèæå îïèñàíû ýëåêòðîííûå ïðèáîðû, ñîçäàííûå íà îñíîâå ïîëóèçîëÿòîðîâ. Ôîòîïðèåìíèêè äëÿ äàëüíåé èíôðàêðàñíîé îáëàñòè ñïåêòðà Äëÿ ñîçäàíèÿ ôîòîïðèåìíèêîâ äàëüíåãî ÈÊ-äè- àïàçîíà ñïåêòðà èñïîëüçóþòñÿ âûñîêîîìíûå ïîëó- ïðîâîäíèêè � ïîëóèçîëÿòîðû, ëåãèðîâàííûå ïðè- ìåñÿìè ñ �ìåëêèìè� óðîâíÿìè â çàïðåùåííîé çîíå. Íàèáîëåå øèðîêî èñïîëüçóþòñÿ ãåðìàíèé è êðåì- íèé.  òàáëèöå ïðèâåäåíû çíà÷åíèÿ ýíåðãèè àêòè- âàöèè ðÿäà îñíîâíûõ ïðèìåñåé è ñîîòâåòñòâóþùèå ãðàíè÷íûå äëèíû âîëí ôîòî÷óâñòâèòåëüíîñòè. Îïòèìàëüíàÿ ðàáî÷àÿ òåìïåðàòóðà ïðèìåñíûõ ôîòîïðèåìíèêîâ Ò≈400/λ K (λ � äëèíà âîëíû â ìêì) ïðèìåðíî â äâà ðàçà íèæå, ÷åì ó ôîòîïðèåìíèêîâ ñ ôîòî÷óâñòâèòåëüíîñòüþ â îáëàñòè ñîáñòâåííîãî ïî- ãëîùåíèÿ. Áîëåå íèçêàÿ ðàáî÷àÿ òåìïåðàòóðà ñóùå- ñòâåííî ñîêðàùàåò îáëàñòü èõ ïðèìåíåíèÿ, ò. ê. ïðè- âîäèò ê çíà÷èòåëüíîìó ïîâûøåíèþ ìàññû, ãàáàðè- òîâ è ýíåðãîïîòðåáëåíèÿ ôîòîïðèåìíûõ óñòðîéñòâ. Îñíîâíîé ìàòåðèàë Ïðèìåñü Ýíåðãèÿ èîíèçàöèè, ý Äëèíà âîëíû λ, ìêì Au 0,15 8,3 Hg 0,09 14 Cd 0,06 21 Cu 0,041 30 Zn 0,033 38 Ge B 0,0104 120 In 0,155 8 Ga 0,072 17 Bi 0,07 18 As 0,054 23 P 0,045 28 B 0,044 28 Sb 0,043 29 Al 0,068 18 Si Au 0,15 8,3 Ýíåðãèÿ àêòèâàöèè ïðèìåñåé è ñîîòâåòñòâóþùèå îáëàñòè ôîòî÷óâñòâèòåëüíîñòè ãåðìàíèÿ è êðåìíèÿ Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2007, ¹ 5 4 ÝËÅÊÒÐÎÍÍÛÅ ÑÐÅÄÑÒÂÀ: ÈÑÑËÅÄÎÂÀÍÈß, ÐÀÇÐÀÁÎÒÊÈ Â íàñòîÿùåå âðåìÿ íàèáîëåå ïåðñïåêòèâíîé îá- ëàñòüþ ïðèìåíåíèÿ ôîòîðåçèñòîðîâ íà îñíîâå ëå- ãèðîâàííûõ ïîëóïðîâîäíèêîâ ñ÷èòàåòñÿ îáíàðóæå- íèå ñëàáîíàãðåòûõ îáúåêòîâ íà óðîâíå íèçêèõ ôî- íîâûõ çàñâåòîê. Íàèáîëüøèé èíòåðåñ îíè ïðåäñòàâ- ëÿþò äëÿ ñèñòåì òåïëîâèäåíèÿ êîñìè÷åñêèõ îáúåê- òîâ íà ôîíå êîñìîñà, â ÷àñòíîñòè â ïðîãðàììàõ òèïà �çâåçäíûõ âîéí�. Îáúåêòû â êîñìîñå èìåþò íèçêóþ òåìïåðàòóðó. Ìàêñèìóì èõ òåïëîâîãî èçëó÷åíèÿ ðàñ- ïîëîæåí â îáëàñòè 20�30 ìêì. Äëÿ ñîçäàíèÿ ôîòî- ðåçèñòîðîâ äëÿ òàêèõ ïðèìåíåíèé èñïîëüçóþòñÿ ïî- ëóïðîâîäíèêè, ëåãèðîâàííûå ïðèìåñÿìè ñ ìåëêèìè óðîâíÿìè. Ðàáî÷èå òåìïåðàòóðû òàêèõ ôîòîïðèåì- íèêîâ â ïðåäåëàõ 10�20 Ê. Äëÿ êîñìè÷åñêèõ ãîëîâîê ñàìîíàâåäåíèÿ â íà÷à- ëå 1970-õ ãîäîâ â ÍÈÈ ïðèêëàäíîé ôèçèêè áûëè ñî- çäàíû ìíîãîýëåìåíòíûå ôîòîðåçèñòîðû íà îñíîâå ëåãèðîâàííîãî áîðîì êðåìíèÿ [9] (ñïåêòðàëüíûé äè- àïàçîí ôîòî÷óâñòâèòåëüíîñòè äî 28 ìêì, ðàáî÷àÿ òåìïåðàòóðà 14 Ê). Ïîçäíåå äëÿ ýòèõ öåëåé áûëè ñî- çäàíû ôîòîðåçèñòîðû íà îñíîâå ëåãèðîâàííîãî Ga êðåìíèÿ. Âàæíóþ ðîëü â ðàçâèòèè èíôðàêðàñíîé òåõíèêè ñûãðàëè ôîòîðåçèñòîðû íà îñíîâå ãåðìàíèÿ, ëåãè- ðîâàííîãî ðòóòüþ. Ðàáî÷àÿ òåìïåðàòóðà ôîòîïðèåì- íèêîâ íà ýòîì ìàòåðèàëå îêîëî 55 Ê. Â ÑØÀ â íà÷à- ëå 1960-õ ãîäîâ ñ èñïîëüçîâàíèåì òàêèõ ôîòîïðè- åìíèêîâ áûëè ñîçäàíû òåïëîâèçîðû, ïðèìåíåííûå â âîåííûõ äåéñòâèÿõ âî Âüåòíàìå. Ïîëó÷åííûé òàì îïûò èñïîëüçîâàíèÿ òåïëîâèçîðîâ ñûãðàë áîëüøóþ ðîëü â ðàçâèòèè ñèñòåì òåïëîâèäåíèÿ âî ìíîãèõ ñòðàíàõ ìèðà. Äëÿ íàó÷íûõ èññëåäîâàíèé èñïîëüçóåòñÿ ãåðìà- íèé, ëåãèðîâàííûé ìåëêèìè ïðèìåñÿìè (íàïðèìåð áîðîì), ñ ãðàíèöåé ôîòî÷óâñòâèòåëüíîñòè äî 100 ìêì ïðè îõëàæäåíèè äî òåìïåðàòóðû æèäêîãî ãåëèÿ. Èíæåêöèîííûå ôîòîäèîäû Âïåðâûå âûñîêàÿ ôîòî÷óâñòâèòåëüíîñòü ôîòîäè- îäîâ íà ïîëóèçîëÿòîðàõ áûëà îáíàðóæåíà ïðè èññëå- äîâàíèè äèîäîâ íà îñíîâå ãåðìàíèÿ ñ ïðèìåñüþ çî- ëîòà [10]. Òåîðèÿ âîëüò-àìïåðíûõ õàðàêòåðèñòèê â äèîäíûõ ñòðóêòóðàõ íà îñíîâå âûñîêîîìíûõ ïîëó- ïðîâîäíèêîâ ïîëó÷èëà ðàçâèòèå â 1958 ã. [3]. Ïîä- ðîáíûå èññëåäîâàíèÿ ôèçè÷åñêèõ ïðîöåññîâ â òàê íàçûâàåìûõ �äëèííûõ� äèîäàõ íà îñíîâå âûñîêî- îìíûõ ïîëóïðîâîäíèêîâ � ïîëóèçîëÿòîðîâ ïîçâî- ëèëè ïðåäëîæèòü íîâûå êëàññû ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïðèáîðîâ, â òîì ÷èñëå ôîòîïðèåìíèêîâ ñ áîëüøèì âíóòðåííèì óñèëåíèåì ôîòîñèãíàëîâ, ïîçäíåå íà- çâàííûõ èíæåêöèîííûìè ôîòîäèîäàìè (ÈÔÄ). Èí- æåêöèîííûå ôîòîäèîäû îáëàäàþò âûñîêîé ôîòî÷óâ- ñòâèòåëüíîñòüþ â øèðîêîé îáëàñòè ñïåêòðà � îò èíôðàêðàñíîãî âïëîòü äî äàëåêîãî èíôðàêðàñíîãî è ñóáìèëëèìåòðîâîãî äèàïàçîíîâ. Ôèçè÷åñêèå îñíîâû.  èíæåêöèîííûõ ôîòîäèî- äàõ n�ð-ïåðåõîä èëè äðóãîé ïîòåíöèàëüíûé áàðüåð (íàïðèìåð áàðüåð Øîòòêè) èçãîòàâëèâàåòñÿ â âûñî- êîîìíîì ïîëóïðîâîäíèêå ñ áîëüøîé äëèíîé äèôôó- çèîííîãî ñìåùåíèÿ. Òîëùèíà áàçîâîé îáëàñòè (ðàñ- ñòîÿíèå îò n�ð-ïåðåõîäà äî âòîðîãî êîíòàêòà) â íå- ñêîëüêî ðàç áîëüøå äëèíû äèôôóçèîííîãî ñìåùåíèÿ íåîñíîâíûõ íîñèòåëåé � �äëèííûå� äèîäû [3�6]. Èíæåêöèîííûå ôîòîäèîäû, â îòëè÷èå îò îáû÷- íûõ, ðàáîòàþò ïðè ïîäà÷å íà áàðüåð ñìåùåíèÿ â ïðîïóñêíîì íàïðàâëåíèè. Îñíîâíàÿ ÷àñòü ïðèëîæåí- íîãî âíåøíåãî íàïðÿæåíèÿ ïàäàåò íà âûñîêîîìíîé áàçîâîé îáëàñòè. Ïðè ïðîòåêàíèè ïðÿìîãî òîêà n�p- ïåðåõîä èíæåêòèðóåò â áàçîâóþ îáëàñòü íåîñíîâíûå íîñèòåëè, äëÿ êîìïåíñàöèè îáúåìíîãî çàðÿäà êîòî- ðûõ èç âòîðîãî êîíòàêòà â áàçîâóþ îáëàñòü âòåêàåò ðàâíîå êîëè÷åñòâî îñíîâíûõ íîñèòåëåé. Ïðè âûñî- êèõ óðîâíÿõ èíæåêöèè êîíöåíòðàöèÿ íåðàâíîâåñíûõ íîñèòåëåé çíà÷èòåëüíî ïðåâûøàåò êîíöåíòðàöèþ ðàâíîâåñíûõ, è îíè îïðåäåëÿþò ïðîâîäèìîñòü áà- çîâîé îáëàñòè. Îñâåùåíèå ðîæäàåò äîïîëíèòåëüíûå íîñèòåëè è, ñëåäîâàòåëüíî, ñíèæàåò ñîïðîòèâëåíèå áàçû, ÷òî ïðèâîäèò ê ïåðåðàñïðåäåëåíèþ ïðèëîæåííîãî âíåø- íåãî ñìåùåíèÿ. Íàïðÿæåíèå íà n�ð-ïåðåõîäå âîçðà- ñòàåò, ÷òî óñèëèâàåò èíæåêöèþ íîñèòåëåé â áàçó è äîïîëíèòåëüíî ñíèæàåò åå ñîïðîòèâëåíèå. Ïîñëåä- íåå âûçûâàåò ïîâûøåíèå íàïðÿæåíèÿ íà n�ð-ïåðå- õîäå ñ ñîîòâåòñòâóþùèì ðîñòîì èíæåêöèîííîãî òîêà è ò. ä. Ýòà ïîëîæèòåëüíàÿ îáðàòíàÿ ñâÿçü è îáåñïå÷è- âàåò èíæåêöèîííîå óñèëåíèå ïåðâè÷íîãî ôîòîòîêà. Îäíàêî îñâåùåíèå íå òîëüêî ïîâûøàåò êîíöåí- òðàöèþ íîñèòåëåé, íî è âëèÿåò íà ïàðàìåòðû, îïðå- äåëÿþùèå èõ ðàñïðåäåëåíèå â áàçîâîé îáëàñòè (âðå- ìÿ æèçíè, áèïîëÿðíàÿ ïîäâèæíîñòü è äð.). Ýòî îáåñ- ïå÷èâàåò äîïîëíèòåëüíîå �ïàðàìåòðè÷åñêîå� óñè- ëåíèå ôîòîòîêà [11�14]. Òàêèì îáðàçîì, â èíæåê- öèîííûõ ôîòîäèîäàõ ñóùåñòâóåò äâà ìåõàíèçìà óñè- ëåíèÿ ôîòîýëåêòðè÷åñêèõ ñèãíàëîâ.  ñóáìèëëèìåòðîâîé îáëàñòè ñïåêòðà ôîòî÷óâ- ñòâèòåëüíîñòü îïðåäåëÿåòñÿ ïîãëîùåíèåì èçëó÷åíèÿ ñâîáîäíûìè íîñèòåëÿìè. Ïîãëîùåííîå íîñèòåëÿìè èçëó÷åíèå ïîâûøàåò èõ ýíåðãèþ è èçìåíÿåò ïîäâèæ- íîñòü. Ïîäâèæíîñòü îïðåäåëÿåò ðàñïðåäåëåíèå íå- ðàâíîâåñíûõ íîñèòåëåé â áàçîâîé îáëàñòè ÈÔÄ è, ñëåäîâàòåëüíî, åå ïðîâîäèìîñòü ñî âñåìè âûòåêàþ- ùèìè ïîñëåäñòâèÿìè. Ïîãëîùåíèå ïðîïîðöèîíàëü- íî êîíöåíòðàöèè ñâîáîäíûõ íîñèòåëåé, è ôîòî÷óâ- ñòâèòåëüíîñòü ÈÔÄ âîçðàñòàåò ñ ðîñòîì èíæåêöè- îííîãî òîêà. Êîýôôèöèåíò ïîãëîùåíèÿ óâåëè÷èâà- åòñÿ ñ ðîñòîì äëèíû âîëíû ïîãëîùàåìîãî èçëó÷å- íèÿ, ïîýòîìó ôîòî÷óâñòâèòåëüíîñòü íà ýòîì ýôôåê- òå ïðîñòèðàåòñÿ äî ñóáìèëëèìåòðîâîãî äèàïàçîíà ñïåêòðà [15, 16]. Èíæåêöèîííûå ôîòîäèîäû ìîãóò áûòü ñîçäàíû è â ñòðóêòóðàõ áåç ïîòåíöèàëüíûõ áàðüåðîâ â óñëî- âèÿõ ðàâíîâåñèÿ, íàïðèìåð â ñòðóêòóðàõ, â êîòîðûõ èìååòñÿ ñêà÷îê êîíöåíòðàöèè ëîâóøå÷íûõ öåíòðîâ, ñêà÷îê âðåìåíè æèçíè èëè äðóãèõ õàðàêòåðèñòèê íåðàâíîâåñíûõ íîñèòåëåé [17]. Ïðè îñâåùåíèè íà òàêîé ãðàíèöå âîçíèêàåò ñêà÷îê êîíöåíòðàöèè íåðàâ- íîâåñíûõ íîñèòåëåé è ñîîòâåòñòâóþùèé ïîòåíöèàëü- íûé áàðüåð, ñïîñîáíûé ïðè ïîäà÷å ýëåêòðè÷åñêîãî ñìåùåíèÿ èíæåêòèðîâàòü íîñèòåëè â ïðèìûêàþùèå ê íåé îáëàñòè ïîëóïðîâîäíèêîâîé ñòðóêòóðû. Ýòî ïðèâîäèò ê ýôôåêòó èíæåêöèîííîãî óñèëåíèÿ ôîòî- òîêà. Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2007, ¹ 5 5 ÝËÅÊÒÐÎÍÍÛÅ ÑÐÅÄÑÒÂÀ: ÈÑÑËÅÄÎÂÀÍÈß, ÐÀÇÐÀÁÎÒÊÈ Èíæåêöèîííûé ìåõàíèçì óñèëåíèÿ îáåñïå÷èâà- åò ïðèìåðíî îäèíàêîâîå óñèëåíèå êàê ôîòîñèãíàëîâ, òàê è øóìîâ [18]. Ïîýòîìó îáíàðóæèòåëüíàÿ ñïîñîá- íîñòü èíæåêöèîííûõ ôîòîäèîäîâ íå õóæå, ÷åì ó ôî- òîðåçèñòîðîâ èç òîãî æå ìàòåðèàëà â òåõ æå óñëîâè- ÿõ (îáëàñòü ñïåêòðà, òåìïåðàòóðà è äð.) � �ýêâèâà- ëåíòíûõ� ôîòîðåçèñòîðîâ.  èíæåêöèîííûõ ôîòîäèîäàõ ñ �îìè÷åñêèì� êîí- òàêòîì (êîíòàêòîì ñ âûñîêîé ñêîðîñòüþ ðåêîìáèíà- öèè) íàèáîëåå âûñîêîå ñîïðîòèâëåíèå èìååò îáëàñòü âáëèçè îìè÷åñêîãî êîíòàêòà. Ïîýòîìó íàèáîëåå âû- ñîêàÿ ôîòî÷óâñòâèòåëüíîñòü ÈÔÄ, â îòëè÷èå îò îáû÷íûõ ôîòîäèîäîâ, äîëæíà íàáëþäàòüñÿ ïðè îñâåùåíèè ñî ñòîðîíû, ïðîòèâîïîëîæíîé n�ð-ïåðåõî- äó [19]. Ïðè îñâåùåíèè îáëàñòè ñî ñòîðîíû n�ð-ïå- ðåõîäà âîçìîæíî äàæå óìåíüøåíèå òîêà � îòðèöà- òåëüíûé ôîòîýôôåêò (ðèñ. 1).  èíæåêöèîííûõ ôîòîäèîäàõ ñ p�i�n-ñòðóêòóðîé äëèíà áàçîâîé îáëàñòè äîëæíà áûòü áîëüøå ïðèìåð- íî â äâà ðàçà.  òàêîé ñòðóêòóðå íàèìåíüøàÿ êîí- öåíòðàöèÿ íåðàâíîâåñíûõ íîñèòåëåé (è, ñëåäîâà- òåëüíî, íàèáîëüøåå ñîïðîòèâëåíèå) õàðàêòåðíû äëÿ ñðåäíåé ÷àñòè áàçû. Ïîýòîìó ìàêñèìàëüíàÿ ôîòî÷óâ- ñòâèòåëüíîñòü áóäåò íàáëþäàòüñÿ ïðè îñâåùåíèè èìåííî ýòîé îáëàñòè. Ïàðàìåòðû, îïðåäåëÿþùèå ðàñïðåäåëåíèå èí- æåêòèðîâàííûõ â áàçó íîñèòåëåé, ÿâíî çàâèñÿò îò èíòåíñèâíîñòè �ïðèìåñíîãî� ïîãëîùåíèÿ, íåïîñðåä- ñòâåííî èçìåíÿþùåãî çàïîëíåíèå ïðèìåñíûõ óðîâ- íåé è óðîâíåé ëîâóøåê. Ýòî ïðèâîäèò íå òîëüêî ê íåïîñðåäñòâåííîìó èçìåíåíèþ êîíöåíòðàöèè íåðàâ- íîâåñíûõ íîñèòåëåé, íî è ê èçìåíåíèþ âðåìåíè æèçíè, àìáèïîëÿðíîé ïîäâèæíîñòè è äðóãèõ ïàðà- ìåòðîâ íåðàâíîâåñíûõ íîñèòåëåé. Ïîñëåäíåå âûçû- âàåò èçìåíåíèå ðàñïðåäåëåíèÿ è ãëóáèíû ïðîíèê- íîâåíèÿ íåðàâíîâåñíûõ íîñèòåëåé â áàçîâîé îáëàñ- òè äèîäà. Ïîýòîìó èçìåíÿåòñÿ åå ïðîâîäèìîñòü ñî âñåìè âûòåêàþùèìè ïîñëåäñòâèÿìè: ïåðåðàñïðåäå- ëåíèå íàïðÿæåíèÿ ìåæäó áàçîé è n�ð-ïåðåõîäîì, äîïîëíèòåëüíûé ðîñò èíæåêöèè è ò. ä. Èìåííî ýòîò ýôôåêò âíîñèò îñíîâíîé âêëàä â óñèëåíèå ôîòîòîêà â îáëàñòè ïðèìåñíîãî ïîãëîùåíèÿ [11�14]. Ïî ýòèì ïðè÷èíàì ôîòî÷óâñòâèòåëüíîñòü â ïðèìåñíîé îáëà- ñòè ïîãëîùåíèÿ ñ ðîñòîì èíæåêöèîííîãî òîêà âîç- ðàñòàåò çíà÷èòåëüíî áûñòðåå è ìîæåò äàæå ïðåâû- ñèòü ôîòî÷óâñòâèòåëüíîñòü â îáëàñòè ñîáñòâåííîãî ïîãëîùåíèÿ. Íà ðèñ. 2 ïðåäñòàâëåíû ñïåêòðàëüíûå õàðàêòå- ðèñòèêè èíæåêöèîííîãî ôîòîäèîäà è ýêâèâàëåíòíî- ãî ôîòîðåçèñòîðà èç ãåðìàíèÿ ñ ïðèìåñüþ çîëîòà ïðè ðàçëè÷íûõ íàïðÿæåíèÿõ ñìåùåíèÿ U ïðè òåìïåðà- òóðå 78 Ê [20]. Ôîòî÷óâñòâèòåëüíîñòü èíæåêöèîí- íûõ ôîòîäèîäîâ íàìíîãî áîëüøå, ÷åì ó ôîòîðåçèñ- òîðîâ, è ðåçêî âîçðàñòàåò ñ ðîñòîì ýëåêòðè÷åñêîãî ñìåùåíèÿ â ïðîïóñêíîì íàïðàâëåíèè. Íà ðèñ. 3 ïðåäñòàâëåíî ðàñïðåäåëåíèå ñïåêòðàëü- íîé ôîòî÷óâñòâèòåëüíîñòè ÈÔÄ íà îñíîâå ëåãèðî- âàííîãî ðòóòüþ ãåðìàíèÿ p-òèïà ñ òîëùèíîé áàçî- âîé îáëàñòè 2,2 ìì ïðè 55 Ê è ðàçëè÷íûõ çíà÷åíèÿõ íàïðÿæåíèÿ ñìåùåíèÿ [21]. Ïðè ìàëûõ ïðÿìûõ òî- ð+ i(p) n+ Ô îò îî òâ åò 0 Õ Ðèñ. 1. Çàâèñèìîñòü ôîòî÷óâñòâèòåëüíîñòè îò ìåñòà îñâåùåíèÿ áàçîâîé îáëàñòè S i, îò í. å ä. 103 102 101 100 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 1 2 3 Ðèñ. 2. Ñïåêòðàëüíûå õàðàêòåðèñòèêè èíæåêöèîííîãî ôî- òîäèîäà è ôîòîðåçèñòîðà èç ãåðìàíèÿ ð-òèïà ñ ïðèìåñüþ çîëîòà: Si � àìïåðâàòòíàÿ ôîòî÷óâñòâèòåëüíîñòü; λ � äëèíà âîëíû; 1 � ôîòîäèîä, U=30 Â; 2 � ôîòîäèîä, U=10 Â; 3 � ôîòîðåçèñ- òîð, U=10  Ò=78 Ê λ, ìêì SI, À/Âò 10�1 10�2 10�3 1 2 3 Ò=55 Ê 1 2 4 6 8 10 14 20 λ, ìêì Ðèñ. 3. Ñïåêòðàëüíîå ðàñïðåäåëåíèå ôîòî÷óâñòâèòåëüíî- ñòè SI èíæåêöèîííîãî ôîòîäèîäà èç ãåðìàíèÿ p-òèïà ñ ïðè- ìåñüþ ðòóòè ïðè ðàçëè÷íîì íàïðÿæåíèè ñìåùåíèÿ: 1 � U=1 Â; 2 � U=10 Â; 3 � U=20  Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2007, ¹ 5 6 ÝËÅÊÒÐÎÍÍÛÅ ÑÐÅÄÑÒÂÀ: ÈÑÑËÅÄÎÂÀÍÈß, ÐÀÇÐÀÁÎÒÊÈ êàõ ôîòî÷óâñòâèòåëüíîñòü â îáëàñòè ñîáñòâåííîãî ïîãëîùåíèÿ íàìíîãî áîëüøå, ÷åì â îáëàñòè ïðè- ìåñíîãî ïîãëîùåíèÿ. Ñ ðîñòîì ïðîïóñêíîãî òîêà �ïðèìåñíàÿ� ôîòî÷óâñòâèòåëüíîñòü ðåçêî âîçðàñòà- åò è ïðåâûøàåò ôîòî÷óâñòâèòåëüíîñòü â îáëàñòè ñîá- ñòâåííîãî ïîãëîùåíèÿ. Êîýôôèöèåíò èíæåêöèîííî- ãî óñèëåíèÿ ìîæåò ïðåâûøàòü 103�106.  èíæåêöèîííûõ äèîäàõ íà îñíîâå ãåðìàíèÿ, ëåãèðîâàííîãî èíäèåì, ïðè λ=3,1 ìêì òîêîâàÿ ôî- òî÷óâñòâèòåëüíîñòü SI äîñòèãàëà 900 À/Âò, âîëüòî- âàÿ ÷óâñòâèòåëüíîñòü � ïðèìåðíî 5.108 Â/Âò, ïîðî- ãîâàÿ ôîòî÷óâñòâèòåëüíîñòü � â ïðåäåëàõ 10�15� 10�16 Âò/Ãö�1/2.  ÈÔÄ íà îñíîâå êðåìíèÿ ñ ïðè- ìåñüþ öèíêà îíà ñîñòàâëÿëà ïîðÿäêà 10�14 Âò/Ãö�1/2. Èíæåêöèîííûå ôîòîäèîäû ñîçäàíû è èññëåäîâà- íû íà ìíîãèõ ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ìàòåðèàëàõ [22� 24 è äð.] � ëåãèðîâàííûå ïðèìåñÿìè Ge, Si, ñîåäè- íåíèÿ A3B5 (InSb, InAs è äð.). Äëÿ ôîòîïðèåìíèêîâ óëüòðàôèîëåòîâîãî äèàïàçîíà èñïîëüçóþòñÿ øèðî- êîçîííûå ïîëóïðîâîäíèêè GaP, GaAs, òâåðäûå ðàñ- òâîðû ýòèõ ñîåäèíåíèé GaPxAs1�x [25�27 è äð.], ZnS, GaSe è äð. [28, 29]. Îíè îáëàäàþò âûñîêîé ôîòî÷óâ- ñòâèòåëüíîñòüþ (äî 200 íì). Ôîòîäèîäû íà îñíîâå GaP èìåþò ìàêñèìóì ôî- òî÷óâñòâèòåëüíîñòè ïðè λmax≈430�440 íì. Äëÿ ôî- òîäèîäîâ ñ ôîòî÷óâñòâèòåëüíîé ïëîùàäêîé äèàìåò- ðîì 15 ìì ïðè λmax òèïè÷íîå çíà÷åíèå ïîðîãà â ïðå- äåëàõ (1�2).10�14 Â·Ãö�1/2. Îíè îáëàäàþò øèðîêèì äèíàìè÷åñêèì äèàïàçîíîì, ëèíåéíîñòü â ïðåäåëàõ 10�12�10�5 Âò/ñì2. Íàèëó÷øèìè ïàðàìåòðàìè â óëüòðàôèîëåòîâîé îáëàñòè ñïåêòðà îáëàäàþò ÈÔÄ íà îñíîâå ëåãèðî- âàííîãî Cr àðñåíèäà ãàëëèÿ è ÈÔÄ ñ ãåòåðîïåðåõî- äîì GaAlAs�GaAs: îáëàñòü ñïåêòðàëüíîé ÷óâñòâè- òåëüíîñòè 300�1300 íì ñ ìàêñèìóìîì âáëèçè 800 íì. Ïðèìåñíàÿ ôîòî÷óâñòâèòåëüíîñòü íàáëþäà- åòñÿ âáëèçè λ≈1300 íì è îñîáåííî âåëèêà ïðè Ò=77 Ê. Íàèáîëüøåé ôîòî÷óâñòâèòåëüíîñòüþ ÈÔÄ îáëàäàþò ïðè îñâåùåíèè ñî ñòîðîíû, ïðîòèâîïîëîæ- íîé n�p-ïåðåõîäó. Ôîòî÷óâñòâèòåëüíîñòü â λmax äî- ñòèãàåò 500 À/Âò. Ñîçäàíû ÈÔÄ ñ ïîðîãîâîé ÷óâñòâè- òåëüíîñòüþ (NEP) ïðè 300 Ê ïîðÿäêà 10�14 Âò·Ãö�1/2, à ïðè 77 Ê ïîðÿäêà 10�15 Âò·Ãö�1/2. Äèíàìè÷åñêèé äè- àïàçîí ÈÔÄ íà îñíîâå GaAs ñ Cr ïðè 300 Ê äîñòèãà- åò 4�5 ïîðÿäêîâ. Âûñîêîé ôîòî÷óâñòâèòåëüíîñòüþ îáëàäàþò ÈÔÄ è íà äðóãèõ øèðîêîçîííûõ ìàòåðèàëàõ. Íàïðèìåð, íà îñíîâå GaSe â îáëàñòè äëèí âîëí 0,36�0,65 ìêì òîêîâàÿ ôîòî÷óâñòâèòåëüíîñòü SI ïîðÿäêà 102 À/Âò.  ôîòîäèîäàõ íà îñíîâå ZnS ïðè λ=0,3 ìêì ôîòî- ÷óâñòâèòåëüíîñòü SI ≈103 À/Âò. Èíæåêöèîííûå ôîòîäèîäû îáåñïå÷èâàþò íà íå- ñêîëüêî ïîðÿäêîâ áîëåå âûñîêóþ ôîòî÷óâñòâèòåëü- íîñòü â øèðîêîì ñïåêòðàëüíîì äèàïàçîíå, âêëþ÷àÿ ÓÔ-äèàïàçîí, áëèæíèé è äàëüíèé (âïëîòü äî ñóá- ìèëëèìåòðîâîãî) èíôðàêðàñíûé äèàïàçîí ñïåêòðà ïðè ñîõðàíåíèè âûñîêîé îáíàðóæèòåëüíîé ñïîñîá- íîñòè. Âàæíûì äîñòîèíñòâîì ÈÔÄ ÿâëÿåòñÿ òî, ÷òî îíè ðàáîòàþò ïðè òîêàõ â ïðîïóñêíîì íàïðàâëåíèè. Ýòî ñóùåñòâåííî ñíèæàåò òðåáîâàíèÿ ê êà÷åñòâó n�ð-ïå- ðåõîäîâ, ê ïîâåðõíîñòíûì óòå÷êàì è ïîâåðõíîñòíîé ðåêîìáèíàöèè. Ýòî ñïîñîáñòâóåò ñíèæåíèþ òåõíî- ëîãè÷åñêèõ òðåáîâàíèé, ñíèæåíèþ òðóäîåìêîñòè è ñåáåñòîèìîñòè, ïîâûøåíèþ íàäåæíîñòè è ñòàáèëü- íîñòè ïàðàìåòðîâ. Âñå ýòè ôàêòîðû îòêðûâàþò âîç- ìîæíîñòü ñîçäàíèÿ ìíîãîýëåìåíòíûõ ìàòðè÷íûõ ôîòîïðèåìíûõ óñòðîéñòâ. Âûñîêàÿ ôîòî÷óâñòâè- òåëüíîñòü ñóùåñòâåííî ñíèæàåò òðåáîâàíèÿ ê ýëåê- òðîííûì ñõåìàì óïðàâëåíèÿ è ôîðìèðîâàíèÿ âèäåî- ñèãíàëîâ â àïïàðàòóðå, óïðîùàåò ïðàêòè÷åñêîå èñ- ïîëüçîâàíèå ôîòîïðèåìíûõ óñòðîéñòâ íà îñíîâå ÈÔÄ.  èíæåêöèîííûõ äèîäàõ â âîëüò-àìïåðíîé õàðàê- òåðèñòèêå â ïðîïóñêíîì íàïðàâëåíèè âîçìîæíî ïî- ÿâëåíèå ó÷àñòêà îòðèöàòåëüíîãî äèôôåðåíöèàëüíî- ãî ñîïðîòèâëåíèÿ [4�6, 14, 20, 21, 30, 31 è äð.]. Íà- ïðÿæåíèå ñðûâà óáûâàåò ñ îñâåùåíèåì, ïîýòîìó ÈÔÄ ìîãóò èñïîëüçîâàòüñÿ è êàê óïðàâëÿåìîå ñâå- òîì ðåëå.  êà÷åñòâå ïðèìåðà ïðàêòè÷åñêîé ýôôåêòèâíîñ- òè ïðèìåíåíèÿ èíæåêöèîííûõ ôîòîäèîäîâ ìîæíî ïðèâåñòè èíôðàêðàñíûé ðàäèîìåòð íà îñíîâå èíæåê- öèîííîãî ôîòîäèîäà èç àðñåíèäà ãàëëèÿ [32]. Èíæåêöèîííûå ôîòîïðèåìíèêè ïîäðîáíî îïèñà- íû â ðÿäå îáçîðîâ, ìîíîãðàôèé è ó÷åáíûõ ïîñîáèé [9, 14, 30, 33�37]. Èíæåêöèîííûé ïåðåíîñ òåïëà Òåðìîýëåêòðè÷åñêèå ÿâëåíèÿ íà ðàâíîâåñíûõ íîñèòåëÿõ â ïîëóïðîâîäíèêàõ îòêðûòû åùå â 19-ì âåêå, ïîäðîáíî èññëåäîâàíû è ïîëó÷èëè øèðîêîå ïðèìåíåíèå â 20-ì âåêå. Òåðìîýëåêòðè÷åñêèå ÿâëåíèÿì íà íåðàâíîâåñíûõ íåîñíîâíûõ íîñèòåëÿõ âïåðâûå èññëåäîâàíû àâòî- ðîì â 1960 ã. [7] ïðè ïðîõîæäåíèè ýëåêòðè÷åñêîãî òîêà â ïðåäñòàâëåííîé íà ðèñ. 4 ïîëóïðîâîäíèêî- âîé ñòðóêòóðå ñ n�p-ïåðåõîäîì.  ðàáîòå ïðåäñêàçàíî íîâîå òåðìîýëåêòðè÷åñêîå ÿâëåíèå � ïåðåíîñ òåïëà èíæåêòèðîâàííûìè íî- ñèòåëÿìè ïðè ïðîõîæäåíèè ýëåêòðè÷åñêîãî òîêà â ïðîïóñêíîì íàïðàâëåíèè â äèîäíîé ñòðóêòóðå ñ n�p-ïåðåõîäîì. Áûëè ðàññ÷èòàíû êîýôôèöèåíòû Ïåëüòüå è òåðìî-ýäñ, à òàêæå âîçíèêàþùàÿ ðàçíîñòü òåìïåðàòóð â çàâèñèìîñòè îò âåëè÷èíû èíæåêöèîí- íîãî òîêà. Ïîçäíåå ðàçðàáîòêà òåîðèè ÿâëåíèÿ, îöåí- êà åãî ðîëè â ðàçëè÷íûõ ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ñòðóê- òóðàõ è ïåðñïåêòèâ èñïîëüçîâàíèÿ â òåðìîýëåêòðè- ÷åñêèõ îõëàæäàþùèõ óñòðîéñòâàõ ïðîâîäèëàñü â ðàáîòàõ [38�41]. Ýêñïåðèìåíòàëüíî èíæåêöèîííûé ïåðåíîñ òåï- ëà îòêðûò è èññëåäîâàí â äèîäíûõ ñòðóêòóðàõ íà îñíîâå òâåðäîãî ðàñòâîðà CdTe�HgTe [42�44]. Ïîä- ðîáíûé òåîðåòè÷åñêèé àíàëèç ïðîòåêàþùèõ ïðîöåñ- ñîâ ïðîâåë àñïèðàíò ÍÈÈÏÔ À. Ã. Àëåêñååâ â 1976 ã. â ðàáîòå �Òåðìîýëåêòðè÷åñêîå îõëàæäåíèå â ïîëó- ïðîâîäíèêîâîì èíæåêöèîííîì äèîäå� (íåîïóáëèêî- âàííûå äàííûå). Ôèçè÷åñêèå îñíîâû [7]. Ïðîõîæäåíèå òîêà â ïðî- ïóñêíîì íàïðàâëåíèè â ïîëóïðîâîäíèêîâîé ñòðóê- òóðå ñ n�p-ïåðåõîäîì ñîïðîâîæäàåòñÿ ðîæäåíèåì ýëåêòðîíîâ íà êîíòàêòå ìåòàëëà ñ n-ïîëóïðîâîäíè- Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2007, ¹ 5 7 ÝËÅÊÒÐÎÍÍÛÅ ÑÐÅÄÑÒÂÀ: ÈÑÑËÅÄÎÂÀÍÈß, ÐÀÇÐÀÁÎÒÊÈ êîì è äûðîê íà êîíòàêòå ìåòàëëà ñ ð-ïîëóïðîâîäíè- êîì. Ýëåêòðîíû è äûðêè ïðåîäîëåâàþò ñîîòâåòñòâó- þùèå ïîòåíöèàëüíûå áàðüåðû ñ ïîãëîùåíèåì ýíåð- ãèè ðåøåòêè. Çàòåì îíè ðåêîìáèíèðóþò â ñëîå îáúåìíîãî çàðÿäà n�p-ïåðåõîäà, â êâàçèíåéòðàëüíûõ îáëàñòÿõ áàçû è íà êîíòàêòàõ ïîëóïðîâîäíèêà ñ ìå- òàëëîì ñ âûäåëåíèåì ýíåðãèè. Èíæåêòèðîâàííûå íîñèòåëè ïåðåíîñÿò ýíåðãèþ. Îáëàñòü îñíîâíîé ðåêîìáèíàöèè íåðàâíîâåñíûõ íîñèòåëåé îïðåäåëÿåòñÿ óðîâíÿìè ëåãèðîâàíèÿ êîí- òàêòèðóþùèõ îáëàñòåé ïîëóïðîâîäíèêîâ, øèðèíîé èõ çàïðåùåííûõ çîí, ñîîòíîøåíèåì äëèíû äèôôó- çèîííîãî ñìåùåíèÿ íåðàâíîâåñíûõ íîñèòåëåé Ln è Lp ñ òîëùèíîé ñîîòâåòñòâóþùèõ áàç dp è dn.  ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ñòðóêòóðàõ, â êîòîðûõ Ln<<dp è Lp<<dn (ðèñ. 4, a), ïðè ïðîõîæäåíèè ïðÿìî- ãî òîêà çàáèðàåìîå íîñèòåëÿìè ó ðåøåòêè âáëèçè êîíòàêòîâ ñ ìåòàëëîì òåïëî ïåðåíîñèòñÿ è âûäåëÿ- åòñÿ ïðè ðåêîìáèíàöèè âáëèçè îò n�p-ïåðåõîäà. Êîí- òàêòû ñ ìåòàëëîì îõëàæäàþòñÿ. Íåïîñðåäñòâåííûé êîíòàêò n- è p-îáëàñòåé â íèõ ìîæåò áûòü çàìåíåí êîíòàêòîì ÷åðåç ïðîìåæóòî÷íûé ñëîé ìåòàëëà.  çàâèñèìîñòè îò ñîîòíîøåíèÿ ýëåêòðîííîãî è äûðî÷íîãî òîêîâ áóäåò îõëàæäàòüñÿ ñîîòâåòñòâóþ- ùèé êîíòàêò ñ ìåòàëëîì.  ñòðóêòóðàõ ñ ìàëûì âðå- ìåíåì æèçíè è âûñîêèì óðîâíåì ëåãèðîâàíèÿ êîí- òàêòèðóþùèõ îáëàñòåé ïðàêòè÷åñêè âñÿ ðåêîìáèíà- öèÿ íîñèòåëåé ïðîèñõîäèò â ñëîå îáúåìíîãî çàðÿäà.  íåé è âûäåëÿåòñÿ âñå çàáèðàåìîå ó ðåøåòêè íà êîíòàêòàõ ñ ìåòàëëàìè òåïëî.  òàêèõ ñòðóêòóðàõ òåðìîýëåêòðè÷åñêèå ÿâëåíèÿ ïîäîáíû ÿâëåíèÿì ïðè îáû÷íîì ýôôåêòå Ïåëüòüå. Îäíàêî ïðè áîëüøèõ äëèíàõ äèôôóçèîííîãî ñìå- ùåíèÿ (dn<<Lp è dp<<Ln) â ñëàáîëåãèðîâàííûõ ïî- ëóïðîâîäíèêàõ â äèîäíûõ ñòðóêòóðàõ ñ îìè÷åñêèìè êîíòàêòàìè ðåêîìáèíàöèÿ-ãåíåðàöèÿ íîñèòåëåé âáëèçè ñëîÿ îáúåìíîãî çàðÿäà n�p-ïåðåõîäà ïåðåñòà- åò èãðàòü ðîëü (ðèñ. 4, á). Ïðè ïðîõîæäåíèè òîêà â ïðîïóñêíîì íàïðàâëåíèè èíæåêòèðîâàííûå íîñèòå- ëè äîõîäÿò äî êîíòàêòîâ ñ ìåòàëëîì, íà êîòîðûõ îíè è ðåêîìáèíèðóþò. Ïðîèñõîäèò îõëàæäåíèå n�p-ïå- ðåõîäà è íàãðåâ êîíòàêòîâ ñ ìåòàëëîì. Ïðè îáðàò- íîì íàïðàâëåíèè òîêà íîñèòåëè �ðàçîãðåâàþòñÿ� ïðè ïðîõîæäåíèè ñèëüíîãî ýëåêòðè÷åñêîãî ïîëÿ â ñëîå îáúåìíîãî çàðÿäà n�p-ïåðåõîäà. Ïðèîáðåòåííóþ èç- áûòî÷íóþ ýíåðãèþ îíè îòäàþò ðåøåòêå â ïðåäåëàõ íåñêîëüêèõ äëèí ñâîáîäíîãî ïðîáåãà âáëèçè n�p-ïå- ðåõîäà.  òàêèõ ñòðóêòóðàõ íàïðàâëåíèå ïåðåíîñà òåïëà íåîñíîâíûìè íîñèòåëÿìè êàê ïðè ïðÿìîì, òàê è ïðè îáðàòíîì òîêå ïðîòèâîïîëîæíî ïåðåíîñó òåïëà ïðè îáû÷íîì ýôôåêòå Ïåëüòüå.  ñòðóêòóðå, â êîòîðîé p-îáëàñòü èìååò íèçêóþ, áëèçêóþ ê ñîáñòâåííîé, ïðîâîäèìîñòü, à n-îáëàñòü ñèëüíî ëåãèðîâàíà (pp<<nn), ïðîòåêàþùèé â ïðîïóñê- íîì íàïðàâëåíèè òîê áóäåò ÷èñòî ýëåêòðîííûì. Êàæäûé ýëåêòðîí áóäåò ïåðåíîñèòü ýíåðãèþ Q=E�Ep+2kT�qV0, ãäå k � ïîñòîÿííàÿ Áîëüöìàíà. Ñðåäíÿÿ ýíåðãèÿ íîñèòåëåé â çîíàõ ïðèíÿòà ðàâ- íîé 2kÒ.  òàêîé ñòðóêòóðå âñÿ ðåêîìáèíàöèÿ èíæåê- òèðîâàííûõ íîñèòåëåé áóäåò ïðîèñõîäèòü íà êîíòàê- òå ð-ïîëóïðîâîäíèêà ñ ìåòàëëîì, íà êîòîðîì è âû- äåëÿåòñÿ âñÿ ïåðåíîñèìàÿ ýíåðãèÿ. Ýòîò êîíòàêò áó- äåò íàãðåâàòüñÿ, à n�p-ïåðåõîä è êîíòàêò n-îáëàñòè ñ ìåòàëëîì � îõëàæäàòüñÿ.  ïðîòèâîïîëîæíîì ñëó- ÷àå (pp>>nn) òîê áóäåò ÷èñòî äûðî÷íûé, è íàãðåâàòü- ñÿ áóäåò êîíòàêò n-îáëàñòè ñ ìåòàëëîì, à n�p-ïåðå- õîä, êàê è â ïðåäûäóùåì ñëó÷àå, áóäåò îõëàæäàòüñÿ. Îñíîâíûå òåðìîýëåêòðè÷åñêèå õàðàêòåðèñòèêè â òàêèõ ñòðóêòóðàõ ìîãóò áûòü îöåíåíû èç èçâåñòíûõ òåðìîýëåêòðè÷åñêèõ ñîîòíîøåíèé: � êîýôôèöèåíò Ïåëüòüå � Ï=Q/q=(Eg�Ep+2kÒ�qV0)/q; � êîýôôèöèåíò òåðìî-ýäñ � α=Ï/T=(Eg�Ep+2kT� qV0)/Òq; � ìàêñèìàëüíûé ïåðåïàä òåìïåðàòóð � Tmax={(Eg�Ep+2kT�qV0)/q}2 (I+Is)q/kTχ, ãäå V0=kT/q.ln(I/Is�1), I � ïðîòåêàþùèé òîê, Is � òîê íàñûùåíèÿ, χ � òåïëîïðîâîäíîñòü. Âåëè÷èíà òåðìî-ýäñ ìîæåò áûòü î÷åíü áîëüøîé, íàïðèìåð â ãåðìàíèè ïðè êîìíàòíîé òåìïåðàòóðå α ìîæåò äîñòèãàòü 2,5 ìÂ/K. Ïðè íóëåâîì ñìåùåíèè òàêèå áîëüøèå âåëè÷èíû òåðìî-ýäñ áûëè îáíàðóæå- íû ýêñïåðèìåíòàëüíî [45]. Ïðè íóëåâîì âíåøíåì ñìåùåíèè (V0=0) îíè ñîâïàäàþò ñ èçâåñòíûìè ôîð- ìóëàìè äëÿ îáû÷íîãî ýôôåêòà Ïåëüòüå íà ðàâíîâåñ- íûõ íîñèòåëÿõ â àíàëîãè÷íûõ ñòðóêòóðàõ. à) á) Ì ð ÎÇ ï Ì dp dn Eg óÔ óÔ Eð Eï qV0 qVê óÔ óÔ Ðèñ. 4. Ïåðåíîñ òåïëà â ïîëóïðîâîäíèêîâîì äèîäå ñ n�p- ïåðåõîäîì (Ì � ìåòàëë, q � çàðÿä ýëåêòðîíà): a � äèîä ñ ðåêîìáèíàöèåé â ñëîå îáúåìíîãî çàðÿäà; á � èíæåê- öèîííûé äèîä; ÎÇ � îáëàñòü îáúåìíîãî çàðÿäà; óÔ � óðîâåíü Ôåðìè; Eg, Eð, En � ñîîòâåòñòâåííî øèðèíà çàïðåùåííîé çîíû, ðàññòîÿíèå îò óðîâíÿ Ôåðìè äî âåðõà âàëåíòíîé çîíû, ðàññòîÿ- íèå îò óðîâíÿ Ôåðìè äî äíà çîíû ïðîâîäèìîñòè; Vê � êîíòàêò- íàÿ ðàçíîñòü ïîòåíöèàëîâ; V0 � ïðèëîæåííîå ñìåùåíèå Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2007, ¹ 5 8 ÝËÅÊÒÐÎÍÍÛÅ ÑÐÅÄÑÒÂÀ: ÈÑÑËÅÄÎÂÀÍÈß, ÐÀÇÐÀÁÎÒÊÈ Â èíæåêöèîííûõ ñòðóêòóðàõ êîíöåíòðàöèÿ èí- æåêòèðîâàííûõ íîñèòåëåé âîçðàñòàåò ñ ðîñòîì òîêà, ïîýòîìó êîýôôèöèåíò Ïåëüòüå è òåðìî-ýäñ ñ ðîñ- òîì òîêà óáûâàþò â îòëè÷èå îò ïîëóïðîâîäíèêî- âûõ ñòðóêòóð ñ ðàâíîâåñíûìè íîñèòåëÿìè. Êîíöåíòðàöèÿ èíæåêòèðîâàííûõ íîñèòåëåé ìàê- ñèìàëüíà ó n�p-ïåðåõîäà è óáûâàåò ïðè ïðèáëèæå- íèè ê êîíòàêòó ñ ìåòàëëîì, ïîýòîìó îíè äâèæóòñÿ çà ñ÷åò äèôôóçèè. Ýòî óìåíüøàåò ýëåêòðè÷åñêîå ïîëå è îìè÷åñêèå ïîòåðè â áàçîâîé îáëàñòè. Èíæåêöèîííûé ïåðåíîñ òåïëà â ïîëóïðîâîäíè- êîâûõ ñòðóêòóðàõ ñ n�p-ïåðåõîäîì èññëåäîâàëñÿ ïîçä- íåå ðÿäîì àâòîðîâ.  ðàáîòå Õîëëà 1961 ã. [38] ïðîâåäåí àíàëèç âîçìîæíîñòè èñïîëüçîâàíèÿ ñòðóê- òóð â ïîëóïðîâîäíèêàõ ñ áîëüøîé äëèíîé äèôôóçè- îííîãî ñìåùåíèÿ, êîòîðàÿ çíà÷èòåëüíî áîëüøå ðàñ- ñòîÿíèÿ n�p-ïåðåõîäà äî êîíòàêòîâ ñ ìåòàëëîì. Îöå- íåíà âîçìîæíîñòü èñïîëüçîâàíèÿ òàêèõ ñòðóêòóð äëÿ ïðåîáðàçîâàíèÿ ïåðåïàäà òåìïåðàòóðû äëÿ âûðàáîò- êè ýëåêòðè÷åñêîãî òîêà. Âî âòîðîé ÷àñòè ýòîé ðàáî- òû àíàëèçèðóåòñÿ ïåðåíîñèìîå èíæåêòèðîâàííûìè íîñèòåëÿìè òåïëî è îöåíèâàåòñÿ âîçíèêàþùàÿ ðàç- íîñòü òåìïåðàòóð â òàêèõ ñòðóêòóðàõ. Ê ñîæàëåíèþ, àâòîðîì íå ó÷èòûâàåòñÿ êèíåòè÷åñêàÿ ýíåðãèÿ íî- ñèòåëåé â âàëåíòíîé çîíå è â çîíå ïðîâîäèìîñòè. Àâòîð ïðèíèìàåò ýíåðãèè ýëåêòðîíîâ è äûðîê â çî- íàõ ðàâíûìè ýíåðãèè äíà è âåðõà ñîîòâåòñòâóþùèõ çîí. Êðîìå òîãî, àâòîð ïðèíèìàåò ïîäâèæíîñòè ýëåê- òðîíîâ è äûðîê îäèíàêîâûìè, êîíöåíòðàöèè îñíîâ- íûõ íîñèòåëåé â êîíòàêòèðóþùèõ îáëàñòÿõ ïîëóïðî- âîäíèêîâ òàêæå ïðèíèìàþòñÿ îäèíàêîâûìè è íå çàâèñÿùèìè îò ïðîòåêàþùåãî òîêà. Òàêæå âûçûâà- þò íåäîóìåíèå ãðàíè÷íûå óñëîâèÿ íà êîíòàêòå ñ ìåòàëëàìè: êîíöåíòðàöèÿ ýëåêòðîíîâ ðàâíà íóëþ. Ïðè ðàñ÷åòàõ íå ó÷èòûâàåòñÿ ïàäåíèå íàïðÿæåíèÿ â áàçîâûõ îáëàñòÿõ. Èìååòñÿ åùå ðÿä íåïðèåìëåìûõ äîïóùåíèé. Ïî ýòèì ïðè÷èíàì ïðåäñòàâëÿåòñÿ îøè- áî÷íûì âûâîä àâòîðà, ÷òî èñïîëüçîâàíèå èíæåêöè- îííûõ ñòðóêòóð ñ áîëüøèìè äëèíàìè äèôôóçèîí- íîãî ñìåùåíèÿ ìåíåå ýôôåêòèâíî, ÷åì ñòðóêòóð ñ îáû÷íûì ýôôåêòîì Ïåëüòüå. Ýòî ïðîòèâîðå÷èò ðå- çóëüòàòàì äðóãèõ ðàáîò [41] è ðåçóëüòàòàì ýêñïåðè- ìåíòàëüíûõ èññëåäîâàíèé [42�44].  ðàáîòå Ìåëåõè [39] ïî ìîäåëè [7] (íî òàêæå áåç ññûëîê íà ýòó ðàáîòó) ïðîàíàëèçèðîâàí ïåðå- íîñ òåïëà â �òîíêèõ� ìíîãîñëîéíûõ ñòðóêòóðàõ òèïà p�n�p�n ïðè ïðîòåêàíèè òîêà â ïðîïóñêíîì íà- ïðàâëåíèè. Àíàëèç ïðîâåäåí òàêæå áåç ó÷åòà êèíå- òè÷åñêîé ýíåðãèè íîñèòåëåé â çîíàõ.  ðàáîòå Áàéëèñà [40] ïðèâåäåí êðàòêèé àíàëè- òè÷åñêèé îáçîð ðåçóëüòàòîâ âûøåóïîìÿíóòûõ ðàáîò. Àâòîðîì ïîä÷åðêèâàåòñÿ íåîáõîäèìîñòü ó÷åòà êèíå- òè÷åñêîé ýíåðãèè íîñèòåëåé â çîíàõ è îòìå÷àåòñÿ, ÷òî îíà ðàâíà mkÒ, ïðè÷åì 2<m<4 â çàâèñèìîñòè îò ìåõàíèçìà ðàññåÿíèÿ.  ðàáîòå Ëóêøèåðà è Êîëîìîéöà [41] ïðîâåäåíî óòî÷íåíèå ðàñ÷åòîâ ðàáîòû àâòîðà [7]. Ïðèâåäåíû ðàñ÷åòíûå âåëè÷èíû òåðìî-ýäñ è ïåðåïàäà òåìïåðà- òóð ïðè êîìíàòíîé òåìïåðàòóðå â çàâèñèìîñòè îò ñîîòíîøåíèÿ äëèíû äèôôóçèîííîãî ñìåùåíèÿ è òîëùèí áàçîâûõ îáëàñòåé. Îöåíåíû äîñòèæèìûå ïåðåïàäû òåìïåðàòóð ïðè êîìíàòíîé òåìïåðàòóðå â äèîäíûõ ñòðóêòóðàõ íà îñíîâå Ge è Bi2Te3. Ïîäòâåðæ- äåíî, ÷òî â �òîíêèõ� èíæåêöèîííûõ ñòðóêòóðàõ ïðè âûñîêèõ óðîâíÿõ èíæåêöèè ïåðåïàä òåìïåðàòóð ìî- æåò ïðåâûøàòü äîñòèæèìûå ïðè �îáû÷íîì� ýôôåê- òå Ïåëüòüå çíà÷åíèÿ.  èíæåêöèîííûõ ñòðóêòóðàõ ýôôåêò îïðåäåëÿåòñÿ ïîäâèæíîñòüþ íåîñíîâíûõ íî- ñèòåëåé, êîòîðàÿ â äåñÿòêè ðàç áîëüøå ïîäâèæíîñòè îñíîâíûõ íîñèòåëåé, îïðåäåëÿþùèõ ïåðåïàä òåì- ïåðàòóð ïðè îáû÷íîì ýôôåêòå Ïåëüòüå. Ðàñïðåäåëåíèå òåïëîâûäåëåíèÿ â äèîäíûõ ñòðóê- òóðàõ ðàçíûõ òèïîâ ðàññìîòðåíî â ìîíîãðàôèè [46]. Ðîëü ïåðåíîñà òåïëà íåîñíîâíûìè íîñèòåëÿìè â äè- îäíûõ è òèðèñòîðíûõ ñòðóêòóðàõ ïî ìîäåëè [7] ïîä- ðîáíî ïðîàíàëèçèðîâàíà â ðàáîòå [47]. Èíæåêöèîííîå îõëàæäåíèå â äèîäíûõ ñòðóêòóðàõ íà îñíîâå CdxHg1�xTe.  òâåðäûõ ðàñòâîðàõ CdõHg1�õTe (ÊÐÒ) âûñîêà ïîäâèæíîñòü ýëåêòðîíîâ. Ïðè àçîòíîé òåìïåðàòóðå îíà ñîñòàâëÿåò îêîëî 2·105 ñì2/(·ñ), à äû- ðîê � ïðèìåðíî 400 ñì2/(·ñ). Ñîîòâåòñòâåííî, áîëü- øàÿ äëèíà äèôôóçèîííîãî ñìåùåíèÿ [48].  ÊÐÒ âîç- ìîæíî ñîçäàíèå âûñîêîýôôåêòèâíûõ n�p-ïåðåõîäîâ. ÊÐÒ èìååò íèçêóþ òåïëîïðîâîäíîñòü χ: ïðè 77 Ê îíà ðàâíà ïîðÿäêà 0,015 Âò/(cì·Ê), à ïðè êîìíàòíîé òåìïåðàòóðå � 0,01 Âò/(cì·Ê) [49]. Ïî ýòèì ïðè÷è- íàì äëÿ èññëåäîâàíèé áûëè âûáðàíû äèîäíûå ñòðóê- òóðû ñ n�p-ïåðåõîäîì íà îñíîâå ñëîåâ ÊÐÒ ð-òèïà ïðîâîäèìîñòè. Òîëùèíà ýïèòàêñèàëüíîãî ñëîÿ ïðè- ìåðíî 200 íì, ðàçìåð n�p-ïåðåõîäà 2×3 ìì. Íà ðèñ. 5 ïðèâåäåíà çàâèñèìîñòü òåìïåðàòóðû îõëàæäåíèÿ îò ïðîòåêàþùåãî òîêà â èíæåêöèîííûõ äèîäàõ.  ëó÷øåì îáðàçöå ïðè òîêå ≈0,3 À è òåìïå- ðàòóðå 77 Ê áûëî äîñòèãíóòî îõëàæäåíèå 5,1 Ê, ïðè êîìíàòíîé òåìïåðàòóðå äîñòèãíóòî îõëàæäåíèå 23 Ê. Ðàñ÷åòíàÿ âåëè÷èíà ñíèæåíèÿ òåìïåðàòóðû ïðè 77 Ê (áåç ó÷åòà ðåêîìáèíàöèè íîñèòåëåé â íåéòðàëüíîé p-îáëàñòè) ñîñòàâèëà ïðèìåðíî 13 Ê (ðàñ÷åò ïðîâå- Ò, Ê 75 70 65 60 100 300 500 I, ìÀ 1 5 4 3 2 6 Ðèñ. 5. Òåðìî-àìïåðíûå õàðàêòåðèñòèêè èíæåêöèîííûõ äèîäîâ íà îñíîâå ÊÐÒ ïðè òåìïåðàòóðå ïîäëîæêè Ò=77 Ê: 1 � ðàñ÷åò; 2�6 � ýêñïåðèìåíòàëüíûå ðåçóëüòàòû Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2007, ¹ 5 9 ÝËÅÊÒÐÎÍÍÛÅ ÑÐÅÄÑÒÂÀ: ÈÑÑËÅÄÎÂÀÍÈß, ÐÀÇÐÀÁÎÒÊÈ äåí àñïèðàíòîì ÍÈÈÏÔ À. Ã. Àëåêñååâûì). Íàáëþ- äàåìàÿ òåìïåðàòóðà îõëàæäåíèÿ, åñòåñòâåííî, íèæå ðàñ÷åòíîé âñëåäñòâèå ðåêîìáèíàöèè ÷àñòè íîñèòå- ëåé â áàçîâîé îáëàñòè.  èíæåêöèîííîì �îõëàäèòåëå� ýôôåêò îïðåäåëÿ- åòñÿ íåîñíîâíûìè íîñèòåëÿìè � ýëåêòðîíàìè, ïîä- âèæíîñòü êîòîðûõ áîëåå ÷åì íà äâà ïîðÿäêà âûøå ïîäâèæíîñòè äûðîê � îñíîâíûõ íîñèòåëåé â áàçî- âîé îáëàñòè. Ðàñ÷åòíàÿ âåëè÷èíà äîñòèæèìîãî îõëàæäåíèÿ ïðè îáû÷íîì ýôôåêòå Ïåëüòüå â ÊÐÒ ð-òèïà ïðîâîäèìîñòè ïðè îïòèìàëüíîì ëåãèðîâàíèè ïîëóïðîâîäíèêà â ñîîòâåòñòâèè ñ ñîîòíîøåíèåì ïîäâèæíîñòåé íåîñíîâíûõ è îñíîâíûõ íîñèòåëåé â äàííîì ìàòåðèàëå áóäåò â ñîòíè ðàç ìåíüøå. Ïðè îáû÷íîì ýôôåêòå Ïåëüòüå ïðè 77 Ê â ýêâè- âàëåíòíîì ïîëóïðîâîäíèêå ñ ïðîòèâîïîëîæíûì, ïî ñðàâíåíèþ ñ áàçîé èíæåêöèîííîãî òåðìîîõëàäèòå- ëÿ, òèïîì ïðîâîäèìîñòè ðàñ÷åòíàÿ âåëè÷èíà äîñòè- æèìîãî îõëàæäåíèÿ îêîëî 4,6 Ê. Ðåàëüíî äîñòèæè- ìàÿ ðàçíîñòü òåìïåðàòóð, åñòåñòâåííî, äîëæíà áûòü íèæå ðàñ÷åòíîé, ò. ê. íåîáõîäèìàÿ äëÿ îáåñïå÷åíèÿ âûñîêîé òåðìîýëåêòðè÷åñêîé ýôôåêòèâíîñòè ýëåê- òðîïðîâîäíîñòü îáåñïå÷èâàåòñÿ ñîçäàíèåì áîëüøîé êîíöåíòðàöèè ëåãèðóþùåé ïðèìåñè, ñíèæàþùåé ïîäâèæíîñòü íîñèòåëåé. Êðîìå òîãî, ñíèæàåò ýëåê- òðîïðîâîäíîñòü ñèëüíîëåãèðîâàííûõ ïîëóïðîâîä- íèêîâ ïîÿâëåíèå �õâîñòîâ� ïëîòíîñòè ñîñòîÿíèé è ïðèìåñíûõ çîí [48]. Ïðè èíæåêöèîííîì ïåðåíîñå òåïëà èñïîëüçóþò- ñÿ ìàêñèìàëüíî ÷èñòûå ïîëóïðîâîäíèêè ñ íèçêîé êîíöåíòðàöèåé îñíîâíûõ íîñèòåëåé. Íåîáõîäèìàÿ âûñîêàÿ êîíöåíòðàöèÿ íåîñíîâíûõ íîñèòåëåé îáåñ- ïå÷èâàåòñÿ èíæåêöèåé èç n�p-ïåðåõîäà. Ðàññåÿíèå íîñèòåëåé íà íîñèòåëÿõ ñóùåñòâåííî ìåíåå ýôôåê- òèâíî, ÷åì íà èîíàõ ïðèìåñåé, ïîýòîìó èõ ïîäâèæ- íîñòü â èíæåêöèîííûõ òåðìîîõëàäèòåëÿõ áóäåò âûøå, ÷åì â àíàëîãè÷íûõ ïîëóïðîâîäíèêàõ ñ òîé æå êîíöåíòðàöèåé îñíîâíûõ íîñèòåëåé òîãî æå çíàêà.  ïîñëåäíèå ãîäû ðåçêî âîçðîñ èíòåðåñ ê òåðìî- ýëåêòðè÷åñêèì ÿâëåíèÿì â èíæåêöèîííûõ ïîëóïðî- âîäíèêîâûõ ñòðóêòóðàõ.  ðàáîòå 2002 ã. Ïàéïà è Ðýìà [50] ïðîâåäåí àíà- ëèç èíæåêöèîííîãî ïåðåíîñà òåïëà ïðè íèçêèõ óðîâ- íÿõ èíæåêöèè ïðè êîìíàòíîé òåìïåðàòóðå â ñòðóê- òóðå, àíàëîãè÷íîé ðàññìîòðåííîé â [7], ñ n�p-ïåðå- õîäîì è îìè÷åñêèìè êîíòàêòàìè ñ òîëùèíîé êîí- òàêòèðóþùèõ ïîëóïðîâîäíèêîâûõ îáëàñòåé ïîðÿä- êà 1 ìêì â ñèëüíî ëåãèðîâàííûõ ïîëóïðîâîäíèêàõ. Àâòîðàìè ðàññ÷èòàíû çàâèñèìîñòè êîýôôèöèåíòîâ Ïåëüòüå è âîçíèêàþùåé ðàçíîñòè òåìïåðàòóð îò ïðî- òåêàþùåãî òîêà äëÿ ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ìàòåðèàëîâ Si, GaAs, InSb, Ga0,47In0,53As, Hg0,8Cd0,2Te. Ïîëó÷åí- íûå âåëè÷èíû ïðèìåðíî òàêèå æå, êàê è ïðè îáû÷- íîì ýôôåêòå Ïåëüòüå. Ýòî îáúÿñíÿåòñÿ òåì, ÷òî àíà- ëèç ïðîâîäèëñÿ äëÿ ñòðóêòóð ñ ñèëüíîëåãèðîâàííûìè ïîëóïðîâîäíèêîâûìè îáëàñòÿìè (1017�1019 ñì�3) è ïðè íèçêèõ óðîâíÿõ èíæåêöèè. Íàèáîëüøèé èíòåðåñ èíæåêöèîííûé ïåðåíîñ òåïëà ïðåäñòàâëÿåò äëÿ ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ëàçåðîâ, â êîòîðûõ ñíèæåíèå òåìïåðàòóðû äàæå íà íåñêîëü- êî ãðàäóñîâ ìîæåò ñóùåñòâåííî ïîâûñèòü èõ ýôôåê- òèâíîñòü. Ïîýòîìó â ïîñëåäíèå ãîäû ïðîõîäÿò êîí- ôåðåíöèè, íà êîòîðûõ àêòèâíî îáñóæäàþòñÿ ýòè ïðî- áëåìû, íàïðèìåð [51]. Ýêñïåðèìåíòàëüíî äîñòèãíó- òàÿ ðàçíîñòü òåìïåðàòóð â òàêèõ ïðèáîðàõ íàìíîãî áîëüøå äàæå ðàñ÷åòíîé äëÿ ïðèáîðîâ íà �îáû÷íîì� ýôôåêòå Ïåëüòüå. Ïðîâåäåííûå èññëåäîâàíèÿ ïîêà- çàëè, ÷òî íà îñíîâå �èíæåêöèîííûõ� äèîäîâ âîçìîæ- íî ñîçäàíèå áîëåå ýôôåêòèâíûõ îõëàæäàþùèõ óñòðîéñòâ. Ìàãíèòîäèîäû Ìàãíèòîäèîäû � íîâûé êëàññ ãàëüâàíîìàãíèò- íûõ ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïðèáîðîâ, ïðåäëîæåí â ÔÒÈ ÀÍ ÑÑÑÐ àâòîðîì [4�6, 34]. Ìàãíèòîäèîäû � �äëèííûå� äèîäû â âûñîêîîì- íîì ïîëóïðîâîäíèêå�ïîëóèçîëÿòîðå ñ áàçîâîé îá- ëàñòüþ, òîëùèíà êîòîðîé â íåñêîëüêî ðàç áîëüøå äëèíû äèôôóçèîííîãî ñìåùåíèÿ. Îíè ðàáîòàþò ïðè ñìåùåíèè â ïðîïóñêíîì íàïðàâëåíèè ïðè âûñîêèõ óðîâíÿõ èíæåêöèè.  �äëèííûõ� äèîäàõ, êàê îòìå- ÷àëîñü âûøå, îñíîâíàÿ ÷àñòü ïðèëîæåííîãî â ïðî- ïóñêíîì íàïðàâëåíèè íàïðÿæåíèÿ ïàäàåò â áàçîâîé îáëàñòè. Ìàãíèòíîå ïîëå èçìåíÿåò ïîäâèæíîñòü íîñèòå- ëåé çàðÿäà, èñêðèâëÿåò ëèíèè òîêà è óìåíüøàåò ãëó- áèíó ïðîíèêíîâåíèÿ èíæåêòèðîâàííûõ íîñèòåëåé â áàçó. Ýòî ïðèâîäèò ê âîçðàñòàíèþ åå ñîïðîòèâëåíèÿ è ê ñîîòâåòñòâóþùåìó ïåðåðàñïðåäåëåíèþ íàïðÿæå- íèÿ ìåæäó áàçîé è p�n-ïåðåõîäîì. Íàïðÿæåíèå íà n�p-ïåðåõîäå óìåíüøàåòñÿ, ñîîòâåòñòâåííî óìåíü- øàåòñÿ èíæåêöèîííûé òîê � èíæåêöèîííîå óñèëå- íèå ïåðâè÷íîãî âîçäåéñòâèÿ. Ýòîò ýôôåêò áûë íà- çâàí ìàãíèòîäèîäíûì ýôôåêòîì [46, 52�54]. Ìàã- íèòîäèîäû îáëàäàþò íàìíîãî áîëüøåé ÷óâñòâèòåëü- íîñòüþ ê ìàãíèòíîìó ïîëþ ïî ñðàâíåíèþ ñ äðóãè- ìè ñåíñîðàìè ìàãíèòíîãî ïîëÿ (ìàãíèòîðåçèñòîðû, äàò÷èêè Õîëëà è äð.). Èñêðèâëåíèå ëèíèé òîêà â áàçîâîé îáëàñòè ïðè- âîäèò ê ñíèæåíèþ êîíöåíòðàöèè íåðàâíîâåñíûõ íîñèòåëåé ó îäíîé ãðàíè è åå ïîâûøåíèþ ó äðóãîé (ìàãíèòîêîíöåíòðàöèîííûé ýôôåêò). Ýòîò ýôôåêò ïðèâîäèò ê äîïîëíèòåëüíîé ðåêîìáèíàöèè íåðàâíî- âåñíûõ íîñèòåëåé, ñíèæåíèþ èõ êîíöåíòðàöèè, ê ñîîòâåòñòâóþùåìó äîïîëíèòåëüíîìó âîçðàñòàíèþ ñîïðîòèâëåíèÿ áàçîâîé îáëàñòè è ê çíà÷èòåëüíîìó ïîâûøåíèþ ìàãíèòî÷óâñòâèòåëüíîñòè [55]. Ïðè ðàç- íîé ñêîðîñòè ðåêîìáèíàöèè íà ïðîòèâîïîëîæíûõ ãðàíÿõ èçìåíåíèå ñîïðîòèâëåíèÿ áóäåò çàâèñåòü îò íàïðàâëåíèÿ ìàãíèòíîãî ïîëÿ.  äèîäíûõ ñòðóêòó- ðàõ ñî ñïåöèàëüíî ñîçäàííîé íà îäíîé ñòîðîíå âû- ñîêîé ñêîðîñòüþ ðåêîìáèíàöèè â ìàãíèòíîì ïîëå, îòêëîíÿþùåì íîñèòåëè ê ýòîé ïîâåðõíîñòè, òîê áó- äåò ñèëüíî óáûâàòü. Ïðè ïðîòèâîïîëîæíîì íàïðàâ- ëåíèè ìàãíèòíîãî ïîëÿ ðîëü ðåêîìáèíàöèè íà ýòîé ïîâåðõíîñòè óìåíüøàåòñÿ, è òîê ñ ðîñòîì ìàãíèòíî- ãî ïîëÿ áóäåò âîçðàñòàòü. Òàêèå ìàãíèòîäèîäû ïî- çâîëÿþò èçìåðÿòü íå òîëüêî âåëè÷èíó ìàãíèòíîãî ïîëÿ, íî è åãî çíàê [46, 55�60]. Ìàãíèòîäèîäíûé ýôôåêò èññëåäîâàí íà ìíîãèõ ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ìàòåðèàëàõ � ãåðìàíèè, êðåìíèè, àíòèìîíèäå èí- äèÿ è äð. Áîëüøîé âêëàä â èññëåäîâàíèÿ è ðàçðàáîòêó ìàã- íèòîäèîäîâ âíåñëè ó÷åíûå ÍÈÈÔÏ (ã. Çåëåíîãðàä), Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2007, ¹ 5 10 ÝËÅÊÒÐÎÍÍÛÅ ÑÐÅÄÑÒÂÀ: ÈÑÑËÅÄÎÂÀÍÈß, ÐÀÇÐÀÁÎÒÊÈ Îäåññêîãî ãîñóäàðñòâåííîãî óíèâåðñèòåòà, Ìîñêîâ- ñêîãî èíñòèòóòà ýëåêòðîííîé òåõíèêè, Àðìåíèè [55�58], ßïîíèè [59, 60] è ðÿäà äðóãèõ ñòðàí. Ïðî- èçâîäñòâî ìàãíèòîäèîäîâ áûëî îðãàíèçîâàíî íà çà- âîäå �Ïðîòîí� â ã. Çåëåíîãðàäå, íà çàâîäå �Ïîçèñ- òîð� â Àðìåíèè, íà ôèðìå �Ñîíè� â ßïîíèè [59, 60]. Ñîçäàíèå ìàãíèòîäèîäîâ ñòèìóëèðîâàëî îáøèð- íûå èññëåäîâàíèÿ è ðàçðàáîòêè íîâûõ ìàãíèòî÷óâ- ñòâèòåëüíûõ ñåíñîðîâ íà îñíîâå èñïîëüçîâàíèÿ ñòðóêòóð ñ íåðàâíîâåñíûìè íåîñíîâíûìè íîñèòå- ëÿìè: äâóõáàçîâûå ìàãíèòîäèîäû [61], ìàãíèòî- òðàíçèñòîðû ðàçëè÷íûõ òèïîâ è äðóãèå ïðèáîðû [34, 46. 57, 58, 62, 63 è äð.]. Ðàçðàáîòêà è èññëåäî- âàíèÿ ìàãíèòîäèîäîâ áûëè îòìå÷åíû â 1988 ã. Ãî- ñóäàðñòâåííîé ïðåìèåé ÑÑÑÐ â îáëàñòè íàóêè è òåõíèêè (Âèêóëèí È. Ì., Ãàñàíîâ Ë. Ñ., Ìóðûãèí Â. È., Ñòàôååâ Â. È.). S-äèîäû � ïðèáîðû ñ îòðèöàòåëüíûì äèôôåðåíöèàëüíûì ñîïðîòèâëåíèåì Âïåðâûå âîëüò-àìïåðíàÿ õàðàêòåðèñòèêà S-òèïà íà îñíîâå ïîëóèçîëÿòîðîâ áûëà îòêðûòà è èññëåäî- âàíà â äèîäíûõ ñòðóêòóðàõ íà îñíîâå ãåðìàíèÿ ñ ïðèìåñüþ çîëîòà [5, 6, 10]. Èññëåäîâàíèÿ ôèçè÷å- ñêèõ ïðîöåññîâ, ïðèâîäÿùèõ ê ïîÿâëåíèþ ó÷àñòêà îòðèöàòåëüíîãî ñîïðîòèâëåíèÿ â âîëüò-àìïåðíîé õà- ðàêòåðèñòèêå â äèîäíûõ ñòðóêòóðàõ ñ n�p-ïåðåõîäîì â ïîëóèçîëÿòîðàõ, ïðîâåäåíû âî ìíîãèõ ðàáîòàõ [5, 6, 30, 64�69 è äð.]. Ôèçè÷åñêèå îñíîâû.  �äëèííûõ� äèîäíûõ ñòðóê- òóðàõ ñ n�p-ïåðåõîäîì â ïîëóèçîëÿòîðàõ ïðè ïðî- õîæäåíèè òîêà â ïðîïóñêíîì íàïðàâëåíèè îñíîâíàÿ ÷àñòü ïðèëîæåííîãî ñìåùåíèÿ ïàäàåò íà âûñîêîîì- íîé áàçîâîé îáëàñòè. Ïðîâîäèìîñòü áàçîâîé îáëàñ- òè âîçðàñòàåò ïðàêòè÷åñêè ïî ëèíåéíîìó çàêîíó ñ ðîñòîì èíæåêöèîííîãî òîêà. Âîëüò-àìïåðíàÿ õà- ðàêòåðèñòèêà S-òèïà ìîæåò âîçíèêíóòü òîëüêî ïðè íàëè÷èè ïîëîæèòåëüíîé îáðàòíîé ñâÿçè ïî òîêó � ëþáîå èçìåíåíèå òîêà âûçûâàåò äàëüíåéøåå èçìå- íåíèå òîêà â òîì æå íàïðàâëåíèè, ò. å. äîëæåí ñóùå- ñòâîâàòü äîïîëíèòåëüíûé ìåõàíèçì âîçðàñòàíèÿ ïðîâîäèìîñòè áàçîâîé îáëàñòè.  äèîäå äîëæíû ïðîòåêàòü ôèçè÷åñêèå ïðîöåñ- ñû, ïðèâîäÿùèå ëèáî ê óâåëè÷åíèþ ãëóáèíû ïðî- íèêíîâåíèÿ èíæåêòèðîâàííûõ íîñèòåëåé â áàçå, ëèáî ê äîïîëíèòåëüíîìó óâåëè÷åíèþ èõ êîíöåíòðà- öèè èëè ïîäâèæíîñòè, ëèáî ê óâåëè÷åíèþ êîýôôè- öèåíòà èíæåêöèè, ò. å. äîëè èíæåêòèðóåìûõ íîñè- òåëåé â îáùåì òîêå n�p-ïåðåõîäà. Ãëóáèíà ïðîíèê- íîâåíèÿ â áàçîâóþ îáëàñòü íåðàâíîâåñíûõ íîñèòå- ëåé îïðåäåëÿåòñÿ äëèíîé äèôôóçèîííîãî ñìåùåíèÿ íåîñíîâíûõ íîñèòåëåé, êîòîðàÿ îïðåäåëÿåòñÿ âðåìå- íåì æèçíè è ïîäâèæíîñòè íîñèòåëåé.  ëåãèðîâàí- íûõ ïîëóïðîâîäíèêàõ âðåìÿ æèçíè çàâèñèò îò çà- ïîëíåíèÿ ïðèìåñíûõ óðîâíåé. Âîçðàñòàíèå êîíöåí- òðàöèè èíæåêòèðîâàííûõ íåðàâíîâåñíûõ íîñèòåëåé èçìåíÿåò çàïîëíåíèå ïðèìåñíûõ óðîâíåé è èçìåíÿ- åò âðåìÿ æèçíè íîñèòåëåé. Âîçðàñòàíèå âðåìåíè æèçíè óâåëè÷èâàåò ãëóáèíó ïðîíèêíîâåíèÿ èíæåê- òèðîâàííûõ íîñèòåëåé è âûçûâàåò äîïîëíèòåëüíîå ñíèæåíèå ïðîâîäèìîñòè áàçû. Ýòî ìîæåò ïðèâîäèòü ê ïîÿâëåíèþ ó÷àñòêà îòðèöàòåëüíîãî ñîïðîòèâëåíèÿ â âîëüò-àìïåðíîé õàðàêòåðèñòèêå.  ïîëóïðîâîäíèêàõ ñ ãëóáîêèìè ïðèìåñíûìè óðîâíÿìè ðàññåÿíèå íîñèòåëåé òîêà îïðåäåëÿåòñÿ çàðÿäîì óðîâíåé, çàâèñÿùèì îò êîíöåíòðàöèè èíæåê- òèðîâàííûõ íîñèòåëåé. Ñ ðîñòîì èíæåêöèîííîãî òîêà çàïîëíåíèå ïðèìåñíûõ óðîâíåé èçìåíÿåòñÿ. Ýòî ìîæåò ïðèâîäèòü ê óâåëè÷åíèþ ïîäâèæíîñòè íîñè- òåëåé è, ñëåäîâàòåëüíî, ê ïîÿâëåíèþ ó÷àñòêà îòðè- öàòåëüíîãî ñîïðîòèâëåíèÿ â ÂÀÕ. Àìáèïîëÿðíàÿ ïîäâèæíîñòü íîñèòåëåé µb=µnµp(n�pdn/dp)/(nµn+pµp), ãäå µn è µp � ïîäâèæ- íîñòè ýëåêòðîíîâ è äûðîê, ñîîòâåòñòâåííî. Îíà çà- âèñèò îò ñîîòíîøåíèÿ êîíöåíòðàöèé ñâîáîäíûõ ýëåêòðîíîâ è äûðîê. Àìáèïîëÿðíàÿ ïîäâèæíîñòü ïðè ðàâíûõ êîíöåíòðàöèÿõ ýëåêòðîíîâ è äûðîê ðàâ- íà íóëþ, è èõ äâèæåíèå â áàçîâîé îáëàñòè íîñèò ÷è- ñòî äèôôóçèîííûé õàðàêòåð. Ïðè íàëè÷èè çàõâàòà èíæåêòèðîâàííûõ íîñèòåëåé íà ëîêàëüíûå óðîâíè ñîîòíîøåíèå êîíöåíòðàöèé ýëåêòðîíîâ è äûðîê çà- âèñèò îò èíæåêöèîííîãî òîêà, è âåëè÷èíà dn/dp áó- äåò îòëè÷íà îò 1. Ïîýòîìó àìáèïîëÿðíàÿ ïîäâèæ- íîñòü ñòàíîâèòñÿ îòëè÷íîé îò íóëÿ, è äâèæåíèå íî- ñèòåëåé â áàçîâîé îáëàñòè áóäåò çàâèñåòü îò ýëåê- òðè÷åñêîãî ïîëÿ. Ýòî ïðèâåäåò ê çàâèñèìîñòè ãëóáè- íû ïðîíèêíîâåíèÿ èíæåêòèðîâàííûõ íîñèòåëåé îò ïðîòåêàþùåãî òîêà. Èìåííî ýòîò ìåõàíèçì ÿâëÿåò- ñÿ îñíîâíûì â âîçíèêíîâåíèè ÂÀÕ S-òèïà. Èíæåêöèîííûé òîê n�p-ïåðåõîäà èçìåíÿåò ïðî- âîäèìîñòü áàçîâîé îáëàñòè. Ðàçëè÷íîãî òèïà òîêè �óòå÷êè� øóíòèðóþò èíæåêöèîííûé òîê. Ñîîòíîøå- íèå ýòèõ òîêîâ õàðàêòåðèçóåòñÿ êîýôôèöèåíòîì èí- æåêöèè � γ. Èíæåêöèîííûé òîê âîçðàñòàåò ñ íàïðÿ- æåíèåì áûñòðåå òîêà �óòå÷åê�, ÷òî ïðèâîäèò ê óñè- ëåíèþ èíæåêöèè. Óâåëè÷åíèå êîýôôèöèåíòà èíæåê- öèè ñ òîêîì òàêæå ìîæåò ïðèâîäèòü ê ïîÿâëåíèþ ó÷àñòêà îòðèöàòåëüíîãî äèôôåðåíöèàëüíîãî ñîïðî- òèâëåíèÿ â äèîäíîé ñòðóêòóðå. Ñóùåñòâóþò è äðóãèå ìåõàíèçìû ïîÿâëåíèÿ ÂÀÕ S-òèïà [30]. S-äèîäû ñîçäàíû è èññëåäîâàíû íà ìíîãèõ âû- ñîêîîìíûõ ïîëóïðîâîäíèêàõ è ïîëóèçîëÿòîðàõ � Ge, Si, InSb, GaAs, GaP, SiC è äð.  äèîäíûõ ñòðóêòóðàõ ñ îòðèöàòåëüíûì äèôôå- ðåíöèàëüíûì ñîïðîòèâëåíèåì ìîãóò ôîðìèðîâàòü- ñÿ �øíóðû òîêà� [70, 71]. Âîçíèêàþùàÿ ëîêàëüíàÿ ôëóêòóàöèÿ ñ ïîâûøåííîé ïëîòíîñòüþ òîêà óñèëè- âàåòñÿ ñîáñòâåííûì ìàãíèòíûì ïîëåì. Øíóðîâàíèå òîêà ñîïðîâîæäàåòñÿ âîçíèêíîâåíèåì êîëåáàíèé òîêà. Ôóíêöèîíàëüíûå âîçìîæíîñòè S-äèîäîâ. S-äèî- äû îáëàäàþò áîëüøèìè ôóíêöèîíàëüíûìè âîçìîæ- íîñòÿìè [8, 30, 69]. Îíè ìîãóò áûòü èñïîëüçîâàíû â êà÷åñòâå ýëåêòðîííîãî êëþ÷à, òðèããåðà, îïòîýëåê- òðîííîãî ïåðåêëþ÷àòåëÿ, ãåíåðàòîðà øóìà, ïîðîãî- âîãî ýëåìåíòà, óïðàâëÿåìîé èíäóêòèâíîñòè è äëÿ ìíîãèõ äðóãèõ ïðèìåíåíèé. Íàèáîëüøèå ïåðñïåê- òèâû S-äèîäîâ îáîçíà÷èëèñü ïîñëå îòêðûòèÿ âîç- ìîæíîñòè ñîçäàíèÿ íà èõ îñíîâå ìíîãîýëåìåíòíûõ ñòðóêòóð ñ îáúåìíîé ïëàçìåííîé ñâÿçüþ. Íà ðèñ. 6 ïðåäñòàâëåí ïðîöåññ ðàñïðîñòðàíåíèÿ �âêëþ÷åííîãî� ñîñòîÿíèÿ â ëèíåéêå èíæåêöèîííûõ Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2007, ¹ 5 11 ÝËÅÊÒÐÎÍÍÛÅ ÑÐÅÄÑÒÂÀ: ÈÑÑËÅÄÎÂÀÍÈß, ÐÀÇÐÀÁÎÒÊÈ S-äèîäîâ ñ ïëàçìåííîé âçàèìîñâÿçüþ. Âêëþ÷åíèå ïåðâîãî äèîäà ïðèâîäèò ê ôîðìèðîâàíèþ â áàçîâîé îáëàñòè �îáëàêà� íåðàâíîâåñíûõ íîñèòåëåé, êîòîðûå øóíòèðóþò áàçîâóþ îáëàñòü ñîñåäíåãî S-äèîäà, ñíè- æàþò åãî ïîñëåäîâàòåëüíîå ñîïðîòèâëåíèå è íàïðÿ- æåíèå âêëþ÷åíèÿ. Äèîä ïåðåõîäèò â ïðîâîäÿùåå ñîñòîÿíèå. Ðåçêî âîçðàñòàåò èíæåêöèÿ èç ýòîãî äèî- äà, ÷òî ïðèâîäèò ê âêëþ÷åíèþ ñëåäóþùåãî äèîäà è ò. ä. Òàêèì îáðàçîì, âêëþ÷åííîå ñîñòîÿíèå ðàñïðî- ñòðàíÿåòñÿ âäîëü ëèíåéêè S-äèîäîâ. Ëèíåéêà ñâÿçàííûõ îáúåìíîé ñâÿçüþ S-äèîäîâ ÿâëÿåòñÿ îäíîíàïðàâëåííîé èíòåãðàëüíîé ëèíèåé ïåðåäà÷è ñèãíàëîâ ñ ïîñòîÿííîé ñêîðîñòüþ, ðåãóëè- ðóåìîé â ïðåäåëàõ 102�105 ñì/ñ [72]. Îíà ìîæåò áûòü òàêæå èñïîëüçîâàíà â êà÷åñòâå ëèíèè çàäåðæ- êè èìïóëüñíûõ ñèãíàëîâ. Îñíîâíûå ïðåèìóùåñòâà ôóíêöèîíàëüíûõ óçëîâ íà îñíîâå ñòðóêòóð, ñâÿçàííûõ ïëàçìåííîé îáúåì- íîé ñâÿçüþ: � Ýëåìåíòû ðàáîòàþò â ðåæèìå �âñå èëè íè÷å- ãî�, ò. å. ýòî ïîðîãîâûå ýëåìåíòû. Îíè íå ðåàãèðóþò íà ñèãíàëû íèæå ïîðîãîâîãî. Ïðè ñèãíàëå áîëüøå ïîðîãîâîãî îíè îòäàþò âñþ çàïàñåííóþ ýíåðãèþ è ôîðìèðóþò ñèãíàë ñòðîãî îïðåäåëåííîé ôîðìû.  ñõåìàõ íà èõ îñíîâå ëåãêî ðåàëèçóåòñÿ ïîðîãîâàÿ ëîãèêà. � Ìåæäó ýëåìåíòàìè ìîæåò áûòü ðåàëèçîâàíî äâà òèïà ñâÿçåé: ðàçðåøàþùàÿ � ïî îáúåìíûì ïëàç- ìåííûì êàíàëàì â ïîëóïðîâîäíèêå, è çàïðåùàþùàÿ � ïî ñîåäèíÿþùèì ýëåìåíòû ïðîâîäíèêàì. � Ëþáàÿ ëîãè÷åñêàÿ ôóíêöèÿ ðåàëèçóåòñÿ ñ ïî- ìîùüþ åäèíîãî óíèâåðñàëüíîãî �êèðïè÷à�, âêëþ÷à- þùåãî S-äèîä, ðåçèñòîð è, ïðè íåîáõîäèìîñòè, íà- êîïèòåëüíûé ýëåìåíò. � Ñõåìû ìîãóò ñòðîèòüñÿ ñ îäíèì âíåøíèì âû- âîäîì îò àêòèâíûõ ýëåìåíòîâ, ò. ê. âòîðîé âûâîä ìîæåò áûòü îáùèì, à òðåòèé ðåàëèçóåòñÿ ïî îáúåìó ïîëóïðîâîäíèêà. � Íà âñå ýëåìåíòû ïîäàåòñÿ ýëåêòðè÷åñêîå ïè- òàíèå îäíîé ïîëÿðíîñòè è îäíîé âåëè÷èíû. � Àêòèâíàÿ îáëàñòü çàíèìàåò ïðàêòè÷åñêè âåñü îáúåì ïîëóïðîâîäíèêà. �  ñõåìàõ îáåñïå÷èâàåòñÿ âîçìîæíîñòü ðàçâåò- âëåíèÿ ñèãíàëîâ ïî ìíîãèì êàíàëàì. � N�p-ïåðåõîä â ñõåìàõ èñïîëüçóåòñÿ òîëüêî êàê èñòî÷íèê èíæåêòèðóåìûõ íîñèòåëåé, ïîýòîìó åãî êà÷åñòâî íå èãðàåò ñóùåñòâåííîé ðîëè. � Ïîñêîëüêó ñõåìû ðåàëèçóþòñÿ íà ïîëóèçîëÿ- òîðàõ, òî àâòîìàòè÷åñêè ðåøàåòñÿ ïðîáëåìà èçîëÿ- öèè ýëåìåíòîâ. Ñâÿçàííûå ïëàçìåííîé îáúåìíîé ñâÿçüþ S-äèî- äû îáåñïå÷èâàþò âîçìîæíîñòü ïðîñòîé ðåàëèçàöèè ïîëíîé ñîâîêóïíîñòè ëîãè÷åñêèõ ýëåìåíòîâ è íåïî- ñðåäñòâåííîãî ôîðìèðîâàíèÿ íåäåëèìûõ ôóíêöèî- íàëüíûõ óçëîâ è êðóïíûõ áëîêîâ. Ïðèíöèïû èõ ïî- ñòðîåíèÿ ñóùåñòâåííî îòëè÷àþòñÿ îò òðàäèöèîííûõ. Ðàñïîëîæåíèå â ïðåäåëàõ àêòèâíûõ çîí îäíîãî âûõîäíîãî S-äèîäà ðÿäîì ñ íåñêîëüêèìè âõîäíûìè S-äèîäàìè îáåñïå÷èâàåò ðåàëèçàöèþ ëîãè÷åñêîé ôóíêöèè «èëè». Ñõåìà «íå» ðåàëèçóåòñÿ èñïîëüçî- âàíèåì «çàïðåùàþùåé ñâÿçè», ñâîäÿùåéñÿ ê ñîåäè- íåíèþ S-äèîäîâ îìè÷åñêèì êîíòàêòîì ïî ïîâåðõíî- ñòè ïîëóïðîâîäíèêà. Íà ðèñ. 7 ïðèâåäåíà ñõåìà ðåàëèçàöèè ëîãè÷å- ñêîé ôóíêöèè «èëè�íå». Íà ðèñ. 8 ïðåäñòàâëåí âà- ðèàíò ðåàëèçàöèè «ïîëóñóììàòîðà» íà ñâÿçàííûõ îáúåìíîé ñâÿçüþ S-äèîäàõ. Ðèñ. 6. Ïëàçìåííàÿ âçàèìîñâÿçü â ëèíåéêå S-äèîäîâ â ïîñëåäîâàòåëüíûå ìîìåíòû âðåìåíè 3-é òàêò 2-é òàêò Ä5 Ä4 Ä3 Ä2 Ä1 Y Õ Âûõîä1-é òàêò 2-é òàêò Ðèñ. 8. Ñõåìà �ïîëóñóììàòîðà� íà îñíîâå S-äèîäîâ ñ îáúåì- íîé ñâÿçüþ Ä1 Ä2 Ä3 Õ1 Õ2 Õk EÏ R1 R2 Y EÏ Ä1 Ä2 Ä3 Ä5 Ä6 Ä4 Õ1 Õ2 Õk Ðèñ. 7. Ñõåìà �èëè � íå� íà îñíîâå S-äèîäîâ ñ îáúåìíîé ñâÿçüþ Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2007, ¹ 5 12 ÝËÅÊÒÐÎÍÍÛÅ ÑÐÅÄÑÒÂÀ: ÈÑÑËÅÄÎÂÀÍÈß, ÐÀÇÐÀÁÎÒÊÈ Íà îñíîâå ñâÿçàííûõ ïî îáúåìó S-äèîäîâ ðàçðà- áîòàí è ðåàëèçîâàí ïîëíûé êîìïëåêò ëîãè÷åñêèõ ýëåìåíòîâ, ðàçðàáîòàíû îñíîâû ñõåìî- è ñèñòåìî- òåõíèêè [8, 73, 75, 77�80 è äð.]. Íà îñíîâå ñòðóêòóð ñ îáúåìíîé ñâÿçüþ ðàçðàáî- òàíû òâåðäîòåëüíûå àíàëîãè íåðâíûõ âîëîêîí � àê- ñîíîâ, íàçâàííûõ íåéðèñòîðàìè [8, 73�75].  íåé- ðèñòîðàõ ñ ïîñòîÿííîé ñêîðîñòüþ ðàñïðîñòðàíÿåò- ñÿ ïðîâîäÿùèé êàíàë ïî �òåëó� èçîëèðóþùåé ïëàñ- òèíû. Ýòî îáåñïå÷èâàåò âîçìîæíîñòü ñêàíèðîâàíèÿ ïîòåíöèàëüíîãî ðåëüåôà èëè æå âîñïðîèçâåäåíèÿ ïîòåíöèàëüíîãî ðåëüåôà, àíàëîãè÷íî ýëåêòðîííîìó ëó÷ó â âàêóóìíûõ òðóáêàõ. Ïîýòîìó îíè ìîãóò áûòü èñïîëüçîâàíû äëÿ ñîçäàíèÿ òâåðäîòåëüíûõ àíàëîãîâ ïðèåìíûõ è ïåðåäàþùèõ òåëåâèçèîííûõ ýêðàíîâ, íàçâàííûõ íåéðîêîíàìè [8, 76]. ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ 1. Ñòàôååâ Â. È. Ìèêðîýëåêòðîíèêà è íåêîòîðûå åå ïðîáëå- ìû // ÔÒÏ.� 1967.� Ò. 1, âûï. 11.� Ñ. 1599�1607. 2. Ñòàôååâ Â. È. Íåêîòîðûå ïðîáëåìû ìèêðîýëåêòðîíèêè // Ýëåêòðîííàÿ òåõíèêà. Ñåð. Ìèêðîýëåêòðîíèêà. � 1967.� Âûï. 1.� Ñ. 5�30. 3. Ñòàôååâ Â. È. Âëèÿíèå ñîïðîòèâëåíèÿ òîëùè ïîëóïðîâîä- íèêà íà âèä âîëüò-àìïåðíîé õàðàêòåðèñòèêè äèîäîâ // ÆÒÔ.� 1958.� Ò. XXVIII, âûï. 8.� Ñ. 1631�1641. 4. À. ñ. 213194 ÑÑÑÐ. Ïîëóïðîâîäíèêîâûé ïðèáîð / Â. È. Ñòàôååâ.� 1968.� Áþë. ¹ 10. 5. Ñòàôååâ Â. È. Ìîäóëÿöèÿ äëèíû äèôôóçèîííîãî ñìåùå- íèÿ êàê íîâûé ïðèíöèï äåéñòâèÿ ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïðèáîðîâ // ÔÒÒ.� 1959.� Ò. 1, âûï. 6.� Ñ. 841�847. 6. Stafeev V. I., Tuchkevich V. M. A new principlein the control of a current semiconductor devices // Rep. on Nineteenth Annual Conf. Phys. Electr.� MJT, Cambrige, Massach.� 1959. 7. Ñòàôååâ Â. È. Èíæåêöèîííûé ïåðåíîñ òåïëà // ÔÒÒ.� 1960.� Ò. II, ¹ 3.� Ñ. 438�444. {Stafeev V. I. Injection heat transfer // Soviet Phys.� Solid State.� 1960.� Vol. 2.� P. 406�412.} 8. Ñòàôååâ Â. È. S-äèîäíàÿ ýëåêòðîíèêà íà ïîëóèçîëÿòîðàõ // Ðàäèîòåõíèêà.� 1971.� Ò. 26, ¹ 10.� Ñ. 5�12. 9. Ñòàôååâ Â. È. Ôîòîïðèåìíèêè äàëüíåãî ÈÊ-äèàïàçîíà äëÿ îáíàðóæåíèÿ êîñìè÷åñêèõ îáúåêòîâ // Ïðèêëàäíàÿ ôèçèêà.� 2001.� Âûï. 3.� Ñ. 44�47. 10. Ëåáåäåâ À. À., Ñòàôååâ Â. È., Òó÷êåâè÷ Â. Ì. Íåêîòîðûå ñâîéñòâà äèîäîâ èç ãåðìàíèÿ ñ ïðèìåñüþ çîëîòà // ÆÒÔ.� 1956.� Ò. XXVI, ¹ 10.� Ñ. 2131�2141. 11. Ñòàôååâ Â. È. Ôîòîïðîâîäèìîñòü â ïîëóïðîâîäíèêîâîì äèîäå, âûçâàííàÿ èçìåíåíèåì âðåìåíè æèçíè // ÔÒÒ.� 1961.� Ò. 3, ¹. 9.� Ñ. 2513�2518. 12. Ãàðèí Á. Ì., Ñòàôååâ Â. È. Î âëèÿíèè ñâåòà íà ñòàòè÷å- ñêóþ âîëüò-àìïåðíóþ õàðàêòåðèñòèêó �äëèííîãî� äèîäà // ÔÒÏ.� 1972.� Ò. 6, âûï.1.� Ñ. 78�83. 13. Ãàðèí Á. Ì., Ñòàôååâ Â. È. Î �ïðèìåñíîé � ôîòîïðîâîäè- ìîñòè ïðè èíæåêöèè â êîìïåíñèðîâàííûé ïîëóïðîâîäíèê // Òåç. äîêë. Âñåñîþç. ñîâåù. ïî äèýëåêòðè÷åñêîé ýëåêòðîíèêå.� Òàø- êåíò.� 1973.� Ñ. 42. 14. Âèêóëèí È. Ì., Êóðìàøåâ Ø. Ä., Ñòàôååâ Â. È. Ôîòîïðè- åìíèêè ñ èíæåêöèîííûì óñèëåíèåì.� Ì.: ÖÍÈÈ �Ýëåêòðîíè- êà�, 1989. 15. Áëîõèí È. Ê., Îñèïîâ Â. Â., Ñòàôååâ Â. È., Õîëîäíîâ Â. À. Ôîòîïðîâîäèìîñòü p-i-n-ñòðóêòóð ïðè ïîãëîùåíèè ñâåòà íà èíæåêòèðîâàííûõ íîñèòåëÿõ // Ðàäèîòåõíèêà è ýëåêòðîíèêà.� 1980.� Ò. ÕÕV, ¹ 8.� Ñ. 1702�1707. 16. Áëîõèí È. Ê., Îñèïîâ Â. Â., Ñòàôååâ Â. È., Õîëîäíîâ Â. À. Ôîòîïðîâîäèìîñòü äëèííûõ äèîäîâ ïðè ïîãëîùåíèè ñâåòà íà èíæåêòèðîâàííûõ íîñèòåëÿõ è èõ ðàçîãðåâå // Òàì æå.� 1981.� Ò. ÕÕV, ¹. 7.� Ñ. 1573�1580. 17. Åëüöîâ À. Â., Ñòàôååâ Â. È. Ôîòîïðèåìíèêè íà îñíîâå íåðàâíîâåñíûõ ðåêîìáèíàöèîííî-ëîâóøå÷íûõ áàðüåðîâ // ÔÒÏ.� 1976.� Ò. 10, âûï. 3.� Ñ. 549�553. 18. Çàëåòàåâ Í. Á., Ñåðåáðåííèêîâ Ï. Ñ., Ñòàôååâ Â. È. Î ãåíå- ðàöèîííî-ðåêîìáèíàöèîííûõ øóìàõ ïðè áèïîëÿðíîé èíæåêöèè â ïîëóèçîëÿòîð // Òàì æå.� 1982.� Ò. 16, âûï. 2.� Ñ. 324�330. 19. Âëàñîâ À. Í., Çàëåòàåâ Í. Á., Íèêèôîðîâà Â. Ï., Ñòàôååâ Â. È. Âëèÿíèå íåîäíîðîäíîãî îñâåùåíèÿ íà ïðÿìîé òîê â ïîëó- èçîëÿòîðå ñ p-n-ïåðåõîäîì // Òàì æå.� 1982.� Ò. 16, âûï. 6.� Ñ. 1059�1062. 20. Çàëåòàåâ Í. Á., Êóëèêîâ Ê. Ì., Íèêèôîðîâ Â. Ï., Ñòàôååâ Â. È. Âëèÿíèå îñâåùåíèÿ íà ñâîéñòâà S-äèîäîâ èç ãåðìàíèÿ ñ ïðèìåñüþ çîëîòà // Òàì æå.� 1974.� Ò. 8, âûï. 1� Ñ. 39�44. 21. Âèêóëèí È. Ì., Êóðìàøåâ Ø. Ä., Àíäðååâ Â. À. è äð. Ôî- òîýëåêòðè÷åñêèå ñâîéñòâà S-äèîäîâ èç ãåðìàíèÿ, ëåãèðîâàííîãî ðòóòüþ // Òàì æå.� 1979.� Ò. 13, âûï. 3.� Ñ. 460�462. 22. Âèêóëèí È. Ì., Êóðìàøåâ Ø. Ä., Àíäðååâ Â. À. Èíæåê- öèîííîå óñèëåíèå ïðèìåñíîãî ôîòîòîêà â p-InSb // Òàì æå.� 1981.� Ò. 16, âûï. 5.� Ñ. 990�992. 23. Weber W. H., Ford C. W. Double injection in semicoductors heavely doped widh deep two-level traps // Sol. St. Electron.� 1970.� Vol. 13, N 10.� P. 1333�1356. 24. Ìóðûãèí Â. È. Èññëåäîâàíèå íåêîòîðûõ ôîòîýëåêòðè÷å- ñêèõ ñâîéñòâ ïîëóèçîëèðóþùåãî ôîñôèäà ãàëëèÿ è äèîäíûõ ñòðóê- òóð íà åãî îñíîâå // ÔÒÏ.� 1973.� Ò. 7, âûï. 4.� Ñ. 858�862. 25. Àíèñèìîâà È. Ä., Ðóäîâîë Ò. Â., Ñòàôååâ Â. È. Èññëåäî- âàíèå ôîòîýëåêòðè÷åñêèõ ñâîéñòâ ñòðóêòóð ñ ãåòåðîïåðåõîäîì p-Ga1-x AlxAs-iGaAs-n-GaAs // Òàì æå.� 1975.� Ò. 9, âûï. 6.� Ñ. 1145�1147. 26. Ðóäîâîë Ò. Â., Ñòàôååâ Â. È., Ñàèäîâ Ì. Ñ. è äð. Ôîòî- ýëåêòðè÷åñêèå ñâîéñòâà p-i-n ñòðóêòóð íà îñíîâå âûñîêîîìíûõ òâåðäûõ ðàñòâîðîâ Ga1-xAlxAs, ëåãèðîâàííûõ íèêåëåì è õðîìîì // Ðàäèîòåõíèêà è ýëåêòðîíèêà.� 1977.� Ò. ÕÕII, ¹ 7.� Ñ. 1462�1465. 27. Àíèñèìîâà È. Ä., Ìàìåäîâà À. Å., Ìèõàéëîâ È. È. è äð. Èññëåäîâàíèå ôîòîýëåêòðè÷åñêèõ ñâîéñòâ n-i-n ñòðóêòóð íà îñ- íîâå âûñîêîîìíîãî àðñåíèäà ãàëëèÿ // ÔÒÏ.� 1976.� Ò. 10, âûï. 8.� Ñ. 1159�1160. 28. Ëîñåâ Â. Â., Îðëîâ Á. Ì., Ñòàôååâ Â. È. Ôîòîýëåêòðè÷å- ñêèå ñâîéñòâà äèîäîâ íà îñíîâå âûñîêîîìíîãî ZnS // Òàì æå.� 1975.� Ò. 9, âûï. 1.� Ñ. 41�45. 29. Àáäóëëàåâ Ã. Á., Çàëåòàåâ Í. Á., Ìàìåäîâà À. Ç., Ñòàôååâ Â. È. Ôîòîäèîäû è ôîòîðåçèñòîðû íà îñíîâå GaSe // Ðàäèîòåõ- íèêà è ýëåêòðîíèêà.� 1979.� Ò. XXIV, âûï. 7.� Ñ. 1430�1432. 30. Âèêóëèí È. Ì., Ñòàôååâ Â. È. S-äèîäû //  ñá.: Ïîëóïðî- âîäíèêîâûå ïðèáîðû è èõ ïðèìåíåíèå / Ïîä ðåä. ß. À. Ôåäîòî- âà.� Ì.: Ñîâ. ðàäèî.� 1974.� Âûï. 28.� Ñ. 23�56. 31. Âèëëèñîâ Â. Ï., Âîðîíêîâ Â. Ï., Äèàìàíò Â. È. Ôîòî- ýëåêòðè÷åñêèå õàðàêòåðèñòèêè ãåðìàíèåâûõ S-äèîäîâ // ÔÒÏ.� 1976.� Ò. 10, âûï. 7.� Ñ. 1342�1344. 32. Àáðàìÿí Þ. À., Àíèñèìîâà È. Ä., Êàëÿåâà Â. Ï. è äð. Èíôðàêðàñíûé ðàäèîìåòð íà îñíîâå èíæåêöèîííîãî ôîòîäèîäà èç àðñåíèäà ãàëëèÿ // ÎÌÏ.� 1978.� ¹ 8.� Ñ. 72�73. 33. Àíèñèìîâà È. Ä., Âèêóëèí È. Ì., Çàèòîâ Ô. À., Êóðìàøåâ Ø. Ä. Ïîëóïðîâîäíèêîâûå ôîòîïðèåìíèêè.� Ì.: Ðàäèî è ñâÿçü, 1984. 34. Âèêóëèí È. Ì., Ñòàôååâ Â. È. Ïîëóïðîâîäíèêîâûå äàò- ÷èêè.� Ì.: Ñîâ. ðàäèî, 1975. 35. Êàðàãåîðãèé-Àëêàëàåâ Ï. Ì., Ëåéäåðìàí À. Þ. Ôîòî÷óâ- ñòâèòåëüíîñòü ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ñòðóêòóð ñ ãëóáîêèìè óðîâ- íÿìè.� Òàøêåíò: Ôàí, 1981. 36. Ãàñïàðÿí Ô. Â., Àäîìÿí Ç. Í., Àðóòþíÿí Â. Ì. Êðåìíèå- âûå ôîòîïðèåìíèêè.� Åðåâàí: Èçä-âî Åðåâàíñêîãî óí-òà, 1989. 37. Àáðàìÿí Þ. À., Ãàñïàðÿí Ô. Â., Ìàðòèðîñÿí Ð. Ì. Ïîðî- ãîâûå õàðàêòåðèñòèêè ôîòîäåòåêòîðîâ, ÈÊ ðàäèîìåòðû è îñíîâ- íûå ìàòåðèàëû ñîâðåìåííîé ôîòîýëåêòðîíèêè // Åðåâàí: Èçä-âî Åðåâàíñêîãî óí-òà, 2000. Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2007, ¹ 5 13 ÝËÅÊÒÐÎÍÍÛÅ ÑÐÅÄÑÒÂÀ: ÈÑÑËÅÄÎÂÀÍÈß, ÐÀÇÐÀÁÎÒÊÈ 38. Holl R. N. An analysis of the performanse of termoelectric devices mode from long lifetime semiconductors // Solid State Electron.� 1961.� Vol. 2.� P. 115�122. 39. Ìelehy Ì. À. // J. Appl. Phys.� 1962.� Vol. 33.� P. 2100. 40. Billis W. M. Minority carrier termoelectric cooling // Ibid.� 1963.� Vol. 34, N 6.� P. 1648�1649. 41. Ëóêøèåð Ç. Ì., Êîëîìîåö Í. Â. Î âîçìîæíîñòÿõ èíæåêöè- îííûõ òåðìîýëåìåíòîâ // ÔÒÏ.� 1973.� Ò. 7.� Ñ. 172�176. 42. Ïîíîìàðåíêî Â. Ï., Ñòàôååâ Â. È. Èññëåäîâàíèÿ èíæåê- öèîííîãî ïåðåíîñà òåïëà â äèîäàõ íà îñíîâå ýïèòàêñèàëüíûõ ñëîåâ CdxHg1-xTe // Tðóäû ÌÔÒÈ. Ñåð. Ðàäèîòåõíèêà è ýëåêòðî- íèêà.� 1974.� ¹ 7.� Ñ. 57�61. 43. Ñòàôååâ Â. È., Ïîíîìàðåíêî Â. Ï. Èíæåêöèîííûé ïåðå- íîñ òåïëà â äèîäàõ èç CdHgTe // II Óêðàèíñêàÿ íàó÷. êîíô. ïî ôèçèêå ïîëóïðîâîäíèêîâ.� ×åðíîâöû�Âèæíèöà, Óêðàèíà.� 2004.� Ò. 1.� Ñ. 62�63. 44. Ñòàôååâ Â. È. Ïåðåíîñ òåïëà è äðóãèå ÿâëåíèÿ â ñòðóêòó- ðàõ ñ íåðàâíîâåñíûìè íîñèòåëÿìè // Ìàò-ëû XI Ìåæäóíàð. íàó÷.- òåõí. êîíô. «Âûñîêèå òåõíîëîãèè â ïðîìûøëåííîñòè Ðîññèè (ìàòåðèàëû è óñòðîéñòâà ôóíêöèîíàëüíîé ýëåêòðîíèêè è íàíî- ôîòîíèêè)».� Ìîñêâà, ÌÃÒÓ èì. Í. Ý. Áàóìàíà.� 2005.� Ñ. 270�275. 45. Òàóö Ä. Ôîòîýëåêòðè÷åñêèå è òåðìîýëåêòðè÷åñêèå ÿâëå- íèÿ â ïîëóïðîâîäíèêàõ.� Ì.: Èçä-âî èíîñòð. ëèò., 1965. 46. Ñòàôååâ Â. È., Êàðàêóøàí Ý. È. Ìàãíèòîäèîäû. Íîâûå ïîëóïðîâîäíèêîâûå ïðèáîðû ñ âûñîêîé ÷óâñòâèòåëüíîñòüþ ê ìàãíèòíîìó ïîëþ.�Ì.: Íàóêà, 1975. 47. Blicher A. Thyristor physics.� New York � Heidelberg � Berlin: Spriger�Verllag, 1976. 48. Áîâèíà Ë. À., Ñòàôååâ Â. È. Óçêîçîííûå òâåðäûå ðàñòâî- ðû CdxHg1-õTe //  êí.: Ôèçèêà ñîåäèíåíèé AIIBVI.� Ì.: Íàóêà, 1986.� Ãë. 8. 49. Áåð÷åíêî Í. Ï., Êðåâñ Â. Å., Ñðåäèí Â. Ã. Ïîëóïðîâîäíè- êîâûå òâåðäûå ðàñòâîðû è èõ ïðèìåíåíèå (A3B5, ñïðàâî÷íûå òàá- ëèöû).� Ì.: Âîåíèçäàò, 1982. 50. Pipe K. P., Ram R. I. Bias-dependent Peltier coefficient and internal cooling in bipolar devices // Phys. Rev. B.� 2002.� Vol. 66.� P. 125316. 51. Pipe K. P., Ram R. I., Shakouri. Internal termoelectric heating and cooling in heterostructure diode lasers // Conf. on Lasers and Electro-Optics.� Baltimore, VD.� 2001. 52. Êàðàêóøàí Ý. È., Ñòàôååâ Â. È. Ìàãíèòîäèîäû // ÔÒÒ.� 1961.� Ò. 3, âûï. 3.� Ñ. 677�686. 53. Karakushan E. I., Stafeev V. I. Magnetodiodes // Colloc. Intern. Sur les dispositifs Semicond.� Paris.� 1961.� Vol. 1.� P. 789. 54. Ñòàôååâ Â. È., Êàðàêóøàí Ý. È. Ìàãíèòîäèîäû � ïîëó- ïðîâîäíèêîâûå ïðèáîðû ñ âûñîêîé ìàãíèòî÷óâñòâèòåëüíîñòüþ // Ë.: ËÄÍÒÏ, 1964. 55. Âîðîáüåâ Ë. Å., Êàðàêóøàí Ý. È., Ñòàôååâ Â. È. Âëèÿíèå ìàãíèòíîãî ïîëÿ íà ðàñïðåäåëåíèå íîñèòåëåé â òîëùå ìàãíèòî- äèîäà // ÔÒÒ.� 1963.� Ò. 5, âûï. 4.� Ñ. 982�989. 56. Åãèàçàðÿí Ã. À., Ìíàöêàíÿí Ã. À., Ìóðûãèí Â. È., Ñòà- ôååâ Â. È. Êðåìíèåâûå ìàãíèòîäèîäû ñ ïîëÿðíîé ÷óâñòâèòåëü- íîñòüþ ê ìàãíèòíîìó ïîëþ // ÔÒÏ.� 1975.� Ò. 9, âûï. 7.� Ñ. 1252�1259. 57. Åãèàçàðÿí Ã. À., Ñòàôååâ Â. È. Ìàãíèòîäèîäû, ìàãíèòî- òðàíçèñòîðû è èõ ïðèìåíåíèå.� Ì.: Ðàäèî è ñâÿçü, 1987. 58. Âèêóëèíà Ë. Ô., Ãëàóáåðìàí Ì. À. Ôèçèêà ñåíñîðîâ òåì- ïåðàòóðû è ìàãíèòíîãî ïîëÿ.� Îäåññà: Ìàÿê, 2000. 59. Yamada T. Íîâûé âûñîêî÷óâñòâèòåëüíûé ìàãíèòîðåçèñ- òèâíûé ýôôåêò â ïîëóïðîâîäíèêàõ / Òð. IX Ìåæäóíàð. êîíô. ïî ôèçèêå ïîëóïðîâîäíèêîâ. Ò. II.� Ìîñêâà.� 1968.� Ñ. 711. 60. Arai M., Yamada G. Silicon magnetodiode supplement to the J. // Jap. Soc. Appl. Phis.� Vol. 40.� P. 93. 61. Êàðàêóøàí Ý. È., Ñòàôååâ Â. È., Øòàãåð À. Ï. Äâóõáàçî- âûé ìàãíèòîäèîä // Ðàäèîòåõíèêà è ýëåêòðîíèêà.�1964.� Ò. IX, ¹ 11.� Ñ. 1034�1039. 62. Âèêóëèí È. Ì., Âèêóëèíà Ë. Ô., Ñòàôååâ Â. È. Ìàãíèòî- ÷óâñòâèòåëüíûå òðàíçèñòîðû // ÔÒÏ.� 2001.� Ò. 35, âûï. 1.� Ñ. 3�10. 63. Êîçëîâ À. Â., Êîðîëåâ Ì. À., Ñìèðíîâ Ñ. Þ. è äð. Èññëå- äîâàíèÿ ìåõàíèçìîâ ïðåîáðàçîâàíèÿ è îòíîñèòåëüíîé ìàãíèòî- ÷óâñòâèòåëüíîñòè òðåõêîëëåêòîðíîãî áèïîëÿðíîãî ìàãíèòî÷óâ- ñòâèòåëüíîãî òðàíçèñòîðà // Ìèêðîýëåêòðîíèêà.� 2003.� Ò. 32, ¹ 3.� Ñ. 219�225. 64. Ñòàôååâ Â. È. Èññëåäîâàíèå íåêîòîðûõ ñâîéñòâ ãåðìà- íèÿ ñ ïðèìåñüþ çîëîòà // ÔÒÒ.� 1963.� Ò. 5, âûï. 11.� Ñ. 3095�3104. 65. Sondayevsky V. P., Stafeev V. I., Karakushan E. I. Study of germanium doped with Au in strong electric filds // Pros. Inter. Conf. Phys. Semicond.� Paris.� 1964.� Ð. 481�485. 66. Ñîíäàåâñêèé Â. Ï., Ñòàôååâ Â. È. Èíúåêöèÿ â ïîëóïðî- âîäíèêàõ ñ ãëóáîêèìè óðîâíÿìè ïðèìåñåé // ÔÒÒ.� 1964.� Ò. 6, ¹ 1.� Ñ. 80�91. 67. Âèëëèñîâ À. À., Âîðîíêîâ Â. Ï., Äèàìàíò Â. Í. Èññëå- äîâàíèå «äëèííûõ» ãåðìàíèåâûõ äèîäîâ ñ îòðèöàòåëüíûì ñî- ïðîòèâëåíèåì // Èçâ. âóçîâ ÑÑÑÐ. Ôèçèêà.� 1975.� ¹ 6.� Ñ. 152�154. 68. Êàçàðèíîâ Ð. Ô., Ñòàôååâ Â. È., Ñóðèñ Ð. À. Îòðèöàòåëü- íîå äèôôåðåíöèàëüíîå ñîïðîòèâëåíèå â ãåðìàíèè ñ ãëóáîêèìè óðîâíÿìè ïðè èíæåêöèè íåîñíîâíûõ íîñèòåëåé // ÔÒÏ.� 1967.� Ò. 1, âûï. 9.� Ñ. 1293�1300. 69. Îñèïîâ Â. Â., Ñòàôååâ Â. È. Ê òåîðèè �äëèííûõ� äèîäîâ ñ îòðèöàòåëüíûì ñîïðîòèâëåíèåì // Òàì æå.� 1967.� Ò. 1, âûï. 12.� Ñ. 1795�1804. 70. Âîëêîâ À. Ô., Êîãàí Ø. Ì. Î âîçíèêíîâåíèè íåîäíîðîä- íîãî ðàñïðåäåëåíèÿ òîêà â ïîëóïðîâîäíèêàõ ñ îòðèöàòåëüíîé äèô- ôåðåíöèàëüíîé ïðîâîäèìîñòüþ // ÆÝÒÔ.� 1967.� Ò. 52, ¹ 6.� Ñ. 1647. 71. Àëåêñååâ Ì. Å., Âàðëàìîâ È. Â., Ïîëòàðàöêèé Ý. À., Ñîí- äàåâñêèé Â. Ï. Íåêîòîðûå ñâîéñòâà øíóðà òîêà â äèîäíûõ ñòðóê- òóðàõ íà îñíîâå ïîëóïðîâîäíèêîâ ñ ãëóáîêèìè óðîâíÿìè // ÔÒÏ.� 1969.� Ò. 3, âûï. 12.� Ñ. 1787�1802. 72. Àìèðõàíîâ À. Â., Ãëàäêîâ Â. Í., Ðûáàëü÷åíêî Â. È. è äð. Èíòåãðàëüíûå àêòèâíûå ïåðåäàþùèå ëèíèè ñèãíàëîâ íà îñíîâå ôóíêöèîíàëüíûõ ýëåìåíòîâ //  êí.: Ôóíêöèîíàëüíûå ìèêðîýëåê- òðîííûå óñòðîéñòâà è èõ ýëåìåíòû.� Òàãàíðîã: Èçä-âî ÒÐÒÈ.� 1974.� Âûï. 2.� Ñ. 10�17. 73. Ñòàôååâ Â. È., Êîìàðîâñêèõ Ê. Ô., Ôóðñèí Ã. È. Íåéðèñ- òîðíûå è äðóãèå ôóíêöèîíàëüíûå ñõåìû ñ îáúåìíîé ñâÿçüþ.� Ì.: Ðàäèî è ñâÿçü, 1981. 74. Åëåîíñêèé Â. Ì., Ìóðûãèí Â. È., Ñòàôååâ Â. È. Íåéðèñ- òîðû // Ýëåêòðîííàÿ òåõíèêà. Ñåð. Ìèêðîýëåêòðîíèêà.� 1967.� Âûï. 7.� Ñ. 22�38. 75. Çîëîòàðåâ Þ. Ã., Ñòàôååâ Â. È. Îñíîâû íåéðèñòîðíîé ñõåìîòåõíèêè // Òàì æå.� 1969.� Âûï. 1.� Ñ. 17�24. 76. Çîëîòàðåâ Â. Ô. Áåçâàêóóìíûå àíàëîãè òåëåâèçèîííûõ òðóáîê.� Ì.: Ýíåðãèÿ, 1972. 77. Çîëîòàðåâ Å. Á., Êîìàðîâñêèõ Ê. Ô., Ñòàôååâ Â. È. Ïðî- ñòûå ëîãè÷åñêèå ñõåìû íà S-ýëåìåíòàõ // Ìèêðîýëåêòðîíèêà.� 1974.� Ò. 3, âûï. 2.� Ñ. 115�122. 78. Âîëîäèí Å. Á., Çîëîòàðåâ Â. È., Çîëîòàðåâ Þ. Ã. è äð. Ôóíê- öèîíàëüíûå ëîãè÷åñêèå ñõåìû íà S-ýëåìåíòàõ // Òàì æå.� Ñ. 123�131. 79. Àìèðõàíîâ À. Â., Ðûáàëü÷åíêî Â. È., Ñòàôååâ Â. È., Ôóð- ñèí Ã. È. Ëîãè÷åñêèå ñõåìû íà n-p-i-ñòðóêòóðàõ ñ îòðèöàòåëü- íûì ñîïðîòèâëåíèåì // Òàì æå.� Ñ. 132�141. 80. Àðóòþíÿí Â. Ì. Ôèçè÷åñêèå ñâîéñòâà è ôóíêöèîíàëü- íûå ñâÿçè ñòðóêòóð èç êðåìíèÿ, êîìïåíñèðîâàííîãî öèíêîì // Ìèêðîýëåêòðîíèêà.� 1982.� Ò. 11, âûï. 6.� Ñ. 539�550.
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52867
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 2225-5818
language Russian
last_indexed 2025-12-07T13:32:03Z
publishDate 2007
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
record_format dspace
spelling Стафеев, В.И.
2014-01-08T17:50:35Z
2014-01-08T17:50:35Z
2007
Электронные приборы на основе полуизоляторов / В.И. Стафеев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 5. — С. 3-13. — Бібліогр.: 80 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52867
Рассмотрены физические явления в полуизоляторах и приборы на их основе. Проведен анализ работ в этой области за последние сорок лет.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Электронные средства: исследования, разработки
Электронные приборы на основе полуизоляторов
Електронні прилади на основі напівізоляторів
Electronic devices on the basis of semiinsulating crystal
Article
published earlier
spellingShingle Электронные приборы на основе полуизоляторов
Стафеев, В.И.
Электронные средства: исследования, разработки
title Электронные приборы на основе полуизоляторов
title_alt Електронні прилади на основі напівізоляторів
Electronic devices on the basis of semiinsulating crystal
title_full Электронные приборы на основе полуизоляторов
title_fullStr Электронные приборы на основе полуизоляторов
title_full_unstemmed Электронные приборы на основе полуизоляторов
title_short Электронные приборы на основе полуизоляторов
title_sort электронные приборы на основе полуизоляторов
topic Электронные средства: исследования, разработки
topic_facet Электронные средства: исследования, разработки
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52867
work_keys_str_mv AT stafeevvi élektronnyepriborynaosnovepoluizolâtorov
AT stafeevvi elektronnípriladinaosnovínapívízolâtorív
AT stafeevvi electronicdevicesonthebasisofsemiinsulatingcrystal