Сравнительный анализ технологий изготовления кремниевых схем считывания информации с ИК-фотодиодов
Рассмотрены технология комплементарных МОП-схем и технология приборов с зарядовой связью на базе стандартной технологии n-канальных МОП-структур. Приведены параметры схем считывания, изготовленных по этим технологиям....
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2007 |
| Main Authors: | , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2007
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52877 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Сравнительный анализ технологий изготовления кремниевых схем считывания информации с ИК-фотодиодов / В.П. Рева, С.В. Коринец, Л.А. Писаренко, С.Е. Духнин, Н.А. Барсукова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 5. — С. 46-49. — Бібліогр.: 16 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1859784827828436992 |
|---|---|
| author | Рева, В.П. Коринец, С.В. Писаренко, Л.А. Духнин, С.Е. Барсукова, Н.А. |
| author_facet | Рева, В.П. Коринец, С.В. Писаренко, Л.А. Духнин, С.Е. Барсукова, Н.А. |
| citation_txt | Сравнительный анализ технологий изготовления кремниевых схем считывания информации с ИК-фотодиодов / В.П. Рева, С.В. Коринец, Л.А. Писаренко, С.Е. Духнин, Н.А. Барсукова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 5. — С. 46-49. — Бібліогр.: 16 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Рассмотрены технология комплементарных МОП-схем и технология приборов с зарядовой связью на базе стандартной технологии n-канальных МОП-структур. Приведены параметры схем считывания, изготовленных по этим технологиям.
|
| first_indexed | 2025-12-02T10:01:02Z |
| format | Article |
| fulltext |
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2007, ¹ 5
46
ÒÅÕÍÎËÎÃÈ×ÅÑÊÈÅ ÏÐÎÖÅÑÑÛ È ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈÅ
Äàòà ïîñòóïëåíèÿ â ðåäàêöèþ
24.05 2007 ã.
Îïïîíåíòû ê. ò. í. Â. Ï. ÑÈÄÎÐÅÍÊÎ
(ÍÈÈ ìèêðîïðèáîðîâ, ã. Êèåâ),
ê. ò. í. Â. Â. ÐÞÕÒÈÍ
(ÖÊÁ «Ðèòì», ã. ×åðíîâöû)
Ê. ò. í. Â. Ï. ÐÅÂÀ, Ñ. Â. ÊÎÐÈÍÅÖ, Ë. À. ÏÈÑÀÐÅÍÊÎ,
Ñ. Å. ÄÓÕÍÈÍ, Í. À. ÁÀÐÑÓÊÎÂÀ
Óêðàèíà, ã. Êèåâ, ÍÈÈ ìèêðîïðèáîðîâ
E-mail: reva @imd.org.ua
Ðàññìîòðåíû òåõíîëîãèÿ êîìïëåìåíòàð-
íûõ ÌÎÏ-ñõåì è òåõíîëîãèÿ ïðèáîðîâ ñ
çàðÿäîâîé ñâÿçüþ íà áàçå ñòàíäàðòíîé
òåõíîëîãèè n-êàíàëüíûõ ÌÎÏ-ñòðóêòóð.
Ïðèâåäåíû ïàðàìåòðû ñõåì ñ÷èòûâàíèÿ,
èçãîòîâëåííûõ ïî ýòèì òåõíîëîãèÿì.
Îáðàáîòêà ñèãíàëîâ ñ ìíîãîýëåìåíòíûõ èíôðà-
êðàñíûõ ôîòîïðèåìíèêîâ â íàñòîÿùåå âðåìÿ âîç-
ìîæíà òîëüêî ñ èñïîëüçîâàíèåì ñïåöèàëüíûõ ýëåê-
òðîííûõ óñòðîéñòâ ñ÷èòûâàíèÿ è ïðåäâàðèòåëüíîé
îáðàáîòêè íåïîñðåäñòâåííî â ôîêàëüíîé ïëîñêîñòè
ïðèåìíèêà. Ïðèìåíåíèå óñòðîéñòâ ñ÷èòûâàíèÿ â ôî-
êàëüíîé ïëîñêîñòè ðÿäîì ñ ôîòîäåòåêòîðàìè ïîçâî-
ëÿåò çíà÷èòåëüíî óìåíüøèòü óðîâíè íàâîäîê èçâíå
è êàðäèíàëüíî ñíèçèòü óðîâåíü âûõîäíîãî øóìà èç
ãèáðèäíîé ñáîðêè «ôîòîïðèåìíèê � óñòðîéñòâî
ñ÷èòûâàíèÿ». Àíàëèç ñîâðåìåííûõ êîíñòðóêöèé è
ïàðàìåòðîâ ñõåì ñ÷èòûâàíèÿ äëÿ ôîòîïðèåìíûõ
óñòðîéñòâ (ÔÏÓ) ÈÊ-äèàïàçîíà ïîêàçûâàåò, ÷òî îíè
îáåñïå÷èâàþò ïîëó÷åíèå ìèíèìàëüíîé ðàçðåøàþùåé
ñïîñîáíîñòè ïî òåìïåðàòóðå â ïðåäåëàõ 10�35 ìÊ â
äèíàìè÷åñêîì äèàïàçîíå 75�80 äÁ [1�6].
Äàííàÿ ñòàòüÿ ïîñâÿùåíà ðàññìîòðåíèþ òåõíî-
ëîãè÷åñêèõ îñîáåííîñòåé èçãîòîâëåíèÿ êðèîãåííûõ
èíòåãðàëüíûõ ñõåì ñ÷èòûâàíèÿ (ÈÑÑ) äëÿ ëèíåé-
íûõ ÔÏÓ ôîðìàòà 2×64, ðàáîòàþùèõ â äèàïàçîíå
äëèí âîëí 8�14 ìêì. Çà îñíîâó áûëè âçÿòû õîðîøî
îñâîåííûå â êðåìíèåâîì ïðîèçâîäñòâå áàçîâûå òåõ-
íîëîãèè � 2,5-ìèêðîííàÿ n-êàíàëüíàÿ è 2-ìèêðîí-
íàÿ ÊÌÎÏ.
Êîíñòðóêöèè ñõåì ñ÷èòûâàíèÿ
Òîïîëîãèþ ñõåì ñ÷èòûâàíèÿ, íåçàâèñèìî îò òåõ-
íîëîãè÷åñêîé ðåàëèçàöèè, ìîæíî ðàçäåëèòü íà òðè
÷àñòè:
� ôîêàëüíàÿ ïëîñêîñòü (êîíòàêòû ê ëèíåéêå (ìàò-
ðèöå) ôîòî÷óâñòâèòåëüíûõ äåòåêòîðîâ (Ô×Ä), áëîê
ïðåäâàðèòåëüíîé îáðàáîòêè è ýëåìåíòû òåñòèðîâà-
íèÿ ñõåìû);
� àíàëîãîâàÿ ÷àñòü (ñõåìû ôîðìèðîâàíèÿ îïîð-
íîãî óðîâíÿ, âõîäíûå ñõåìû ñòûêîâêè ñ ôîòîäèîäà-
ìè, çàðÿäî÷óâñòâèòåëüíûå óñèëèòåëè, âíóòðåííèå
áóôåðû, âûõîäíûå áóôåðû);
� öèôðîâàÿ ÷àñòü (ñõåìû ôîðìèðîâàíèÿ âñåõ
íåîáõîäèìûõ ñèãíàëîâ óïðàâëåíèÿ öèôðîâûìè è
àíàëîãîâûìè áëîêàìè).
ÑÐÀÂÍÈÒÅËÜÍÛÉ ÀÍÀËÈÇ ÒÅÕÍÎËÎÃÈÉ ÈÇÃÎÒÎÂËÅÍÈß
ÊÐÅÌÍÈÅÂÛÕ ÑÕÅÌ Ñ×ÈÒÛÂÀÍÈß ÈÍÔÎÐÌÀÖÈÈ
Ñ ÈÊ-ÔÎÒÎÄÈÎÄÎÂ
Èíòåãðàëüíûå ñõåìû íà ïðèáîðàõ ñ çàðÿäîâîé
ñâÿçüþ (ÏÇÑ) îáëàäàþò óíèêàëüíîé ñïîñîáíîñòüþ
ïðåäñòàâëåíèÿ ñèãíàëà â àíàëîãîâî-äèñêðåòíîé ôîð-
ìå. Ñèãíàëüíàÿ èíôîðìàöèÿ â ÏÇÑ íàõîäèòñÿ â âèäå
çàðÿäîâûõ ïàêåòîâ, êîòîðûå ëîêàëèçóþòñÿ â îòäåëü-
íûõ ïîòåíöèàëüíûõ ÿìàõ, îáðàçóþùèõñÿ â ïðèïî-
âåðõíîñòíîì ñëîå ïîëóïðîâîäíèêà. Ñ ïîìîùüþ âíåø-
íèõ óïðàâëÿþùèõ èìïóëüñîâ çàðÿäîâûå ïàêåòû ìîæ-
íî ïåðåìåùàòü âäîëü êðèñòàëëà, ïðîèçâîäèòü èõ îá-
ðàáîòêó è ïðåîáðàçîâûâàòü â òîê èëè íàïðÿæåíèå íà
âûõîäå ïðèáîðà. Îñíîâíûå îïåðàöèè � äåòåêòèðî-
âàíèå, íàêîïëåíèå, ìóëüòèïëåêñèðîâàíèå, âðåìåííàÿ
çàäåðæêà � â ñõåìàõ ñ÷èòûâàíèÿ íà îñíîâå ÏÇÑ
ïðîâîäèòñÿ â ÿ÷åéêàõ ÏÇÑ. Äëÿ ýòîãî ìîãóò ïðèìå-
íÿòüñÿ êàê ÿ÷åéêè ñ ïîâåðõíîñòíûì ïåðåíîñîì, òàê
è ÿ÷åéêè ñî ñêðûòûì (îáúåìíûì) êàíàëîì [7, 8].
Òàêèì îáðàçîì, â èíòåãðàëüíûõ ÏÇÑ-ñõåìàõ ñ÷è-
òûâàíèÿ ýëåìåíòíîé áàçîé, îáåñïå÷èâàþùåé âñå
íåîáõîäèìûå ôóíêöèè, ÿâëÿþòñÿ ÌÎÏ-ñòðóêòóðû ñ
ïîëèêðåìíèåâûìè ýëåêòðîäàìè è n-êàíàëüíûå
ÌÎÏ-òðàíçèñòîðû.
Äëÿ ñõåì ñ÷èòûâàíèÿ íà îñíîâå êîìïëåìåíòàð-
íûõ ÌÎÏ-ñòðóêòóð (ÊÌÎÏ) îñíîâíîé ýëåìåíòíîé
áàçîé ÿâëÿþòñÿ n- è p-êàíàëüíûå ÌÎÏ-òðàíçèñòî-
ðû, êîòîðûå îáåñïå÷èâàþò öèôðîâóþ îáðàáîòêó ñèã-
íàëüíîé èíôîðìàöèè, à àíàëîãîâûå ôóíêöèè ðåàëè-
çóþòñÿ íàêîïèòåëüíûìè åìêîñòÿìè, âûïîëíåííûìè
â âèäå êîíäåíñàòîðîâ ñ ïîëèêðåìíèåâûìè ýëåêòðî-
äàìè.
Îñíîâíûå õàðàêòåðèñòèêè òåõíîëîãèé
èçãîòîâëåíèÿ è ýëåìåíòíîé áàçû
 òàáë. 1 è 2 ïðèâåäåíû îñíîâíûå ïàðàìåòðû,
õàðàêòåðèçóþùèå ðàññìàòðèâàåìûå òåõíîëîãèè èç-
ãîòîâëåíèÿ ñõåì ñ÷èòûâàíèÿ.
Êàê âèäíî èç òàáëèö, îáå èñïîëüçóåìûå òåõíîëî-
ãèè ðåàëèçóþòñÿ ñ ïîìîùüþ ïðîöåññîâ ïðîåêöèîí-
íîé ôîòîëèòîãðàôèè íå î÷åíü âûñîêîãî óðîâíÿ è
ñðàâíèìû ïî ñëîæíîñòè. ÊÌÎÏ-òåõíîëîãèÿ � áî-
ëåå äîðîãîñòîÿùàÿ çà ñ÷åò èñïîëüçîâàíèÿ áîëüøåãî
÷èñëà îïåðàöèé ôîòîëèòîãðàôèè è áîëåå æåñòêèõ
îãðàíè÷åíèé, íî â íàñòîÿùåå âðåìÿ øèðîêî ðàñïðî-
ñòðàíåííàÿ.
Îòëè÷èòåëüíîé îñîáåííîñòüþ òåõíîëîãèé èçãî-
òîâëåíèÿ ñõåì ñ÷èòûâàíèÿ ÿâëÿåòñÿ íåîáõîäèìîñòü
îáåñïå÷åíèÿ âûñîêîé îäíîðîäíîñòè âûõîäíûõ õà-
ðàêòåðèñòèê, îáåñïå÷åíèå îäíîðîäíîñòè âõîäíûõ
öåïåé è ðàáîòû ïðè êðèîãåííûõ òåìïåðàòóðàõ. Â
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2007, ¹ 5
47
ÒÅÕÍÎËÎÃÈ×ÅÑÊÈÅ ÏÐÎÖÅÑÑÛ È ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈÅ
ñâÿçè ñ ýòèì íåîáõîäèìî ïðèìåíÿòü æåñòêèå òðåáî-
âàíèÿ ê ðàçìåðàì è ðàçáðîñó çíà÷åíèé ïîðîãîâûõ
íàïðÿæåíèé (òî÷íåå, ïîäïîðîãîâûõ íàïðÿæåíèé)
òðàíçèñòîðîâ ïðÿìîé èíæåêöèè, êîòîðûå ðåàëèçóþò-
ñÿ n-êàíàëüíûìè ÌÎÏ-òðàíçèñòîðàìè ñ ïîëèêðåì-
íèåâûì çàòâîðîì ïåðâîãî óðîâíÿ ñ «èñõîäíûì ïî-
ðîãîì». Ðàçáðîñ çíà÷åíèé ïîðîãîâûõ íàïðÿæåíèé îò
íîìèíàëüíîãî çíà÷åíèÿ íå äîëæåí ïðåâûøàòü â ïðå-
äåëàõ îäíîé ïëàñòèíû âåëè÷èíû ±0,1 Â, à â ïðåäå-
ëàõ îäíîãî êðèñòàëëà � ±0,01 Â. Äëÿ ðåøåíèÿ ýòîé
ïðîáëåìû äîëæíû áûòü ïðåäóñìîòðåíû:
1. Âûáîð êîíñòðóêòèâíî-òåõíîëîãè÷åñêèõ îãðà-
íè÷åíèé äëÿ âõîäíîãî òðàíçèñòîðà ïðÿìîé èíæåê-
öèè. Äëÿ ïîääåðæêè ëèíåéíîñòè ïåðåäàòî÷íîé õà-
ðàêòåðèñòèêè óñòðîéñòâ ñ÷èòûâàíèÿ òîê êàíàëà òðàí-
çèñòîðà ïðÿìîé èíæåêöèè íå äîëæåí çàâèñåòü îò
íàïðÿæåíèÿ íà êàíàëå. Èññëåäîâàíèÿ [9, 10] ïîäïî-
ðîãîâûõ õàðàêòåðèñòèê ñ ðàçíîé äëèíîé êàíàëîâ ïî-
êàçàëè, ÷òî â îáëàñòè íàïðÿæåíèé Uñòîêà≈0�7 Â çà-
ìåòíîãî âëèÿíèÿ íàïðÿæåíèÿ íà êàíàëå íà ïîäïîðî-
ãîâûé òîê íå íàáëþäàåòñÿ ïðè äëèíå êàíàëà
Lêàí≥6 ìêì. Êðîìå òîãî, ïðè òàêèõ çíà÷åíèÿõ Lêàí
ìèíèìàëüíî âëèÿíèå íà äëèíó êàíàëà ãåîìåòðè÷å-
ñêèõ ðàçáðîñîâ («óõîä» ðàçìåðîâ ïðè èçãîòîâëåíèè
ïðîìåæóòî÷íûõ øàáëîíîâ, ôîòîêîïèè, ÏÕÒ-ïëåí-
êè ïîëèêðåìíèÿ è ïðè áîêîâîé äèôôóçèè èñòîê-ñòî-
êîâûõ îáëàñòåé).
2. Âûáîð èñõîäíîãî êðåìíèÿ. Ïðè âûáîðå ìàðêè
è ãðóïïû èñõîäíîãî êðåìíèÿ îñíîâíîå âíèìàíèå
óäåëÿëîñü ìèíèìàëüíîìó ðàçáðîñó óäåëüíîãî ýëåê-
òðè÷åñêîãî ñîïðîòèâëåíèÿ ρ ïî òîðöàì íå áîëåå
±25%, ðàäèàëüíîå îòêëîíåíèå � íå áîëåå ±10% äëÿ
êðåìíèÿ ð-òèïà îðèåíòàöèè <100>.
3. Âîñïðîèçâîäèìîñòü òîëùèíû ïîäçàòâîðíîãî
îêèñëà. Òîëùèíà ñëîÿ îêèñëà íà êðåìíèåâîé ïëàñ-
òèíå äîëæíà èçìåíÿòüñÿ â ïðåäåëàõ ±5% îò íîìè-
íàëüíîãî çíà÷åíèÿ. Îïòèìèçàöèÿ ïðîöåññà âûðàùè-
âàíèÿ òåðìè÷åñêîãî ïîäçàòâîðíîãî îêèñëà ïîä ïåð-
âûé óðîâåíü ïîëèêðåìíèÿ ïðè òåìïåðàòóðå 1000°Ñ
ïîçâîëÿåò ïîëó÷àòü ðàçáðîñ òîëùèíû ïîäçàòâîðíî-
ãî îêèñëà â ïðåäåëàõ ±25 Å äëÿ òîëùèíû îêèñëà
d=500 Å.
4. Ñòàáèëèçàöèÿ çàðÿäà â ÌÎÏ-ñòðóêòóðàõ. Äëÿ
óëó÷øåíèÿ âîñïðîèçâîäèìîñòè ïîðîãîâûõ íàïðÿæå-
íèé n-ÌÎÏ-ñòðóêòóð áûëî ïðèìåíåíî îêèñëåíèå ñ
äîáàâëåíèåì HCl èëè òðèõëîðýòèëåíà íà âñåõ ñòà-
äèÿõ ôîðìèðîâàíèÿ àêòèâíûõ îáëàñòåé ïðèáîðîâ:
íà÷àëüíîì îêèñëåíèè, îêèñëåíèè çàòâîðîâ ïåðâîãî
óðîâíÿ ïîëèêðåìíèÿ, îêèñëåíèè çàòâîðîâ âòîðîãî
óðîâíÿ ïîëèêðåìíèÿ. Äëÿ íåéòðàëèçàöèè áûñòðûõ
ïîâåðõíîñòíûõ ñîñòîÿíèé íà ãðàíèöå ðàçäåëà Si�
SiO2 ïîñëå ôîðìèðîâàíèÿ ñëîÿ ìåòàëëèçàöèè ïðî-
âîäèëñÿ íèçêîòåìïåðàòóðíûé (450°Ñ) îòæèã â âîäî-
ðîäå.
5. Ìèíèìèçàöèÿ ãåîìåòðè÷åñêèõ ðàçáðîñîâ. Ïðè
ïðîâåäåíèè îïåðàöèé òðàâëåíèÿ ïëåíêè ïîëèêðåì-
íèÿ ïåðâîãî óðîâíÿ íåîáõîäèìî îáåñïå÷èòü êà÷å-
ñòâåííîå âûòðàâëèâàíèå óçêèõ çàçîðîâ ìåæäó ýëåê-
òðîäàìè ÏÇÑ-ñòóêòóð (øèðèíà 2,5 ìêì è äëèíà áî-
ëåå 10 ñì), îáåñïå÷èâ ïðè ýòîì ìèíèìàëüíûé óõîä
ðàçìåðîâ ïîëèêðåìíèåâûõ çàòâîðîâ n-êàíàëüíûõ
ÌÎÏ-òðàíçèñòîðîâ, êîòîðûé îïðåäåëÿåò âîñïðîèç-
âîäèìîñòü ïîðîãîâûõ íàïðÿæåíèé. Ïîýòîìó äëÿ
òðàâëåíèÿ ïåðâîãî óðîâíÿ ïîëèêðåìíèÿ ïðèìåíÿë-
ñÿ ïðîöåññ ðåàêòèâíîãî èîííîãî òðàâëåíèÿ, îáåñïå-
÷èâàþùèé óõîä ðàçìåðà â ïðåäåëàõ ∆= ±0,1 ìêì. Äëÿ
òðàâëåíèÿ âòîðîãî óðîâíÿ ïîëèêðåìíèÿ ãëàâíîå �
ýòî âûòðàâëèâàíèå çàçîðîâ ìåæäó ïîëèêðåìíèåâû-
ìè ýëåêòðîäàìè ÏÇÑ. Äëÿ îöåíêè êà÷åñòâà òðàâëå-
íèÿ ïîëèêðåìíèÿ âòîðîãî óðîâíÿ èñïîëüçîâàëèñü
ñïåöèàëüíî ðàçðàáîòàííûå òåñòîâûå ñòðóêòóðû, êî-
òîðûå ïîçâîëÿëè êîíòðîëèðîâàòü ïðîöåññ òðàâëåíèÿ
ïëåíêè è ïðè íåîáõîäèìîñòè ïðîèçâîäèòü äîïîëíè-
òåëüíîå äîòðàâëåíèå ïëåíêè Si-poly2.
6. Ìèíèìèçàöèÿ êîíòàêòíîãî ñîïðîòèâëåíèÿ àê-
òèâíûõ îáëàñòåé. Îáëàñòè èñòîêà-ñòîêà ëåãèðîâà-
ëèñü áîëüøèìè äîçàìè ôîñôîðà (6,25·1015 ñì�2), ïðî-
âîäèëîñü äîïîëíèòåëüíî ëåãèðîâàíèå êîíòàêòíûõ
Òèï òåõíîëîãèè
Ïàðàìåòð
ÏÇÑ ÊÌÎÏ
Ðàçìåð êðèñòàëëà, ìì X=6,1; Y=5,0 X=5,65; Y=6,65
Òèï ôîòîëèòîãðàôèè Ïðîåêöèîííàÿ Ïðîåêöèîííàÿ
Êîëè÷åñòâî ñëîåâ 9 11
×èñëî îïåðàöèé
ôîòîëèòîãðàôèè
11 13
Êîëè÷åñòâî óðîâíåé
Si-poly
2 2
Êîëè÷åñòâî óðîâíåé
ìåòàëëà
1 1
Òàáëèöà 1
Îñíîâíûå õàðàêòåðèñòèêè òåõíîëîãèé èçãîòîâëåíèÿ
ñõåì ñ÷èòûâàíèÿ (èñõîäíàÿ ïîäëîæêà � Si, ð-òèï, <100>)
Òåõíîëîãè÷åñêèé ñëîé ÏÇÑ ÊÌÎÏ
Àêòèâíûå îáëàñòè 6,0/4,0 4,0/3,0
Ïîëèêðåìíèé 1-ãî óðîâíÿ 6,0/2,5 2,4/2,0
Ïîëèêðåìíèé 2-ãî óðîâíÿ 6,0/3,0 4,0/3,0
Êîíòàêòíûå îêíà 3,0/3,0 2,0/2,0
Ìåòàëëèçàöèÿ 6,0/2,0 5,0/2,0
Òàáëèöà 2
Ñîîòíîøåíèå ýëåìåíò/ðàññòîÿíèå ñõåì ñ÷èòûâà-
íèÿ, ìêì
Ï
îð
îã
îâ
îå
íà
ïð
ÿæ
åí
èå
, ì
Â
220
215
210
205
200
0 2 4 6
Êîëè÷åñòâî òåñòîâûõ NÌÎÏ-òðàíçèñòîðîâ
íà ÷èïå
∆ ±5 ìÂ
Ðèñ. 1. Âíóòðèìîäóëüíûé ðàçáðîñ ïîðîãîâûõ íàïðÿæåíèé
NÌÎÏ-òðàíçèñòîðîâ (ÏÇÑ-òåõíîëîãèÿ, Lêàí=8 ìêì,
dSiO2
=500 Å)
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2007, ¹ 5
48
ÒÅÕÍÎËÎÃÈ×ÅÑÊÈÅ ÏÐÎÖÅÑÑÛ È ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈÅ
îêîí, à òàêæå íèçêîòåìïåðàòóðíûé îòæèã â àòìîñôå-
ðå âîäîðîäà. Â ðåçóëüòàòå ñîïðîòèâëåíèå êîíòàêòîâ
Al�N+ ðàçìåðîì 3,0 ìêì íå ïðåâûøàëî 5,0 Îì.
Âåñü ýòîò êîìïëåêñ òåõíîëîãè÷åñêèõ ñðåäñòâ ïî-
çâîëèë ïîëó÷àòü äëÿ ñõåìû ñ÷èòûâàíèÿ ôîðìàòîì
2×64 âíóòðèìîäóëüíûé ðàçáðîñ ïîðîãîâîãî íàïðÿ-
æåíèÿ òðàíçèñòîðîâ ïðÿìîé èíæåêöèè (NÌÎÏ-òðàí-
çèñòîðîâ) ìåíåå ±10 ì (ñì. ðèñ. 1).
Íà ðèñ. 2 ïðåäñòàâëåíû ýêñïåðèìåíòàëüíûå äàí-
íûå èçìåðåíèé ïîðîãîâîãî íàïðÿæåíèÿ NÌÎÏ-òðàí-
çèñòîðîâ ïðè êîìíàòíîé è êðèîãåííîé òåìïåðàòóðàõ.
Äëÿ ñõåì ñ÷èòûâàíèÿ íà îñíîâå ÏÇÑ âàæíåéøèì
ïàðàìåòðîì ÿâëÿåòñÿ ýôôåêòèâíîñòü ïåðåíîñà çàðÿ-
äà, ò. ê. íåïîëíûé ïåðåíîñ çàðÿäà ïðèâîäèò ê ìåæêà-
íàëüíûì ïåðåêðåñòíûì ïîìåõàì. Îñíîâíàÿ ïðè÷è-
íà íåýôôåêòèâíîñòè ïåðåíîñà çàðÿäà � ýòî ïîòåðè
çàðÿäà èç-çà çàõâàòà íà ëîâóøêàõ (ïîâåðõíîñòíûõ
èëè îáúåìíûõ) [11, 12]. Ýôôåêòèâíîñòü ïåðåíîñà
óõóäøàåòñÿ ïðè òåìïåðàòóðàõ íèæå 80 Ê èç-çà âû-
ìåðçàíèÿ (freezeout) íîñèòåëåé çàðÿäà. Èññëåäîâà-
íèÿ ïîêàçûâàþò, ÷òî íà êîìíàòíûõ òåìïåðàòóðàõ çíà-
÷åíèÿ íåýôôåêòèâíîñòè íà îäèí ïåðåíîñ äëÿ ÏÇÑ ñ
ïîâåðõíîñòíûì êàíàëîì êîëåáëåòñÿ â ïðåäåëàõ 10�3,
à ñ îáúåìíûì êàíàëîì � 1�5·10�5 [13, 14]. Îäíàêî
òàêîãî î÷åâèäíîãî ïðåèìóùåñòâà ÏÇÑ ñ îáúåìíûì
êàíàëîì óæå íåò ïðè ðàññìîòðåíèè òåìïåðàòóðíûõ
çàâèñèìîñòåé íåýôôåêòèâíîñòè. Òàê, äëÿ ñêðûòîãî
êàíàëà ãëóáèíîé 0,65 ìêì, ïîëó÷åííîãî èìïëàíòà-
öèåé ôîñôîðà ñ äîçîé 1,12·1012 ñì3 â ïîäëîæêó
ð-òèïà ñ êîíöåíòðàöèåé 1015 ñì�3 ïðè äëèíå ýëåê-
òðîäà 9 ìêì è øèðèíå 100 ìêì, óõóäøåíèå ýôôåê-
òèâíîñòè ïåðåíîñà íàñòóïàåò ïðè òåìïåðàòóðàõ íèæå
150 Ê, à ïðè òåìïåðàòóðå æèäêîãî àçîòà äîñòèãàåò äâóõ
ïîðÿäêîâ [15, 16]. Â òî æå âðåìÿ äëÿ òàêîé æå êîí-
ñòðóêöèè ÏÇÑ ñ ïîâåðõíîñòíûì êàíàëîì óõóäøåíèå
ýôôåêòèâíîñòè íà÷èíàåòñÿ íèæå 100 Ê, à ïðè òåì-
ïåðàòóðå æèäêîãî àçîòà äîñòèãàåò âñåãî 2�3 ðàç. Ïî-
ýòîìó ïðè òåìïåðàòóðå 77 Ê çíà÷åíèÿ íåýôôåêòèâ-
íîñòè ïåðåíîñà ïðàêòè÷åñêè îäèíàêîâû äëÿ ñêðûòî-
ãî è ïîâåðõíîñòíîãî êàíàëîâ.
Ðåçóëüòàòû èññëåäîâàíèé îïûòíûõ îáðàçöîâ
ñõåì ñ÷èòûâàíèÿ
Äëÿ ñðàâíåíèÿ òåõíîëîãèé áûëè ñïðîåêòèðîâàíû
ñõåìû ñ÷èòûâàíèÿ äëÿ ÈÊ-ôîòîïðèåìíèêîâ ôîðìà-
òîì 2×64 è èçãîòîâëåíû ïî ÏÇÑ è ÊÌÎÏ-òåõíîëîãè-
ÿì. Â òàáë. 4 ïðèâåäåíû îñíîâíûå ïàðàìåòðû èçãî-
òîâëåííûõ óñòðîéñòâ ñ÷èòûâàíèÿ ôîðìàòà 2×64.
Ê
îë
è÷
åñ
òâ
î
òð
àí
çè
ñò
îð
îâ
140
120
100
80
60
40
20
0
300 Ê
77 Ê
�2 �1,6 �1,2 �0,8 �0,4 0 0,4 0,8 1,2
Ïîðîãîâîå íàïðÿæåíèå, Â
Ðèñ. 2. Ðàçáðîñ ïîðîãîâûõ íàïðÿæåíèé NÌÎÏ-òðàíçèñ-
òîðîâ ïðè êîìíàòíîé è êðèîãåííîé òåìïåðàòóðàõ
Òåõíîëîãèÿ
èçãîòîâëåíèÿ Ïàðàìåòð
ÏÇÑ ÊÌÎÏ
Ðàçìåð êðèñòàëëà, ìì
X=6,1;
Y=5,0
X=5,65;
Y=6,65
Íàïðÿæåíèå èñòî÷íèêà
ïèòàíèÿ, Â
15±1,5 5±0,5
Êîëè÷åñòâî âíåøíèõ
óïðàâëÿþùèõ èìïóëüñíûõ
ñèãíàëîâ
8 5
Êîëè÷åñòâî âíåøíèõ
ïîñòîÿííûõ íàïðÿæåíèé
7 4
Êîëè÷åñòâî êîíòàêòíûõ
ïëîùàäîê, èñïîëüçóåìûõ
äëÿ ñáîðêè
ãèáðèäèçèðîâàííûõ
ìîäóëåé â êðèîñòàòå
28 15
Ðàáî÷àÿ òåìïåðàòóðà
â êðèîñòàòå, Ê
80±2 80±2
Âûõîäíîå íàïðÿæåíèå, Â 5,16�5,87 3,53�3,78
Äèíàìè÷åñêèé äèàïàçîí ïî
âûõîäíîìó íàïðÿæåíèþ, äÁ
69,7�81,0 69,5�70,2
Êîýôôèöèåíò íåëèíåéíûõ
èñêàæåíèé àìïëèòóäíîé
õàðàêòåðèñòèêè, %
0,7�3,1 1,84�2,21
Äèàïàçîí ðàçáðîñà
íàïðÿæåíèÿ ñìåùåíèÿ íà
ôîòî÷óâñòâèòåëüíûõ
ýëåìåíòàõ, ìÂ
7,6�14,3 5,4�12,8
Ìèíèìàëüíàÿ çàðÿäîâàÿ
åìêîñòü ïî âõîäó, ïÊë
1,69�2,43 4,18�4,42
Ìàêñèìàëüíàÿ ïîòðåáëÿåìàÿ
ìîùíîñòü, ìÂò
44,1�44,8 24,2�26,2
Íîìèíàëüíàÿ ÷àñòîòà
òàêòîâûõ ñèãíàëîâ ôàç
óïðàâëåíèÿ, ÌÃö
1,0 2,5
Ìàêñèìàëüíàÿ ÷àñòîòà
òàêòîâûõ ñèãíàëîâ ôàç
óïðàâëåíèÿ, ÌÃö
2,0 5,0
Íîìèíàëüíàÿ ÷àñòîòà
ñ÷èòûâàíèÿ èíôîðìàöèè,
ÌÃö
� 1,25
Ìàêñèìàëüíàÿ ÷àñòîòà
ñ÷èòûâàíèÿ èíôîðìàöèè,
ÌÃö
� 2,5
Òàáëèöà 4
Îñíîâíûå ïàðàìåòðû ñõåì ñ÷èòûâàíèÿ ôîðìàòîì 2×64
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2007, ¹ 5
49
ÒÅÕÍÎËÎÃÈ×ÅÑÊÈÅ ÏÐÎÖÅÑÑÛ È ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈÅ
Âûâîäû
1. Ïðîâåäåííûå èññëåäîâàíèÿ ïîêàçàëè, ÷òî îáå
òåõíîëîãèè ìîãóò áûòü ïðèìåíåíû â ïðîèçâîäñòâå
ñõåì ñ÷èòûâàíèÿ ñ ÈÊ-ôîòîïðèåìíèêîâ.
ÏÇÑ-òåõíîëîãèÿ ïðåäúÿâëÿåò áîëåå âûñîêèå òðå-
áîâàíèÿ ê òåõíîëîãè÷åñêèì ïðîöåññàì èçãîòîâëåíèÿ
ñõåì ñ÷èòûâàíèÿ (íåîáõîäèìîñòü õëîðíûõ ïðîöåñ-
ñîâ îêèñëåíèÿ, ïðåöèçèîííûõ è êîíòðîëèðóåìûõ
ïðîöåññîâ òðàâëåíèÿ äâóõ óðîâíåé ïîëèêðåìíèåâûõ
ýëåêòðîäîâ, ñïåöèàëüíûõ ïðîöåññîâ äëÿ îáåñïå÷å-
íèÿ âûñîêîé ýôôåêòèâíîñòè ïåðåíîñà çàðÿäà ïðè
êðèîãåííûõ òåìïåðàòóðàõ).
Èçãîòîâëåíèå ÈÑ ñ÷èòûâàíèÿ ïî ÊÌÎÏ-òåõíî-
ëîãèè ïîëíîñòüþ âïèñûâàåòñÿ â íàèáîëåå ðàñïðî-
ñòðàíåííûé âèä òåõíîëîãèè, êîòîðàÿ ïðèìåíÿåòñÿ íà
ñîâðåìåííûõ êðåìíèåâûõ ïðîèçâîäñòâàõ.
2. Òåõíîëîãè÷åñêèé ïðîöåññ èçãîòîâëåíèÿ ÈÑ ñ÷è-
òûâàíèÿ êàê ïî ÏÇÑ-, òàê è ïî ÊÌÎÏ-òåõíîëîãèè,
îáåñïå÷èâàåò ðåàëèçàöèþ âñåõ òðåáîâàíèé, ïðåäúÿâ-
ëÿåìûõ ê îñíîâíûì ýëåêòðè÷åñêèì ïàðàìåòðàì ñõåì
ñ÷èòûâàíèÿ, ðàáîòàþùèõ ïðè êðèîãåííûõ òåìïåðà-
òóðàõ. ÏÇÑ-òåõíîëîãèÿ îáëàäàåò ïðåèìóùåñòâîì ïðè
ïîëó÷åíèè áîëåå âûñîêîãî óðîâíÿ çíà÷åíèé äèíàìè-
÷åñêîãî äèàïàçîíà ïî ñðàâíåíèþ ñ ÊÌÎÏ-òåõíîëî-
ãèåé. Íåäîñòàòêè ÏÇÑ-òåõíîëîãèè � ýòî:
� íåîáõîäèìîñòü áîëüøèõ ïëîùàäåé êðèñòàëëà
(ïî ïðè÷èíå áîëüøèõ ïðîåêòíûõ íîðì), ñëåäîâàòåëü-
íî, íèçêàÿ ñòåïåíü èíòåãðàöèè;
� íàëè÷èå áîëüøîãî êîëè÷åñòâà âíåøíèõ èñòî÷-
íèêîâ ñèãíàëîâ äëÿ óïðàâëåíèÿ;
�âûñîêîå íàïðÿæåíèå ïèòàíèÿ (15 Â).
Îñíîâíûì ïðåèìóùåñòâîì ÊÌÎÏ-òåõíîëîãèè
äëÿ èçãîòîâëåíèÿ ñõåì ñ÷èòûâàíèÿ ÿâëÿåòñÿ åå øè-
ðîêîå ðàñïðîñòðàíåíèå ïðàêòè÷åñêè íà âñåõ êðèñ-
òàëüíûõ ïðîèçâîäñòâàõ è âîçìîæíîñòü ïîñòîÿííîãî
ñíèæåíèÿ ïðîåêòíûõ íîðì çà ñ÷åò ñîâåðøåíñòâîâà-
íèÿ îáùèõ äîñòèæåíèé êðåìíèåâîé ïëàíàðíîé òåõ-
íîëîãèè.
Ñíèæåíèå ïðîåêòíûõ íîðì è ïðèáëèæåíèå èõ ê
ïðåäåëüíûì ïðîåêòíûì íîðìàì äëÿ ïðîöåññîðíûõ
ñõåì ñïîñîáñòâóåò ïîñòîÿííîìó óâåëè÷åíèþ ôîðìàò-
íîñòè ñõåì ñ÷èòûâàíèÿ ñ ÈÊ-ôîòîïðèåìíèêîâ. Êðî-
ìå òîãî, èñïîëüçîâàíèå ÊÌÎÏ-òåõíîëîãèè äàåò âîç-
ìîæíîñòü ïðîèçâîäèòü äîïîëíèòåëüíûå îïåðàöèè,
â ÷àñòíîñòè ïðîèçâîëüíóþ âûáîðêó (äåñåëåêöèþ)
áðàêîâàííûõ ÈÊ ôîòîïðèåìíûõ äåòåêòîðîâ.
Òàêèì îáðàçîì, âûáîð íåîáõîäèìîãî âèäà òåõíî-
ëîãèè äîëæåí îïðåäåëÿòüñÿ ïðåæäå âñåãî òðåáîâà-
íèÿìè ê îáåñïå÷åíèþ ýëåêòðè÷åñêèõ ïàðàìåòðîâ è
âåëè÷èíîé ôîðìàòíîñòè ñõåìû.
ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ
1. Anbar M., Brown Ch. A., Milescu L., Babalola J. A. Clinical
àpplications of DAT using a QWIP camera // Proceed. SPIE.� 1999.�
Vol. 3698.� Ð. 93�102.
2. Hargroder A. G., Davidson J. E., Luther D. G. åt al. Infrared
imaging of burn wounds to determine burn depth // Ibid.� P. 103�108.
3. Richards A. Alien vision: exploring the electromagnetic
spectrum with imaging technology.� Bellingham (USA): SPIE Press,
2001.
4. Tribolet Ph., Chatard J.-P. From reseach to production: 10 years
of succes // Proceed. SPIE.� 2000.� Vol. 4130.� Ð. 216�234.
5. Áîâèíà Ë. À., Áóðëàêîâ È. Ä., Èëüèí Þ. Ê. è äð. Ìíîãîðÿä-
íûå ÊÐÒ ôîòîïðèåìíûå óñòðîéñòâà äëÿ ñïåêòðàëüíûõ äèàïàçî-
íîâ 3�5 è 8�12 ìêì // Îïòè÷åñêèé æóðíàë.� 1996.� ¹ 6.�
C. 62�66.
6. Rogalski A. Infrared detectors.� Amsterdam: Gordon and
Breach, 2000.
7. Hirschberg I. Charge-coupled technology bursts through
imaging limits //Opt. Spectra.� 1975.� N 11.� P. 29�33.
8. Mohsen A. M., Morris F. J. Measurements on depletion-mode
field effect transistors and buried channel MOS capacitors for the
characterization of bulk channel charge coupled devices // Solid State
Electronics.� 1975.� Vol. 18.� P. 407�416.
9. Sizov F. F., Reva V. P., Derkach Yu. P. et. al. IR sensor readout
devices with source input // Quantum Electronics and Optoelectro-
nics.� 1999.� Vol. 2, N 1.� P. 102�110.
10. Sizov F. F., Derkach Yu. P., Kononenko Yu. G., Reva V. P.
Testing of readout device processing electronics for IR linear and focal
plane arrays // Proceed. SPIE.� 1999.� Vol. 3436.� P. 942�948.
11. Charge-Coupled Devices /Ed. by D. F. Barbe.� Berlin�
Heidelberg�New York: Springer-Verlag, 1980.
12. James R. Janesik scientific charge-coupled devices.�
Bellingham�Washington: SPIE, 2001.
13. Zetterlund B., Steckl A. J. Low-temperature operation of
silicon surface channel charge-coupled devices // IEEE Transaction
on Electron Devices.� 1987.� Vol. 34, N 1.� P. 39�50.
14. Lakhoua N., Poirier R. Trap levels in p and n buried channel
CCD // Solid State Electronics.� 1978.� Vol. 21.� P. 994�997.
15. Sizov F. F., Derkach Yu. P., Reva V. P., Kononenko Yu. G.
MCT sensor readout devices with charge current injection and
preliminary seagnal treatment. Testing procedure // Opto-Electronics
Review.� 1999.� Vol. 7, N 4.� P. 327�338.
16. Ãîëåíêîâ À. Ã., Äàð÷óê Ñ. Ä., Äåðêà÷ Þ. Ï. è äð. Óñòðîé-
ñòâà ñ÷èòûâàíèÿ äëÿ ìíîãîýëåìåíòíûõ ôîòîäèîäíûõ ëèíååê íà
ÈÊ-äèàïàçîí íà îñíîâå CdHgTe // XVI Ìåæäóíàð. íàó÷.-òåõí.
êîíô. ïî ôîòîýëåêòðîíèêå è ïðèáîðàì íî÷íîãî âèäåíèÿ.� Ìîñ-
êâà.� 2000.� Ñ. 15�16.
ÍÎÂÛÅ ÊÍÈÃÈ
Í
Î
Â
Û
Å
Ê
Í
È
Ã
È Áåðíàðä Ä., Óèëëèñ Á. Ïðàêòè÷åñêîå ðóêîâîäñòâî ïî èñïîëüçîâàíèþ
X-Ray èíñïåêöèè â ïðîèçâîäñòâå ðàäèîýëåêòðîííûõ èçäåëèé.� Ì.: Òåõ-
íîñôåðà, 2007.� 48 ñ.
 êíèãå ïðåäñòàâëåíû îñíîâû ðåíòãåíîñêîïèè è åå ïðèìåíåíèå â êîíòðîëå ïðè
ïðîèçâîäñòâå ðàäèîýëåêòðîííûõ èçäåëèé. Ïðèâåäåíû ïðèìåðû òåõíîëîãè÷å-
ñêèõ äåôåêòîâ, êîòîðûå íå ìîãóò áûòü îáíàðóæåíû ïðè èñïîëüçîâàíèè îáû÷íûõ
ìåòîäîâ èíñïåêöèè. Êðîìå òîãî, ïðåäëàãàþòñÿ ðåæèìû ïðîâåðîê ðàçëè÷íûõ
âèäîâ èçäåëèé, âêëþ÷àÿ BGA, îòâåòû íà íàèáîëåå ÷àñòî çàäàâàåìûå âîïðîñû.
Êíèãà ìîæåò áûòü ïîëåçíà ñïåöèàëèñòàì, çàíèìàþùèìñÿ ðåíòãåíîñêîïèåé ðà-
äèîýëåêòðîííûõ èçäåëèé.
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52877 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-02T10:01:02Z |
| publishDate | 2007 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Рева, В.П. Коринец, С.В. Писаренко, Л.А. Духнин, С.Е. Барсукова, Н.А. 2014-01-08T18:59:33Z 2014-01-08T18:59:33Z 2007 Сравнительный анализ технологий изготовления кремниевых схем считывания информации с ИК-фотодиодов / В.П. Рева, С.В. Коринец, Л.А. Писаренко, С.Е. Духнин, Н.А. Барсукова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 5. — С. 46-49. — Бібліогр.: 16 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52877 Рассмотрены технология комплементарных МОП-схем и технология приборов с зарядовой связью на базе стандартной технологии n-канальных МОП-структур. Приведены параметры схем считывания, изготовленных по этим технологиям. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Технологические процессы и оборудование Сравнительный анализ технологий изготовления кремниевых схем считывания информации с ИК-фотодиодов Порівняльний аналіз технологій виготовлення кремнієвих схем зчитування інформації з ІЧ-фотодіодів The technologies of manufacture silicon readout devices for IR sensor, comparative analysis Article published earlier |
| spellingShingle | Сравнительный анализ технологий изготовления кремниевых схем считывания информации с ИК-фотодиодов Рева, В.П. Коринец, С.В. Писаренко, Л.А. Духнин, С.Е. Барсукова, Н.А. Технологические процессы и оборудование |
| title | Сравнительный анализ технологий изготовления кремниевых схем считывания информации с ИК-фотодиодов |
| title_alt | Порівняльний аналіз технологій виготовлення кремнієвих схем зчитування інформації з ІЧ-фотодіодів The technologies of manufacture silicon readout devices for IR sensor, comparative analysis |
| title_full | Сравнительный анализ технологий изготовления кремниевых схем считывания информации с ИК-фотодиодов |
| title_fullStr | Сравнительный анализ технологий изготовления кремниевых схем считывания информации с ИК-фотодиодов |
| title_full_unstemmed | Сравнительный анализ технологий изготовления кремниевых схем считывания информации с ИК-фотодиодов |
| title_short | Сравнительный анализ технологий изготовления кремниевых схем считывания информации с ИК-фотодиодов |
| title_sort | сравнительный анализ технологий изготовления кремниевых схем считывания информации с ик-фотодиодов |
| topic | Технологические процессы и оборудование |
| topic_facet | Технологические процессы и оборудование |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52877 |
| work_keys_str_mv | AT revavp sravnitelʹnyianaliztehnologiiizgotovleniâkremnievyhshemsčityvaniâinformaciisikfotodiodov AT korinecsv sravnitelʹnyianaliztehnologiiizgotovleniâkremnievyhshemsčityvaniâinformaciisikfotodiodov AT pisarenkola sravnitelʹnyianaliztehnologiiizgotovleniâkremnievyhshemsčityvaniâinformaciisikfotodiodov AT duhninse sravnitelʹnyianaliztehnologiiizgotovleniâkremnievyhshemsčityvaniâinformaciisikfotodiodov AT barsukovana sravnitelʹnyianaliztehnologiiizgotovleniâkremnievyhshemsčityvaniâinformaciisikfotodiodov AT revavp porívnâlʹniianalíztehnologíivigotovlennâkremníêvihshemzčituvannâínformacíízíčfotodíodív AT korinecsv porívnâlʹniianalíztehnologíivigotovlennâkremníêvihshemzčituvannâínformacíízíčfotodíodív AT pisarenkola porívnâlʹniianalíztehnologíivigotovlennâkremníêvihshemzčituvannâínformacíízíčfotodíodív AT duhninse porívnâlʹniianalíztehnologíivigotovlennâkremníêvihshemzčituvannâínformacíízíčfotodíodív AT barsukovana porívnâlʹniianalíztehnologíivigotovlennâkremníêvihshemzčituvannâínformacíízíčfotodíodív AT revavp thetechnologiesofmanufacturesiliconreadoutdevicesforirsensorcomparativeanalysis AT korinecsv thetechnologiesofmanufacturesiliconreadoutdevicesforirsensorcomparativeanalysis AT pisarenkola thetechnologiesofmanufacturesiliconreadoutdevicesforirsensorcomparativeanalysis AT duhninse thetechnologiesofmanufacturesiliconreadoutdevicesforirsensorcomparativeanalysis AT barsukovana thetechnologiesofmanufacturesiliconreadoutdevicesforirsensorcomparativeanalysis |