Технология изготовления автоэмиссионных кремниевых катодов субмикронных размеров
Предложен практический способ формирования элементов субмикронных размеров с использованием совмещения с базовыми знаками стандартной проекционной литографии, предварительно созданными на этапе "нулевой" фотолитографии....
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2007 |
| Main Authors: | , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2007
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52878 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Технология изготовления автоэмиссионных кремниевых катодов субмикронных размеров / А.A. Дружинин, В.И. Голота, И.Т. Когут // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 5. — С. 50-53. — Бібліогр.: 13 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862718806649995264 |
|---|---|
| author | Дружинин, А.A. Голота, В.И. Когут, И.Т. |
| author_facet | Дружинин, А.A. Голота, В.И. Когут, И.Т. |
| citation_txt | Технология изготовления автоэмиссионных кремниевых катодов субмикронных размеров / А.A. Дружинин, В.И. Голота, И.Т. Когут // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 5. — С. 50-53. — Бібліогр.: 13 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Предложен практический способ формирования элементов субмикронных размеров с использованием совмещения с базовыми знаками стандартной проекционной литографии, предварительно созданными на этапе "нулевой" фотолитографии.
|
| first_indexed | 2025-12-07T18:16:47Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52878 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T18:16:47Z |
| publishDate | 2007 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Дружинин, А.A. Голота, В.И. Когут, И.Т. 2014-01-08T19:03:41Z 2014-01-08T19:03:41Z 2007 Технология изготовления автоэмиссионных кремниевых катодов субмикронных размеров / А.A. Дружинин, В.И. Голота, И.Т. Когут // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 5. — С. 50-53. — Бібліогр.: 13 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52878 Предложен практический способ формирования элементов субмикронных размеров с использованием совмещения с базовыми знаками стандартной проекционной литографии, предварительно созданными на этапе "нулевой" фотолитографии. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Технологические процессы и оборудование Технология изготовления автоэмиссионных кремниевых катодов субмикронных размеров Технологія виготовлення автоемісійних кремнієвих катодів субмікронних розмірів The preparation technology of field emission silicon cathode Article published earlier |
| spellingShingle | Технология изготовления автоэмиссионных кремниевых катодов субмикронных размеров Дружинин, А.A. Голота, В.И. Когут, И.Т. Технологические процессы и оборудование |
| title | Технология изготовления автоэмиссионных кремниевых катодов субмикронных размеров |
| title_alt | Технологія виготовлення автоемісійних кремнієвих катодів субмікронних розмірів The preparation technology of field emission silicon cathode |
| title_full | Технология изготовления автоэмиссионных кремниевых катодов субмикронных размеров |
| title_fullStr | Технология изготовления автоэмиссионных кремниевых катодов субмикронных размеров |
| title_full_unstemmed | Технология изготовления автоэмиссионных кремниевых катодов субмикронных размеров |
| title_short | Технология изготовления автоэмиссионных кремниевых катодов субмикронных размеров |
| title_sort | технология изготовления автоэмиссионных кремниевых катодов субмикронных размеров |
| topic | Технологические процессы и оборудование |
| topic_facet | Технологические процессы и оборудование |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52878 |
| work_keys_str_mv | AT družininaa tehnologiâizgotovleniâavtoémissionnyhkremnievyhkatodovsubmikronnyhrazmerov AT golotavi tehnologiâizgotovleniâavtoémissionnyhkremnievyhkatodovsubmikronnyhrazmerov AT kogutit tehnologiâizgotovleniâavtoémissionnyhkremnievyhkatodovsubmikronnyhrazmerov AT družininaa tehnologíâvigotovlennâavtoemísíinihkremníêvihkatodívsubmíkronnihrozmírív AT golotavi tehnologíâvigotovlennâavtoemísíinihkremníêvihkatodívsubmíkronnihrozmírív AT kogutit tehnologíâvigotovlennâavtoemísíinihkremníêvihkatodívsubmíkronnihrozmírív AT družininaa thepreparationtechnologyoffieldemissionsiliconcathode AT golotavi thepreparationtechnologyoffieldemissionsiliconcathode AT kogutit thepreparationtechnologyoffieldemissionsiliconcathode |