Направленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке
Рассмотрена кристаллизация силицидной фазы кобальта на поверхности монокристаллического кремния и возможность создания самоформирующихся субмикронных и наноразмерных элементов кремниевых интегральных схем....
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Дата: | 2007 |
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2007
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52879 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Направленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке / И.В. Белоусов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 5. — С. 54-57. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862730217131343872 |
|---|---|
| author | Белоусов, И.В. |
| author_facet | Белоусов, И.В. |
| citation_txt | Направленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке / И.В. Белоусов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 5. — С. 54-57. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Рассмотрена кристаллизация силицидной фазы кобальта на поверхности монокристаллического кремния и возможность создания самоформирующихся субмикронных и наноразмерных элементов кремниевых интегральных схем.
|
| first_indexed | 2025-12-07T19:18:42Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52879 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T19:18:42Z |
| publishDate | 2007 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Белоусов, И.В. 2014-01-08T19:05:55Z 2014-01-08T19:05:55Z 2007 Направленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке / И.В. Белоусов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 5. — С. 54-57. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52879 Рассмотрена кристаллизация силицидной фазы кобальта на поверхности монокристаллического кремния и возможность создания самоформирующихся субмикронных и наноразмерных элементов кремниевых интегральных схем. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Технологические процессы и оборудование Направленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке Спрямована кристалізація силіцидних плівок на кремнієвій підкладці Directional crystallization of films silicide on silicon substrate Article published earlier |
| spellingShingle | Направленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке Белоусов, И.В. Технологические процессы и оборудование |
| title | Направленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке |
| title_alt | Спрямована кристалізація силіцидних плівок на кремнієвій підкладці Directional crystallization of films silicide on silicon substrate |
| title_full | Направленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке |
| title_fullStr | Направленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке |
| title_full_unstemmed | Направленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке |
| title_short | Направленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке |
| title_sort | направленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке |
| topic | Технологические процессы и оборудование |
| topic_facet | Технологические процессы и оборудование |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52879 |
| work_keys_str_mv | AT belousoviv napravlennaâkristallizaciâsilicidnyhplenoknakremnievoipodložke AT belousoviv sprâmovanakristalízacíâsilícidnihplívoknakremníêvíipídkladcí AT belousoviv directionalcrystallizationoffilmssilicideonsiliconsubstrate |