Cover Image

Направленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке

Рассмотрена кристаллизация силицидной фазы кобальта на поверхности монокристаллического кремния и возможность создания самоформирующихся субмикронных и наноразмерных элементов кремниевых интегральных схем....

Full description

Saved in:

Bibliographic Details
Published in:	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Date:	2007
ISSN:	2225-5818
Main Author:	Белоусов, И.В.
Format:	Article
Language:	Russian
Published:	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2007
Subjects:	Технологические процессы и оборудование
Online Access:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52879
Tags:	Add Tag No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:	Направленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке / И.В. Белоусов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 5. — С. 54-57. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Similar Items

Направленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке
by: Belousov, I. V.
Published: (2007)

Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала
by: Панфилов, Ю.В., et al.
Published: (2005)

Формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза
by: Белянин, А.Ф., et al.
Published: (2007)

Получение, свойства и применение тонких нанонеоднородных пленок Ge на GaAs-подложках
by: Венгер, Е.Ф., et al.
Published: (2014)

Технология получения пленок силицида палладия для мощных диодов Шоттки
by: Ануфриев, Л.П., et al.
Published: (2005)

Сетевая система контроля технологического процесса выращивания полупроводниковых кристаллов и тонких пленок
by: Рогов, Р.В., et al.
Published: (2005)

Кинетика процессов осаждения пленок поликремния, легированного кислородом в процессе роста
by: Наливайко, О.Ю., et al.
Published: (2012)

Получение тонких пленок Si₃N₄ при пониженном давлении на пластинах диаметром до 200 мм
by: Наливайко, О.Ю., et al.
Published: (2012)

Получение наноструктурированных пленок AlN и ZnO и их применение в электронной технике
by: Белянин, А.Ф., et al.
Published: (2005)

Осаждение пленок TiN и TiO₂ в обращенном цилиндрическом магнетроне методом реактивного распыления
by: Костин, Е.Г., et al.
Published: (2008)

Влияние параметров ВЧ-разряда и параметров нагревателя на температуру подложки в плазмохимическом реакторе «Алмаз» для синтеза углеродных алмазоподобных пленок
by: Гладковский, В.В., et al.
Published: (2014)

Химическое осаждение из газовой фази гетеро- и наноструктур соединений III–V
by: Воронин, В.А., et al.
Published: (2008)

Технологические источники ионов на основе контрагированных разрядов
by: Никитинский, В.А., et al.
Published: (2006)

Технология сборки микросхем на гибком полиимидном носителе
by: Плис, Н.И., et al.
Published: (2010)

Сравнительный анализ методов сборки микросхем на гибких полиимидных носителях
by: Вербицкий, В.Г., et al.
Published: (2013)

Получение поверхностно-барьерных структур на основе четырехкомпонентных твердых растворов А⁴В⁶
by: Ткачук, А.И., et al.
Published: (2007)

Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике
by: Белянин, А.Ф., et al.
Published: (2005)

Безадгезивные акустические мембраны на полиимидной основе
by: Воробьев, А.В., et al.
Published: (2014)

Технология изготовления гибких терморезисторов на полиимидной основе
by: Динев, Д.А., et al.
Published: (2013)

Получение эффективных катодолюминесцентных структур на базе пленочной технологии
by: Коваленко, Л.Ф., et al.
Published: (2008)

Подключающее МЭМС-устройство для контроля BGA-компонентов
by: Невлюдов, И.Ш., et al.
Published: (2012)

Ненакаливаемые катоды на основе углеродных наноструктурированных слоистых структур
by: Белянин, А.Ф., et al.
Published: (2013)

Технология создания легированных бором слоев на алмазе
by: Зяблюк, К.Н., et al.
Published: (2012)

Влияние гамма-облучения на фотоэлектрические параметры InSe-гетероструктур
by: Ковалюк, З.Д., et al.
Published: (2005)

Влияние легирующих добавок на теплостойкость и теплопередачу никелевых покрытий корпусов ИС
by: Новосядлый, С.П., et al.
Published: (2008)

Оборудование для формирования омических контактов полупроводниковых приборов на основе соединений A₃B₅
by: Александров, С.Б., et al.
Published: (2011)

Формирование полированной поверхности халькогенидов Bi и Sb в травильных композициях K₂Cr₂O₇–HBr
by: Павлович, И.И., et al.
Published: (2011)

Технология изготовления автоэмиссионных кремниевых катодов субмикронных размеров
by: Дружинин, А.A., et al.
Published: (2007)

Получение соединений повышенной плотности термозвуковой микросваркой в 3D интегральных микросхемах
by: Ланин, В.Л., et al.
Published: (2014)

Методика расчета параметров УЗ-преобразователей повышенной частоты
by: Ланин, В.Л., et al.
Published: (2013)

Выбор микропривода механизма зажима и подачи проволоки в установках термозвуковой микросварки
by: Ланин, В.Л., et al.
Published: (2010)

Приборно-технологическое моделирование автоэмиссионных кремниевых микрокатодов
by: Дружинин, А.А., et al.
Published: (2008)

Статистический анализ и оптимизация параметров технологии изготовления биполярного транзистора с изолированным затвором
by: Баранов, В.В., et al.
Published: (2015)

Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD
by: Глушко, А.А., et al.
Published: (2007)

Испаритель для термического напыления материалов в вакууме
by: Босый, В.И., et al.
Published: (2008)

Особенности изготовления Cd1-xZnxTe-детектора ионизирующего излучения
by: Томашик, З.Ф., et al.
Published: (2013)

Установка для регенерации сорбентов в электромагнитном поле
by: Головко, М.И., et al.
Published: (2005)

Лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния
by: Крапивко, Г.И.
Published: (2005)

Информационные параметры для реализации адаптивной зарядки вторичных химических источников тока
by: Житник, Н.Е., et al.
Published: (2008)

Источник магнитных полей сложной энергочастотной и поляризационной структуры
by: Житник, Н.Е., et al.
Published: (2008)