Ультразвуковая очистка оптико-механических систем
Исследованы процессы очистки от загрязнений оптико-механических систем различными видами функциональных покрытий и разработан процесс ультразвуковой очистки, обеспечивающий высокую ее эффективность....
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2007 |
| Main Author: | |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2007
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52880 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Ультразвуковая очистка оптико-механических систем / В.С. Томаль // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 5. — С. 57-60. — Бібліогр.: 2 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52880 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Томаль, В.С. 2014-01-08T19:07:47Z 2014-01-08T19:07:47Z 2007 Ультразвуковая очистка оптико-механических систем / В.С. Томаль // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 5. — С. 57-60. — Бібліогр.: 2 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52880 Исследованы процессы очистки от загрязнений оптико-механических систем различными видами функциональных покрытий и разработан процесс ультразвуковой очистки, обеспечивающий высокую ее эффективность. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Технологические процессы и оборудование Ультразвуковая очистка оптико-механических систем Ультразвукова очистка оптико-механічних систем Ultrasonic clearing of optics-mechanical systems Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Ультразвуковая очистка оптико-механических систем |
| spellingShingle |
Ультразвуковая очистка оптико-механических систем Томаль, В.С. Технологические процессы и оборудование |
| title_short |
Ультразвуковая очистка оптико-механических систем |
| title_full |
Ультразвуковая очистка оптико-механических систем |
| title_fullStr |
Ультразвуковая очистка оптико-механических систем |
| title_full_unstemmed |
Ультразвуковая очистка оптико-механических систем |
| title_sort |
ультразвуковая очистка оптико-механических систем |
| author |
Томаль, В.С. |
| author_facet |
Томаль, В.С. |
| topic |
Технологические процессы и оборудование |
| topic_facet |
Технологические процессы и оборудование |
| publishDate |
2007 |
| language |
Russian |
| container_title |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Ультразвукова очистка оптико-механічних систем Ultrasonic clearing of optics-mechanical systems |
| description |
Исследованы процессы очистки от загрязнений оптико-механических систем различными видами функциональных покрытий и разработан процесс ультразвуковой очистки, обеспечивающий высокую ее эффективность.
|
| issn |
2225-5818 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52880 |
| citation_txt |
Ультразвуковая очистка оптико-механических систем / В.С. Томаль // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 5. — С. 57-60. — Бібліогр.: 2 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT tomalʹvs ulʹtrazvukovaâočistkaoptikomehaničeskihsistem AT tomalʹvs ulʹtrazvukovaočistkaoptikomehaníčnihsistem AT tomalʹvs ultrasonicclearingofopticsmechanicalsystems |
| first_indexed |
2025-12-07T19:05:47Z |
| last_indexed |
2025-12-07T19:05:47Z |
| _version_ |
1850877513190866944 |