Ультразвуковая очистка оптико-механических систем

• Published in: Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Date: 2007
• Main Author: Томаль, В.С.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2007
• Subjects: Технологические процессы и оборудование
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52880
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Ультразвуковая очистка оптико-механических систем / В.С. Томаль // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 5. — С. 57-60. — Бібліогр.: 2 назв. — рос.

Исследованы процессы очистки от загрязнений оптико-механических систем различными видами функциональных покрытий и разработан процесс ультразвуковой очистки, обеспечивающий высокую ее эффективность....