Формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза
Исследованы пленки Ir и алмаза в зависимости от условий получения. Рассмотрено применение поликластерных пленок алмаза в качестве теплоотводов ГИС и управляющих сеток электронных приборов....
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2007 |
| Main Authors: | , , , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2007
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52895 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза / А.Ф. Белянин, А.Ф. Паль, М.И. Самойлович, Н.В. Суетин, Н.Н. Дзбановский, В.С. Митин, П.В. Пащенко, М.А. Тимофеев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 6. — С. 50-56. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862567430440615936 |
|---|---|
| author | Белянин, А.Ф. Паль, А.Ф. Самойлович, М.И. Суетин, Н.В. Дзбановский, Н.Н. Митин, В.С. Пащенко, П.В. Тимофеев, М.А. |
| author_facet | Белянин, А.Ф. Паль, А.Ф. Самойлович, М.И. Суетин, Н.В. Дзбановский, Н.Н. Митин, В.С. Пащенко, П.В. Тимофеев, М.А. |
| citation_txt | Формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза / А.Ф. Белянин, А.Ф. Паль, М.И. Самойлович, Н.В. Суетин, Н.Н. Дзбановский, В.С. Митин, П.В. Пащенко, М.А. Тимофеев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 6. — С. 50-56. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Исследованы пленки Ir и алмаза в зависимости от условий получения. Рассмотрено применение поликластерных пленок алмаза в качестве теплоотводов ГИС и управляющих сеток электронных приборов.
|
| first_indexed | 2025-11-26T00:09:38Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52895 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-11-26T00:09:38Z |
| publishDate | 2007 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Белянин, А.Ф. Паль, А.Ф. Самойлович, М.И. Суетин, Н.В. Дзбановский, Н.Н. Митин, В.С. Пащенко, П.В. Тимофеев, М.А. 2014-01-08T22:10:54Z 2014-01-08T22:10:54Z 2007 Формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза / А.Ф. Белянин, А.Ф. Паль, М.И. Самойлович, Н.В. Суетин, Н.Н. Дзбановский, В.С. Митин, П.В. Пащенко, М.А. Тимофеев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 6. — С. 50-56. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52895 Исследованы пленки Ir и алмаза в зависимости от условий получения. Рассмотрено применение поликластерных пленок алмаза в качестве теплоотводов ГИС и управляющих сеток электронных приборов. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Технологические процессы и оборудование Формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза Формування наноструктурованих плівок ірідія та полікластерного алмазу Formation of nanostructured iridium and polycluster diamond films Article published earlier |
| spellingShingle | Формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза Белянин, А.Ф. Паль, А.Ф. Самойлович, М.И. Суетин, Н.В. Дзбановский, Н.Н. Митин, В.С. Пащенко, П.В. Тимофеев, М.А. Технологические процессы и оборудование |
| title | Формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза |
| title_alt | Формування наноструктурованих плівок ірідія та полікластерного алмазу Formation of nanostructured iridium and polycluster diamond films |
| title_full | Формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза |
| title_fullStr | Формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза |
| title_full_unstemmed | Формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза |
| title_short | Формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза |
| title_sort | формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза |
| topic | Технологические процессы и оборудование |
| topic_facet | Технологические процессы и оборудование |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52895 |
| work_keys_str_mv | AT belâninaf formirovanienanostrukturirovannyhplenokiridiâipoliklasternogoalmaza AT palʹaf formirovanienanostrukturirovannyhplenokiridiâipoliklasternogoalmaza AT samoilovičmi formirovanienanostrukturirovannyhplenokiridiâipoliklasternogoalmaza AT suetinnv formirovanienanostrukturirovannyhplenokiridiâipoliklasternogoalmaza AT dzbanovskiinn formirovanienanostrukturirovannyhplenokiridiâipoliklasternogoalmaza AT mitinvs formirovanienanostrukturirovannyhplenokiridiâipoliklasternogoalmaza AT paŝenkopv formirovanienanostrukturirovannyhplenokiridiâipoliklasternogoalmaza AT timofeevma formirovanienanostrukturirovannyhplenokiridiâipoliklasternogoalmaza AT belâninaf formuvannânanostrukturovanihplívokírídíâtapolíklasternogoalmazu AT palʹaf formuvannânanostrukturovanihplívokírídíâtapolíklasternogoalmazu AT samoilovičmi formuvannânanostrukturovanihplívokírídíâtapolíklasternogoalmazu AT suetinnv formuvannânanostrukturovanihplívokírídíâtapolíklasternogoalmazu AT dzbanovskiinn formuvannânanostrukturovanihplívokírídíâtapolíklasternogoalmazu AT mitinvs formuvannânanostrukturovanihplívokírídíâtapolíklasternogoalmazu AT paŝenkopv formuvannânanostrukturovanihplívokírídíâtapolíklasternogoalmazu AT timofeevma formuvannânanostrukturovanihplívokírídíâtapolíklasternogoalmazu AT belâninaf formationofnanostructurediridiumandpolyclusterdiamondfilms AT palʹaf formationofnanostructurediridiumandpolyclusterdiamondfilms AT samoilovičmi formationofnanostructurediridiumandpolyclusterdiamondfilms AT suetinnv formationofnanostructurediridiumandpolyclusterdiamondfilms AT dzbanovskiinn formationofnanostructurediridiumandpolyclusterdiamondfilms AT mitinvs formationofnanostructurediridiumandpolyclusterdiamondfilms AT paŝenkopv formationofnanostructurediridiumandpolyclusterdiamondfilms AT timofeevma formationofnanostructurediridiumandpolyclusterdiamondfilms |