Формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза

Формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза

Исследованы пленки Ir и алмаза в зависимости от условий получения. Рассмотрено применение поликластерных пленок алмаза в качестве теплоотводов ГИС и управляющих сеток электронных приборов....

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2007
Автори: Белянин, А.Ф., Паль, А.Ф., Самойлович, М.И., Суетин, Н.В., Дзбановский, Н.Н., Митин, В.С., Пащенко, П.В., Тимофеев, М.А.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2007
Назва видання:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Теми:
Технологические процессы и оборудование
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52895
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза / А.Ф. Белянин, А.Ф. Паль, М.И. Самойлович, Н.В. Суетин, Н.Н. Дзбановский, В.С. Митин, П.В. Пащенко, М.А. Тимофеев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 6. — С. 50-56. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52895
record_format dspace
fulltext
spelling nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-528952025-02-09T12:39:35Z Формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза Формування наноструктурованих плівок ірідія та полікластерного алмазу Formation of nanostructured iridium and polycluster diamond films Белянин, А.Ф. Паль, А.Ф. Самойлович, М.И. Суетин, Н.В. Дзбановский, Н.Н. Митин, В.С. Пащенко, П.В. Тимофеев, М.А. Технологические процессы и оборудование Исследованы пленки Ir и алмаза в зависимости от условий получения. Рассмотрено применение поликластерных пленок алмаза в качестве теплоотводов ГИС и управляющих сеток электронных приборов. 2007 Article Формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза / А.Ф. Белянин, А.Ф. Паль, М.И. Самойлович, Н.В. Суетин, Н.Н. Дзбановский, В.С. Митин, П.В. Пащенко, М.А. Тимофеев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 6. — С. 50-56. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52895 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре application/pdf Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
topic Технологические процессы и оборудование
Технологические процессы и оборудование
spellingShingle Технологические процессы и оборудование
Технологические процессы и оборудование
Белянин, А.Ф.
Паль, А.Ф.
Самойлович, М.И.
Суетин, Н.В.
Дзбановский, Н.Н.
Митин, В.С.
Пащенко, П.В.
Тимофеев, М.А.
Формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Исследованы пленки Ir и алмаза в зависимости от условий получения. Рассмотрено применение поликластерных пленок алмаза в качестве теплоотводов ГИС и управляющих сеток электронных приборов.
format Article
author Белянин, А.Ф.
Паль, А.Ф.
Самойлович, М.И.
Суетин, Н.В.
Дзбановский, Н.Н.
Митин, В.С.
Пащенко, П.В.
Тимофеев, М.А.
author_facet Белянин, А.Ф.
Паль, А.Ф.
Самойлович, М.И.
Суетин, Н.В.
Дзбановский, Н.Н.
Митин, В.С.
Пащенко, П.В.
Тимофеев, М.А.
author_sort Белянин, А.Ф.
title Формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза
title_short Формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза
title_full Формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза
title_fullStr Формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза
title_full_unstemmed Формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза
title_sort формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
publishDate 2007
topic_facet Технологические процессы и оборудование
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52895
citation_txt Формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза / А.Ф. Белянин, А.Ф. Паль, М.И. Самойлович, Н.В. Суетин, Н.Н. Дзбановский, В.С. Митин, П.В. Пащенко, М.А. Тимофеев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 6. — С. 50-56. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.
series Технология и конструирование в электронной аппаратуре
work_keys_str_mv AT belâninaf formirovanienanostrukturirovannyhplenokiridiâipoliklasternogoalmaza
AT palʹaf formirovanienanostrukturirovannyhplenokiridiâipoliklasternogoalmaza
AT samojlovičmi formirovanienanostrukturirovannyhplenokiridiâipoliklasternogoalmaza
AT suetinnv formirovanienanostrukturirovannyhplenokiridiâipoliklasternogoalmaza
AT dzbanovskijnn formirovanienanostrukturirovannyhplenokiridiâipoliklasternogoalmaza
AT mitinvs formirovanienanostrukturirovannyhplenokiridiâipoliklasternogoalmaza
AT paŝenkopv formirovanienanostrukturirovannyhplenokiridiâipoliklasternogoalmaza
AT timofeevma formirovanienanostrukturirovannyhplenokiridiâipoliklasternogoalmaza
AT belâninaf formuvannânanostrukturovanihplívokírídíâtapolíklasternogoalmazu
AT palʹaf formuvannânanostrukturovanihplívokírídíâtapolíklasternogoalmazu
AT samojlovičmi formuvannânanostrukturovanihplívokírídíâtapolíklasternogoalmazu
AT suetinnv formuvannânanostrukturovanihplívokírídíâtapolíklasternogoalmazu
AT dzbanovskijnn formuvannânanostrukturovanihplívokírídíâtapolíklasternogoalmazu
AT mitinvs formuvannânanostrukturovanihplívokírídíâtapolíklasternogoalmazu
AT paŝenkopv formuvannânanostrukturovanihplívokírídíâtapolíklasternogoalmazu
AT timofeevma formuvannânanostrukturovanihplívokírídíâtapolíklasternogoalmazu
AT belâninaf formationofnanostructurediridiumandpolyclusterdiamondfilms
AT palʹaf formationofnanostructurediridiumandpolyclusterdiamondfilms
AT samojlovičmi formationofnanostructurediridiumandpolyclusterdiamondfilms
AT suetinnv formationofnanostructurediridiumandpolyclusterdiamondfilms
AT dzbanovskijnn formationofnanostructurediridiumandpolyclusterdiamondfilms
AT mitinvs formationofnanostructurediridiumandpolyclusterdiamondfilms
AT paŝenkopv formationofnanostructurediridiumandpolyclusterdiamondfilms
AT timofeevma formationofnanostructurediridiumandpolyclusterdiamondfilms
first_indexed 2025-11-26T00:09:38Z
last_indexed 2025-11-26T00:09:38Z
_version_ 1849809466952777728

Схожі ресурси