Оптимизация распределения концентрации носителей по толщине эпитаксиальных слоев
Модифицировано устройство для жидкостной эпитаксии полупроводниковых соединений типа АIIIВV. Показана возможность управления градиентом концентрации примесей, создающим внутренние электрические поля в фотоприемной и активной областях структур....
Збережено в:
| Дата: | 2007 |
|---|---|
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2007
|
| Назва видання: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52896 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Оптимизация распределения концентрации носителей по толщине эпитаксиальных слоев / А.В. Каримов, Д.М. Ёдгорова, Р.А. Саидова, Ф.А. Гиясова, Ш.А. Хайдаров // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 6. — С. 57-61. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52896 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-528962025-02-09T13:21:13Z Оптимизация распределения концентрации носителей по толщине эпитаксиальных слоев Оптимізація розподілення концентрації носіїв по товщиніепітаксійних шарів Optimization of the concentration's distribution of the carriers on thickness of epitaxial layers Каримов, А.В. Ёдгорова, Д.М. Саидова, Р.А. Гиясова, Ф.А. Хайдаров, Ш.А. Технологические процессы и оборудование Модифицировано устройство для жидкостной эпитаксии полупроводниковых соединений типа АIIIВV. Показана возможность управления градиентом концентрации примесей, создающим внутренние электрические поля в фотоприемной и активной областях структур. 2007 Article Оптимизация распределения концентрации носителей по толщине эпитаксиальных слоев / А.В. Каримов, Д.М. Ёдгорова, Р.А. Саидова, Ф.А. Гиясова, Ш.А. Хайдаров // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 6. — С. 57-61. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52896 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре application/pdf Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Технологические процессы и оборудование Технологические процессы и оборудование |
| spellingShingle |
Технологические процессы и оборудование Технологические процессы и оборудование Каримов, А.В. Ёдгорова, Д.М. Саидова, Р.А. Гиясова, Ф.А. Хайдаров, Ш.А. Оптимизация распределения концентрации носителей по толщине эпитаксиальных слоев Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description |
Модифицировано устройство для жидкостной эпитаксии полупроводниковых соединений типа АIIIВV. Показана возможность управления градиентом концентрации примесей, создающим внутренние электрические поля в фотоприемной и активной областях структур. |
| format |
Article |
| author |
Каримов, А.В. Ёдгорова, Д.М. Саидова, Р.А. Гиясова, Ф.А. Хайдаров, Ш.А. |
| author_facet |
Каримов, А.В. Ёдгорова, Д.М. Саидова, Р.А. Гиясова, Ф.А. Хайдаров, Ш.А. |
| author_sort |
Каримов, А.В. |
| title |
Оптимизация распределения концентрации носителей по толщине эпитаксиальных слоев |
| title_short |
Оптимизация распределения концентрации носителей по толщине эпитаксиальных слоев |
| title_full |
Оптимизация распределения концентрации носителей по толщине эпитаксиальных слоев |
| title_fullStr |
Оптимизация распределения концентрации носителей по толщине эпитаксиальных слоев |
| title_full_unstemmed |
Оптимизация распределения концентрации носителей по толщине эпитаксиальных слоев |
| title_sort |
оптимизация распределения концентрации носителей по толщине эпитаксиальных слоев |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| publishDate |
2007 |
| topic_facet |
Технологические процессы и оборудование |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52896 |
| citation_txt |
Оптимизация распределения концентрации носителей по толщине эпитаксиальных слоев / А.В. Каримов, Д.М. Ёдгорова, Р.А. Саидова, Ф.А. Гиясова, Ш.А. Хайдаров // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 6. — С. 57-61. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
| series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| work_keys_str_mv |
AT karimovav optimizaciâraspredeleniâkoncentraciinositelejpotolŝineépitaksialʹnyhsloev AT ëdgorovadm optimizaciâraspredeleniâkoncentraciinositelejpotolŝineépitaksialʹnyhsloev AT saidovara optimizaciâraspredeleniâkoncentraciinositelejpotolŝineépitaksialʹnyhsloev AT giâsovafa optimizaciâraspredeleniâkoncentraciinositelejpotolŝineépitaksialʹnyhsloev AT hajdarovša optimizaciâraspredeleniâkoncentraciinositelejpotolŝineépitaksialʹnyhsloev AT karimovav optimízacíârozpodílennâkoncentracíínosíívpotovŝiníepítaksíjnihšarív AT ëdgorovadm optimízacíârozpodílennâkoncentracíínosíívpotovŝiníepítaksíjnihšarív AT saidovara optimízacíârozpodílennâkoncentracíínosíívpotovŝiníepítaksíjnihšarív AT giâsovafa optimízacíârozpodílennâkoncentracíínosíívpotovŝiníepítaksíjnihšarív AT hajdarovša optimízacíârozpodílennâkoncentracíínosíívpotovŝiníepítaksíjnihšarív AT karimovav optimizationoftheconcentrationsdistributionofthecarriersonthicknessofepitaxiallayers AT ëdgorovadm optimizationoftheconcentrationsdistributionofthecarriersonthicknessofepitaxiallayers AT saidovara optimizationoftheconcentrationsdistributionofthecarriersonthicknessofepitaxiallayers AT giâsovafa optimizationoftheconcentrationsdistributionofthecarriersonthicknessofepitaxiallayers AT hajdarovša optimizationoftheconcentrationsdistributionofthecarriersonthicknessofepitaxiallayers |
| first_indexed |
2025-11-26T04:20:26Z |
| last_indexed |
2025-11-26T04:20:26Z |
| _version_ |
1849825255894286336 |
| fulltext |
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2007, ¹ 6
57
ÒÅÕÍÎËÎÃÈ×ÅÑÊÈÅ ÏÐÎÖÅÑÑÛ È ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈÅ
Äàòà ïîñòóïëåíèÿ â ðåäàêöèþ
18.06�12.09 2007 ã.
Îïïîíåíò ä. õ. í. Â. Í. ÒÎÌÀØÈÊ
(ÈÔÏ èì Â. Å. Ëàøêàð¸âà, ã. Êèåâ)
Ä. ô.-ì. í. À. Â. ÊÀÐÈÌÎÂ, ê. ô.-ì. í. Ä. Ì. ¨ÄÃÎÐÎÂÀ,
ê. ò. í. Ð. À. ÑÀÈÄÎÂÀ, Ô. À. ÃÈßÑÎÂÀ, Ø. À. ÕÀÉÄÀÐÎÂ
Óçáåêèñòàí, ã. Òàøêåíò, ÍÏÎ «Ôèçèêà�Ñîëíöå»
Å-mail: karimov@uzsci.net
Ìîäèôèöèðîâàíî óñòðîéñòâî äëÿ æèäêîñò-
íîé ýïèòàêñèè ïîëóïðîâîäíèêîâûõ
ñîåäèíåíèé òèïà ÀIIIÂV. Ïîêàçàíà âîçìîæ-
íîñòü óïðàâëåíèÿ ãðàäèåíòîì êîíöåí-
òðàöèè ïðèìåñåé, ñîçäàþùèì âíóòðåííèå
ýëåêòðè÷åñêèå ïîëÿ â ôîòîïðèåìíîé è
àêòèâíîé îáëàñòÿõ ñòðóêòóð.
Íåîáõîäèìîñòü ðåãèñòðàöèè ñëàáûõ îïòè÷åñêèõ
ñèãíàëîâ, ïîñòóïàþùèõ îò âîëíîâîäíûõ èçëó÷àòå-
ëåé â âîëîêîííî-îïòè÷åñêèõ ñèñòåìàõ, òðåáóåò äàëü-
íåéøåãî ïîâûøåíèÿ ýôôåêòèâíîñòè ïîëóïðîâîäíè-
êîâûõ ôîòîïðèåìíûõ ñòðóêòóð, ÷òî ìîæåò áûòü äî-
ñòèãíóòî çà ñ÷åò ñîçäàíèÿ âíóòðåííèõ ýëåêòðè÷å-
ñêèõ ïîëåé â èçâåñòíûõ è ìîäèôèöèðîâàííûõ ñòðóê-
òóðàõ. Âíóòðåííèå ýëåêòðè÷åñêèå ïîëÿ ìîãóò áûòü
ïîëó÷åíû íà ôðîíòàëüíîé ïîâåðõíîñòè ìåòîäàìè
äèôôóçèè [1]. Îäíàêî ïðè ýòîì îæèäàåìûå ýôôåê-
òû ìîãóò áûòü ñâåäåíû ê ìèíèìóìó èç-çà óâåëè÷å-
íèÿ ïîñëåäîâàòåëüíîãî ñîïðîòèâëåíèÿ çà ñ÷åò ïå-
ðåêîìïåíñàöèè îïðåäåëåííîãî îáúåìà ôðîíòàëüíîé
÷àñòè.
Èñïîëüçóÿ âîçìîæíîñòè èçâåñòíûõ óñòðîéñòâ
[2�4], ìîæíî ïåðåîðèåíòèðîâàòü èõ äëÿ äîñòèæå-
íèÿ íîâûõ öåëåé. Òàê, ñïåöèàëüíîå óñòðîéñòâî æèä-
êîñòíîé ýïèòàêñèè [3], ïîçâîëÿþùåå âåðòèêàëüíî
ïîäàâàòü äîïîëíèòåëüíûå ïîðöèè ðàñòâîðîâ-ðàñïëà-
âîâ ñ îòëè÷àþùèìñÿ ñîñòàâîì, èñïîëüçîâàëîñü äëÿ
ïîëó÷åíèÿ âàðèçîííûõ ýïèòàêñèàëüíûõ ñëîåâ êîì-
áèíèðîâàííûì ñïîñîáîì � êàê â èçîòåðìè÷åñêèõ
óñëîâèÿõ, òàê è ïðèíóäèòåëüíûì îõëàæäåíèåì [4].
Âìåñòå ñ òåì èçâåñòíûå ìåòîäû æèäêîñòíîé ýïèòàê-
ñèè íå ïîçâîëÿþò óïðàâëÿòü íàïðàâëåíèåì ãðàäèåí-
òà èëè êðóòèçíîé èçìåíåíèÿ âíóòðåííåãî ýëåêòðè-
÷åñêîãî ïîëÿ. Òàê, ïðè ïîñòîÿííîé ñêîðîñòè îõëàæ-
äåíèÿ ðàñòâîðà-ðàñïëàâà ñ ôèêñèðîâàííûì îáúåìîì,
èç êîòîðîãî âûðàùèâàåòñÿ ýïèòàêñèàëüíûé ñëîé,
êîíöåíòðàöèÿ íîñèòåëåé ñêëîííà ê óâåëè÷åíèþ ïî
òîëùèíå â ñëîÿõ, ëåãèðîâàííûõ òåëëóðîì, è ê óìåíü-
øåíèþ � ïðè ëåãèðîâàíèè îëîâîì [5, ñ. 44�46],
÷òî îáóñëîâëåíî îòëè÷èåì êîýôôèöèåíòîâ ðàñïðå-
äåëåíèÿ ýòèõ ïðèìåñåé. Çàäàííîå íàïðàâëåíèå è ãðà-
äèåíò êîíöåíòðàöèè íîñèòåëåé ìîæíî ïîëó÷èòü,
åñëè â îñíîâíîé ðàñòâîð-ðàñïëàâ, êîíòàêòèðóþùèé
ñ ïîäëîæêîé, äîáàâëÿòü ñ îïðåäåëåííîé çàêîíîìåð-
íîñòüþ äîïîëíèòåëüíûå ïîðöèè ðàñòâîðîâ-ðàñïëà-
âîâ ñ îòëè÷àþùåéñÿ êîíöåíòðàöèåé ïðèìåñåé.
ÎÏÒÈÌÈÇÀÖÈß ÐÀÑÏÐÅÄÅËÅÍÈß
ÊÎÍÖÅÍÒÐÀÖÈÈ ÍÎÑÈÒÅËÅÉ
ÏÎ ÒÎËÙÈÍÅ ÝÏÈÒÀÊÑÈÀËÜÍÛÕ ÑËÎÅÂ
 íàñòîÿùåé ðàáîòå ðàññìàòðèâàåòñÿ ñïîñîá ïî-
ëó÷åíèÿ çàäàííîãî ðàñïðåäåëåíèÿ íîñèòåëåé çàðÿäà
ïî òîëùèíå âûðàùèâàåìûõ ýïèòàêñèàëüíûõ ñëîåâ
ñ ïîìîùüþ ìîäèôèöèðîâàííîãî äâóõïîðøíåâîãî
óñòðîéñòâà ïóòåì ñìåøèâàíèÿ äâóõ ðàñòâîðîâ-ðàñ-
ïëàâîâ (îñíîâíîãî è äîïîëíèòåëüíîãî), â êîòîðûõ
êîíöåíòðàöèè ïðèìåñåé îòëè÷àþòñÿ íå ìåíåå ÷åì
íà äâà ïîðÿäêà.
Íàïðàâëåíèå âåêòîðà ãðàäèåíòà êîíöåíòðàöèè
èçìåíÿåòñÿ ïðè ñìåíå ìåñò îñíîâíîãî è äîïîëíè-
òåëüíîãî ðàñòâîðîâ-ðàñïëàâîâ. Åñëè äëÿ ïîëó÷åíèÿ
ïîëîæèòåëüíîãî ãðàäèåíòà â íàïðàâëåíèè ðîñòà êîí-
öåíòðàöèÿ íîñèòåëåé äîïîëíèòåëüíîãî ðàñòâîðà-ðàñ-
ïëàâà äîëæíà áûòü áîëüøå, ÷åì îñíîâíîãî (ò. å. êîí-
òàêòèðóþùåãî ñ ïîäëîæêîé), òî äëÿ ïîëó÷åíèÿ îò-
ðèöàòåëüíîãî ãðàäèåíòà êîíöåíòðàöèÿ íîñèòåëåé äî-
ïîëíèòåëüíîãî ðàñòâîðà-ðàñïëàâà äîëæíà áûòü ìåíü-
øå, ÷åì îñíîâíîãî. Îäíîâðåìåííîå èñïîëüçîâàíèå
äâóõ ïîðøíåé ïîçâîëÿåò ïîëó÷èòü â åäèíîì ïðîöåñ-
ñå ñìåíÿþùèéñÿ ãðàäèåíò ïðèìåñåé ïî òîëùèíå ýïè-
òàêñèàëüíîãî ñëîÿ, à ïðè íåîáõîäèìîñòè � óñèëèòü
ãðàäèåíò ïðèìåñè â çàäàííîì òîíêîì ñëîå.
Ïðîôèëü è êðóòèçíà èçìåíåíèÿ ãðàäèåíòà îïðå-
äåëÿþòñÿ êàê çàêîíîìåðíîñòÿìè ñìåøèâàíèÿ ïîð-
öèé è çàäàâàåìûì êîëè÷åñòâîì ïîðöèé äîïîëíè-
òåëüíîãî ðàñòâîðà-ðàñïëàâà, òàê è âîçìîæíîñòÿìè
óñòðîéñòâ äëÿ æèäêîñòíîé ýïèòàêñèè ñëîåâ.
Âîçìîæíîñòè óñòðîéñòâ äëÿ æèäêîñòíîé
ýïèòàêñèè ñëîåâ
Èçâåñòíî, ÷òî ðîñò ýïèòàêñèàëüíûõ ñëîåâ ñ ãåòå-
ðîïåðåõîäîì è ñ èçìåíÿþùåéñÿ ïî êîîðäèíàòå çà-
ïðåùåííîé çîíîé ïîëó÷àþò ñ ïîìîùüþ óñòðîéñòâà,
ïîçâîëÿþùåãî ñìåøèâàòü ðàñòâîðû-ðàñïëàâû ðàç-
ëè÷íîãî ñîñòàâà ïðè èçîòåðìè÷åñêèõ óñëîâèÿõ [6].
Ýïèòàêñèàëüíûå ñëîè ñ ãîìîïåðåõîäàìè, à òàêæå ñ
ãåòåðîïåðåõîäàìè, ïàðàìåòðû êîòîðûõ çàâèñÿò îò
ñîñòàâîâ ðàñòâîðîâ-ðàñïëàâîâ, âûðàùèâàþòñÿ ñ ïî-
ìîùüþ ñäâèãîâîãî óñòðîéñòâà ñ îäíèì èëè íåñêîëü-
êèìè ñëàéäåðàìè, ïîïåðåìåííî êîíòàêòèðóþùèìè
ñ ïîäëîæêîé, ïðè ïðèíóäèòåëüíîì îõëàæäåíèè ñ ïî-
ñòîÿííîé ñêîðîñòüþ [7, ñ. 18�30]. Ìíîãîñëîéíûå
ñòðóêòóðû ñ ðåçêèì p�n-ïåðåõîäîì ïîëó÷àþò ñ ïî-
ìîùüþ ñäâèãîâîãî óñòðîéñòâà ïóòåì ïîñëåäîâàòåëü-
íîãî âûðàùèâàíèÿ ýïèòàêñèàëüíûõ ñëîåâ ïðè ïðè-
íóäèòåëüíîì îõëàæäåíèè ðàñòâîðà-ðàñïëàâà ñ ïåðå-
ìåííîé ñêîðîñòüþ [8, 9]. Ïðèíöèïèàëüíûå âîçìîæ-
íîñòè ðàçëè÷íûõ òèïîâ óñòðîéñòâ âûðàùèâàíèÿ
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2007, ¹ 6
58
ÒÅÕÍÎËÎÃÈ×ÅÑÊÈÅ ÏÐÎÖÅÑÑÛ È ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈÅ
ýïèòàêñèàëüíûõ ñëîåâ èç æèäêîé ôàçû ñâåäåíû â
òàáë. 1.
Èç àíàëèçà òàáëèöû âèäíî, ÷òî âûðàùèâàíèå ñëî-
åâ èç ðàñòâîðîâ-ðàñïëàâîâ ñ ôèêñèðîâàííûì îáúå-
ìîì ïîçâîëÿåò ïîëó÷àòü ëèøü ñëîè ñî ñòóïåí÷àòûì
èçìåíåíèåì ïàðàìåòðîâ ïî òîëùèíå. Ñëåäîâàòåëü-
íî, çàìåíà ýòèõ ðàñòâîðîâ-ðàñïëàâîâ íà ðàñòâîðû-
ðàñïëàâû ñ óïðàâëÿåìî èçìåíÿþùèìñÿ âî âðåìåíè
(âîçðàñòàþùèì) îáúåìîì (çàäàííîé êîíöåíòðàöèåé
ïðèìåñåé) ïîçâîëèò ïðè ðàçëè÷íûõ óñëîâèÿõ âûðà-
ùèâàòü ñëîè ñ ïëàâíî èçìåíÿþùèìèñÿ â øèðîêèõ
ïðåäåëàõ ïàðàìåòðàìè. Ïðè èçîòåðìè÷åñêèõ ïðîöåñ-
ñàõ ðîñò ñëîÿ îñóùåñòâëÿåòñÿ çà îäèí ïðèåì â ìî-
ìåíò ñìåøèâàíèÿ ðàñòâîðîâ-ðàñïëàâîâ.
 óñòðîéñòâàõ âûðàùèâàíèÿ ñëîåâ çà ñ÷åò îõëàæ-
äåíèÿ ðàñòâîðîâ-ðàñïëàâîâ ñ ôèêñèðîâàííûì îáúå-
ìîì, êîíòàêòèðóþùèõ ñ ïîäëîæêîé, ïàðàìåòðû âû-
ðàùèâàåìûõ ñëîåâ îïðåäåëÿþòñÿ èçìåíåíèåì ðà-
ñòâîðèìîñòè ìàòåðèàëà [12, ñ. 139�141]. Ïðè ýòîì
ïîñòîÿííûì îñòàåòñÿ îòíîøåíèå ìàññû ðàñòâîðèòå-
ëÿ ê ïëîùàäè ïîäëîæêè � Pa/S=Const, ÷òî ïðèâî-
äèò ê íåìèíóåìîìó óìåíüøåíèþ êîíöåíòðàöèè êîì-
ïîíåíòà â ðàñïëàâå, è ïðîöåññ ðîñòà ñòàíîâèòñÿ ïëî-
õî óïðàâëÿåìûì. Íàïðèìåð, ïðèìåñè îëîâà è òåëëó-
ðà ïî òîëùèíå ñëîÿ ðàñïðåäåëÿþòñÿ ñ ïðîòèâîïîëîæ-
íûì íàïðàâëåíèåì ãðàäèåíòà êîíöåíòðàöèè íîñèòå-
ëåé [5, ñ. 76�89]. Ó÷èòûâàÿ çàâèñèìîñòü âûõîäíûõ
ïàðàìåòðîâ ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ñòðóêòóð îò ïðîôè-
ëÿ ðàñïðåäåëåíèÿ êîíöåíòðàöèè íîñèòåëåé ïî òîë-
ùèíå àêòèâíîé îáëàñòè, ñìîäåëèðîâàíî óñòðîéñòâî,
êîòîðîå ïóòåì óïðàâëÿåìîé ïîäà÷è íà ïîäëîæêó ïîð-
öèé ðàñòâîðîâ-ðàñïëàâîâ ñ ðàçëè÷íîé ìàññîé ïîçâî-
ëèëî áû ïîëó÷èòü çàäàííûé ïðîôèëü ðàñïðåäåëåíèÿ
êîíöåíòðàöèè íîñèòåëåé.
Íîâîå êîìáèíèðîâàííîå äâóõïîðøíåâîå óñòðîé-
ñòâî [4] îáåñïå÷èâàåò âåðòèêàëüíóþ ïîäà÷ó (êàê â
èçîòåðìè÷åñêèõ, òàê è â íåèçîòåðìè÷åñêèõ óñëî-
âèÿõ) äîïîëíèòåëüíîãî ðàñòâîðà-ðàñïëàâà ñ êîíöåí-
Òèïû óñòðîéñòâ Óñëîâèÿ âûðàùèâàíèÿ Ïîëó÷àåìûå ñëîè
1.
Èçîòåðìè÷åñêèå. Ìîìåíòàëüíîå ñìåøè-
âàíèå äâóõ ðàñòâîðîâ-ðàñïëàâîâ ñ ðàç-
ëè÷íûì ñîñòàâîì
Ñòðóêòóðû ñ ãåòåðîïåðå-
õîäàìè íà îñíîâå
Ga1�xAlxAs [6]
2.
Èçîòåðìè÷åñêèå. Ê îñíîâíîìó ðàñòâîðó-
ðàñïëàâó äîáàâëÿþò íåñêîëüêî äîïîëíè-
òåëüíûõ ñ ðàçëè÷íûìè ñîñòàâàìè
Ìíîãîñëîéíûå ñòðóêòóðû
ñ ãåòåðîïåðåõîäàìè. Øè-
ðèíà çîíû çàâèñèò îò ñî-
ñòàâà äîïîëíèòåëüíîãî
ðàñòâîðà-ðàñïëàâà [10]
3.
Ïðèíóäèòåëüíîå îõëàæäåíèå îäíîãî
ðàñòâîðà-ðàñïëàâà ñ ïîñòîÿííîé è ïåðå-
ìåííîé ñêîðîñòüþ
Ñòðóêòóðû ñ ãîìî- è ãåòå-
ðîïåðåõîäàìè [11, ñ. 133�
139]
4.
Ïðèíóäèòåëüíîå îõëàæäåíèå îäíîãî
ðàñòâîðà-ðàñïëàâà ñ ïîñòîÿííîé ñêîðî-
ñòüþ. Îõëàæäåíèå ñ ïåðåìåííîé ñêîðî-
ñòüþ èñïîëüçóþò äëÿ ïîäàâëåíèÿ äèôôó-
çèîííûõ ïðîöåññîâ
Ìíîãîñëîéíûå èçîòèïíûå
è p�n-ïåðåõîäû [5, ñ. 70�
71]
5.
Óíèâåðñàëüíîå ñäâèãîâîå óñòðîéñòâî
Èçîòåðìè÷åñêîå ñìåøèâàíèå äâóõ ðàñòâî-
ðîâ-ðàñïëàâîâ. Ïðèíóäèòåëüíîå îõëàæ-
äåíèå ñ ðàçëè÷íîé ñêîðîñòüþ
Ñòðóêòóðû ñ ðåçêèì p�n-
ïåðåõîäîì [9]
6.
Îäíîïîðøíåâîå óíèâåðñàëüíîå óñòðîéñòâî
Êîìáèíèðîâàííîå ñìåøèâàíèå ðàñòâî-
ðîâ-ðàñïëàâîâ: èçîòåðìè÷åñêîå è ñäâè-
ãîâîå ñ ïðèíóäèòåëüíûì îõëàæäåíèåì ñ
ðàçëè÷íîé ñêîðîñòüþ
Âàðèçîííûå ïî òîëùèíå
ýïèòàêñèàëüíûå ñëîè [3, 4]
7.
Ìîäèôèöèðîâàííîå äâóõïîðøíåâîå óñòðîéñòâî
Ïðèíóäèòåëüíîå îõëàæäåíèå (ñ ðàçëè÷-
íîé ñêîðîñòüþ) äâóõ ðàñòâîðîâ-
ðàñïëàâîâ ñ ðàçëè÷íîé êîíöåíòðàöèåé
ïðèìåñåé. Âîçìîæíî âûðàùèâàíèå ñëîåâ
ñ ïîëîæèòåëüíûì è îòðèöàòåëüíûì ãðà-
äèåíòîì êàê â îòäåëüíîñòè, òàê è â åäè-
íîì ïðîöåññå
Ñòðóêòóðû ñ àêòèâíûìè è
ôîòîïðèåìíûìè îáëàñòÿ-
ìè ñ ðàçëè÷íûì ãðàäèåí-
òîì ïðèìåñåé ïî òîëùèíå
Òàáëèöà 1
Âîçìîæíîñòè óñòðîéñòâ äëÿ æèäêîñòíîé ýïèòàêñèè ñëîåâ
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2007, ¹ 6
59
ÒÅÕÍÎËÎÃÈ×ÅÑÊÈÅ ÏÐÎÖÅÑÑÛ È ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈÅ
òðàöèåé ïðèìåñåé N2 íà ãîðèçîíòàëüíî ðàñïîëîæåí-
íûé îñíîâíîé ðàñòâîð-ðàñïëàâ ñ êîíöåíòðàöèåé ïðè-
ìåñåé N1.  ÿ÷åéêó ãîðèçîíòàëüíî ïåðåìåùàþùåé-
ñÿ ëèíåéêè, ðàñïîëîæåííîé â íèæíåé ÷àñòè óñòðîé-
ñòâà, ïîìåùàåòñÿ îñíîâíîé ðàñòâîð-ðàñïëàâ ñ çàäàí-
íîé ìàññîé
m1=P1+ 1' ,P (1)
à â öèëèíäðè÷åñêóþ åìêîñòü, ðàçìåùåííóþ â âåðõ-
íåé ÷àñòè óñòðîéñòâà, ïîìåùàåòñÿ äîïîëíèòåëüíûé
ðàñòâîð-ðàñïëàâ ñ ìàññîé
m2 max=P2+ 2' ,P (2)
Äîïîëíèòåëüíûé ðàñòâîð-ðàñïëàâ êàïàåò ïîðöè-
ÿìè. Ìàññà ïîðöèè m0 çàâèñèò îò äèàìåòðà êàïèë-
ëÿðíîãî îòâåðñòèÿ â öèëèíäðå. (Â íàøåì ýêñïåðè-
ìåíòå m0=0,04 ã.) Ïîä äåéñòâèåì ïîðøíÿ äîïîëíè-
òåëüíûé ðàñòâîð-ðàñïëàâ ìîæåò âûäàâëèâàòüñÿ ïî
çàäàâàåìîìó çàêîíó (÷àñòîòà è ñêîðîñòü ïîäà÷è ïîð-
öèé, èíòåðâàë âðåìåíè ìåæäó ïîäà÷àìè). Íåîáõîäè-
ìàÿ ïðè ýòîì ìåðà âûäàâëèâàíèÿ ðàñòâîðà-ðàñïëàâà
îïðåäåëÿåò øàã ïîðøíÿ. Ìàññà ïîðöèè âûäàâëåí-
íîãî ðàñòâîðà-ðàñïëàâà çàâèñèò îò îòíîøåíèÿ ðà-
ñòâîðåííîãî âåùåñòâà, íàõîäÿùåãîñÿ â öèëèíäðè÷å-
ñêîé åìêîñòè, ê ðàñòâîðèòåëþ � 2 2' /P P è îïðåäåëÿ-
åòñÿ ïî ôîðìóëå
2
2 0 0
2
n n
x
P'
m km l km l .
P
= + (3)
Çäåñü ln � ìåðà âûäàâëèâàíèÿ ðàñòâîðà-ðàñïëà-
âà. Ïóòåì âûáîðà ðàçëè÷íûõ çíà÷åíèé ìåðû âûäàâ-
ëèâàíèÿ (òàáë. 2) çàäàåòñÿ äèíàìèêà ïîäà÷è äèñ-
êðåòíûõ ïîðöèé, êîòîðàÿ îïðåäåëÿåò ïðîôèëü ðàñïðå-
äåëåíèÿ êîíöåíòðàöèè ïðèìåñåé (íîñèòåëåé çàðÿäà).
Êîíöåíòðàöèÿ ñìåøàííîãî ðàñòâîðà-ðàñïëàâà ðàñ-
ñ÷èòûâàåòñÿ ïî èçâåñòíîé ôîðìóëå
1 1 2 2
1 2
x
X
x
m N m N
N ,
m m
+
=
+ (4)
ò. å. ïðèíèìàåò çíà÷åíèå ìåæäó N1 è N2.
Ïîëüçóÿñü òàáë. 2, ðàññìîòðèì êîíöåíòðàöèîí-
íûé ïðîôèëü ñìåøàííûõ ðàñòâîðîâ-ðàñïëàâîâ â çà-
âèñèìîñòè îò ìåðû âûäàâëèâàíèÿ (øàãà ïîðøíÿ) äëÿ
êîíêðåòíûõ çíà÷åíèé ñìåøèâàåìûõ ðàñòâîðîâ-ðàñ-
ïëàâîâ.
Ïåðâûé ðàñòâîð-ðàñïëàâ ñîñòîèò èç ðàñòâîðèòå-
ëÿ ìàññîé P1=1,3 ã è ðàñòâîðåííîãî âåùåñòâà
1'P =0,075 ã ñ êîíöåíòðàöèåé N1=4·1017 ñì�3, à âòîðîé
äîáàâëÿåìûé ðàñòâîð-ðàñïëàâ ñîñòîèò èç ðàñòâîðè-
òåëÿ ìàññîé P2=2,5 ã è ðàñòâîðåííîãî âåùåñòâà
2'P =0,145 ã ñ êîíöåíòðàöèåé N2=4·1015 ñì�3. Íàõîäèì
èç (3) ìàññó äîáàâëÿåìûõ ïîðöèé ðàñòâîðà-ðàñïëà-
âà m2x. Äàëåå, ïîäñòàâëÿÿ çíà÷åíèÿ ìàññû m2x â (4),
îïðåäåëèì êîíöåíòðàöèþ ñìåøàííûõ ðàñòâîðîâ-
ðàñïëàâîâ.
Ðåçóëüòàòû çàâèñèìîñòè êîíöåíòðàöèè ñìåøàí-
íûõ ðàñòâîðîâ-ðàñïëàâîâ îò äèíàìèêè èõ ñìåøèâà-
íèÿ ñâåäåíû â òàáë. 3. Âèäíî, ÷òî â ñîîòâåòñòâèè ñ
èçìåíåíèåì ïîêàçàòåëÿ ñòåïåíè ìåðû âûäàâëèâàíèÿ
èçìåíÿåòñÿ çíà÷åíèå êîíöåíòðàöèè íîñèòåëåé. Ïðè
ýòîì êîýôôèöèåíò k ïîäáèðàþò òàê, ÷òîáû âûáðàí-
íûå ìàññû ïîðöèé ñìåøèâàåìîãî âòîðîãî ðàñòâîðà-
ðàñïëàâà m2x íå ïðåâûøàëè m2 max, ÷òî íàãëÿäíî ïî-
êàçàíî íà ðèñ. 1. Êðîìå òîãî, âèäíî, ÷òî ÷åì áîëüøå
ãäå Pn �
'nP �
ìàññà ðàñòâîðèòåëÿ;
ìàññà ðàñòâîðåííîãî âåùåñòâà.
l, ìì m0l
1/2 m0l 0,1m0l
2 0,025m0l
3
4 0,08 0,16 0,064 0,064
8 0,113137 0,32 0,256 0,512
12 0,138564 0,48 0,576 1,728
16 0,16 0,64 1,024 4,096
20 0,178885 0,8 1,6 8
24 0,195959 0,96 2,304 13,824
28 0,21166 1,12 3,136 21,952
32 0,226274 1,28 4,096 32,768
36 0,24 1,44 5,184 46,656
40 0,252982 1,6 6,4 64
Òàáëèöà 2
Çàâèñèìîñòü ìàññû ïîðöèé âûäàâëåííîãî ðàñòâîðà-ðàñ-
ïëàâà m2x îò çàêîíîìåðíîñòè èõ ïîäà÷è ïðè m0=0,04 ã
l, ìì m0l
1/2 km0l 0,1m0l
2 0,025m0l
3
0 4 4 4 4
4 3,77037 3,56591 3,81414 3,81414
8 3,68287 3,2176 3,34832 2,88083
12 3,61847 2,93191 2,78389 1,73985
16 3,56591 2,69335 2,25486 9,93829
20 3,52088 2,49116 1,81489 5,9341
24 3,48114 2,31759 1,46815 3,80296
28 3,44539 2,16699 1,20027 2,6134
32 3,41277 2,03506 9,93829 1,91067
36 3,38271 1,91854 8,3377 1,47318
40 3,35476 1,81489 7,0841 1,18814
Òàáëèöà 3
Äàííûå äëÿ ðàñ÷åòà êîíöåíòðàöèè (N, 1017 ñì�3)
ñìåøàííûõ ðàñòâîðîâ-ðàñïëàâîâ â çàâèñèìîñòè
îò ìåðû âûäàâëèâàíèÿ
N,
1017 ñì�3
3,2
2,4
1,6
0,8
0
0 0,2 0,4 0,6 0,8 l, ìì
1
2
3
4
1 � m0l1/2
2 � m0l
3 � 0,1m0l
2
4 � 0,025m0l
3
Ðèñ. 1. Çàâèñèìîñòü êîíöåíòðàöèè ñìåøàííûõ ðàñòâîðîâ-
ðàñïëàâîâ ñ ðàçëè÷íîé ìàññîé îò øàãà ïîðøíÿ
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2007, ¹ 6
60
ÒÅÕÍÎËÎÃÈ×ÅÑÊÈÅ ÏÐÎÖÅÑÑÛ È ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈÅ
ïîêàçàòåëü ñòåïåíè ìåðû âûäàâëèâàíèÿ, òåì áîëü-
øå ãðàäèåíò êîíöåíòðàöèè íîñèòåëåé â çàäàííîì
øàãå âûäàâëèâàíèÿ ïîðöèé ðàñòâîðîâ-ðàñïëàâîâ.
Ñîçäàíèå ïîäîáíîãî óïðàâëÿåìîãî ðàñïðåäåëåíèÿ
íîñèòåëåé â áàçîâûõ îáëàñòÿõ ïîëóïðîâîäíèêîâîé
ñòðóêòóðû ñïîñîáñòâóåò ïîëó÷åíèþ âíóòðåííèõ ýëåê-
òðè÷åñêèõ ïîëåé, îáåñïå÷èâàþùèõ óâåëè÷åíèå ôî-
òî÷óâñòâèòåëüíîñòè. Âûáðàííîå äëÿ ðåàëèçàöèè ýòîé
öåëè êîìáèíèðîâàííîå óñòðîéñòâî, áëàãîäàðÿ âîç-
ìîæíîñòè óïðàâëåíèÿ äîçîé è çàêîíîìåðíîñòüþ ñìå-
øèâàíèÿ ðàñòâîðîâ-ðàñïëàâîâ, ïîçâîëÿåò óïðàâëÿòü
âçàèìîñâÿçüþ õàðàêòåðèñòè÷åñêèõ ïàðàìåòðîâ ýïè-
òàêñèàëüíûõ ñëîåâ ñ òåõíîëîãè÷åñêèìè ïðîöåññàìè
èõ âûðàùèâàíèÿ.
Ïîëó÷åííûå ðåçóëüòàòû ñâèäåòåëüñòâóþò î âîç-
ìîæíîñòè âûðàùèâàíèÿ ýïèòàêñèàëüíûõ ñëîåâ ñ
óïðàâëÿåìûì ãðàäèåíòîì êîíöåíòðàöèè íîñèòåëåé
êàê â èçîòåðìè÷åñêèõ, òàê è â íåèçîòåðìè÷åñêèõ
óñëîâèÿõ ïóòåì êîíöåíòðàöèîííîãî ñìåøèâàíèÿ ðàñ-
òâîðîâ-ðàñïëàâîâ.
Âçàèìîñâÿçü òîëùèíû ýïèòàêñèàëüíûõ ñëîåâ
è óñëîâèé ñìåøèâàíèÿ ðàñòâîðîâ-ðàñïëàâîâ
Èçâåñòíî, ÷òî òîëùèíà ýïèòàêñèàëüíîãî ñëîÿ,
âûðàùèâàåìîãî èç æèäêîé ôàçû, ñóùåñòâåííî çàâè-
ñèò îò òåõíîëîãè÷åñêèõ óñëîâèé ðîñòà.  ñëó÷àå
êîãäà ýïèòàêñèàëüíûå ñëîè âûðàùèâàþòñÿ èç ðàñòâî-
ðà-ðàñïëàâà ñ ôèêñèðîâàííûì îáúåìîì ïðèíóäèòåëü-
íûì îõëàæäåíèåì, ñêîðîñòü ðîñòà ñëîåâ ñ ïîíèæå-
íèåì òåìïåðàòóðû óìåíüøàåòñÿ [2]. Îäíàêî â ïðåä-
ëàãàåìîì ñïîñîáå êîíöåíòðàöèîííîãî ñìåøèâàíèÿ
îäíîãî ðàñòâîðà-ðàñïëàâà ñî âòîðûì â õîäå ñìåøè-
âàíèÿ íàðÿäó ñ èçìåíåíèåì êîíöåíòðàöèè ïðèìåñè
ïîñëåäîâàòåëüíî óâåëè÷èâàåòñÿ ìàññà ðàñòâîðà-ðàñ-
ïëàâà, êîíòàêòèðóþùåãî ñ ïîäëîæêîé, ïîýòîìó òîë-
ùèíà âûðàùèâàåìîãî ñëîÿ, ñîîòâåòñòâóþùàÿ êàæ-
äîìó ïîñëåäóþùåìó èíòåðâàëó òåìïåðàòóðû, ñòðå-
ìèòñÿ ê óâåëè÷åíèþ. Ïðè ýòîì çàêîíîìåðíîñòè ðîñ-
òà ïðèîáðåòàþò èíîé õàðàêòåð.
Òîëùèíà d âûðàùåííîãî ñëîÿ â êàæäîì èíòåðâà-
ëå òåìïåðàòóðû T1�T2 ñâÿçàíà ñ èçìåíåíèåì êîíöåí-
òðàöèè ïðèìåñè â ðàñòâîðå-ðàñïëàâå è îïðåäåëÿåò-
ñÿ óðàâíåíèåì [5]
îáù 1 2
1 2
,
1 2 1 2
P C C
d
S À C C
µ
= − ρ − −
(5)
Èñïîëüçóÿ äàííûå, ïðèâåäåííûå â ðàáîòå [12],
îïðåäåëèì íåîáõîäèìûå äëÿ (5) çíà÷åíèÿ êîíöåí-
òðàöèè ðàñòâîðåííîãî êîìïîíåíòà (GaAs) â ðàñòâî-
ðèòåëå (Ga) â çàâèñèìîñòè îò èíòåðâàëà òåìïåðàòó-
ðû ðîñòà (òàáë. 4). Ïðè âûðàùèâàíèè ýïèòàêñèàëü-
íîãî ñëîÿ ïðèíóäèòåëüíûì îõëàæäåíèåì ïî ìåðå èç-
ìåíåíèÿ òåìïåðàòóðû ðàñòâîðèìîñòü àðñåíèäà ãàë-
ëèÿ â ãàëëèè èçìåíÿåòñÿ. Ìàññà ñìåøàííîãî ðàñòâî-
ðà Pîáù â íàøåì ñëó÷àå ïðåäñòàâëÿåò ñîáîé âîçðàñ-
òàþùóþ ñóììó. Ê çàäàííîé ìàññå ðàñòâîðèòåëÿ ïåð-
âîãî ðàñòâîðà-ðàñïëàâà Ð1 ïîñëåäîâàòåëüíî (ïî çà-
êîíó òàáë. 2) äîáàâëÿþòñÿ ìàññû ïîðöèé èç âòîðîãî
ðàñòâîðà-ðàñïëàâà:
Pîáù=P1+P2, (6)
ìàññà âòîðîãî ðàñòâîðèòåëÿ îïðåäåëÿåòñÿ ïî ôîðìó-
ëå (2)
Ð2=m2 max� 2'P . (7)
Ìàññà âòîðîãî ðàñòâîðà-ðàñïëàâà, èçìåíÿþùàÿ-
ñÿ ïî çàêîíó km0ln, îïðåäåëÿåòñÿ ôîðìóëîé (3). Ó÷è-
òûâàÿ (3) è ïîäñòàâëÿÿ (7) â (6), îïðåäåëèì îáùóþ
ìàññó ðàñòâîðèòåëÿ:
Pîáù=P1+km0l
n. (8)
Êàê âèäíî èç (5), òîëùèíà âûðàùèâàåìîãî ñëîÿ
ïðÿìî ïðîïîðöèîíàëüíà ìàññå ðàñòâîðèòåëÿ (Pîáù)
è îáðàòíî ïðîïîðöèîíàëüíà ïëîùàäè ïîäëîæêè.
 íàøåì ñëó÷àå ìàññà ðàñòâîðèòåëÿ óâåëè÷èâàåòñÿ
çà ñ÷åò äîáàâëÿåìûõ ïîðöèé èç âòîðîãî ðàñòâîðà-ðàñ-
ïëàâà, ïîýòîìó òîëùèíà, ñîîòâåòñòâóþùàÿ êàæäîìó
çàäàííîìó ñëåäóþùåìó èíòåðâàëó òåìïåðàòóðû
∆T1=∆T2=�=∆Tn, áóäåò âîçðàñòàòü.
Àíàëèçèðóÿ ïîëó÷åííûå â òàáë. 2, 4 è èñõîäíûå
äàííûå ìàññû è êîíöåíòðàöèè àðñåíèäà ãàëëèÿ â ãàë-
ëèè ñ ïîìîùüþ (5), ïîëó÷èì âçàèìîñâÿçü òîëùèíû
âûðàùèâàåìûõ ñëîåâ è èíòåðâàëà òåìïåðàòóðû ðî-
ñòà ïðè ðàçëè÷íûõ ââîäèìûõ äèñêðåòíûõ ìàññàõ ïî
çàêîíó km0l (ðèñ. 2). Èç ðèñ. 2 âèäíî, ÷òî ïî ìåðå
ãäå µ �
S �
ρ �
À �
C1 �
C2 �
ìîëåêóëÿðíûé âåñ êðèñòàëëèçóåìîãî âåùåñòâà;
ïëîùàäü ïîäëîæêè, ñì2;
ïëîòíîñòü âûðàùåííîãî ñëîÿ, ã/ñì�3;
àòîìíûé âåñ ðàñòâîðèòåëÿ;
êîíöåíòðàöèÿ ðàñòâîðåííîãî êîìïîíåíòà ïðè T1, àò. %;
êîíöåíòðàöèÿ ðàñòâîðåííîãî êîìïîíåíòà ïðè T2, àò. %.
∆T, °C
1
11 2
C
C−
2
21 2
C
C−
0 0,03763 0,03763
1 0,03763 0,03729
2 0,03763 0,03694
4 0,03763 0,03625
6 0,03763 0,03556
8 0,03763 0,03487
10 0,03763 0,03419
Òàáëèöà 4
Çàâèñèìîñòü êîíöåíòðàöèè ðàñòâîðåííîãî êîìïîíåíòà
â ðàñòâîðèòåëå îò èíòåðâàëà òåìïåðàòóðû ðîñòà
d,
10�3 ñì
3,2
2,4
1,6
0,8
0
0 2 4 6 8 ∆T, °C
4
3
2
1
1 � km0l=0,16
2 � km0l=0,64
3 � km0l=1,12
4 � km0l=1,6
Ðèñ. 2. Çàâèñèìîñòü òîëùèíû âûðàùåííîãî ñëîÿ îò ãðà-
äèåíòà èíòåðâàëà òåìïåðàòóðû ïðè ðàçëè÷íûõ ìàññàõ äî-
áàâëÿåìîãî ðàñòâîðà-ðàñïëàâà
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2007, ¹ 6
61
ÒÅÕÍÎËÎÃÈ×ÅÑÊÈÅ ÏÐÎÖÅÑÑÛ È ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈÅ
óâåëè÷åíèÿ ∆T òîëùèíà âûðàùåííûõ ñëîåâ óâåëè-
÷èâàåòñÿ ëèíåéíî, à ñ óâåëè÷åíèåì ìàññû ââîäèìûõ
ðàñòâîðîâ-ðàñïëàâîâ êðóòèçíà ðîñòà âîçðàñòàåò. Ñ
äðóãîé ñòîðîíû, ïî ìåðå óâåëè÷åíèÿ èíòåðâàëà òåì-
ïåðàòóðû (∆T≠Const) ñîîòâåòñòâóþùèå òîëùèíû âû-
ðàùåííûõ ñëîåâ óâåëè÷èâàþòñÿ â çàâèñèìîñòè îò
êîíöåíòðàöèè ñìåøàííûõ ðàñòâîðîâ-ðàñïëàâîâ
(ðèñ. 3).
Òàêèì îáðàçîì, ïðè èçìåíåíèè óñëîâèé ðîñòà
ýïèòàêñèàëüíûõ ñëîåâ (íàïðèìåð èíòåðâàëà òåìïå-
ðàòóðû, ìàññû äîáàâëÿåìîãî ðàñòâîðà-ðàñïëàâà) òîë-
ùèíà âûðàùèâàåìûõ ñëîåâ èçìåíÿåòñÿ ïî çàäàâàå-
ìîìó çàêîíó ìåðû âûäàâëèâàíèÿ ðàñòâîðà-ðàñïëà-
âà.  ÷àñòíîñòè, ñ óâåëè÷åíèåì ãðàäèåíòà òåìïåðà-
òóðû òîëùèíà âûðàùèâàåìûõ ñëîåâ âîçðàñòàåò, à ïî
ìåðå óâåëè÷åíèÿ òîëùèíû âûðàùèâàåìûõ ñëîåâ êîí-
öåíòðàöèÿ ïðèìåñåé óìåíüøàåòñÿ.
Çàêëþ÷åíèå
Ñîïîñòàâëÿÿ èçâåñòíûå è ïðåäëîæåííûå íàìè
óñòðîéñòâà, ìîæíî çàêëþ÷èòü, ÷òî ÷åì øèðå âîçìîæ-
íîñòü âàðüèðîâàòü ñîñòàâ è ìàññó ðàáî÷èõ ðàñòâî-
ðîâ-ðàñïëàâîâ, òåì øèðå ôóíêöèîíàëüíûå ñâîéñòâà
óñòðîéñòâà. Åñëè ñ ïîìîùüþ îäíîïîðøíåâîãî
óñòðîéñòâà ìîæíî ïîëó÷àòü êîìáèíèðîâàííûì ñïîñî-
áîì âàðèçîííûå ýïèòàêñèàëüíûå ñëîè [4], òî ñ ïî-
ìîùüþ èññëåäóåìîãî äâóõïîðøíåâîãî óñòðîéñòâà
ìîæíî óïðàâëÿòü ïðîôèëåì ðàñïðåäåëåíèÿ êîíöåí-
òðàöèè íîñèòåëåé ïî òîëùèíå âûðàùèâàåìûõ ñëî-
åâ ïóòåì ñìåøèâàíèÿ ðàñòâîðîâ-ðàñïëàâîâ ñ ðàçëè÷-
íîé êîíöåíòðàöèåé ïðèìåñåé. Óíèâåðñàëüíîñòü ìî-
äèôèöèðîâàííîãî óñòðîéñòâà â òîì, ÷òî ñ åãî ïîìî-
ùüþ ìîæíî îñóùåñòâèòü ýïèòàêñèàëüíûé ðîñò ñëî-
åâ íå òîëüêî ðàçëè÷íûìè ñïîñîáàìè (èçîòåðìè÷å-
ñêèì ñìåøèâàíèåì, ïðèíóäèòåëüíûì îõëàæäåíèåì),
íî è ïîëó÷àòü â åäèíîì ïðîöåññå ýïèòàêñèàëüíûå
ñëîè ñ ïåðåìåííûì ãðàäèåíòîì êîíöåíòðàöèè ïî òîë-
ùèíå.  èçîòåðìè÷åñêèõ óñëîâèÿõ íåîáõîäèìî ñî-
çäàòü óñëîâèÿ ïåðåñûùåíèÿ ðàñòâîðîâ-ðàñïëàâîâ, è
ìîæíî ïîëó÷èòü ýïèòàêñèàëüíûå ñëîè ïóòåì èõ ñìå-
øèâàíèÿ. Ìàòåðèàë ðàñòâîðèòåëÿ âûáèðàþò òàê, ÷òî-
áû ðàñòâîðèìîñòü ïîëóïðîâîäíèêîâîãî ìàòåðèàëà â
ïåðâîì ðàñòâîðå áûëà âûøå, ÷åì âî âòîðîì (íàïðè-
ìåð çà ñ÷åò äîáàâëåíèÿ âèñìóòà, åñëè îñíîâíîé ðàñ-
òâîð-ðàñïëàâ ñîäåðæèò ïðèìåñè îëîâà, à äîïîëíè-
òåëüíûé � ïðèìåñè òåëëóðà).
ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ
1. http://solidstate.karelia.ru/~tutorials/moel/seminars/2001_2002/
SolBat_FE/Fotoelectro/fotodiods.htm. Ôîòîäèîäû.
2. Ãðà÷åâ Â. Ì., Ñàáàíîâà Ë. Ñ. Ìåòîäû è àïïàðàòóðà æèäêîñò-
íîé ýïèòàêñèè.� Ì.: Öâåòìåò-èíôîðìàöèÿ, 1974.� Ñ. 7�13.
3. À. ñ. 913759 ÑÑÑÐ. Óñòðîéñòâî äëÿ æèäêîñòíîé ýïèòàêñèè /
À. Â. Êàðèìîâ, Ì. Ìèðçàáàåâ, Ø. Ç. Ìèðòóðñóíîâ, Í. Ô. Ìóõèò-
äèíîâà.� 1981.
4. ̈ äãîðîâà Ä. Ì., Êàðèìîâ À. Â., Ãèÿñîâà Ô. À., Ñàèäîâà Ð. À.
Êîìáèíèðîâàííûé ñïîñîá âûðàùèâàíèÿ ýïèòàêñèàëüíûõ ñëîåâ
ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ñîåäèíåíèé ÀIIIÂV // Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðó-
èðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå (ÒÊÝÀ).� 2007.� ¹ 3.�
Ñ. 56�58.
5. Àíäðååâ Â. Ì., Äîëãèíîâ Ë. Ì., Òðåòüÿêîâ Ä. Í. Æèäêîñò-
íàÿ ýïèòàêñèÿ â òåõíîëîãèè ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïðèáîðîâ.�Ì.:
Ñîâ. ðàäèî, 1975.
6. Woodal I. M. Solution growth Ga1�xAlxAs superlattice structu-
res // J. Crystal Growth.� 1971.� Vol. 12, N 1.� P. 32�38.
7. Ìàòåðèàëû äëÿ îïòîýëåêòðîíèêè / Ïåð. ñ àíãë. Å. È. Ãåâàð-
ãèçîâà, Ñ. Í. Ãîðèíà.� Ì.: Ìèð, 1976.
8. Êàðèìîâ À. Â., ¨äãîðîâà Ä. Ì., Þëäàøåâ Ø. Ø, Áîëòàåâà
Ø. Ø. Ôèçèêî-òåõíîëîãè÷åñêèå îñíîâû ïîëó÷åíèÿ ðåçêîãî ð�n-
ïåðåõîäà // Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïà-
ðàòóðå (ÒÊÝÀ).� 2006.� ¹ 4.� Ñ. 59�60.
9. À. ñ. 1037795 ÑÑÑÐ. Ñïîñîá ýïèòàêñèàëüíîãî íàðàùèâà-
íèÿ ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ñîåäèíåíèé òèïà À3Â5 / À. Â. Êàðèìîâ,
Ø. Ç. Ìèðòóðñóíîâ.� 1983.
10. À. c. 460826 ÑÑÑÐ. Óñòðîéñòâî äëÿ èçãîòîâëåíèÿ ìíîãî-
ñëîéíûõ ñòðóêòóð ìåòîäîì æèäêîñòíîé ýïèòàêñèè / Â. Ì. Àí-
äðååâ, Þ. Â. Æèëÿåâ, Â. Ð. Ëàðèîíîâ, Â. Ã. Íèêèòèí.� 1977.
11. Êàðèìîâ À. Â., ¨äãîðîâà Ä. Ì. Ôèçè÷åñêèå ÿâëåíèÿ â àð-
ñåíèäãàëëèåâûõ ñòðóêòóðàõ ñ ìèêðîñëîéíûì êâàçèèçîïåðèîäè-
÷åñêèì ïåðåõîäîì.� Òàøêåíò: Ôàí, 2005.
12. ×åðíÿåâ Â. Ì., Êîæèòîâ Ë. Â. Òåõíîëîãèÿ ýïèòàêñèàëü-
íûõ ñëîåâ íà àðñåíèäå ãàëëèÿ è ïðèáîðû.� Ì.: Ýíåðãèÿ, 1974.
d,
10�3 ñì
3,0
2,4
1,8
1,2
0,6
1,8 2,4 3,0 Nx, 1017 ñì�3
3
2
1
1 � ∆T=2°C
2 � ∆T=6°C
3 � ∆T=10°C
Ðèñ. 3. Çàâèñèìîñòü òîëùèíû âûðàùåííûõ ñëîåâ àðñåíè-
äà ãàëëèÿ îò êîíöåíòðàöèè ñìåøàííûõ ðàñòâîðîâ-ðàñïëà-
âîâ äëÿ ðàçëè÷íûõ èíòåðâàëîâ òåìïåðàòóðû:
µGaAs=144,64; S=1,0 ñì2; ρGaAs=5,32 ã/ñì�3; AGa=69,72
Ïåðñïåêòèâû óêðàèíñêî-ïîëüñêîãî íàó÷íî-òåõíè÷åñêîãî ñîòðóäíè÷åñòâà. (Óêðàèíà, ã. Äíåïðî-
ïåòðîâñê; Ïîëüøà, ã. Âàðøàâà)
Ìåòîäèêà êàëèáðîâêè ÓÔ-ðàäèîìåòðîâ ýíåðãåòè÷åñêîé îñâåùåííîñ-
òè. (Óêðàèíà, ã. ×åðíîâöû)
Öèôðîâûå ãåíåðàòîðíûå ïðåîáðàçîâàòåëè ïîâûøåííîé ÷óâñòâèòåëü-
íîñòè äëÿ ñèñòåì óïðàâëåíèÿ è êîíòðîëÿ. (Ðîññèÿ, ã. Òîëüÿòòè)
Àâòîìàòèçèðîâàííàÿ ñèñòåìà ðåãèñòðàöèè öèêëîâ ïðè óñòàëîñòíûõ
èñïûòàíèÿõ. (Óêðàèíà, ã. Îäåññà)
â
ï
îð
òô
åë
å
ð
åä
àê
ö
è
è
Ø
â ïîðòôåëå ðåäàêöèè â ïîðòôåëå ðåäàêöèè â ïîðòôåëå ðåäàêöèè â ïîðòôåëå ðåäàêöèè
â ïîðòôåëå ðåäàêöèè â ïîðòôåëå ðåäàêöèè â ïîðòôåëå ðåäàêöèè â ïîðòôåëå ðåäàêöèè
Ø
Ø
Ø
â
ï
îð
òô
åë
å
ð
åä
àê
ö
è
è
|