Газоанализаторы на основе пористого карбида кремния

• Published in: Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Date: 2006
• Main Authors: Московченко, Н.Н., Светличный, А.М.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2006
• Subjects: Вопросы приборостроения
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52915
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Газоанализаторы на основе пористого карбида кремния / Н.Н. Московченко, А.М. Светличный // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 3. — С. 32-35. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.

Рассмотрены различные конструкции газоанализаторов на основе пористого карбида кремния. Показана перспективность использования этого материала в качестве активного слоя сенсоров....