Обобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии
Решение полученных уравнений для конкретных систем и реакторов позволяет определить неравновесные концентрации компонентов как функцию координат и времени в объеме реактора....
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Дата: | 2006 |
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2006
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52920 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Обобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии / В.А. Воронин, С.К. Губа, В.Н. Сиверс // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 3. — С. 50-55. — Бібліогр.: 23 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862716194666053632 |
|---|---|
| author | Воронин, В.А. Губа, С.К. Сиверс, В.Н. |
| author_facet | Воронин, В.А. Губа, С.К. Сиверс, В.Н. |
| citation_txt | Обобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии / В.А. Воронин, С.К. Губа, В.Н. Сиверс // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 3. — С. 50-55. — Бібліогр.: 23 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Решение полученных уравнений для конкретных систем и реакторов позволяет определить неравновесные концентрации компонентов как функцию координат и времени в объеме реактора.
|
| first_indexed | 2025-12-07T18:03:32Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52920 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T18:03:32Z |
| publishDate | 2006 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Воронин, В.А. Губа, С.К. Сиверс, В.Н. 2014-01-10T00:26:54Z 2014-01-10T00:26:54Z 2006 Обобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии / В.А. Воронин, С.К. Губа, В.Н. Сиверс // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 3. — С. 50-55. — Бібліогр.: 23 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52920 Решение полученных уравнений для конкретных систем и реакторов позволяет определить неравновесные концентрации компонентов как функцию координат и времени в объеме реактора. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Технологические процессы и оборудование Обобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии Узагальнений теоретичний підхід до аналізу газофазних процесів эпітаксії Common theoretical approach to the gas phase epitaxy processes Article published earlier |
| spellingShingle | Обобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии Воронин, В.А. Губа, С.К. Сиверс, В.Н. Технологические процессы и оборудование |
| title | Обобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии |
| title_alt | Узагальнений теоретичний підхід до аналізу газофазних процесів эпітаксії Common theoretical approach to the gas phase epitaxy processes |
| title_full | Обобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии |
| title_fullStr | Обобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии |
| title_full_unstemmed | Обобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии |
| title_short | Обобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии |
| title_sort | обобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии |
| topic | Технологические процессы и оборудование |
| topic_facet | Технологические процессы и оборудование |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52920 |
| work_keys_str_mv | AT voroninva obobŝennyiteoretičeskiipodhodkanalizugazofaznyhprocessovépitaksii AT gubask obobŝennyiteoretičeskiipodhodkanalizugazofaznyhprocessovépitaksii AT siversvn obobŝennyiteoretičeskiipodhodkanalizugazofaznyhprocessovépitaksii AT voroninva uzagalʹneniiteoretičniipídhíddoanalízugazofaznihprocesívépítaksíí AT gubask uzagalʹneniiteoretičniipídhíddoanalízugazofaznihprocesívépítaksíí AT siversvn uzagalʹneniiteoretičniipídhíddoanalízugazofaznihprocesívépítaksíí AT voroninva commontheoreticalapproachtothegasphaseepitaxyprocesses AT gubask commontheoreticalapproachtothegasphaseepitaxyprocesses AT siversvn commontheoreticalapproachtothegasphaseepitaxyprocesses |