Обобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии

Решение полученных уравнений для конкретных систем и реакторов позволяет определить неравновесные концентрации компонентов как функцию координат и времени в объеме реактора....

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Datum:	2006
Hauptverfasser:	Воронин, В.А., Губа, С.К., Сиверс, В.Н.
Format:	Artikel
Sprache:	Russian
Veröffentlicht:	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2006
Schlagworte:	Технологические процессы и оборудование
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52920
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Обобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии / В.А. Воронин, С.К. Губа, В.Н. Сиверс // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 3. — С. 50-55. — Бібліогр.: 23 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

id	nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52920
record_format	dspace
spelling	Воронин, В.А. Губа, С.К. Сиверс, В.Н. 2014-01-10T00:26:54Z 2014-01-10T00:26:54Z 2006 Обобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии / В.А. Воронин, С.К. Губа, В.Н. Сиверс // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 3. — С. 50-55. — Бібліогр.: 23 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52920 Решение полученных уравнений для конкретных систем и реакторов позволяет определить неравновесные концентрации компонентов как функцию координат и времени в объеме реактора. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Технологические процессы и оборудование Обобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии Узагальнений теоретичний підхід до аналізу газофазних процесів эпітаксії Common theoretical approach to the gas phase epitaxy processes Article published earlier
institution	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection	DSpace DC
title	Обобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии
spellingShingle	Обобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии Воронин, В.А. Губа, С.К. Сиверс, В.Н. Технологические процессы и оборудование
title_short	Обобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии
title_full	Обобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии
title_fullStr	Обобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии
title_full_unstemmed	Обобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии
title_sort	обобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии
author	Воронин, В.А. Губа, С.К. Сиверс, В.Н.
author_facet	Воронин, В.А. Губа, С.К. Сиверс, В.Н.
topic	Технологические процессы и оборудование
topic_facet	Технологические процессы и оборудование
publishDate	2006
language	Russian
container_title	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
publisher	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
format	Article
title_alt	Узагальнений теоретичний підхід до аналізу газофазних процесів эпітаксії Common theoretical approach to the gas phase epitaxy processes
description	Решение полученных уравнений для конкретных систем и реакторов позволяет определить неравновесные концентрации компонентов как функцию координат и времени в объеме реактора.
issn	2225-5818
url	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52920
citation_txt	Обобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии / В.А. Воронин, С.К. Губа, В.Н. Сиверс // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 3. — С. 50-55. — Бібліогр.: 23 назв. — рос.
work_keys_str_mv	AT voroninva obobŝennyiteoretičeskiipodhodkanalizugazofaznyhprocessovépitaksii AT gubask obobŝennyiteoretičeskiipodhodkanalizugazofaznyhprocessovépitaksii AT siversvn obobŝennyiteoretičeskiipodhodkanalizugazofaznyhprocessovépitaksii AT voroninva uzagalʹneniiteoretičniipídhíddoanalízugazofaznihprocesívépítaksíí AT gubask uzagalʹneniiteoretičniipídhíddoanalízugazofaznihprocesívépítaksíí AT siversvn uzagalʹneniiteoretičniipídhíddoanalízugazofaznihprocesívépítaksíí AT voroninva commontheoreticalapproachtothegasphaseepitaxyprocesses AT gubask commontheoreticalapproachtothegasphaseepitaxyprocesses AT siversvn commontheoreticalapproachtothegasphaseepitaxyprocesses
first_indexed	2025-12-07T18:03:32Z
last_indexed	2025-12-07T18:03:32Z
_version_	1850873596635774976

Обобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии

Institution

Ähnliche Einträge