Обобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии - Воронин, В.А.; Губа, С.К.; Сиверс, В.Н. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2006)
Решение полученных уравнений для конкретных систем и реакторов позволяет определить неравновесные концентрации компонентов как функцию координат и времени в объеме реактора.