Обобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии

• Published in: Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Date: 2006
• Main Authors: Воронин, В.А., Губа, С.К., Сиверс, В.Н.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2006
• Subjects: Технологические процессы и оборудование
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52920
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Обобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии / В.А. Воронин, С.К. Губа, В.Н. Сиверс // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 3. — С. 50-55. — Бібліогр.: 23 назв. — рос.

Решение полученных уравнений для конкретных систем и реакторов позволяет определить неравновесные концентрации компонентов как функцию координат и времени в объеме реактора....