Оптимизация изготовления высоковольтного горизонтального р-канального МОП-транзистора

Определены конструкция, удельное сопротивление эпитаксиальной пленки и толщина подзатворного окисла, при которых получены требуемые значения порогового напряжения транзистора....

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Date:2006
Main Authors: Леонов, Н.И., Лемешевская, А.М., Дудар, Н.Л., Гетьман, С.Н.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2006
Subjects:
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52971
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Оптимизация изготовления высоковольтного горизонтального р-канального МОП-транзистора / Н.И. Леонов, А.М. Лемешевская, Н.Л. Дудар, С.Н. Гетьман // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 4. — С. 45-47. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52971
record_format dspace
spelling Леонов, Н.И.
Лемешевская, А.М.
Дудар, Н.Л.
Гетьман, С.Н.
2014-01-14T22:56:15Z
2014-01-14T22:56:15Z
2006
Оптимизация изготовления высоковольтного горизонтального р-канального МОП-транзистора / Н.И. Леонов, А.М. Лемешевская, Н.Л. Дудар, С.Н. Гетьман // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 4. — С. 45-47. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52971
Определены конструкция, удельное сопротивление эпитаксиальной пленки и толщина подзатворного окисла, при которых получены требуемые значения порогового напряжения транзистора.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Функциональная микро- и наноэлектроника
Оптимизация изготовления высоковольтного горизонтального р-канального МОП-транзистора
Оптимизація виготовлення високовольтного горизонтального р-канального МОН-транзистора
The high-voltage lateral p-channel MOStransistor making optimization
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Оптимизация изготовления высоковольтного горизонтального р-канального МОП-транзистора
spellingShingle Оптимизация изготовления высоковольтного горизонтального р-канального МОП-транзистора
Леонов, Н.И.
Лемешевская, А.М.
Дудар, Н.Л.
Гетьман, С.Н.
Функциональная микро- и наноэлектроника
title_short Оптимизация изготовления высоковольтного горизонтального р-канального МОП-транзистора
title_full Оптимизация изготовления высоковольтного горизонтального р-канального МОП-транзистора
title_fullStr Оптимизация изготовления высоковольтного горизонтального р-канального МОП-транзистора
title_full_unstemmed Оптимизация изготовления высоковольтного горизонтального р-канального МОП-транзистора
title_sort оптимизация изготовления высоковольтного горизонтального р-канального моп-транзистора
author Леонов, Н.И.
Лемешевская, А.М.
Дудар, Н.Л.
Гетьман, С.Н.
author_facet Леонов, Н.И.
Лемешевская, А.М.
Дудар, Н.Л.
Гетьман, С.Н.
topic Функциональная микро- и наноэлектроника
topic_facet Функциональная микро- и наноэлектроника
publishDate 2006
language Russian
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
format Article
title_alt Оптимизація виготовлення високовольтного горизонтального р-канального МОН-транзистора
The high-voltage lateral p-channel MOStransistor making optimization
description Определены конструкция, удельное сопротивление эпитаксиальной пленки и толщина подзатворного окисла, при которых получены требуемые значения порогового напряжения транзистора.
issn 2225-5818
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52971
citation_txt Оптимизация изготовления высоковольтного горизонтального р-канального МОП-транзистора / Н.И. Леонов, А.М. Лемешевская, Н.Л. Дудар, С.Н. Гетьман // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 4. — С. 45-47. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT leonovni optimizaciâizgotovleniâvysokovolʹtnogogorizontalʹnogorkanalʹnogomoptranzistora
AT lemeševskaâam optimizaciâizgotovleniâvysokovolʹtnogogorizontalʹnogorkanalʹnogomoptranzistora
AT dudarnl optimizaciâizgotovleniâvysokovolʹtnogogorizontalʹnogorkanalʹnogomoptranzistora
AT getʹmansn optimizaciâizgotovleniâvysokovolʹtnogogorizontalʹnogorkanalʹnogomoptranzistora
AT leonovni optimizacíâvigotovlennâvisokovolʹtnogogorizontalʹnogorkanalʹnogomontranzistora
AT lemeševskaâam optimizacíâvigotovlennâvisokovolʹtnogogorizontalʹnogorkanalʹnogomontranzistora
AT dudarnl optimizacíâvigotovlennâvisokovolʹtnogogorizontalʹnogorkanalʹnogomontranzistora
AT getʹmansn optimizacíâvigotovlennâvisokovolʹtnogogorizontalʹnogorkanalʹnogomontranzistora
AT leonovni thehighvoltagelateralpchannelmostransistormakingoptimization
AT lemeševskaâam thehighvoltagelateralpchannelmostransistormakingoptimization
AT dudarnl thehighvoltagelateralpchannelmostransistormakingoptimization
AT getʹmansn thehighvoltagelateralpchannelmostransistormakingoptimization
first_indexed 2025-12-07T19:23:10Z
last_indexed 2025-12-07T19:23:10Z
_version_ 1850878607759507456