Технологические источники ионов на основе контрагированных разрядов

• Published in: Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Date: 2006
• Main Authors: Никитинский, В.А., Журавлев, Б.И.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2006
• Subjects: Технологические процессы и оборудование
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52974
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Технологические источники ионов на основе контрагированных разрядов / В.А. Никитинский, Б.И. Журавлев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 4. — С. 55-58. — Бібліогр.: 18 назв. — рос.

Обеспечивается создание ускоренных пучков ионов с токами до 0,6 А и энергиями до 5 кэВ с равномерным распределением плотности тока ионов в поперечном сечении пучков площадью от 10⁻⁴ до 0,2 м²....