Взаимодействие атомарного водорода с поверхностью монокристаллов кремния
Определена стабильность во времени потенциала поверхности кристаллов кремния после их модификации, выявлена зависимость механизма взаимодействия атомарного водорода с кристаллами от их параметров....
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Datum: | 2006 |
| Hauptverfasser: | , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2006
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52976 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Взаимодействие атомарного водорода с поверхностью монокристаллов кремния / Е.Л. Жавжаров, В.М. Матюшин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 4. — С. 61-64. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862575518671437824 |
|---|---|
| author | Жавжаров, Е.Л. Матюшин, В.М. |
| author_facet | Жавжаров, Е.Л. Матюшин, В.М. |
| citation_txt | Взаимодействие атомарного водорода с поверхностью монокристаллов кремния / Е.Л. Жавжаров, В.М. Матюшин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 4. — С. 61-64. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Определена стабильность во времени потенциала поверхности кристаллов кремния после их модификации, выявлена зависимость механизма взаимодействия атомарного водорода с кристаллами от их параметров.
|
| first_indexed | 2025-11-26T12:31:40Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52976 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-11-26T12:31:40Z |
| publishDate | 2006 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Жавжаров, Е.Л. Матюшин, В.М. 2014-01-14T23:14:48Z 2014-01-14T23:14:48Z 2006 Взаимодействие атомарного водорода с поверхностью монокристаллов кремния / Е.Л. Жавжаров, В.М. Матюшин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 4. — С. 61-64. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52976 Определена стабильность во времени потенциала поверхности кристаллов кремния после их модификации, выявлена зависимость механизма взаимодействия атомарного водорода с кристаллами от их параметров. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Материалы электроники Взаимодействие атомарного водорода с поверхностью монокристаллов кремния Взаємодія атомарного водню з поверхнею монокристалів кремнію The influence of atomic hydrogen on surface of monocrystals of silicon Article published earlier |
| spellingShingle | Взаимодействие атомарного водорода с поверхностью монокристаллов кремния Жавжаров, Е.Л. Матюшин, В.М. Материалы электроники |
| title | Взаимодействие атомарного водорода с поверхностью монокристаллов кремния |
| title_alt | Взаємодія атомарного водню з поверхнею монокристалів кремнію The influence of atomic hydrogen on surface of monocrystals of silicon |
| title_full | Взаимодействие атомарного водорода с поверхностью монокристаллов кремния |
| title_fullStr | Взаимодействие атомарного водорода с поверхностью монокристаллов кремния |
| title_full_unstemmed | Взаимодействие атомарного водорода с поверхностью монокристаллов кремния |
| title_short | Взаимодействие атомарного водорода с поверхностью монокристаллов кремния |
| title_sort | взаимодействие атомарного водорода с поверхностью монокристаллов кремния |
| topic | Материалы электроники |
| topic_facet | Материалы электроники |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52976 |
| work_keys_str_mv | AT žavžarovel vzaimodeistvieatomarnogovodorodaspoverhnostʹûmonokristallovkremniâ AT matûšinvm vzaimodeistvieatomarnogovodorodaspoverhnostʹûmonokristallovkremniâ AT žavžarovel vzaêmodíâatomarnogovodnûzpoverhneûmonokristalívkremníû AT matûšinvm vzaêmodíâatomarnogovodnûzpoverhneûmonokristalívkremníû AT žavžarovel theinfluenceofatomichydrogenonsurfaceofmonocrystalsofsilicon AT matûšinvm theinfluenceofatomichydrogenonsurfaceofmonocrystalsofsilicon |